JPS62126360U - - Google Patents

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JPS62126360U
JPS62126360U JP1441886U JP1441886U JPS62126360U JP S62126360 U JPS62126360 U JP S62126360U JP 1441886 U JP1441886 U JP 1441886U JP 1441886 U JP1441886 U JP 1441886U JP S62126360 U JPS62126360 U JP S62126360U
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JP
Japan
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steam
refrigerant
crucible
raw materials
semi
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JP1441886U
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  • Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図a,bは本考案の実施例の説明図、第2
図a,bおよび第3図a,bはそれぞれ従来装置
の説明図である。 101……冷媒流路、102……原料、103
……オーリング、104……原料保持部材、10
5……冷媒流路形成部材、106……冷却面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 原料を加熱して、その蒸気を発生せしめる蒸気
    発生用るつぼにおいて、上部周囲にフランジを設
    けた半円筒状の原料保持用の第1の部材と、該部
    材の外壁部を包囲し、かつ該外壁部との間にほぼ
    均一な間隔を残して、上記第1の部材と結合され
    るフランジ付半円筒状くぼみを有する第2の部材
    とからなり、該第2の部材に、上記間隔に冷媒を
    流通せしめるための冷媒出入口を設けたことを特
    徴とする蒸気発生用るつぼ。
JP1441886U 1986-02-03 1986-02-03 Pending JPS62126360U (ja)

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JP1441886U JPS62126360U (ja) 1986-02-03 1986-02-03

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JP1441886U JPS62126360U (ja) 1986-02-03 1986-02-03

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JPS62126360U true JPS62126360U (ja) 1987-08-11

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ID=30804390

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JP1441886U Pending JPS62126360U (ja) 1986-02-03 1986-02-03

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JP (1) JPS62126360U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003506574A (ja) * 1999-08-04 2003-02-18 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ 電子ビーム物理蒸着被覆装置と該装置用のるつぼ
JP2012233211A (ja) * 2011-04-28 2012-11-29 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 光学薄膜形成用ハースライナー
JP2015045063A (ja) * 2013-08-28 2015-03-12 株式会社村田製作所 蒸着源

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003506574A (ja) * 1999-08-04 2003-02-18 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ 電子ビーム物理蒸着被覆装置と該装置用のるつぼ
JP2012233211A (ja) * 2011-04-28 2012-11-29 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 光学薄膜形成用ハースライナー
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