JPH03160071A - 光硬化性無電解メッキレジストインキ組成物 - Google Patents

光硬化性無電解メッキレジストインキ組成物

Info

Publication number
JPH03160071A
JPH03160071A JP1300549A JP30054989A JPH03160071A JP H03160071 A JPH03160071 A JP H03160071A JP 1300549 A JP1300549 A JP 1300549A JP 30054989 A JP30054989 A JP 30054989A JP H03160071 A JPH03160071 A JP H03160071A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
component
electroless plating
pts
weight
parts
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1300549A
Other languages
English (en)
Inventor
Osamu Ogitani
荻谷 修
Toru Shirase
白勢 徹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Somar Corp
Original Assignee
Somar Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Somar Corp filed Critical Somar Corp
Priority to JP1300549A priority Critical patent/JPH03160071A/ja
Priority to US07/593,947 priority patent/US5158989A/en
Priority to CA 2027424 priority patent/CA2027424A1/en
Priority to EP19900311234 priority patent/EP0430416B1/en
Priority to DE1990610309 priority patent/DE69010309T2/de
Priority to KR1019900018662A priority patent/KR930009212B1/ko
Publication of JPH03160071A publication Critical patent/JPH03160071A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/18Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
    • H05K3/181Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating
    • H05K3/182Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating characterised by the patterning method
    • H05K3/184Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating characterised by the patterning method using masks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D11/00Inks
    • C09D11/02Printing inks
    • C09D11/10Printing inks based on artificial resins
    • C09D11/101Inks specially adapted for printing processes involving curing by wave energy or particle radiation, e.g. with UV-curing following the printing
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D11/00Inks
    • C09D11/02Printing inks
    • C09D11/03Printing inks characterised by features other than the chemical nature of the binder
    • C09D11/037Printing inks characterised by features other than the chemical nature of the binder characterised by the pigment
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/18Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/02Fillers; Particles; Fibers; Reinforcement materials
    • H05K2201/0203Fillers and particles
    • H05K2201/0206Materials
    • H05K2201/0209Inorganic, non-metallic particles
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/11Treatments characterised by their effect, e.g. heating, cooling, roughening
    • H05K2203/1173Differences in wettability, e.g. hydrophilic or hydrophobic areas
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0073Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
    • H05K3/0076Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the composition of the mask

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、無電解メッキによりプリント配線板を製造す
る際に使用される光硬化性レジストインキ組或物に関す
る。
〔従来の技術〕
プリント配線板,特に両面スルーホール配線板の製造法
として、スルーホール内壁に無電解メッキをした後,電
気メッキし、表裏をエッチングしてパターンを形成する
サブトラクト法が広く用いられて来た。
しかしながら、近年,高密度配線が要求され,スルーホ
ール径も小さくなるにつれ、スルーホールメッキ及び表
裏の回路形成をすべて無電解メッキで形或するアディテ
ィブ法(特にフルアディティブ法)が多く採用されるよ
うになって来た。そして,このアディティブ法では、無
電解メッキレジストインキ組或物が使用される. 無電解メッキレジストインキ組或物には次の様な特性が
要求される。
(1) (2) (3) (4) 無電解メッキレジストインキの粘性が経時で変化する事
なく安定した印刷性が得られる事.粘性が変化すると、
その都度スクリーン印刷条件を変化させなければならな
くなる。
スクリーン印刷,硬化後、微細パターンの再現性(解像
性)が良い事.再現性が悪い場合には、配線密度を上げ
る事が出来ないだけでなく、ショート、断線等の原因に
もなる.無電解メッキレジストインキの硬化が出来るだ
け低温、短時間で行なわれる事.高温,長時間の場合は
工程時間が長くなるばかりでなく基材の熱による寸法変
化、反り等が起りやすい. 硬化したレジスト膜の耐化学薬品性、即ち、耐粗化液性
、耐無電解メッキ液性が十分ある事.耐粗化液性が劣る
場合には、レジスト膜上に銅が析出しやすく、いわゆる
「銅フリ」現象を起しやすい。又、耐無電解メッキ液性
が劣る場合は、無電解メッキ液中に溶出した物質により
析出した綱の伸び率が低下する等の障害が生じる. 従来、無電解メッキレジスト組成物として、熱硬化型の
エボキシ樹脂組或物(特開昭54−013574、特開
昭58−009398、特開昭59−117196、特
開昭63−162775、特開平1〜92376号公報
等参照)が知られている. しかしながら,熱硬化型エポキシ樹脂組成物は,スクリ
ーン印刷によってパターン印刷を行った後、加熱してゲ
ル化する迄の間の粘度低下により、解像性が低下しやす
い.又、加熱硬化に長時間を要するという欠点があった
. これらの欠点を改良する目的で、光ラジカル重合系及び
光カチオン重合系の光重合型無電解メッキレジストが提
案されている.この場合、光ラジカル重合系として゜は
,特開昭60−121443号等の無電解メッキレジス
ト組成が開示されている.しかしながら、光ラジカル重
合系にはアクリル酸エステル系のモノマー、オリゴマー
が使用されている為,高アルカリ,高温の無電解メッキ
液中に長時間浸漬されるとエステル基が加水分解された
分解生戒物や,未反応七ノマーが無電解メッキ液中に溶
出し、液が汚染され,メッキされた銅の物性が低下する
という欠点がある。
一方、光カチオン重合系としては、特開昭64−544
42号公報に無電解メッキレジストインキ組成物が開示
されている.光カチオン重合触媒を用いる場合には,フ
ィラーの種類によって光重合が阻害される事が良く知ら
れているが,特開昭64−54442号に使用されてい
るタルクも光重合を阻害し,硬化したレジスト膜の硬度
が十分に出ないという欠点がある.又,特開昭54−5
4442号ではエポキシ基を含まないアルコール性水酸
基含有化合物を使用している為,耐化学薬品性が十分で
なく、「銅フリ」を起しやすく、無電解メッキ液を汚染
するという欠点がある. 〔発明が解決しようとする課題〕 本発明は,前記従来技術の欠点を改良し、粘性安定性,
微細パターンの再現性に優れ、かつ硬化時間も速く,そ
の上、十分なレジスト膜硬度を有し,耐化学薬品性にも
優れた光硬化性無電解メッキレジストインキ組威物を提
供することをその課題とする. 〔課題を解決するための手段〕 本発明によれば,下記成分(A)〜(D)を含有してな
る光硬化性無電解メッキレジストインキ組成物が提供さ
れる. (A),1分子中に少なくとも2個のグリシジルエーテ
ル基を有し、該グリシジルエーテル基が直接芳香環に結
合したエポキシ樹脂 〔B〕;脂肪族ポリオールポリグリシジルエーテル化合
物 〔C〕;光カチオン重合触媒 〔D〕;表面疎水化シリカ粉末 以下,本発明の構成について詳述する.成分(A) 1分子中に少なくとも2gのグリシジルエーテル基を有
し,該グリシジルエーテル基が直接芳香環に結合したエ
ポキシ樹脂としては、たとえば、ビスフェノールA型エ
ポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフ
ェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポ
キシ樹脂等のビスフェノール型エボキシ樹脂,フェノー
ルノボラツク型エボキシ樹脂、クレゾールノボラツク型
エボキシ樹脂等がある。これらのものは、ビスフェノー
ル類、フェノールノボラック樹脂又はタレゾールノボラ
ック樹脂とエビクロルヒドリンとをアルカリ触媒の存在
下で反応して得られるものであり、単独系又は混合系で
使用出来る。市販品の例としは、例えば、以下のものが
挙げられる.エビコート807、エビコート825、エ
ピコート828、エビコート834、エビコート100
1.エビコート1004、エビコート152、エピコー
ト157、エビコート180(以上、油化シェルエポキ
シ株式会社製品)、D.E.R.331. D.E.R
.337. D.E.R.661, 0.11!.R.
664、D.E.N.431, D.E.N.432(
以上ダウ・ケミカル日本株式会社製品)、エポトートY
DF−170,エポトートYDF−2001.エポトー
トVD−128. エポトートVD−134、ェポトー
トVD−011.  エポトートYD−014.  エ
ボトートR−710、エポトートYDPN−638、エ
ポトートYDCN−701(以上東部化成株式会社製品
).成分(B) 脂肪族ポリオールグリシジルエーテル化合物としては、
(ポリ)エチレングリコール、1,6−ヘキサンジオー
ル、トリメチロールプロパン、グリセリンなどのボリオ
ール類とエビクロルヒドリンとをアルカリ触媒の存在下
で反応して得られるもので、好ましくはエポキシ当量が
80〜400のものである.その具体例としては、(ポ
リ)エチレングリコールジグリシジルエーテル,(ポリ
)プロピレングリコールジグリシジルエーテル、ネオベ
ンチルグリコールジグリシジルエーテル、1.4−ブタ
ンジオールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジ
オールジグリシジルエーテル,(ポリ)グリセロールポ
リグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグ
リシジルエーテル,ソルビトールポリグリシジルエーテ
ル及びこれらのハロゲン化物等が挙げられる.これらは
単独系又は混合系で使用することが出来る.市販品とし
ては,例えば、以下のものが挙げられる. エビオールE−100、エビオールNPC−100、エ
ビオールTMP−100,エビオールG−100(以上
、日本油脂株式会社製品)、アデカグリシロールHD−
503、HD−505、ED−506、ED−507(
以上旭電化工業株式会社製品)、エポライト40E、エ
ボライト200E.エポライト400E、エポライト7
0P、エポライト400P,エボライト1500NP、
エポライト1600、エポライト80MF、エポライト
IOOMF.エボライトFPl500(以上、共栄社油
脂化学工業株式会社製品)。
成分〔C〕 光カチオン重合触媒は,成分(A) , 〔B〕の光カ
チオン重合開始剤である.このようなものとしては、例
えば、以下のものが挙げられる. (ジアリルヨードニウム塩) 例えば、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチ
モネート.ジフェニルヨードニウムへキサフルオ口ホス
フェート、4−クロルフェニルヨードニウムテトラフル
オ口ボレート、ジ(4−メトキシフェニル)ヨードニウ
ムクロリド、(4−メトキシフェニル)フェニルヨード
ニウム等. (トリアリールスノレホニウム塩) 例えば、トリフェニルスルホニウムテトラフルオ口ボレ
ート,トリフェニルスルホニウムへキサフノレオロホス
フェート、P−(フェニルチオ)フェニルジフェニルス
ルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニ
ルスルホニウムへキサフルオロアンチモネート、4−ク
ロルフェニルジフェニルスルホニウムへキサフルオロホ
スフェート等.(トリアリールセレニウム塩) 例えば、トリフェニルセレニウムへキサフルオロホスフ
ェート,トリフェニルセレニウムへキサフルオロアンチ
モネート等. (その他) (2,4−シクロペンタジエン−1〜イル)〔(1〜メ
トキシエチル)一ベンゼン〕−アイロンーヘキサフルオ
口ホスフェート,ジフェニルスルホニウムヘキサフルオ
ロアンチモネート,ジアルキルフェニルスルホニウムヘ
キサフノレオロアンチモネート、ジアノレキルフェニル
スルホニウムへキサフルオロホスフェート、4,4′−
ビス〔ジ(βヒドロキシエトキシ)フェニルスルフオニ
オ〕フェニルスルフイドービスーヘキサフルオロアンチ
モネート、4,4′−ビス〔ジ(βヒドロキシエトキシ
)〕フエニルスルフイドービスーへキサフルオ口ホスフ
ェート等。
或分(D) 表面疎水化シリカは組或物にチキソ性を付与する.この
ものは、微粉末シリカを,オクチルトリメトキシシラン
、ポリジメチルシラン等のオルガノシロキサン等で表面
処理し、シリカ表面を疎水化したものである.市販品と
しては日本アエロジル社製. AEROSIL R−2
02. R−805、R−812、キャボット社製Ca
b−0−Sil TS−720等が挙げられる。
本発明は前記した成分〔A〕〜(D)からなるものであ
るが,必要により成分〔A〕,(B)以外のエポキシ基
を含む反応性希釈剤,着色剤、充填剤,W1泡剤、レベ
リング剤、溶剤等を使用することが出来る。
又、或分〔C〕の光カチオン重合触媒の戊分〔A〕,〔
B〕への相溶性を向上させる目的で、光カチオン重合触
媒をアセトニトリル、プロピレンカーボネート等に溶解
して使用することが出来る。
エボキシ基を含む反応性希釈剤としては、例えば、フェ
ニルグリシジルエーテル,メチルフェニルグリシジルエ
ーテル、n−プチルグリシジルエーテル、エポキシシク
口ヘキシルメチルエポキシシク口ヘキサンカルボキシレ
ート等が挙げられる。
着色剤としては、フタロシアニングリーン、フタロシア
ニンブルー等の有機顔料,酸化チタン、群青、黄鉛,カ
ーボンブラック等の無機顔料、染料等が挙げられる。充
填剤としては,シリカ,アルミナ、水酸化アルミニウム
、炭酸カルシウム、クレー等が挙げられる。
消泡剤としては、シリコンオイル、レベリング剤として
はフッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤,アク
リル共重合体等を挙げることが出来る.さらに溶剤とし
て,ケトン系溶剤、エステル系溶剤、セロソルブ系溶剤
、芳香族系溶剤等が挙げられる. 本発明において、 成分(A)と成分〔B〕の配合比は、 両者の合計重量に対し、成分〔A〕が90〜40重量算
、戊分(B)が10〜60重量$、のぞましくは或分[
A]が85〜50重量$、威分(B)が15〜50重量
$である.或分〔C〕は成分[A)と〔B〕の合計10
0重量部に対し0.1〜io重量部、のぞましくは0.
5〜5重量部、成分CD)は成分〔A〕と〔B〕の合計
100重量部に対し0.5〜15重量部、のぞましくは
1〜10重量部である。本発明の組成物において、成分
(A)が多く、成分〔B〕が少ない場合、組或物として
粘度が高くなり過ぎ、印刷出来なくなるばかりでなく、
硬化膜の密着性が悪く、かつ、硬化膜が硬くて、脆くな
り、基材が曲った場合に硬化膜にクラックが入ったり、
基材より剥離したりする.成分〔A〕が少なく成分〔B
〕が多い場合,硬化膜の耐化学薬品性が低下する。或分
〔C〕が少ない場合は、硬化速度が遅くなり実用的でな
い。戊分〔C〕が多い場合は、硬化速度の向上はこれ以
上望めなく、重合反応に関与しないカチオンが残留し、
無電解メッキ液を汚染する.成分(D)が少ない場合は
、チキン性が付与出来ず、スクリーン印刷時のパターン
再現性が劣る.戊分(D)が多い場合、チキン性が強く
なり過ぎ、スクリーン印刷時気泡が残り,「銅フリ」を
起すようになる。
本発明の組成物は無電解メッキ用基材にスクリーン印刷
した後紫外線等の活性エネルギー線を照射することによ
り硬化させる事が出来る.また活性エネルギー照射によ
る硬化後、加熱処理を行なうことによって硬化物特性を
さらに向上させることができる.この場合の加熱処理は
、通常, 100〜170℃で2〜30分間加熱するこ
とによって行われる. 次に析出した銅の密着性を向上させる目的で強酸性の粗
化液中に浸漬し,銅が析出すべき部分の基材の接着剤層
を粗化する.この後、強アルカリ性の無電解メッキ液中
に浸漬して銅をレジスト部分以外に析出させ、配線パタ
ーンを形或することができる. 〔発明の効果〕 本発明は、前記したように芳香族多官能エポキシ樹脂の
成分〔A〕、脂肪族ポリオールエボキシ樹脂の或分〔B
〕,光カチオン重合開始剤の或分〔C〕、表面疎水化シ
リカの戒分(D)を含むことを特徴とし、無電解メッキ
法によりプリント配線板の製造の際に使用される光硬化
性無電解メッキレジストインキ組成物である。
本発明において、成分[A]の芳香族多官能エポキシ樹
脂は、光硬化性に優れ、架橋密度の大きな強靭な硬化膜
を形成する。成分〔8〕の脂肪族ポリオールエポキシ樹
脂は組或物の粘度を!llIl[することができるとと
もに、硬化膜に柔軟性を与える。
又,成分〔A〕及び成分〔B〕はともにエステル結合等
の加水分解結合を含まないので、その硬化膜は、耐無電
解メッキ液に対する耐久性に優れている。
成分〔C〕の光カチオン重合触媒は活性エネルギー線照
射によってカチオンを発生し,成分〔A〕、成分〔B〕
のエポキシ基を開環重合させる光重合開始剤である.戊
分〔D〕の表面疎水化シリカは、組或物に経時安定性に
優れたチキン性を付与し,硬化膜をパターン再現性に優
れたものとする.即ち5本発明は、粘性安定性、微細パ
ターンの再現性に優れ,硬化時間も速く,十分なレジス
ト膜硬度を有し、耐化学薬品性にも優れる為,本発明の
組成物を使用することによって、無電解メッキ法により
、高密度、高精度なプリント配線板を製造することが出
来る. 〔実施例〕 次に実施例および比較例により本発明を説明するが、本
発明はこれに限定されるものではない。
なお、以下における「部」は「重量部Jを意味する。
実施例1〜3、比較例1〜4 (1)光硬化性無電解メシキレジストインキ組成物のF
AR 成分(A)、成分(B)を均一に溶解混合した後、成分
〔C〕,戊分(D)および各種添加剤を加え均一に混合
し,三本ロールを用いて混棟して調製した.(2)粘性
の経時安定性 組或物を褐色ポリ瓶に入れて40℃の恒温槽中に30日
間保存したものの粘度を25℃で東京計器社製BgR型
回転粘度計1!n6ローターを使用し、50rp+mで
粘度を測定.粘度の変化は初期値の10%以内が良い. (3)パターン再現性 無電解メッキ用紙フェノール基材(日立化成工業社製、
rACL−141J)に回路幅,@路間隔ともに100
pmのパターンを有する300メッシュのポリエステル
スクリーンを用いて印刷、ついで、高圧水銀灯(80%
I/cra x 3灯)を用い、ベルトスピード3量/
分の速度で紫外線照射して硬化させた.硬化膜のパター
ン幅が90〜110μの範囲にあるものが合格.(4)
耐化学薬品性 前記(3)でill製した硬化基板に下記の内容で,粗
化及び無電解メッキを行なった後、「銅フリ」をi察し
た.硬化膜上の「銅フリ」が無いものが合格.(粗化液
組戊) 二酸化クロム           30g/1濃硫酸
              300rd/Qフッ化ナ
トリウム          30gIQ(浸漬条件) 粗化液温度              4G’C浸漬
時間               15分撹拌   
            空気撹拌(無電解メッキ液組
或) 硫酸銅                8g/慮エチ
レンジアミン4酢酸        30gIQ37%
ホルマリン液            3wjQ/Qポ
リエチレングリコール       15d/Q2−2
′ジピリジル           20d/Q水酸化
ナトリウム      p}112.8量(25℃)水
            全体で1党にする量(浸漬条
件〉 無電解メッキ液温度          70℃浸漬時
間               20時間撹拌   
            空気撹拌(5)硬化速度 (3)と同様にして300メッシュポリエステルスクリ
ーンで全面印刷を行ない、硬化させ,鉛筆硬化(JIS
 D 0202)を測定.鉛筆硬度が4H以上有ること
が望ましい. (6)密着性 (5)で調製した硬化膜に1問間隔にlOOケのゴバン
目状のカットを入れセロハン粘着テープでピーリングを
行ない、剥離を生じていない桝目の数を分子に、もとの
桝目の数(100ケ〉を分母として表わした。
以上の測定結果を表−1に示す.なお、表−■に示した
戊分の具体的内容は以下の通りである。
エピコート828:油化シェルエポキシ社製、ビスフェ
ノールA型エポキシ樹脂 エピコート1004 :油化シェルエポキシ社製、ビス
フェノールA型エポキシ樹脂 エピコート154:油化シェルエポキシ社製、フェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂 EOCN103 :日本化薬社製、クレゾールノボラッ
ク型エボキシ樹脂 エポライトIOOMF :共栄社油脂化学工業社製、ト
リメチロールプロパントリグリシ ジルエーテル アデカグリシロールED−503 : m電化工業社製
、1,6−ヘキサンジオールジグリシジ ルエーテル AEROSIL R−202 :日本アエロジル社製、
ポリジメチルシロキサン基結合シリカ AIEROSIL#300 :日本アエロジル社製、微
粉末未処理シリカ LMP−100 :富士タルク工業社製,タルクKS−
603 :信越シリコーン社製、シリコーン系消泡剤 光カチオン触媒: 4,4’−ビス〔ジ(βヒドロキシ
エトキシ)フェニルスルフオニオ〕 フェニルスルフィドービスーヘキ サフルオロアンチモネートの50$ 溶液 手 糸lこ ネi1T 正 見I: 平成2年 ,≦一月.2手 「1

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)下記成分〔A〕〜〔D〕を含有してなる光硬化性
    無電解メッキレジストインキ組成物。 〔A〕;1分子中に少なくとも2個のグリシジルエーテ
    ル基を有し、該グリシジルエーテル基が 直接芳香環に結合したエポキシ樹脂 〔B〕;脂肪族ポリオールポリグリシジルエーテル化合
    物 〔C〕;光カチオン重合触媒 〔D〕;表面疎水化シリカ粉末
  2. (2)成分〔A〕が90〜40重量部、成分〔B〕が1
    0〜60重量部である請求項1の組成物。
  3. (3)成分〔A〕と成分〔B〕の合計100重量部に対
    して、成分〔C〕が0.1〜10重量部である請求項1
    又は2の組成物。
  4. (4)成分〔A〕と成分〔B〕の合計100重量部に対
    して成分〔D〕が0.5〜15重量部である請求項1〜
    3のいずれかの組成物。
JP1300549A 1989-11-18 1989-11-18 光硬化性無電解メッキレジストインキ組成物 Pending JPH03160071A (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1300549A JPH03160071A (ja) 1989-11-18 1989-11-18 光硬化性無電解メッキレジストインキ組成物
US07/593,947 US5158989A (en) 1989-11-18 1990-10-09 Electroless plating-resisting ink composition
CA 2027424 CA2027424A1 (en) 1989-11-18 1990-10-11 Electroless plating-resisting ink composition
EP19900311234 EP0430416B1 (en) 1989-11-18 1990-10-12 Electroless plating-resisting ink composition
DE1990610309 DE69010309T2 (de) 1989-11-18 1990-10-12 Resist-Tintenzusammensetzung für stromlose Plattierung.
KR1019900018662A KR930009212B1 (ko) 1989-11-18 1990-11-17 무전해 도금-내성 잉크 조성물

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1300549A JPH03160071A (ja) 1989-11-18 1989-11-18 光硬化性無電解メッキレジストインキ組成物

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03160071A true JPH03160071A (ja) 1991-07-10

Family

ID=17886170

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1300549A Pending JPH03160071A (ja) 1989-11-18 1989-11-18 光硬化性無電解メッキレジストインキ組成物

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5158989A (ja)
EP (1) EP0430416B1 (ja)
JP (1) JPH03160071A (ja)
KR (1) KR930009212B1 (ja)
CA (1) CA2027424A1 (ja)
DE (1) DE69010309T2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07166117A (ja) * 1993-12-16 1995-06-27 Somar Corp 光硬化性レジストインキ組成物
WO2018056142A1 (ja) * 2016-09-23 2018-03-29 昭和電工株式会社 太陽電池セルの製造方法
WO2018056143A1 (ja) * 2016-09-23 2018-03-29 昭和電工株式会社 太陽電池セルの製造方法

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ATE169616T1 (de) * 1988-11-21 1998-08-15 Zeneca Ltd Zwischenverbindungen zur herstellung von fungiziden
JPH07268065A (ja) * 1993-11-17 1995-10-17 Sophia Syst:Kk 紫外線硬化型の無溶媒導電性ポリマー材料
US5824373A (en) * 1994-04-20 1998-10-20 Herbert's Powder Coatings, Inc. Radiation curing of powder coatings on wood
US5789039A (en) * 1994-09-06 1998-08-04 Herberts Powder Coatings, Inc. Radiation curing of powder coatings on heat sensitive substrates: chemical compositions and processes for obtaining coated workpieces
SG48462A1 (en) * 1995-10-26 1998-04-17 Ibm Lead protective coating composition process and structure thereof
US6858260B2 (en) 1997-05-21 2005-02-22 Denovus Llc Curable sealant composition
US6277898B1 (en) * 1997-05-21 2001-08-21 Denovus Llc Curable sealant composition
US6174932B1 (en) * 1998-05-20 2001-01-16 Denovus Llc Curable sealant composition
WO1999005571A1 (en) * 1997-07-21 1999-02-04 Ciba Specialty Chemicals Holding Inc. Sedimentation stabilized radiation-curable filled compositions
US7276788B1 (en) * 1999-08-25 2007-10-02 Micron Technology, Inc. Hydrophobic foamed insulators for high density circuits
US6677209B2 (en) 2000-02-14 2004-01-13 Micron Technology, Inc. Low dielectric constant STI with SOI devices
US6413827B2 (en) 2000-02-14 2002-07-02 Paul A. Farrar Low dielectric constant shallow trench isolation
US6890847B1 (en) 2000-02-22 2005-05-10 Micron Technology, Inc. Polynorbornene foam insulation for integrated circuits
US6467897B1 (en) * 2001-01-08 2002-10-22 3M Innovative Properties Company Energy curable inks and other compositions incorporating surface modified, nanometer-sized particles
CN100439446C (zh) * 2002-04-25 2008-12-03 亚什兰许可和知识产权有限公司 用于增强型复合材料组合物的表面改进剂
US7192892B2 (en) 2003-03-04 2007-03-20 Micron Technology, Inc. Atomic layer deposited dielectric layers
JP5095909B2 (ja) * 2003-06-24 2012-12-12 ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. 触媒組成物および析出方法
US20050137882A1 (en) * 2003-12-17 2005-06-23 Cameron Don T. Method for authenticating goods
US7927948B2 (en) 2005-07-20 2011-04-19 Micron Technology, Inc. Devices with nanocrystals and methods of formation
KR100738308B1 (ko) * 2006-10-09 2007-07-12 한국에너지기술연구원 연료 공급관이 결합된 연료극 지지체식 튜브형 고체산화물연료전지
WO2016123602A1 (en) * 2015-01-31 2016-08-04 Leica Biosystems Richmond, Inc. Coating compositions and methods of making and using same

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6123666A (ja) * 1984-07-13 1986-02-01 Hitachi Ltd 耐めつきソルダレジストインク組成物
JPS6147183A (ja) * 1984-08-15 1986-03-07 Teijin Ltd ヒト・ヒトハイブリド−マ培養用無血清培地
JPS62273226A (ja) * 1986-05-20 1987-11-27 Nippon Soda Co Ltd 無電解メッキ用光硬化性レジスト樹脂組成物

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4221697A (en) * 1974-05-29 1980-09-09 Imperial Chemical Industries Limited Composite materials
US4394434A (en) * 1980-12-08 1983-07-19 Minnesota Mining And Manufacturing Company Plating resist with improved resistance to extraneous plating
EP0071345B1 (en) * 1981-07-23 1985-06-05 American Can Company Ink compositions and process for ink jet printing
US4622349A (en) * 1983-02-07 1986-11-11 Union Carbide Corporation Blends of epoxides and monoepoxides
JPH0247542B2 (ja) * 1983-07-27 1990-10-22 Hitachi Condenser Mudenkaimetsukyorejisutoinku
JPS61190524A (ja) * 1985-01-25 1986-08-25 Asahi Denka Kogyo Kk エネルギ−線硬化性組成物
JPS61261365A (ja) * 1985-05-14 1986-11-19 Nippon Oil Co Ltd 光硬化性被覆組成物
CA1287427C (en) * 1985-09-25 1991-08-06 Koichiro Oka Epoxy type spherical particulate adhesive and process for preparation thereof
JPS62273221A (ja) * 1986-05-20 1987-11-27 Nippon Soda Co Ltd 無電解メツキ用光硬化型レジスト樹脂組成物
JPS6454442A (en) * 1987-08-25 1989-03-01 Nippon Soda Co Photocurable resist resin composition for chemical plating
JPH0794631B2 (ja) * 1987-11-14 1995-10-11 ソマール株式会社 無電解メッキ用レジストインキ

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6123666A (ja) * 1984-07-13 1986-02-01 Hitachi Ltd 耐めつきソルダレジストインク組成物
JPS6147183A (ja) * 1984-08-15 1986-03-07 Teijin Ltd ヒト・ヒトハイブリド−マ培養用無血清培地
JPS62273226A (ja) * 1986-05-20 1987-11-27 Nippon Soda Co Ltd 無電解メッキ用光硬化性レジスト樹脂組成物

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07166117A (ja) * 1993-12-16 1995-06-27 Somar Corp 光硬化性レジストインキ組成物
WO2018056142A1 (ja) * 2016-09-23 2018-03-29 昭和電工株式会社 太陽電池セルの製造方法
WO2018056143A1 (ja) * 2016-09-23 2018-03-29 昭和電工株式会社 太陽電池セルの製造方法
TWI666348B (zh) * 2016-09-23 2019-07-21 日商石原化學股份有限公司 太陽電池胞之製造方法
TWI667804B (zh) * 2016-09-23 2019-08-01 日商石原化學股份有限公司 Solar cell cell manufacturing method

Also Published As

Publication number Publication date
EP0430416A2 (en) 1991-06-05
DE69010309T2 (de) 1995-02-09
EP0430416B1 (en) 1994-06-29
DE69010309D1 (de) 1994-08-04
EP0430416A3 (en) 1992-04-29
KR930009212B1 (ko) 1993-09-24
CA2027424A1 (en) 1991-05-19
KR910009852A (ko) 1991-06-28
US5158989A (en) 1992-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH03160071A (ja) 光硬化性無電解メッキレジストインキ組成物
TWI402311B (zh) 用於微圖案化層的組成物,該層具有高緩和能力、高化學阻抗性及機械穩定性
TWI793795B (zh) 硬化性樹脂組成物、乾膜、硬化物及印刷配線板
JP6637674B2 (ja) プリント配線板、プリント配線板の製造方法、及び半導体装置
JPH0343294B2 (ja)
JP2004233835A (ja) 感光性樹脂組成物および該組成物を用いた樹脂パターンの形成方法
EP0138209B1 (en) Epoxy resin composition
US5068260A (en) Resin composition curable with an active energy ray containing epoxy resin containing at least a compound having one or more of epoxy group in the molecule
JP2004240213A (ja) フェノール−ビフェニレン樹脂を含むネガ型感光性樹脂組成物
CA1338252C (en) Resist ink composition
JPH08301990A (ja) 樹脂組成物、レジストインキ組成物及びその硬化物
JP3341095B2 (ja) 光硬化性レジストインキ組成物
JP4197817B2 (ja) 感光性樹脂組成物及びその硬化物
JPH0794631B2 (ja) 無電解メッキ用レジストインキ
JP2003002958A (ja) アルカリ水溶液可溶性ポリエステル化合物及びそれを用いた感光性樹脂組成物並びにその硬化物
JP2568612B2 (ja) 硬化性樹脂及びその製造方法並びにその用途
JP2002072471A (ja) 樹脂組成物、ソルダーレジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物
JP2003335982A (ja) フォトマスクコート剤及びフォトマスクの表面保護コート形成方法
KR100188181B1 (ko) 내부식성이 향상된 감광성 솔더 레지스트 조성물
JP4111663B2 (ja) 樹脂組成物、ソルダーレジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物
JPH06317905A (ja) 感光性樹脂組成物及びプリント配線板
JP2000119374A (ja) 感光性樹脂組成物およびそれを用いた多層プリント配線板
JPH08211610A (ja) 樹脂組成物、レジストインキ組成物及びその硬化物
JPH01174522A (ja) 感光性樹脂組成物
JP2008210892A (ja) 電磁波遮蔽材料の製造方法、及び、電磁波遮蔽材料