JP7191145B2 - 光電変換装置、積層用基板及びカメラ - Google Patents
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Claims (14)
- それぞれが光電変換素子を含む複数の画素が配された第1半導体領域と、
前記光電変換素子で生じた電荷に基づく信号を処理する信号処理回路、および、前記複数の画素へ制御信号を供給する制御回路の少なくとも一方を含む回路が配された第2半導体領域と、
それぞれが互いに接触した2つの導電部を含み、かつ、前記複数の画素の少なくとも1つと前記回路とを電気的に接続する、複数の接続部と、を備え、
前記第1半導体領域、前記複数の接続部の1つに含まれる前記2つの導電部、および、前記第2半導体領域が第1方向に沿ってこの順に並び、
複数の接続部に含まれる第1個数の第1の接続部が第1電気ノードを構成し、
複数の接続部に含まれる前記第1個数とは異なる2以上の第2個数の第2の接続部が、前記第1電気ノードとは電気的に分離された第2電気ノードを構成し、
前記複数の画素は、前記第2電気ノードを介して前記制御信号を供給される
ことを特徴とする光電変換装置。 - 前記回路は前記信号処理回路を含み、
前記複数の画素のそれぞれは、前記光電変換素子で生じた電荷に基づく信号を受けるゲートを有するトランジスタを含み、
前記第1電気ノードは、前記トランジスタと前記信号処理回路との間の信号経路に含まれる、
ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。 - 前記回路は前記制御回路を含み、
前記第2電気ノードは、前記複数の画素の1つと前記制御回路との間の信号経路に含まれる、
ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。 - 前記回路は前記信号処理回路および前記制御回路を含み、
前記複数の画素のそれぞれは、前記光電変換素子で生じた電荷に基づく信号を受けるゲートを有するトランジスタを含み、
前記第1電気ノードは、前記トランジスタと前記信号処理回路との間の信号経路に含まれ、
前記第2電気ノードは、前記複数の画素の1つと前記制御回路との間の信号経路に含まれる、
ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。 - 前記複数の画素のそれぞれは、前記制御回路から供給される前記制御信号を受けるゲートを有するトランジスタを含み、
前記第2電気ノードは、前記トランジスタと前記制御回路との間の信号経路に含まれる、
ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。 - 前記トランジスタは、前記光電変換素子で生じた電荷を転送する転送トランジスタである
ことを特徴とする請求項5に記載の光電変換装置。 - 前記第1個数が前記第2個数より少ない
ことを特徴とする請求項2乃至6の何れか1項に記載の光電変換装置。 - 前記複数の接続部は、前記第1方向に交差する第2方向に並んだ少なくとも2つの前記第1の接続部を含み、
前記少なくとも2つの前記第1の接続部の間に、絶縁部材が配されている、
ことを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の光電変換装置。 - 前記複数の接続部は、前記第1方向に交差する第2方向に並んだ少なくとも2つの前記第2の接続部を含み、
前記少なくとも2つの前記第2の接続部の間に、絶縁部材が配されている、
ことを特徴とする請求項1乃至8の何れか1項に記載の光電変換装置。 - 前記複数の接続部のそれぞれは、前記接続部と前記第1半導体領域との間に配され、前記2つの導電部の一方に接する第1プラグと、前記接続部と前記第2半導体領域との間に配され、前記2つの導電部の他方に接する第2プラグと、を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至9の何れか1項に記載の光電変換装置。 - 前記複数の接続部と前記第1半導体領域との間に配され、前記複数の接続部の少なくとも1つと前記複数の画素の少なくとも1つとを電気的に接続する第1導電パタンと、
前記複数の接続部と前記第2半導体領域との間に配され、前記複数の接続部の少なくとも1つと前記回路とを電気的に接続する第2導電パタンと、を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至10の何れか1項に記載の光電変換装置。 - 前記信号処理回路は、前記光電変換素子で生じた電荷に基づく信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換回路を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至11の何れか1項に記載の光電変換装置。 - 請求項1乃至12の何れか1項に記載の光電変換装置と、
前記光電変換装置によって得られた信号を処理する信号処理部と、
を備えることを特徴とするカメラ。 - 積層用の基板であって、
光電変換素子で生じた電荷に基づく信号を処理するための信号処理回路、および、前記光電変換素子を含む画素へ制御信号を供給する制御回路の少なくとも一方を含む回路と、
それぞれが前記基板の表面を成す複数の導電部と、を備え、
複数の導電部に含まれる第1個数の第1の導電部が第1電気ノードを構成し、
複数の導電部に含まれる前記第1個数とは異なる2以上の第2個数の第2の導電部が、前記第1電気ノードとは電気的に分離され、前記画素へ前記制御信号を供給する第2電気ノードを構成する、
ことを特徴とする積層用の基板。
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