JP7160770B2 - 樹脂モールド装置 - Google Patents

Description

本発明は、成形前のワーク及びモールド樹脂をモールド金型に対して搬入するワーク搬入装置、成形後のワーク及び不要樹脂モールド金型から搬出する樹脂搬出装置、モールド金型及びこれらのいずれかを備えた樹脂モールド装置に関する。

上述したワークをモールド金型に搬入して外周縁部をクランプしトランスファ成形する場合、樹脂路（ランナゲート、オーバーフローゲート、エアベント等を含む）がワーク端部と交差するため、モールド樹脂が端面より漏れ易く、ワーク表面や側面に樹脂バリが発生するおそれがある。このため、ポットが設けられたポットブロックを昇降可能に設けて、ポットブロックによりワーク端部を押さえると共にブロック表面に樹脂通路（ブリッジゲート：架橋部）を形成する技術が提案されている。

例えば、モールド樹脂のワーク端面への回り込みを防ぐためには、ワーク端面を対向する金型端面と位置合わせして可及的に隙間の発生を解消しておく必要がある。このため、ワークである矩形状のストリップ基板の一端面を押動ブロックにより押動して反対側端面をポットインサートの端面に突き当てて整列させる技術が提案されている（特許文献１：特開２０１５－５１５５７号公報参照）。
また、モールド金型の半導体基板受取部をエアシリンダによりゲートブロック位置に対して両側で往復動させる往復動機構を設けたモールド金型も提案されている。（特許文献２：特開２０１５－７９８６４号公報参照）。

特開２０１５－５１５５７号公報 特開２０１５－７９８６４号公報

近年、成形品の生産性を高めるため、１台の樹脂モールド装置に複数（例えば３或いは４台）のモールド金型を備える装置が増えている。よって、特許文献１，２に開示された基板端面を押動する押動ブロックや半導体基板受取部をゲートブロック位置に対して両側で往復動させる機構は、モールド金型の構成が複雑になり易く、製造コスト（金型チェイスの対価）が高価になっていた。また、近年のように１台の樹脂モールド装置に複数（例えば３或いは４台）のモールド金型を備える装置おいては、トータルコストも高価となっていた。

また、モールド金型内に可動部（押動ブロックや往復動機構等）を設けるとすれば、樹脂漏れが発生したり、樹脂フラッシュが発生したりすると、樹脂カスが可動部に入り込み易く、可動部の動作不良の要因となるうえにメンテナンス作業にも手間がかかる。さらには、モールド金型は温度変化が激しいため、熱による変形や劣化が進み易く、可動部の部品交換頻度が高まるおそれもある。

以下に述べるいくつかの実施形態に適用される開示は、上記課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、簡略化した金型構成でワーク及び又は樹脂をモールド金型へ位置決めして受け渡すことができるワーク搬入装置及びワーク搬出装置を提供し、モールド樹脂のワーク端面への回り込みを回避できしかも動作不良の少ないモールド金型を提供し、これらを備えることで成形品質の高い樹脂モールドをコストを抑えて実現できる樹脂モールド装置を提供することにある。

以下に述べるいくつかの実施形態に関する開示は、少なくとも次の構成を備える。
即ち、ワーク及びモールド樹脂を型開きしたモールド金型へ搬入するワーク搬入装置を備えた樹脂モールド装置であって、前記ワーク搬入装置は、前記モールド金型の金型クランプ面に昇降可能に設けられたポットブロックの側方に設けられたワーク載置部に対して前記ワークを搬入する搬入装置本体と、前記搬入装置本体に設けられ、前記モールド樹脂を保持したまま前記ポットブロックのポットに投入する樹脂投入部と、前記搬入装置本体に設けられ、前記ワークを保持したまま前記樹脂投入部に接離動可能でかつ前記搬入装置本体に対してスライド機構を介してローダーハンドがスライド可能に組み付けられたワーク保持部と、を備え、前記モールド金型は、キャビティ凹部及びこれに連絡する樹脂路がリリースフィルムで覆われた第一の金型と、前記モールド樹脂が投入されるポットを備えたポットブロックが第二の金型のクランプ面より常時離間する向きに付勢され、当該ポットブロックの両側に前記ワーク搬入装置によって搬入されたワークが位置決めされて載置されるワーク載置部を有するインサートと、を有する前記第二の金型と、を備え、前記ワーク保持部は、前記ワークを保持したまま上昇位置にある前記ポットブロックと前記ワーク載置部との間に平面視で重なり合う位置まで互いに近接させかつ前記ポットブロックに前記ローダーハンドを近づける向きにスライドさせて前記ワーク載置部に受け渡し、前記ワーク搬入装置によって前記ワーク載置部に位置決めされて載置されたワークが型閉じにより前記第一の金型に前記ポットブロックが押し下げられてワーク端部を跨いで前記インサートとの間でクランプされることを特徴とする。
このように、型開きしたモールド金型に、ワーク搬入装置の搬入装置本体を進入させて、ポットブロックのポットに樹脂投入部よりモールド樹脂を投入すると共に、成形前のワークを保持したワーク保持部をスライド機構を介してローダーハンドがス上昇位置にあるポットブロックとワーク載置部との間に平面視で重なり合う位置まで互いに近接させて受け渡す。
これにより、ワーク保持部はポットブロックに干渉しないようにワークを保持したままワーク載置部に位置決めして搬入するので、モールド金型の構成を簡略化することができる。また、型閉じによりポットブロックが第一の金型に押し下げられてワーク端部を跨いでインサートとの間でクランプするので、金型側の構成が簡素となり、金型コストが低廉となり、モールド樹脂のワーク端面への回り込みを回避でき、金型内の動作不良は起き難くなるうえにメンテナンスも簡易に行える。

前記ローダーハンドには、矩形基板の幅方向両側を保持する開閉可能な開閉爪を備えていてもよい。
これにより、矩形基板をローダーハンドの開閉爪により挟み込んで確実に把持してスライド機構によりモールド金型のワーク載置部に位置合わせてスライド移動させて受け渡すことができる。

前記ワーク保持部は、一対のワークを保持して前記ポットブロックの両側に設けられたワーク載置部に対して前記一対のワークを搬入するようにしてもよい。これにより複数のワークを同時にワーク載置部に各々位置決めして搬入することができる。

前記樹脂投入部は、前記一対のワーク保持部に保持されたワークを前記金型クランプ面に受け渡す際に前記モールド樹脂を前記ポットに投入することが好ましい。
これにより、ワーク搬入装置はワーク載置部へのワーク搬入とタイミングをあわせてポットブロックのポットへモールド樹脂を供給することで、ワーク搬入作業がスムーズに実現でき、型閉じ動作を進行させて位置決めされたワークをポットブロックにより挟み込むことができる。

上述したいずれかのワーク搬入装置を備えた樹脂モールド装置においては、金型構成を簡素化して、装置コストを廉価にすることができ、動作不良も発生せず、メンテナンスも簡易に行える。

成形後のワーク及び不要樹脂を型開きしたモールド金型から搬出するワーク搬出装置を備えた樹脂モールド装置であって、前記モールド金型は、キャビティ凹部及びこれに連絡する樹脂路がリリースフィルムで覆われた第一の金型と、モールド樹脂が投入されるポットを備えたポットブロックが第二の金型のクランプ面より常時離間する向きに付勢され、当該ポットブロックの両側に前記ワーク搬入装置によって搬入されたワークが位置決めされて載置されるワーク載置部を有するインサートと、を有する前記第二の金型と、を備え、前記ワーク搬出装置は、前記モールド金型のワーク載置部に支持された成形後のワークとポットブロックに支持された不要樹脂が分離した状態で前記成形後のワーク及び前記不要樹脂を搬出する搬出装置本体と、前記搬出装置本体に設けられ、前記ポットブロック上に残留する前記不要樹脂を保持する不要樹脂回収部と、前記搬出装置本体にアンローダーハンドがスライド機構によりスライド可能に組み付けられ、前記成形後のワークを保持したまま前記不要樹脂回収部の側方で前記ポットブロックより接離動可能なワーク回収部と、を備え、前記ワーク回収部が前記ワーク載置部より前記成形後のワークを保持すると共に前記不要樹脂回収部が前記不要樹脂を保持すると、前記ワーク回収部は前記ポットブロックと干渉しない位置まで互いに離間させて前記成形後のワークを搬出することを特徴とする。

このように、型開きしたモールド金型に、搬出装置本体を進入させて、不要樹脂回収部がポットブロックに支持された不要樹脂を保持しワーク回収部が成形後のワークを保持すると共にポットブロックと干渉しない位置まで互いに離間させて成形後ワークを搬出する。
これにより、ワーク回収部はポットブロックに干渉しないように成形後のワークを保持したまま搬出するので、モールド金型の構成を簡略化することができる。

前記ワーク回収部は、前記ポットブロックの両側に設けられたワーク載置部から一対のワークを保持して搬出するようにしてもよい。これにより成形後の複数のワークを同時にワーク載置部から搬出することができる。

上述したいずれかのワーク搬出装置を備えた樹脂モールド装置においては、金型構成を簡素化して、装置コストを廉価にすることができ、動作不良も発生せず、メンテナンスも簡易に行える。

前記一方の金型には、前記ワークに向かって付勢された補助ピンが型開きにより前記リリースフィルムを介して前記ワークの樹脂封止領域以外の基板面に突き当て可能に突設されているのが好ましい。
これにより、型開きする際に、リリースフィルムを介して補助ピンがワークの樹脂封止領域以外の基板面に突き当てられるので、ポットブロックの上昇により不要樹脂とゲートブレイクすると共に基板を補助ピンが押さえることでキャビティ凹部に成形された樹脂封止部とリリースフィルムが離型し易くなる。

前記ワーク載置部には、前記ワークに設けられた複数のパイロット孔と嵌合することで位置決めする位置決めピンが複数箇所に設けられていてもよい。
これにより、ワーク載置部に渡されるワークを位置ずれすることなく位置決めすることができる。

前記ワーク載置部には、型開き時には第二の金型面より突出してワークを支持し、型閉じと共に前記ワーク載置部より第二の金型内に退避して前記ワークを前記ワーク載置部に載置する複数の支持ピンが設けられていてもよい。
これにより、型開き状態で、ワーク載置部には支持ピンが第二の金型面より突出しているので、ワーク搬入装置によってワーク両側を開閉爪に保持されたまま開閉して支持ピン上に受け渡すことができる。また、型閉じすると支持ピンが第二の金型内に退避することでワークがワーク載置部に載置することができる。

前記ワーク載置部には、成形前ワークを搬入し若しくは成形後ワークを搬出する際にワークを把持する開閉爪との干渉を回避する逃げ溝が設けられていてもよい。
これにより、第二の金型のワーク載置部に支持ピンが設けられていなくても、ワークを把持する開閉爪を開閉しても逃げ溝により干渉を回避することでワークの受け渡し若しくは受け取りを行なうことができる。

前記第一の金型は樹脂路で連結された一対のキャビティ凹部を備え、前記第二の金型はポットブロックの両側にワークが位置決めされて載置されるワーク載置部を有する一対のインサートを備えていてもよい。これにより、複数のワークをモールド金型に同時に搬入位置決めして樹脂モールドすることができる。

上述したいずれかのモールド金型を備えた樹脂モールド装置においては、装置コストを抑えて成形品質の高い樹脂モールドを実現することができる。

簡略化した金型構成でワーク及びモールド樹脂をモールド金型へ位置決めして受け渡すことができるワーク搬入装置及びワーク搬出装置を提供することができる。
また、モールド樹脂のワーク端面への回り込みを回避できしかも動作不良の少ないモールド金型を提供することができる。
また、これらを備えることで、成形品質の高い樹脂モールドをコストを抑えて実現する樹脂モールド装置を提供することができる。

ワーク搬入装置によるワーク及びモールド樹脂の金型搬入動作を示す工程説明図である。 図１に続くワーク及びモールド樹脂の金型搬入動作を示す工程説明図である。 図２に続くワーク及びモールド樹脂の金型搬入動作を示す工程説明図である。 図３に続くワーク及びモールド樹脂の金型搬入動作を示す工程説明図である。 図４に続くワーク及びモールド樹脂の金型搬入動作を示す工程説明図である。 ワーク搬入装置の下面図である。 モールド金型による樹脂モールド工程の説明図である。 図７に続く樹脂モールド工程の説明図である。 図８に続く樹脂モールド工程の説明図である。 図９に続く樹脂モールド工程の説明図である。 図１０に続く樹脂モールド工程の説明図である。 図１２Ａは上型の平面レイアウト図、図１２Ｂは下型の平面レイアウト図である。 ワーク搬出装置による成形品及び不要樹脂の金型搬出動作を示す工程説明図である。 図１３に続く成形品及び不要樹脂の金型搬出動作を示す工程説明図である。 図１４に続く成形品及び不要樹脂の金型搬出動作を示す工程説明図である。 図１５に続く成形品及び不要樹脂の金型搬出動作を示す工程説明図である。 他例に係るモールド金型へワーク搬入装置によるワーク及びモールド樹脂の搬入動作を示す工程説明図である。 図１７に続くワーク及びモールド樹脂の搬入動作を示す工程説明図である。 図１８に続くワーク及びモールド樹脂の搬入動作を示す工程説明図である。 図１９に続くワーク及びモールド樹脂の搬入動作を示す工程説明図である。 他例に係るモールド金型による樹脂モールド工程の説明図である。 図２１に続く樹脂モールド工程の説明図である。 図２１に続く樹脂モールド工程の説明図である。 下型の平面レイアウト図である。 樹脂モールド装置の平面レイアウト図である。

以下、本発明に係るワーク搬入装置、ワーク搬出装置、モールド金型及びこれらを備えた樹脂モールド装置の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。尚、モールド金型というときは、モールドベースに各々支持された上型及び下型を指し示すものとし、所謂チェイスと称するもので、型開閉機構（プレス装置）を除いたものを指し示すものとする。また、樹脂モールド装置をいうときは、モールド金型とこれを開閉する型開閉機構（一例として電動モータ及びねじ軸又はトグルリンク機構等のプレス装置；図示せず）を少なくとも備えた装置で、さらに自動化のためにはワーク及び樹脂の搬送装置、成形後のワーク（成形品）及び不要樹脂の搬出装置を備える装置である。ワークとは、リードフレームや多層基板等の四角形又は短冊状をしたもので以下矩形基板と略す。トランスファ成形の場合ポットに挿入されたプランジャを作動させるトランスファ機構、更には型閉じした際に金型内に減圧空間を形成する減圧機構等を備えているものとする。以下、モールド金型の構成を中心に説明するものとする。また、ワークＷは、チップが搭載された矩形基板を樹脂モールドする場合を想定している。モールド金型は、一例として下型が可動型で上型が固定型として説明するが、上型が可動型で下型が固定型であっても良く、双方が可動型であってもよい。

（モールド金型）
先ず、樹脂モールド装置に用いられ、ワーク及びモールド樹脂をモールド金型へ搬入するワーク搬入装置、成形後のワーク及び不要樹脂をモールド金型から搬出するワーク搬出送装置の構成についてモールド金型の構成と共に説明する。

先ず、モールド金型１の構成について図７及び図１２を参照して説明する。
型開きした一対の上型２（第一の金型）及び下型３（第二の金型）に対して、後述するワーク搬入装置によってワークＷ（例えば矩形基板）及びモールド樹脂Ｒ１（例えばタブレット樹脂）が供給される。
図１２Ａに示すように、上型２は、上型クランプ面に上型キャビティ凹部２ａ及びこれに連絡する上型カル２ｂ及び上型ランナゲート２ｃを含む樹脂路が形成されている。

図７に示すように、上型クランプ面はキャビティ凹部２ａ及び樹脂路を含めてリリースフィルムＦに覆われている。リリースフィルムＦは、例えば厚さ５０μｍ程度で耐熱性を有するフィルム材で、金型面より容易に剥離するものであって、柔軟性、伸展性を有するもの、例えば、ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＰＥＴ、ＦＥＰフィルム、フッ素含浸ガラスクロス、ポリプロピレンフィルム、ポリ塩化ビニリジン等を主成分とした単層又は複層膜が好適に用いられる。リリースフィルムＦは、枚葉フィルムであってもロール間に巻かれた長尺フォルムであってもいずれでもよい。

また、図１２Ａに示すように、上型２の上型ランナゲート２ｃと交差するワーク外形線Ｌ１とパッケージ部（樹脂封止部）外形線Ｌ２に囲まれたエリアには、複数の補助ピン２ｄがリリースフィルムＦを介してワークＷの樹脂封止領域以外の基板部分に突き当て可能に設けられている。図７に示すように、補助ピン２ｄは、上型２内に設けられた弾性部材により、上型クランプ面より突き出る向きに常時付勢されて設けられている。複数の補助ピン２ｄは、型開きにより補助ピン２ｄがワークＷ（基板部分）に向かって突き当ててパッケージ部のキャビティ凹部２ａからの離型及びゲートブレイクを促進するように設けられ、型閉じによって上型２内に退避するようになっている。

図７において、下型３の下型チェイスブロック（図示せず）幅方向中央部には、ポットブロック３ａと下型インサート３ｂが設けられている。ポットブロック３ａ内には、ポット３ｅが同心状に嵌め込まれている。ポットブロック３ａ及びポット３ｅは下型インサート３ｂに対してコイルばね３ｃにより常時下型クランプ面より離間するように上方に付勢されている。

図１２Ｂに示すように、ポットブロック３ａの上端面は対向する上型カル２ｂ及び上型ランナゲート２ｃと共に樹脂路を形成する架橋部３ｄがポットブロック３ａの両側に突設されている。図７に示すように架橋部３ｄの外周縁部は板厚が漸進薄くなるように形成され、先端はキャビティ面まで伸びており、ワークＷの端部を跨いで基板面を押さえるようになっている。また、ポットブロック３ａの架橋部３ｄどうし空間部は、後述するワークＷを把持するローダーハンド４ｆの開閉爪４ｇの逃げ空間Ｓとなっている。ポット３ｅの筒孔３ｅ１内には、プランジャ３ｆが図示しない駆動源により昇降可能に設けられている。ポット３ｅ内には、後述するローダー４によりモールド樹脂Ｒ１（例えばタブレット樹脂）が投入される。

図７に示すように、下型インサート３ｂの上面には、ワークＷが載置されるワークセット凹部３ｇ（ワーク載置部）が彫り込まれている。ワークセット凹部３ｇの深さは、ワークＷの板厚相当分に相当する。
図１２Ｂに示すように、ワークセット凹部３ｇの外形線Ｌ３より内側の仮想線Ｌ４に沿ってワークＷを吸引保持する複数の吸引孔３ｈが等間隔で周回するように配置されている。また、複数の吸引孔３ｈが設けられた仮想線Ｌ４に囲まれたワークエリアには、複数の支持ピン３ｉがワークＷを保持できるようにバランスよく配置され、昇降可能に設けられている。複数の支持ピン３ｉは、例えば図示しない下型ベースに設けられており、型開き時には下型３が下降するとワークセット凹部３ｇより突出してワークＷを支持し、型閉じにより下型３が上昇するとワークセット凹部３ｇから下型３内に退避してワークＷをワークセット凹部３ｇに載置できるようになっている。

また、図１２Ｂに示すように、ワークセット凹部３ｇのポットブロック３ａの架橋部３ｄと重なるエリアには、ワーク長手方向に沿って複数箇所にパイロットピン３ｊが突設されている。ワークＷには、ポット側長辺部に沿ってパイロットピン３ｊが嵌まり込むパイロット孔Ｗｈ（図５参照）が設けられ、上型２にもパイロットピン３ｊの逃げ穴が開いている。後述するローダー４により下型３上に搬入されたワークＷは、パイロット孔Ｗｈがパイロットピン３ｊと位置合わせして嵌め込むことにより、ワークＷがワークセット凹部３ｇに位置決めして載置される。
図７に示すようにポットブロック３ａはポット３ｅと共にコイルばね３ｃにより常時下型３のクランプ面より離間する向きに付勢されており、後述するワーク搬入装置（ローダー４）によってワークセット凹部３ｇに位置決めされて載置されたワークＷは、型閉じによりポットブロック３ａが上型２に押し下げられてワーク端部を跨いで下型インサート３ｂとの間でクランプされる。

（ローダー機構）
次に、モールド金型１にワークＷ及びモールド樹脂Ｒ１を搬入するローダー４（ワーク搬入装置）の一例について図１及び図６を参照して説明する。
図１に示すように、ローダー４は、ワークＷ及びモールド樹脂Ｒ１を型開きしたモールド金型１（下型３）へ搬入する。ローダー本体４ａは、水平面内でＸ－Ｙ方向に移動すると共に下型３の下型クランプ面に対して昇降可能に設けられている。下型３に設けられたポットブロック３ａ及びその両側に配置されたワークセット凹部３ｇに対してワークＷの位置決めを行なう。

図６に示すように、ローダー本体４ａには、モールド樹脂Ｒ１（例えばタブレット樹脂）を保持したままポットブロック３ａのポット３ｅに投入する樹脂投入部４ｂが設けられている。樹脂投入部４ｂは筒状の容器内にモールド樹脂Ｒ１を収納して搬送し、容器底部に設けられたシャッター４ｃが開閉することで、モールド樹脂Ｒ１をポット３ｅに投入するようになっている。また、図１において、樹脂投入部４ｂの両側には、ワークＷ（例えば矩形基板）を保持したまま接離動可能な一対のワーク保持部４ｄが設けられている。一対のワーク保持部４ｄは、ローダー本体４ａに対してスライド機構４ｅを介してローダーハンド４ｆがスライド可能に組み付けられている。スライド機構４ｅとしては、例えばロッドレスシリンダが用いられ、一対のローダーハンド４ｆが図１の左右方向で近接する向きと離間する向きに同時に移動させることができる。また、各ローダーハンド４ｆには、ワークＷ（例えば矩形基板）の幅方向両側を保持する開閉可能な一対の開閉爪４ｇが開閉可能に設けられている。開閉爪４ｇは、例えば図示しないシリンダ駆動により開閉するリンク機構を介して開閉操作される。

図１に示すように、ワーク保持部４ｄは、ワークＷを保持したまま上昇位置にあるポットブロック３ａとワークセット凹部３ｇとの間に平面視で重なり合う位置まで互いに近接させてワークセット凹部３ｇより突出した複数の支持ピン３ｉに受け渡すようになっている。このように、型開きしたモールド金型１に、ローダー本体４ａを進入させて、ポットブロック３ａのポット３ｅに樹脂投入部４ｂよりモールド樹脂Ｒ１を投入すると共に、成形前のワークＷを保持した一対のワーク保持部４ｄを上昇位置にあるポットブロック３ａとワークセット凹部３ｇとの間に平面視で重なり合う位置まで互いに近接させて下型３に受け渡す。樹脂投入部４ｂは、一対のワーク保持部４ｄに保持されたワークＷを下型３に受け渡す際にモールド樹脂Ｒ１をポット３ｅに投入することが好ましい。

これにより、ローダー４はワークセット凹部３ｇのワークＷの搬入のタイミングをあわせてポットブロック３ａのポット３ｅへモールド樹脂Ｒ１を供給することで、ワーク搬入作業がスムーズに実現でき、型閉じ動作を進行させて位置決めされたワークＷをポットブロック３ａの架橋部３ｄにより挟み込むことができる。
また、ワーク保持部４ｄはポットブロック３ａに干渉しないようにワークＷを保持したままスライド機構４ｅによりスライドさせてワークセット凹部３ｇに位置決めして搬入するので、モールド金型１の構成を簡略化することができる。

（アンローダー機構）
次に、モールド金型１に成形後のワークＷ（成形品）及び不要樹脂Ｒ２を搬出するアンローダー５（ワーク搬出装置）の一例について図１３を参照して説明する。
図１３に示すように、アンローダー５は、成形後のワークＷ（成形品）及び不要樹脂Ｒ２を型開きしたモールド金型１（下型３）から搬出する。
樹脂モールド後、モールド金型１を型開きすると、モールド金型１のワークセット凹部３ｇに突き出された支持ピン３ｉに成形後のワークＷが支持され、下型クランプ面より離間したポットブロック３ａに支持された不要樹脂Ｒ２が分離した状態となる。（金型成形後の動作で後述する。）この状態で、アンローダー本体５ａがモールド金型１に進入してワークＷ及び不要樹脂Ｒ２（成形品カルランナ）を搬出する。アンローダー本体５ａには、不要樹脂Ｒ２を保持したままポットブロック３ａより不要樹脂Ｒ２を回収するカル保持ブロック５ｂ（不要樹脂回収部）が設けられている。カル保持ブロック５ｂは、アンローダー本体５ａに対してコイルばね５ｃにより吊り下げ支持されている。カル保持ブロック５ｂは下端部に設けられた吸着パッド５ｂ１により成形品カルランナＲ２に押し当てられて吸着保持するようになっている。なお、本実施例は不要樹脂Ｒ２を吸着パッド５ｂ１で保持しているが、必ずしも吸着パッド５ｂ１にする必要は無く、カル保持ブロック５ｂは、開閉爪（不図示）で不要樹脂Ｒ２を保持するようにしても良い。

また、カル保持ブロック５ｂの両側には、成形後のワークＷ（成形品）を保持したまま接離動可能な一対のワーク回収部５ｄが設けられている。一対のワーク回収部５ｄは、アンローダー本体５ａに対してスライド機構５ｅを介してアンローダーハンド５ｆがスライド可能に組み付けられている。スライド機構５ｅとしては、例えばロッドレスシリンダが用いられ、一対のアンローダーハンド５ｆが図１３の左右方向で近接する向きと離間する向きに同時に移動させることができる。また、各アンローダーハンド５ｆには、ワークＷ（例えば矩形基板）の幅方向両側を保持する開閉可能な開閉爪５ｇが開閉可能に設けられている。開閉爪５ｇは、例えば図示しないシリンダ駆動により開閉するリンク機構を介して開閉操作される。

カル保持ブロック５ｂが不要樹脂Ｒ２を保持し、ワーク回収部５ｄが下型３のワークセット凹部３ｇより成形後のワークＷを保持すると共に、一対のワーク回収部５ｄは、ポットブロック３ａと干渉しない位置まで互いに離間させて成形後のワークＷを搬出する。
このように、型開きしたモールド金型１に、アンローダー本体５ａを進入させて、カル保持ブロック５ｂがポットブロック３ａに支持された不要樹脂Ｒ２を吸引保持し、一対のワーク回収部５ｄが成形後のワークＷを保持すると共にポットブロック３ａと干渉しない位置までスライド機構５ｅにより互いに離間させて成形後のワークＷを搬出する。これにより、ワーク回収部５ｄはポットブロック３ａに干渉しないように成形品を保持したままワークセット凹部３ｇより成形後のワークＷを搬出するので、モールド金型１の構成を簡略化することができる。

（ローダー動作）
ここで、樹脂モールド装置のモールド動作の一例について、モールド金型へのワーク搬入搬出動作と共に説明する。先ず、ローダー４によるワーク搬入動作について図１乃至図５を参照して説明する。
図１において、型開きした下型３に、ワークＷ（矩形基板）及びモールド樹脂Ｒ１を搬入する。下型３はポットブロック３ａ及びポット３ｅがコイルばね３ｃにより付勢されて下型クランプ面（下型インサート３ｂ上面）より上昇位置にあり、ワークセット凹部３ｇから支持ピン３ｉが突出した状態にある。
ローダー４は、樹脂投入部４ｂ内にモールド樹脂Ｒ１を保持し、一対のワーク保持部４ｄがスライド機構４ｅにより樹脂投入部４ｂより互いに離間した位置（左右に開いた位置）でローダーハンド４ｆが保持され、開閉爪４ｇにはワークＷ（矩形基板）の短手方向両側を把持した状態で、モールド金型１へ進入する。

図２において、ローダー４が下降してローダーハンド４ｆに保持されたワークＷをワークセット凹部３ｇ上に突出した複数の支持ピン３ｉに載せた状態となる。開閉爪４ｇは閉じたままワークＷを保持した状態にある。

図３において、スライド機構４ｅを作動させて、一対のローダーハンド４ｆを樹脂投入部４ｂに近づける方向にスライドさせる。このとき開閉爪４ｇは、平面視で架橋部３ｄの間に位置しているため、ポットブロック３ａと干渉することはなく、また、ワークＷの上面高さは架橋部３ｄの下面より下位置となるため、ワークＷの先端は架橋部３ｄの下に潜り込むようにスライドする。また、樹脂投入部４ｂがポットブロック３ａの直上に位置しているため、シャッター４ｃを開放してモールド樹脂Ｒ１（タブレット樹脂）をポット３ｅに投入する。

図４において、ローダーハンド４ｆの開閉爪４ｇを開放してワークＷ（矩形基板）を支持ピン３ｉ上に受け渡す。このとき、ワークＷのパイロット孔Ｗｈと下型３のパイロットピン３ｊは位置合わせされている。開閉爪４ｇは平面視でポットブロック３ａの逃げ空間Ｓ（図１２Ｂ参照）に配置されるため、架橋部３ｄと干渉することはない。
図５において、ローダー４は、ワークＷを下型３に受け渡すとローダー本体４ａが上昇してモールド金型１から退避する。また、ワークＷとモールド樹脂Ｒ１のモールド金型１への搬入が完了していることから、モールド金型１の型閉じ動作が進行する。即ち、下型３が上昇し始めるため、支持ピン３ｉが相対的に下降して、パイロットピン３ｊがパイロット孔Ｗｈに嵌め込まれてワークセット凹部３ｇにワークＷの位置が決められ、載置される。
また、ワークセット凹部３ｇに設けられた吸引孔３ｈよりエアー吸引が予め開始されるか或いはワーク載置後にエアー吸引されるため、ワークＷがワークセット凹部３ｇに位置決め固定される。

このように、型開きされたモールド金型１のうち下型３のワークセット凹部３ｇにローダー４によって搬入されたワークＷが位置決めされ、型閉じによりポットブロック３ａが上型２に押し下げられて下型インサート３ｂとの間でクランプするので、金型側の構成が簡素となり、金型コストが低廉となり、モールド樹脂Ｒ１のワーク端面への回り込みを回避でき金型内の動作不良は起き難くなるうえにメンテナンスも簡易に行える。

（モールド金型動作）
次にモールド金型１による樹脂モールド動作について、図７乃至図１１を参照して説明する。図７は、ワークＷが下型３のワークセット凹部３ｇにセットされ、ポット３ｅにタブレット樹脂Ｒが装填された状態を示す。ポットブロック３ａ及びポット３ｅはコイルばね３ｃに付勢されて上昇位置にある。また、上型２のクランプ面はリリースフィルムＦが吸着保持されており、補助ピン２ｄはリリースフィルムＦを押し下げるように上型クランプ面より突出している。

型閉じ動作が進行して、上型２がポットブロック３ａと突き当たると、ポットブロック３ａ及びポット３ｅをコイルばね３ｃの付勢に抗して押し下げる。そして、図８に示すように下型３と上型２が型閉じすると、ポットブロック３ａ及びポット３ｅが上型２と下型３にクランプされた状態となる。このときポットブロック３ａに設けられた架橋部３ｄはワークセット凹部３ｇに位置決めされたワークＷの外周縁部を跨いでワーク上面（基板面）を押さえる。これにより、上型カル２ｂ、上型ランナゲート２ｃとポットブロック３ａの上端面（架橋部３ｄ上面）との間に上型キャビティ凹部２ａに連通する樹脂路が複数箇所（図１２で５カ所）に形成される。また、上型２より突出していた補助ピン２ｄ（図７参照）は、対向するワークＷの基板面に突き当って押し戻される。

図９において、モールド金型１にはヒータ（図示せず）が内蔵されており、ポット３ｅ内で溶融したモールド樹脂Ｒ１がプランジャ３ｆの上昇により、上型カル２ｂ、上型ランナゲート２ｃとポットブロック３ａの上端面との間の樹脂路を経て上型キャビティ凹部２ａ内に充填される。上型キャビティ凹部２ａ内に充填されたモールド樹脂Ｒ１は加熱硬化する（キュア）。

図１０において、モールド金型１を型開きする。このとき、ワークセット凹部３ｇにワークＷが吸着保持されたまま下型３が下降することにより、コイルばね３ｃに付勢されたポットブロック３ａ及びポット３ｅは相対的に上昇する。これにより、成形後のワークＷ（成形品）のパッケージ部ＰＫ（樹脂封止部）とポットブロック３ａ上に形成された不要樹脂Ｒ２（成形品カルランナ）がゲートブレイクする。また、上型２より補助ピン２ｄが突き出てワークＷの基板面を押圧することで、パッケージ部ＰＫとリリースフィルムＦに覆われた上型キャビティ凹部２ａとが容易に離型する。

次に図１１において、型開きが進行すると、ワークセット凹部３ｇより支持ピン３ｉが突き出るため、ワークＷがワークセット凹部３ｇより押し上げられる。これにより、ワークＷは、パイロット孔Ｗｈからパイロットピン３ｊが抜け出た状態となる。尚、ワークセット凹部３ｇに設けられた吸引孔３ｈのエアー吸引は、継続していても良いが、或いは型開きと共に停止してもいずれでもよい。

（アンローダー動作）
最後に、アンローダー５によるワーク搬出動作について図１３乃至図１６を参照して説明する。図１３において、型開きしたモールド金型１にアンローダー５が進入する。下型３はポットブロック３ａ及びポット３ｅがコイルばね３ｃにより付勢されて下型クランプ面（下型インサート３ｂ上面）より上昇位置にあり、ワークセット凹部３ｇから支持ピン３ｉが突出した状態にある。よって、成形後のワークＷ（成形品）と不要樹脂Ｒ２（成形品カルランナ）は分離した状態にある。アンローダー５は、一対のワーク回収部５ｄがスライド機構５ｅによりカル保持ブロック５ｂに互いに近接した位置（中央によった位置）でアンローダーハンド５ｆが保持され、開閉爪５ｇは開いた状態でモールド金型１へ進入する。

図１４において、アンローダー５が下降してアンローダーハンド５ｆの開閉爪５ｇが支持ピン３ｉに支持されたワークＷの両側に進入する。このとき開閉爪５ｇは、架橋部３ｄの間に位置しているため、ポットブロック３ａと干渉することはない。そして、開閉爪５ｇを閉じることで、ワークＷを把持する。また、カル保持ブロック５ｂは不要樹脂Ｒ２（成形品カルランナ）に吸着パッド５ｂ１が押し当てられるため不要樹脂Ｒ２が吸着保持される。

図１５において、スライド機構５ｅを作動させて、一対のアンローダーハンド５ｆをカル保持ブロック５ｂより離間する方向（左右両側）に各々スライドさせる。
図１６において、アンローダー５は、成形後のワークＷ（成形品）及び不要樹脂Ｒ２（成形品カルランナ）を保持したままアンローダー本体５ａが上昇してモールド金型１から退避する。
アンローダー５は、成形品を成形品収納部に引き渡し、不要樹脂Ｒ２をスクラップボックスに回収することで、一連の樹脂モールド動作を終了する。

上述した、モールド金型１、ローダー４、アンローダー５を備えた樹脂モールド装置６としては、例えば、図２５の平面レイアウト図に示すような装置に適用することができる。
図２５において、ワーク及び樹脂の供給部６ａと成形品及び不要樹脂の収納部６ｂに挟まれて単数若しくは複数のプレス部６ｃが連結されたモジュールタイプの樹脂モールド装置６である。ローダー４は、ワーク及び樹脂の供給部６ａとプレス部６ｃとの間を往復動し、アンローダー５は、プレス部６ｃと成形品及び不要樹脂の収納部６ｂとの間を往復動する。また図示しないが、ローダー４及びアンローダー５は、ワーク及び樹脂の供給部６ａ、プレス部６ｃ、成形品及び不要樹脂の収納部６ｂに共通して設けられた移動レール沿って往復動するようにしてもよいし、個別の移動レールに沿って往復動するようになっていてもいずれでもよい。

（他の実施例１）
次に、モールド金型１の他の実施例について、図１７乃至図２４を参照して説明する。ローダー４及びアンローダー５の構成は同様であるので、同一部材に同一番号を付して説明を援用するものとする。

図１７に示すように、下型３には、ワークセット凹部３ｇに突出する複数の支持ピン３ｉが設けられていたが、金型構造を簡略化するため、複数の支持ピン３ｉを省略することも可能である。ワークセット凹部３ｇには、ワークＷを吸引する吸引孔３ｈが設けられている構成は同様である。
図１７に示すように、下型インサート３ｂの上面には、ワークＷが載置されるワークセット凹部３ｇ（ワーク載置部）が彫り込まれている。ワークセット凹部３ｇの深さは、ワークＷの板厚相当分に相当する。
図２４は、下型３の平面レイアウト図である。ワークセット凹部３ｇの外形線Ｌ３上には、ポットブロック３ａに設けられた架橋部３ｄに干渉しない位置に開閉爪４ｇの逃げ凹部３ｋが左右一対ずつ４か所に設けられている。逃げ凹部３ｋは、ワークＷを下型３との間で受け渡しする際に、ローダー４の開閉爪４ｇ、アンローダー５の開閉爪５ｇと干渉しないようにするため左右一対で開閉爪４ｇ、５ｇの配置に対応して設けられている。ワークセット凹部３ｇの外形線Ｌ３より内側の仮想線Ｌ４に沿ってワークＷを吸引保持する複数の吸引孔３ｈが等間隔で周回するように配置されている。

以下、ローダー４によるワーク搬入動作、モールド金型１による樹脂モールド動作、アンローダー５によるワーク搬出動作について異なる点を中心に説明する。尚、ローダー４による下型３へのワーク搬入動作を中心に説明し、アンローダー５によるワーク搬出動作はローダー４の説明を援用するものとする。

（ローダー動作）
図１７に示すように、先ずローダー４は、樹脂投入部４ｂ内にモールド樹脂Ｒ１を保持し、一対のワーク保持部４ｄがスライド機構４ｅにより樹脂投入部４ｂより互いに離間した位置（左右に開いた位置）でローダーハンド４ｆが保持され、開閉爪４ｇにはワークＷ（矩形基板）の短手方向両側を把持した状態で、モールド金型１へ進入する。下型３はポットブロック３ａ及びポット３ｅがコイルばね３ｃにより付勢されて下型クランプ面（下型インサート３ｂ上面）より上昇位置にある。

図１８において、ローダー本体４ａが下降してローダーハンド４ｆの開閉爪４ｇがワークＷを保持したまま、ワークＷの上面がポットブロック３ａの架橋部３ｄより下方位置となるまで開閉爪４ｇが下降する。そして、スライド機構４ｅを作動させて、一対のローダーハンド４ｆを樹脂投入部４ｂに近づける方向にスライドさせる。このとき開閉爪４ｇは、平面視で架橋部３ｄの間に位置しているため、ポットブロック３ａと干渉することはない。また、樹脂投入部４ｂがポットブロック３ａの直上に位置しているため、シャッター４ｃを開放してモールド樹脂Ｒ１（タブレット樹脂）をポット３ｅに投入する。

図１９において、ローダーハンド４ｆを更に下降させて開閉爪４ｇを逃げ凹部３ｋに進入するまで下降させ、開閉爪４ｇを開放してワークＷをワークセット凹部３ｇに受け渡す。このとき、ワークＷのパイロット孔Ｗｈと下型３のパイロットピン３ｊが位置合わせされて嵌め込まれる。また、ワークセット凹部３ｇに設けられた吸引孔３ｈよりエアー吸引が予め開始されるため、ワークＷがワークセット凹部３ｇに位置決め固定される。全体的なワークＷの動きとして、Ｌ字状、左右逆の逆Ｌ字状の軌跡を描いて動くことになる。

図２０において、ローダー４は、ワークＷを下型３に受け渡すとローダー本体４ａ上昇してモールド金型１からＸ－Ｙ方向に動き退避する。また、ワークＷとモールド樹脂Ｒ１の搬入が完了していることから、モールド金型１の型閉じ動作が進行する。

（モールド金型動作）
次にモールド金型１による樹脂モールド動作について、図２１乃至図２３を参照して説明する。図２１は、ワークＷが下型３のワークセット凹部３ｇにセットされ、ポット３ｅにタブレット樹脂Ｒ１が装填された状態を示す。ポットブロック３ａ及びポット３ｅはコイルばね３ｃに付勢されて上昇位置にある。また、上型２のクランプ面はリリースフィルムＦが吸着保持されており、補助ピン２ｄはリリースフィルムＦを押し下げるように上型クランプ面より突出している。

型閉じ動作が進行して、図２２に示すように、ポットブロック３ａ及びポット３ｅが上型２と下型３にクランプされた状態となる。このときポットブロック３ａに設けられた架橋部３ｄはワークセット凹部３ｇに位置決めされたワークＷの外周縁部を跨いでワーク上面（基板面）を押さえる。これにより、上型カル２ｂ、上型ランナゲート２ｃとポットブロック３ａの上端面（架橋部３ｄ上面）との間に上型キャビティ凹部２ａに連通する樹脂路が複数箇所（図２４で５カ所）に形成される。また、上型２より突出していた補助ピン２ｄは、対向するワークＷの基板面に突き当って押し戻される。

図２２において、モールドベース及び／又はモールド金型１にはヒータ（図示せず）が内蔵されており、ポット３ｅ内で溶融したモールド樹脂Ｒ１がプランジャ３ｆの上昇により、上型カル２ｂ、上型ランナゲート２ｃとポットブロック３ａの上端面との間の樹脂路を経て上型キャビティ凹部２ａ内に充填される。上型キャビティ凹部２ａ内に充填されたモールド樹脂Ｒ１は加熱硬化する（キュア）。

図２３において、モールド金型１を型開きする。このとき、ワークセット凹部３ｇにワークＷが吸着保持されたまま下型３が下降することにより、コイルばね３ｃに付勢されたポットブロック３ａ及びポット３ｅは相対的に上昇する。これにより、成形後のワークＷ（成形品）とポットブロック３ａ上に形成された不要樹脂（成形品カルランナ）がゲートブレイクする。また、上型２より補助ピン２ｄが突き出てワークＷの基板面を押圧することで、パッケージ部Ｐと上型キャビティ凹部２ａとが容易に離型する。

（アンローダー動作）
アンローダー５は、一対のワーク回収部５ｄがスライド機構５ｅによりカル保持ブロック５ｂに互いに近接した位置（中央によった位置）でアンローダーハンド５ｆが保持され、開閉爪５ｇは開いた状態でモールド金型１へ進入する。

図１９に示すローダー４と同様に、アンローダー５が下降してアンローダーハンド５ｆの開閉爪５ｇがワークセット凹部３ｇに載置されたワークＷの両側で逃げ凹部３ｋに進入する。このとき開閉爪５ｇは、平面視で架橋部３ｄの間に位置しているため、ポットブロック３ａと干渉することはない。また、一対の開閉爪５ｇは逃げ凹部３ｋに進入するため、ワークセット凹部３ｇと干渉することもない。そして、開閉爪５ｇを閉じることで、ワークＷを把持する。また、カル保持ブロック５ｂは不要樹脂Ｒ２（成形品カルランナ）に吸着パッド５ｂ１が押し当てられるため不要樹脂Ｒ２が吸着保持される。

図１６において、スライド機構５ｅを作動させて、一対のアンローダーハンド５ｆをカル保持ブロック５ｂより離間する方向（左右両側）に各々スライドさせる。
図１６において、アンローダー５は、成形後のワークＷ（成形品）及び不要樹脂Ｒ２（成形品カルランナ）を保持したままアンローダー本体５ａが上昇してモールド金型１から退避する。

この場合、モールド金型１の下型３のワークセット凹部３ｇに複数設けられる支持ピン３ｉを省略できるので、モールド金型１の構成をより簡略化して装置コストを抑えて成形品質の高い樹脂モールドを実現することができる。前記実施例の場合は支持ピン３ｉ上でワークＷを横スライドさせたが、他の実施例１ではワークセット凹部３ｇ上又は直ぐ上の空間上で横スライドする点が異なる。

（他の実施例２）
前記実施例及び他の実施例１は複数のポット３ｅを配置したポットブロック３ａを中心として一対のワークＷが両側で長手辺どうしが向かい合いように配置されていたが、必ずしもワークＷは２枚である必要は無く、ポットブロック３ａの側方に配置されたワーク載置部に１枚のワークＷが配置された場合であっても同様に実施可能である。

以上説明したようにこのように、型開きしたモールド金型１に、ローダー本体４ａを進入させて、ポットブロック３ａのポット３ｅに樹脂投入部４ｂよりモールド樹脂Ｒ１を投入すると共に、成形前のワークＷを保持した一対のワーク保持部４ｄを上昇位置にあるポットブロック３ａとワークセット凹部３ｇとの間に平面視で重なり合う位置まで互いに近接させて金型クランプ面に受け渡すので、ワーク保持部３ｄはポットブロック３ｄに干渉しないようにワークＷを保持したままワークセット凹部３ｇに位置決めして搬入することができる。また、型開きしたモールド金型３に、アンローダー本体５ａを進入させて、カル保持ブロック５ｂ（不要樹脂回収部）がポットブロック３ａに支持された不要樹脂Ｒ１を吸着保持し一対のワーク回収部５ｄが成形後のワークＷを保持すると共にポットブロック３ａと干渉しない位置まで互いに離間させて成形後ワークを搬出することができる。以上により、モールド金型１の構成を簡略化することができる。

このように、型開きされたモールド金型１に対してワークセット凹部３ｇにローダー４によって搬入されてワークＷがポットブロック３ａと干渉することなく位置決めされ、成形後のワークＷ及び不要樹脂Ｒ２がアンローダー５によりワークセット凹部３ｇからポットブロック３ａと干渉することなく取り出されるので、金型側の構成が簡素となり、金型コストが低廉となり、モールド樹脂Ｒ１のワーク端面への回り込みを回避でき金型内の動作不良は起き難くなるうえにメンテナンスも簡易に行える。

上述したモールド金型１を備えた樹脂モールド装置においては、装置コストを抑えて成形品質の高い樹脂モールドを実現ですることができる。

尚、モールド樹脂Ｒ１はタブレット樹脂に限らず、例えば顆粒状樹脂、粉体状樹脂、液状樹脂等を供給してもよい。
モールド金型１は上型２にキャビティ凹部が形成されていたが下型３にキャビティ凹部が設けられていてもよい。

Ｗ ワーク Ｗｈ パイロット孔 Ｒ１ モールド樹脂 Ｒ２ 不要樹脂 １ モールド金型 ２ 上型 ２ａ 上型キャビティ凹部 ２ｂ 上型カル ２ｃ 上型ランナゲート ２ｄ 補助ピン ３ 下型 ３ａ ポットブロック ３ｂ 下型インサート ３ｃ コイルばね ３ｄ 架橋部 ３ｅ ポット ３ｆ プランジャ ３ｇ ワークセット凹部 ３ｈ 吸引孔 ３ｉ 支持ピン ３ｊ パイロットピン ３ｋ 逃げ凹部 ４ ローダー ４ａ ローダー本体 ４ｂ 樹脂投入部 ４ｃ シャッター ４ｄ ワーク保持部 ４ｅ スライド機構 ４ｆ ローダーハンド ４ｇ 開閉爪 ５ アンローダー ５ａ アンローダー本体 ５ｂ カル保持ブロック ５ｂ１ 吸着パッド ５ｃ コイルばね ５ｄ ワーク回収部 ５ｅ スライド機構 ５ｆ アンローダーハンド ５ｇ 開閉爪 ６ 樹脂モールド装置 ６ａ ワーク及び樹脂の供給部 ６ｂ 成形品及び不要樹脂の収納部 ６ｃ プレス部

Claims (11)

1. ワーク及びモールド樹脂を型開きしたモールド金型へ搬入するワーク搬入装置を備えた樹脂モールド装置であって、
   前記ワーク搬入装置は、
   前記モールド金型の金型クランプ面に昇降可能に設けられたポットブロックの側方に設けられたワーク載置部に対して前記ワークを搬入する搬入装置本体と、
   前記搬入装置本体に設けられ、前記モールド樹脂を保持したまま前記ポットブロックのポットに投入する樹脂投入部と、
   前記搬入装置本体に設けられ、前記ワークを保持したまま前記樹脂投入部に接離動可能でかつ前記搬入装置本体に対してスライド機構を介してローダーハンドがスライド可能に組み付けられたワーク保持部と、を備え、
   前記モールド金型は、
   キャビティ凹部及びこれに連絡する樹脂路がリリースフィルムで覆われた第一の金型と、
   前記モールド樹脂が投入されるポットを備えたポットブロックが第二の金型のクランプ面より常時離間する向きに付勢され、当該ポットブロックの両側に前記ワーク搬入装置によって搬入されたワークが位置決めされて載置されるワーク載置部を有するインサートと、を有する前記第二の金型と、を備え、
   前記ワーク保持部は、前記ワークを保持したまま上昇位置にある前記ポットブロックと前記ワーク載置部との間に平面視で重なり合う位置まで互いに近接させかつ前記ポットブロックに前記ローダーハンドを近づける向きにスライドさせて前記ワーク載置部に受け渡し、前記ワーク搬入装置によって前記ワーク載置部に位置決めされて載置されたワークが型閉じにより前記第一の金型に前記ポットブロックが押し下げられてワーク端部を跨いで前記インサートとの間でクランプされることを特徴とする樹脂モールド装置。
2. 前記ローダーハンドには、矩形基板の幅方向両側を保持する開閉可能な開閉爪を備えている請求項１記載の樹脂モールド装置。
3. 前記ワーク保持部は、一対のワークを保持して前記ポットブロックの両側に設けられたワーク載置部に対して前記一対のワークを搬入する請求項１又は請求項２記載の樹脂モールド装置。
4. 前記樹脂投入部は、一対のワーク保持部に保持されたワークを前記金型クランプ面に受け渡す際に前記モールド樹脂を前記ポットに投入する請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の樹脂モールド装置。
5. 成形後のワーク及び不要樹脂を型開きしたモールド金型から搬出するワーク搬出装置を備えた樹脂モールド装置であって、
   前記モールド金型は、
   キャビティ凹部及びこれに連絡する樹脂路がリリースフィルムで覆われた第一の金型と、
   モールド樹脂が投入されるポットを備えたポットブロックが第二の金型のクランプ面より常時離間する向きに付勢され、当該ポットブロックの両側に前記ワーク搬入装置によって搬入されたワークが位置決めされて載置されるワーク載置部を有するインサートと、を有する前記第二の金型と、を備え、
   前記ワーク搬出装置は、前記モールド金型のワーク載置部に支持された成形後のワークとポットブロックに支持された不要樹脂が分離した状態で前記成形後のワーク及び前記不要樹脂を搬出する搬出装置本体と、
   前記搬出装置本体に設けられ、前記ポットブロック上に残留する前記不要樹脂を保持する不要樹脂回収部と、
   前記搬出装置本体にアンローダーハンドがスライド機構によりスライド可能に組み付けられ、前記成形後のワークを保持したまま前記不要樹脂回収部の側方で前記ポットブロックより接離動可能なワーク回収部と、を備え、
   前記ワーク回収部が前記ワーク載置部より前記成形後のワークを保持すると共に前記不要樹脂回収部が前記不要樹脂を保持すると、前記ワーク回収部は前記ポットブロックと干渉しない位置まで互いに離間させて前記成形後のワークを搬出することを特徴とする樹脂モールド装置。
6. 前記ワーク回収部は、前記ポットブロックの両側に設けられたワーク載置部から一対のワークを保持して搬出する請求項５記載の樹脂モールド装置。
7. 一方の金型には、前記ワークに向かって付勢された補助ピンが型開きにより前記リリースフィルムを介して前記ワークの樹脂封止領域以外の基板面に突き当て可能に設けられている請求項５記載の樹脂モールド装置。
8. 前記ワーク載置部には、前記ワークに設けられた複数のパイロット孔と嵌合することで位置決めする位置決めピンが複数箇所に設けられている請求項５又は請求項６記載の樹脂モールド装置。
9. 前記ワーク載置部には、型開き時には第二の金型面より突出してワークを支持し、型閉じと共に前記ワーク載置部より前記第二の金型内に退避して前記ワークを前記ワーク載置部に載置する複数の支持ピンが設けられている請求項５乃至請求項８のいずれかに記載の樹脂モールド装置。
10. 前記ワーク載置部には、成形前ワークを搬入し若しくは成形後ワークを搬出する際にワークを把持する開閉爪との干渉を回避する逃げ溝が設けられている請求項５乃至請求項９のいずれかに記載の樹脂モールド装置。
11. 前記第一の金型は樹脂路で連結された一対のキャビティ凹部を備え、前記第二の金型はポットブロックの両側にワークが位置決めされて載置されるワーク載置部を有する一対のインサートを備える請求項５乃至請求項１０のいずれかに記載の樹脂モールド装置。

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