JPS63131057U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63131057U JPS63131057U JP2368487U JP2368487U JPS63131057U JP S63131057 U JPS63131057 U JP S63131057U JP 2368487 U JP2368487 U JP 2368487U JP 2368487 U JP2368487 U JP 2368487U JP S63131057 U JPS63131057 U JP S63131057U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transformer
- heater
- diffusion pump
- oil diffusion
- heating power
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は
本考案の他の実施例の構成図である。 １：被排気室、２：油拡散ポンプ、２ａ：ポン
プ容器、２ｂ：ジエツトノズル、２ｃ：作動液（
油）、２ｄ：熱ヒータ、２ｅ：バツフル、２ｆ：
冷却パイプ２ｆ、３：主弁、４：トランス、５：
切り換えスイツチ、６：電源スイツチ、７：電源
、８：リレー、９：制御部、１０：弁駆動回路、
１１，１２：タイマー、１３：排気用スイツチ、
１４：リーク用スイツチ、１５：リークバルブ、
２０：可変トランス、２１：制御モータ、２２：
真空計。
本考案の他の実施例の構成図である。 １：被排気室、２：油拡散ポンプ、２ａ：ポン
プ容器、２ｂ：ジエツトノズル、２ｃ：作動液（
油）、２ｄ：熱ヒータ、２ｅ：バツフル、２ｆ：
冷却パイプ２ｆ、３：主弁、４：トランス、５：
切り換えスイツチ、６：電源スイツチ、７：電源
、８：リレー、９：制御部、１０：弁駆動回路、
１１，１２：タイマー、１３：排気用スイツチ、
１４：リーク用スイツチ、１５：リークバルブ、
２０：可変トランス、２１：制御モータ、２２：
真空計。
Claims (1)
- 被排気室に接続された油拡散ポンプと、該油拡
散ポンプ内の加熱ヒータに加熱電力を供給するト
ランスと、該トランスの出力電圧を変化させる出
力可変手段と、前記加熱ヒータに供給される加熱
電力が始動時には大きく、高真空時には前記加熱
電力が小さくなるように前記出力可変手段を制御
する制御手段を備えたことを特徴とする電子顕微
鏡等の排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2368487U JPS63131057U (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2368487U JPS63131057U (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63131057U true JPS63131057U (ja) | 1988-08-26 |
Family
ID=30822214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2368487U Pending JPS63131057U (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63131057U (ja) |
-
1987
- 1987-02-20 JP JP2368487U patent/JPS63131057U/ja active Pending