JPH0167738U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0167738U JPH0167738U JP1987163843U JP16384387U JPH0167738U JP H0167738 U JPH0167738 U JP H0167738U JP 1987163843 U JP1987163843 U JP 1987163843U JP 16384387 U JP16384387 U JP 16384387U JP H0167738 U JPH0167738 U JP H0167738U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dry etching
- etching apparatus
- substrate
- semiconductor substrate
- changing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims 3
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第1図は本考案の第1の実施例を示す縦断面図
、第2図は本考案の第2の実施例を示す縦断面図
、第3図a,bは従来装置を示す縦断面図である
。 1,2……電極、3……昇降機構、4……真空
チヤンバー、8……半導体基板、9……マツチン
グ回路、10……高周波電源、11……真空排気
口、12……反応ガス導入管。
、第2図は本考案の第2の実施例を示す縦断面図
、第3図a,bは従来装置を示す縦断面図である
。 1,2……電極、3……昇降機構、4……真空
チヤンバー、8……半導体基板、9……マツチン
グ回路、10……高周波電源、11……真空排気
口、12……反応ガス導入管。
Claims (1)
- プラズマガスを用いて半導体基板あるいは該基
板上に設けられた膜をドライエツチングする装置
において、上下電極の間隔を変化させる機構を有
することを特徴とするドライエツチング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987163843U JPH0167738U (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987163843U JPH0167738U (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0167738U true JPH0167738U (ja) | 1989-05-01 |
Family
ID=31448933
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987163843U Pending JPH0167738U (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0167738U (ja) |
-
1987
- 1987-10-27 JP JP1987163843U patent/JPH0167738U/ja active Pending