JPH02127035U - - Google Patents
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- JPH02127035U JPH02127035U JP3710989U JP3710989U JPH02127035U JP H02127035 U JPH02127035 U JP H02127035U JP 3710989 U JP3710989 U JP 3710989U JP 3710989 U JP3710989 U JP 3710989U JP H02127035 U JPH02127035 U JP H02127035U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- wafer
- semiconductor
- view
- heat block
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例によるヒートブロ
ツク内蔵の金属製カセツトの構造を示す斜視図、
第２図は第１図の金属製カセツトの原理を示す模
式断面図及び接続図、第３図はこの考案の他の実
施例によるヒートブロツクはり付け型金属製カセ
ツトの原理図を示す模式断面図及び接続図、第４
図は従来の金属カセツトの構造を示す斜視図であ
る。 図において１は金属カセツト本体、２はウエハ
収納間隙、３はウエハ、４は金属平板、５は接続
端子、６は温度コントローラ、７は交流商用電源
、８はヒートブロツク制御スイツチ、９はシステ
ムのスイツチ、１０はヒートブロツク、１０は熱
電対である。なお、図中、同一符号は同一、又は
相当部分を示す。
ツク内蔵の金属製カセツトの構造を示す斜視図、
第２図は第１図の金属製カセツトの原理を示す模
式断面図及び接続図、第３図はこの考案の他の実
施例によるヒートブロツクはり付け型金属製カセ
ツトの原理図を示す模式断面図及び接続図、第４
図は従来の金属カセツトの構造を示す斜視図であ
る。 図において１は金属カセツト本体、２はウエハ
収納間隙、３はウエハ、４は金属平板、５は接続
端子、６は温度コントローラ、７は交流商用電源
、８はヒートブロツク制御スイツチ、９はシステ
ムのスイツチ、１０はヒートブロツク、１０は熱
電対である。なお、図中、同一符号は同一、又は
相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体ウエハを収納する金属製カセツトにおい
て、ウエハを収納した時、半導体ウエハ裏面と接
触する金属平板を加熱するためのヒータを有する
ことを特徴とする半導体集積回路試験用カセツト
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3710989U JPH02127035U (ja) | 1989-03-29 | 1989-03-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3710989U JPH02127035U (ja) | 1989-03-29 | 1989-03-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02127035U true JPH02127035U (ja) | 1990-10-19 |
Family
ID=31543924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3710989U Pending JPH02127035U (ja) | 1989-03-29 | 1989-03-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02127035U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105960705A (zh) * | 2014-01-21 | 2016-09-21 | 禹范济 | 排气装置 |
| US10029536B2 (en) | 2009-05-29 | 2018-07-24 | Honda Motor Co., Ltd. | Integrated front and rear HVAC system |
-
1989
- 1989-03-29 JP JP3710989U patent/JPH02127035U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10029536B2 (en) | 2009-05-29 | 2018-07-24 | Honda Motor Co., Ltd. | Integrated front and rear HVAC system |
| CN105960705A (zh) * | 2014-01-21 | 2016-09-21 | 禹范济 | 排气装置 |
| JP2017504218A (ja) * | 2014-01-21 | 2017-02-02 | ボムジェ ウ | ヒューム除去装置 |
| CN105960705B (zh) * | 2014-01-21 | 2019-03-12 | 禹范济 | 排气装置 |
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