JPS631325U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS631325U JPS631325U JP9405186U JP9405186U JPS631325U JP S631325 U JPS631325 U JP S631325U JP 9405186 U JP9405186 U JP 9405186U JP 9405186 U JP9405186 U JP 9405186U JP S631325 U JPS631325 U JP S631325U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- processing apparatus
- wafer processing
- heat treatment
- cooling pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案に係るウエハ処理装置の一実
施例を示す全体平面図、第２図は第１図における
―線断面図、第３図は第１図の原理を示す全
体側面図、第４図は要部における温度変化を示す
図、第５図は従来装置を示す第１図相当図、第６
図は第５図の―線断面図である。 図において、２は熱処理プレート、１０は蒸気
室部、２０は冷却管、２３は有機化合物の液体、
Ｒは蒸気室、Ｗ２はウエハである。なお、各図中
、同一符号は同一又は相当部分を示す。
施例を示す全体平面図、第２図は第１図における
―線断面図、第３図は第１図の原理を示す全
体側面図、第４図は要部における温度変化を示す
図、第５図は従来装置を示す第１図相当図、第６
図は第５図の―線断面図である。 図において、２は熱処理プレート、１０は蒸気
室部、２０は冷却管、２３は有機化合物の液体、
Ｒは蒸気室、Ｗ２はウエハである。なお、各図中
、同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体ウエハを加熱後このウエハにフオト
レジスト塗布を施す手段を備えたウエハ処理装置
において、上記ウエハを加熱するとともに有機化
合物の蒸気を蒸気室内に封塞して表面処理を施す
熱処理プレートに冷却手段を備えたことを特徴と
するウエハ処理装置。 (2) 上記冷却手段が冷却管であることを特徴と
する実用新案登録請求の範囲第１項記載のウエハ
処理装置。 (3) 上記冷却管を上記熱処理プレート下側に配
設したことを特徴とする実用新案登録請求の範囲
第２項記載のウエハ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9405186U JPS631325U (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9405186U JPS631325U (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS631325U true JPS631325U (ja) | 1988-01-07 |
Family
ID=30957143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9405186U Pending JPS631325U (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS631325U (ja) |
-
1986
- 1986-06-20 JP JP9405186U patent/JPS631325U/ja active Pending