JPH0272530U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0272530U JPH0272530U JP15275288U JP15275288U JPH0272530U JP H0272530 U JPH0272530 U JP H0272530U JP 15275288 U JP15275288 U JP 15275288U JP 15275288 U JP15275288 U JP 15275288U JP H0272530 U JPH0272530 U JP H0272530U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pedestal
- wafer
- pressure plasma
- heating section
- heating part
- Prior art date
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- Pending
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- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案の第１の実施例の横
断面図及び縦断面図、第３図及び第４図は本考案
の第２の実施例の横断面図及び縦断面図、第５図
及び第６図は本考案の第３の実施例の横断面図及
び縦断面図、第７図及び第８図は従来の減圧プラ
ズマ成膜装置の横断面図及び縦断面図、第９図は
台座（Ａｌ製）及びウエーハ表面の温度変化を示
す図である。 １…ウエーハ、２…台座、３…上部電極、４…
加熱部、５…高周波発振器、６…ガス導入口、７
…排気口、８…熱電対、９…制御用ウエーハ、１
０…温度制御用台座、１１…絶縁物、１２…副熱
電対、２０…反応室。
断面図及び縦断面図、第３図及び第４図は本考案
の第２の実施例の横断面図及び縦断面図、第５図
及び第６図は本考案の第３の実施例の横断面図及
び縦断面図、第７図及び第８図は従来の減圧プラ
ズマ成膜装置の横断面図及び縦断面図、第９図は
台座（Ａｌ製）及びウエーハ表面の温度変化を示
す図である。 １…ウエーハ、２…台座、３…上部電極、４…
加熱部、５…高周波発振器、６…ガス導入口、７
…排気口、８…熱電対、９…制御用ウエーハ、１
０…温度制御用台座、１１…絶縁物、１２…副熱
電対、２０…反応室。
Claims (1)
- 反応室内に設けられた加熱部と該加熱部上に設
けられた半導体ウエーハを載置し下部電極を構成
する台座と該台座上に対向して設けられた上部電
極とを有する減圧プラズマ成膜装置において、前
記加熱部の温度制御を行うための熱電対を、前記
台座上のウエーハまたは前記加熱部上に設けられ
た温度制御用台座上のウエーハに接するように設
けたことを特徴とする減圧プラズマ成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15275288U JPH0272530U (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15275288U JPH0272530U (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0272530U true JPH0272530U (ja) | 1990-06-01 |
Family
ID=31427961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15275288U Pending JPH0272530U (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0272530U (ja) |
-
1988
- 1988-11-22 JP JP15275288U patent/JPH0272530U/ja active Pending