JP7434640B2 - 基板搬送装置及び基板処理装置 - Google Patents
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Description
反りを有する基板の、凸面側を支持するとともに、前記基板を搬送する搬送ローラと、
前記搬送ローラに対向して離間するように設けられ、前記搬送ローラにより搬送される前記基板を押える押えローラと、
を備え、
対向して離間する前記搬送ローラ及び前記押えローラは一組とされ、前記基板の搬送方向に沿って複数組並んでおり、
組ごとの前記搬送ローラ及び前記押えローラの離間距離は、前記基板の搬送方向に沿って短くなっている部分を有し、
前記搬送ローラは、前記搬送方向に直交する方向である前記基板の幅方向の両端と中央に対応してローラを有し、
前記押えローラは、前記基板の搬送方向に直交する方向に離間して対で設けられる上乗せローラを備え、
前記対で設けられる上乗せローラの離間距離は、前記短くなっている部分において前記搬送方向に沿って徐々に広くなっており、
前記基板は、前記搬送方向に直交する方向において反りを有する基板であり、
前記短くなっている部分の最上流に位置する前記上乗せローラの前記離間距離は、前記基板が前記押えローラに当接する前の反り状態における前記基板の、前記搬送方向に直交する方向の長さよりも短い。
前述の実施形態に係る基板搬送装置と、
前記基板搬送装置により搬送される前記基板に処理液を供給する液供給部と、
を備える。
前述の実施形態に係る基板搬送装置と、
前記基板搬送装置により搬送される前記基板を乾燥させる乾燥部と、
を備える。
第1の実施形態について図1から図4を参照して説明する。
図1及び図2に示すように、第1の実施形態に係る基板処理装置10は、処理室20と、搬送部(基板搬送装置)30と、液供給部40と、乾燥部50と、制御部60とを備えている。処理対象の基板Wとしては、例えば、ガラス基板などの矩形状の薄型基板が用いられる。例えば、基板Wの厚さは0.5~1.1mm程度であり、基板Wの反り量は7~10mm程度である。反りは矩形状基板の四方にある。
次に、前述の基板処理装置10が行う基板処理工程について説明する。
第2の実施形態について図5を参照して説明する。なお、第2の実施形態では、第1の実施形態との相違点(乾燥処理室23における搬送ローラ31A及び押えローラ31Bの離間距離)について説明し、その他の説明は省略する。
図5に示すように、第2の実施形態に係る乾燥処理室23では、組ごとの搬送ローラ31A及び押えローラ31Bの離間距離(例えば、鉛直離間距離)は、搬送方向A1に沿って徐々に短くなっており、搬送路H1の途中で基板Wの厚さ以下の基板搬送可能な所定距離で一定になっている。なお、乾燥処理室23内において、搬送方向A1の最上流(上流端)に位置する一組の搬送ローラ31A及び押えローラ31Bの離間距離は、基板Wの反り量よりも長くなっている。
第3の実施形態について図6を参照して説明する。なお、本実施形態では、第1又は第2の実施形態との相違点(上乗せローラ31cの外径)について説明し、その他の説明は省略する。なお、基板Wの搬送方向A1に直交し、シャフト31b、31dに平行な搬送ローラ31A、押えローラ31Bの並びを列と呼ぶ。また、上記したように搬送ローラ31Aはローラ31aとシャフト31bを有し、押えローラ31Bは上乗せローラ31cとシャフト31dを有する。本実施形態では、ローラ31aの外径が搬送ローラ31Aの外径に相当し、上乗せローラ31cの外径が押えローラ31Bの外径に相当し、ローラ31aと上乗せローラ31cの離間距離が、搬送ローラ31Aと押えローラ31Bの離間距離に相当する。
第4の実施形態について、図8から図11を参照して説明する。なお、本実施形態では、第1乃至第3の実施形態との相違点(一対の上乗せローラ31cの距離)について説明し、その他の説明は省略する。なお、本実施形態では、一対の上乗せローラ31cの距離が、一対の押えローラ31Bの距離に相当する。
第5の実施形態について図12、図13を参照して説明する。なお、第5の実施形態では、第1乃至4の実施形態との相違点(気体吹出部51の近傍の上乗せローラ31cの態様)について説明し、その他の説明は省略する。本実施形態でも、ローラ31aの外径が搬送ローラ31Aの外径に相当し、上乗せローラ31cの外径が押えローラ31Bの外径に相当し、ローラ31aと上乗せローラ31cの離間距離が、搬送ローラ31Aと押えローラ31Bの離間距離に相当し、気体吹出部51と上乗せローラ31cとの距離が、気体吹出部51と押えローラ31Bとの距離に相当する。
前述の説明においては、基板処理装置10として、基板Wを洗浄処理する洗浄処理装置や基板Wを乾燥処理する乾燥処理装置を例示したが、これに限るものではなく、液晶基板や半導体基板、フォトマスクなどの製造のため、例えば、レジスト処理装置、露光処理装置、現像処理装置、エッチング処理装置、剥離処理装置を用いるようにしてもよい。処理液としては、各種の薬液を用いることが可能である。
30 搬送部(基板搬送装置)
31A 搬送ローラ
31B 押えローラ
31a ローラ
31b、31d シャフト
31c 上乗せローラ
31e Oリング
40 液供給部
50 乾燥部
60 制御部
A1 搬送方向
H1 搬送路
W 基板
Claims (7)
- 反りを有する基板の、凸面側を支持するとともに、前記基板を搬送する搬送ローラと、
前記搬送ローラに対向して離間するように設けられ、前記搬送ローラにより搬送される前記基板を押える押えローラと、
を備え、
対向して離間する前記搬送ローラ及び前記押えローラは一組とされ、前記基板の搬送方向に沿って複数組並んでおり、
組ごとの前記搬送ローラ及び前記押えローラの離間距離は、前記基板の搬送方向に沿って短くなっている部分を有し、
前記搬送ローラは、前記搬送方向に直交する方向である前記基板の幅方向の両端と中央に対応してローラを有し、
前記押えローラは、前記基板の搬送方向に直交する方向に離間して対で設けられる上乗せローラを備え、
前記対で設けられる上乗せローラの離間距離は、前記短くなっている部分において前記搬送方向に沿って徐々に広くなっており、
前記基板は、前記搬送方向に直交する方向において反りを有する基板であり、
前記短くなっている部分の最上流に位置する前記上乗せローラの前記離間距離は、前記基板が前記押えローラに当接する前の反り状態における前記基板の、前記搬送方向に直交する方向の長さよりも短いことを特徴とする基板搬送装置。 - 前記基板の搬送方向の最上流に位置する一組の前記搬送ローラ及び前記押えローラの離間距離は、前記基板の反り量よりも長くなっている請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記上乗せローラは、その外周に設けられたOリングを有し、
前記組ごとの前記押えローラにおける前記Oリングの幅が、前記基板の搬送方向に沿って大きくなる部分を有する請求項1又は請求項2に記載の基板搬送装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の基板搬送装置と、
前記基板搬送装置により搬送される前記基板に処理液を供給する液供給部と、
を備える基板処理装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の基板搬送装置と、
前記基板搬送装置により搬送される前記基板を乾燥させる乾燥部と、
を備える基板処理装置。 - 前記乾燥部が設けられた乾燥処理室における前記基板の搬送方向の最上流に位置する一組の前記搬送ローラ及び前記押えローラの離間距離は、前記乾燥処理室内における複数組の前記搬送ローラ及び前記押えローラの離間距離の中で最も長いことを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
- 前記乾燥部が設けられた乾燥処理室における前記基板の搬送方向の最上流に位置する一組の前記搬送ローラ及び前記押えローラの離間距離は、前記基板搬送装置における前記基板の搬送方向の最上流に位置する一組の前記搬送ローラ及び前記押えローラの離間距離よりも短いことを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
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