CN112289690A - 工件搬入装置、工件搬出装置、塑封模具及树脂塑封装置 - Google Patents

工件搬入装置、工件搬出装置、塑封模具及树脂塑封装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种工件搬入装置、工件搬出装置、塑封模具及树脂塑封装置，可利用经简化的模具结构来对塑封模具定位并交付工件和/或树脂。在对设于进胶套筒块(3a)(可升降地设于塑封模具(1)的下模夹持面)的侧方的工件安置凹部(3g)交付工件(W)时，工件保持部(4d)以保持工件(W)的状态，相互接近至处于上升位置的进胶套筒块(3a)与工件安置凹部(3g)之间在平面视时重合的位置，将工件(W)交付给工件安置凹部(3g)。

Description

工件搬入装置、工件搬出装置、塑封模具及树脂塑封装置
技术领域
本发明涉及一种对塑封模具搬入成形前的工件(work)及塑封树脂(mould resin)的工件搬入装置、将成形后的工件及多余树脂从塑封模具中搬出的树脂搬出装置、塑封模具、以及包括所述装置及模具的任一个的树脂塑封装置。
背景技术
在将所述工件搬入至塑封模具并夹住外周缘部进行转注成形时，存在如下担忧，即：由于树脂路(包含流道浇口(runner gate)、溢流浇口(overflow gate)、排气槽(airvent)等)与工件端部交叉，导致塑封树脂容易从端面泄漏，在工件表面或侧面产生树脂毛边。因此提出了下述技术：将设有进胶套筒的进胶套筒块设置成可升降，利用进胶套筒块来按压工件端部，并且在块表面形成树脂通路(桥接浇口(bridge gate)：桥接部)。
例如，为了防止塑封树脂绕向工件端面，需要将工件端面与相向的模具端面对位，并尽可能地消除间隙的产生。因此提出了下述技术：利用推动块来推动作为工件的矩形状的条带基板的一端面，使相反侧端面碰触进胶套筒嵌件(pot insert)的端面并对齐(参照专利文献1：日本专利特开2015-51557号公报)。
而且，也提出了设有往返移动机构的塑封模具，所述往返移动机构利用空气气缸(aircylinder)使塑封模具的半导体基板接受部相对于浇口块位置在两侧往返移动(参照专利文献2：日本专利特开2015-79864号公报)。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2015-51557号公报
[专利文献2]日本专利特开2015-79864号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
近年来，为了提高成形品的生产性，在一台树脂塑封装置中包括多台(例如三台或四台)塑封模具的装置增多。因此，对于专利文献1、专利文献2所公开的推动基板端面的推动块或使半导体基板接受部相对于浇口块位置在两侧往返移动的机构来说，塑封模具的结构容易变得复杂，制造成本(模具套的代价)变得昂贵。而且，对于近年那样在一台树脂塑封装置中包括多台(例如三台或四台)塑封模具的装置来说，总成本也变得昂贵。
而且，若在塑封模具内设置可动部(推动块或往返移动机构等)，则产生树脂泄漏或产生树脂飞边(flash)，这样一来，树脂渣容易进入可动部，导致可动部的动作不良，而且维护作业也耗费工夫。进而，塑封模具的温度变化剧烈，因而容易因热而变形或劣化，可动部的零件更换频率也可能提高。
[解决问题的技术手段]
以下将述的若干实施方式所适用的公开是为了解决所述问题而成，其目的在于提供一种工件搬入装置、工件搬出装置、塑封模具及树脂塑封装置，所述工件搬入装置及工件搬出装置可利用经简化的模具结构来对塑封模具定位并交付工件和/或树脂，所述塑封模具可避免塑封树脂绕向工件端面而且动作不良少，所述树脂塑封装置通过包括所述工件搬入装置、工件搬出装置及塑封模具，从而抑制成本而实现成形品质高的树脂塑封。
与以下将述的若干实施方式有关的公开至少包括下述结构。
即，一种工件搬入装置，向开模的塑封模具搬入工件及塑封树脂，包括：搬入装置本体，对设于进胶套筒块的侧方的工件载置部搬入所述工件，所述进胶套筒块以能够升降的方式设于所述塑封模具的模具夹持面；树脂投入部，设于所述搬入装置本体，以保持所述塑封树脂的状态投入至所述进胶套筒块的进胶套筒；工件保持部，设于所述搬入装置本体，以保持所述工件的状态，以能够接近或远离所述树脂投入部的方式移动，所述工件保持部以保持所述工件的状态，相互接近至处于上升位置的所述进胶套筒块与所述工件载置部之间在平面视时重合的位置，将所述工件交付给所述工件载置部。
这样，使搬入装置本体进入开模的塑封模具，利用树脂投入部向进胶套筒块的进胶套筒投入塑封树脂，并且使保持成形前的工件的工件保持部相互接近至处于上升位置的进胶套筒块与工件载置部之间在平面视时重合的位置，并交付工件。
由此，工件保持部以不干扰进胶套筒块的方式，以保持工件的状态在工件载置部定位并搬入所述工件，因而可简化塑封模具的结构。
所述工件保持部也可相对于所述搬入装置本体经由滑动机构以能够滑动的方式组装有装载手，在装载手包括开合爪，此开合爪保持矩形基板的宽度方向两侧并且能够开合。
由此，可利用装载手的开合爪夹持并可靠地握持矩形基板，通过滑动机构使所述矩形基板与塑封模具的工件载置部对位，滑动移动而交付所述矩形基板。
所述工件保持部也可保持一对工件，且对设于所述进胶套筒块的两侧的工件载置部搬入所述一对工件。由此，可将多个工件同时分别定位并搬入至工件载置部。
所述树脂投入部优选在将由所述一对工件保持部所保持的工件交付给所述模具夹持面时，将所述塑封树脂投入至所述进胶套筒。
由此，工件搬入装置与向工件载置部搬入工件的时机一致而向进胶套筒块的进胶套筒供给塑封树脂，由此可顺利地实现工件搬入作业，可进行合模动作并利用进胶套筒块来夹持经定位的工件。
对于包括所述任一工件搬入装置的树脂塑封装置来说，可简化模具结构，使装置成本廉价，也不会产生动作不良，维护也可简易地进行。
一种工件搬出装置，将成形后的工件及多余树脂从开模的塑封模具中搬出，包括：搬出装置本体，以由所述塑封模具的工件载置部所支撑的成形后的工件与由进胶套筒块所支撑的多余树脂分离的状态，搬出所述成形后的工件及所述多余树脂；多余树脂回收部，设于所述搬出装置本体，保持所述进胶套筒块上残留的所述多余树脂；以及工件回收部，设于所述搬出装置本体，以保持所述成形后的工件的状态，在所述多余树脂回收部的侧方以能够接近或远离的方式移动，所述工件回收部从所述工件载置部保持所述成形后的工件并且所述多余树脂回收部保持所述多余树脂后，所述工件回收部相互远离至不与所述进胶套筒块干扰的位置，将所述成形后的工件搬出。
这样，使搬出装置本体进入开模的塑封模具，多余树脂回收部保持由进胶套筒块所支撑的多余树脂，工件回收部保持成形后的工件，并且相互远离至不与进胶套筒块干扰的位置，将成形后工件搬出。
由此，工件回收部以不干扰进胶套筒块的方式，以保持成形后的工件的状态进行搬出，因而可简化塑封模具的结构。
所述工件回收部也可从设于所述进胶套筒块的两侧的工件载置部保持并搬出一对工件。由此，可将成形后的多个工件同时从工件载置部搬出。
对于包括所述任一工件搬出装置的树脂塑封装置来说，可简化模具结构，使装置成本廉价，也不会产生动作不良，维护也可简易地进行。
一种塑封模具，通过工件搬入装置向开模的模具间供给工件及塑封树脂，包括：第一模具，模腔凹部及与所述模腔凹部连接的树脂路由离型膜覆盖；以及第二模具，具有进胶套筒块及嵌件，所述进胶套筒块包括供投入所述塑封树脂的进胶套筒，所述嵌件在所述进胶套筒块的两侧具有工件载置部，所述工件载置部将由所述工件搬入装置所搬入的工件定位并进行载置，所述进胶套筒块一直向远离所述第二模具的夹持面的方向受到施力，对于由所述工件搬入装置定位并载置于所述工件载置部的工件来说，通过合模，所述进胶套筒块被所述第一模具下压而跨越所述工件端部，所述工件在所述进胶套筒块与所述嵌件之间被夹住。
这样，由工件搬入装置搬入至开模的塑封模具中第二模具的工件载置部的工件经定位，通过合模，进胶套筒块被第一模具下压而跨越工件端部，在与嵌件之间夹持所述工件，因而模具侧的结构变得简单，模具成本变得低廉，可避免塑封树脂绕向工件端面，不易引起模具内的动作不良，而且维护也可简易地进行。
优选所述其中一个模具中，朝向所述工件受到施力的辅助销以通过开模而经由所述离型膜能够碰触所述工件的树脂密封区域以外的基板面的方式突设。
由此，在开模时，辅助销经由离型膜而碰触工件的树脂密封区域以外的基板面，因而通过进胶套筒块的上升而与多余树脂进行浇口切断，并且通过辅助销按压基板，从而在模腔凹部成形的树脂密封部与离型膜容易脱模。
在所述工件载置部，也可在多处设有定位销，所述定位销通过与设于所述工件的多个定位孔嵌合从而进行定位。
由此，可将交付给工件载置部的工件无位置偏移地进行定位。
在所述工件载置部，也可设有多个支撑销，所述支撑销在开模时从第二模具面突出而支撑工件，随着合模而从所述工件载置部退避至第二模具内，将所述工件载置于所述工件载置部。
由此，在开模状态下，在工件载置部中支撑销从第二模具面突出，因而可通过工件搬入装置以使开合爪保持工件两侧的状态进行开合，将工件交付到支撑销上。而且，若合模则支撑销退避至第二模具内，由此工件可载置于工件载置部。
在所述工件载置部，也可设有避让槽，所述避让槽在搬入成形前工件或搬出成形后工件时，避免与握持工件的开合爪发生干扰。
由此，即便不在第二模具的工件载置部设有支撑销，即便将握持工件的开合爪进行开合，也可通过避让槽来回避干扰，由此进行工件的交付或接受。
也可使所述第一模具包括经树脂路连结的一对模腔凹部，所述第二模具包括一对嵌件，所述一对嵌件在进胶套筒块的两侧具有将工件定位并载置的工件载置部。由此，可在塑封模具同时搬入定位多个工件并进行树脂塑封。
对于包括所述任一塑封模具的树脂塑封装置来说，可抑制装置成本，实现成形品质高的树脂塑封。
[发明的效果]
本发明可提供一种工件搬入装置及工件搬出装置，可利用经简化的模具结构来对塑封模具定位并交付工件及塑封树脂。
而且，本发明可提供一种塑封模具，可避免塑封树脂绕向工件端面而且动作不良少。
而且，本发明可提供一种树脂塑封装置，通过包括所述工件搬入装置、工件搬出装置及塑封模具，从而抑制成本，实现成形品质高的树脂塑封。
附图说明
图1为表示利用工件搬入装置进行的工件及塑封树脂的模具搬入动作的工序说明图。
图2为表示继图1之后的工件及塑封树脂的模具搬入动作的工序说明图。
图3为表示继图2之后的工件及塑封树脂的模具搬入动作的工序说明图。
图4为表示继图3之后的工件及塑封树脂的模具搬入动作的工序说明图。
图5为表示继图4之后的工件及塑封树脂的模具搬入动作的工序说明图。
图6为工件搬入装置的下表面图。
图7为利用塑封模具进行的树脂塑封工序的说明图。
图8为继图7之后的树脂塑封工序的说明图。
图9为继图8之后的树脂塑封工序的说明图。
图10为继图9之后的树脂塑封工序的说明图。
图11为继图10之后的树脂塑封工序的说明图。
图12的A为上模的平面布局图，图12的B为下模的平面布局图。
图13为表示利用工件搬出装置进行的成形品及多余树脂的模具搬出动作的工序说明图。
图14为表示继图13之后的成形品及多余树脂的模具搬出动作的工序说明图。
图15为表示继图14之后的成形品及多余树脂的模具搬出动作的工序说明图。
图16为表示继图15之后的成形品及多余树脂的模具搬出动作的工序说明图。
图17为表示向其他例的塑封模具利用工件搬入装置进行的工件及塑封树脂的搬入动作的工序说明图。
图18为表示继图17之后的工件及塑封树脂的搬入动作的工序说明图。
图19为表示继图18之后的工件及塑封树脂的搬入动作的工序说明图。
图20为表示继图19之后的工件及塑封树脂的搬入动作的工序说明图。
图21为利用其他例的塑封模具进行的树脂塑封工序的说明图。
图22为继图21之后的树脂塑封工序的说明图。
图23为继图21之后的树脂塑封工序的说明图。
图24为下模的平面布局图。
图25为树脂塑封装置的平面布局图。
符号的说明
1：塑封模具
2：上模
2a：上模模腔凹部
2b：上模余料部
2c：上模流道浇口
2d：辅助销
3：下模
3a：进胶套筒块
3b：下模嵌件
3c：线圈弹簧
3d：桥接部
3e：进胶套筒
3e1：筒孔
3f：挤胶头
3g：工件安置凹部
3h：吸引孔
3i：支撑销
3j：定位销
3k：避让凹部
4：装载器
4a：装载器本体
4b：树脂投入部
4c：闸板
4d：工件保持部
4e：滑动机构
4f：装载手
4g：开合爪
5：卸载器
5a：卸载器本体
5b：余料保持块
5b1：吸附垫
5c：线圈弹簧
5d：工件回收部
5e：滑动机构
5f：卸载手
5g：开合爪
6：树脂塑封装置
6a：工件及树脂的供给部
6b：成形品及多余树脂的收纳部
6c：加压部
F：离型膜
L1：工件外形线
L2：封装部(树脂密封部)外形线
L3：外形线
L4：假想线
PK：封装部(树脂密封部)
R1：塑封树脂
R2：多余树脂
S：避让空间
W：工件
Wh：定位孔
具体实施方式
以下，关于本发明的工件搬入装置、工件搬出装置、塑封模具以及包括所述装置及模具的树脂塑封装置的适宜的实施方式，与附图一起进行详述。而且，当提及塑封模具时，是指分别支撑于模架(mould base)的上模及下模，称为所谓模套(chase)，是指将模开合机构(加压装置)除外。而且，当提及树脂塑封装置时，为至少包括塑封模具及对所述塑封模具进行开合的模开合机构(作为一例，为电动马达及螺旋轴或肘杆机构等加压装置；未图示)的装置，此装置还以自动化为目的而包括工件及树脂的搬送装置、成形后的工件(成形品)及多余树脂的搬出装置。所谓工件，是导线架(lead frame)或多层基板等呈四边形或短条状的物品，以下简称为矩形基板。包括在转注成形的情况下插入至进胶套筒而使挤胶头(plunger)运转的转注机构，还包括在合模时在模具内形成减压空间的减压机构等。以下，以塑封模具的结构为中心进行说明。而且，关于工件W，设想对搭载了芯片的矩形基板进行树脂塑封的情况。关于塑封模具，作为一例，设下模为可动模且上模为固定模来进行说明，但也可使上模为可动模且下模为固定模，也可使两者为可动模。
(塑封模具)
首先，关于用于树脂塑封装置的向塑封模具搬入工件及塑封树脂的工件搬入装置、将成形后的工件及多余树脂从塑封模具中搬出的工件搬出搬送装置的结构，与塑封模具的结构一起进行说明。
首先，参照图7及图12对塑封模具1的结构进行说明。
对于开模的一对上模2(第一模具)及下模3(第二模具)，通过后述的工件搬入装置来供给工件W(例如矩形基板)及塑封树脂R1(例如树脂锭片)。
如图12的A所示，上模2中，在上模夹持面形成有上模模腔凹部2a、以及与其连接的包含上模余料部2b及上模流道浇口2c的树脂路。
如图7所示，上模夹持面包含模腔凹部2a及树脂路，由离型膜F覆盖。离型膜F例如为厚度50μm左右且具有耐热性的膜材，容易自模具面剥离，可适宜地使用具有柔软性、伸展性的膜，例如以PTFE(Polytetrafluoroethylene，聚四氟乙烯)、ETFE(Ethylene-Tetrafluoroethylene，乙烯-四氟乙烯共聚物)、PET(Polyethylene terephthalate，聚对苯二甲酸乙二酯)、FEP(Fluorinated ethylene propylene，氟化乙烯丙烯)膜、氟含浸玻璃布、聚丙烯膜、聚氯乙烯等作为主成分的单层或多层膜。离型膜F可为单张膜、卷绕在辊间的长条膜的任一种。
而且，如图12的A所示，在上模2的由与上模流道浇口2c交叉的工件外形线L1和封装部(树脂密封部)外形线L2所包围的区域中，以可经由离型膜F而碰触工件W的树脂密封区域以外的基板部分的方式设有多个辅助销2d。如图7所示，辅助销2d是由设于上模2内的弹性构件向从上模夹持面突出的方向一直施力而设置。多个辅助销2d设置成通过开模而辅助销2d碰触工件W(基板部分)，促进封装部自模腔凹部2a的脱模及浇口切断(gate break)，且通过合模而退避至上模2内。
图7中，在下模3的下模套块(未图示)宽度方向中央部，设有进胶套筒块3a及下模嵌件3b。在进胶套筒块3a内同心状地嵌入有进胶套筒3e。进胶套筒块3a及进胶套筒3e是相对于下模嵌件3b而由线圈弹簧3c一直以远离下模夹持面的方式向上方施力。
如图12的B所示，进胶套筒块3a的上端面中，与相向的上模余料部2b及上模流道浇口2c一起形成树脂路的桥接部3d在进胶套筒块3a的两侧突设。如图7所示，桥接部3d的外周缘部以板厚逐渐变薄的方式形成，前端延伸至模腔面，跨越工件W的端部而按压基板面。而且，进胶套筒块3a的桥接部3d彼此的空间部成为后述的握持工件W的装载手4f的开合爪4g的避让空间S。在进胶套筒3e的筒孔3e1内，以通过未图示的驱动源而可升降的方式设有挤胶头3f。在进胶套筒3e内，通过后述的装载器4而投入塑封树脂R1(例如树脂锭片)。
如图7所示，在下模嵌件3b的上表面，挖入有供载置工件W的工件安置凹部3g(工件载置部)。工件安置凹部3g的深度相当于工件W的板厚近似程度。
如图12的B所示，沿着较工件安置凹部3g的外形线L3更靠内侧的假想线L4，等间隔地以环绕的方式配置有吸引保持工件W的多个吸引孔3h。而且，由设有多个吸引孔3h的假想线L4所包围的工件区域中，以可保持工件W的方式以良好的平衡配置有多个支撑销3i，且所述多个支撑销3i设置成可升降。多个支撑销3i例如设于未图示的下模座，在开模时若下模3下降，则从工件安置凹部3g突出而支撑工件W，若因合模而下模3上升，则从工件安置凹部3g退避至下模3内，而可将工件W载置于工件安置凹部3g。
而且，如图12的B所示，在工件安置凹部3g的与进胶套筒块3a的桥接部3d重叠的区域，沿着工件长度方向在多处突设有定位销3j。在工件W，设有沿着进胶套筒侧长边部而供定位销3j嵌入的定位孔Wh(参照图5)，在上模2也开有定位销3j的避让孔。由后述的装载器4搬入至下模3上的工件W通过定位孔Wh与定位销3j对位并嵌入，从而将工件W定位并载置于工件安置凹部3g。
如图7所示，进胶套筒块3a与进胶套筒3e一起由线圈弹簧3c一直向远离下模3的夹持面的方向施力，对于由后述的工件搬入装置(装载器4)定位并载置于工件安置凹部3g的工件W来说，通过合模，进胶套筒块3a被上模2下压而跨越工件端部，所述工件W在所述进胶套筒块3a与下模嵌件3b之间被夹住。
(装载器机构)
接下来，参照图1及图6对将工件W及塑封树脂R1搬入至塑封模具1的装载器4(工件搬入装置)的一例进行说明。
如图1所示，装载器4向开模的塑封模具1(下模3)搬入工件W及塑封树脂R1。装载器本体4a设置成在水平面内在X-Y方向移动，并且可相对于下模3的下模夹持面而升降。相对于设于下模3的进胶套筒块3a及配置于其两侧的工件安置凹部3g，进行工件W的定位。
如图6所示，在装载器本体4a设有树脂投入部4b，此树脂投入部4b以保持塑封树脂R1(例如树脂锭片)的状态将其投入至进胶套筒块3a的进胶套筒3e。树脂投入部4b在筒状的容器内收纳塑封树脂R1并进行搬送，通过设于容器底部的闸板4c开合，从而将塑封树脂R1投入至进胶套筒3e。而且，图1中，在树脂投入部4b的两侧，设有以保持工件W(例如矩形基板)的状态可接近或远离地移动的一对工件保持部4d。一对工件保持部4d相对于装载器本体4a经由滑动机构4e而可滑动地组装有装载手4f。作为滑动机构4e，例如可使用无杆气缸(rodless cylinder)，一对装载手4f可在图1的左右方向，向接近的方向及远离的方向同时移动。而且，在各装载手4f，可开合地设有保持工件W(例如矩形基板)的宽度方向两侧的、可开合的一对开合爪4g。开合爪4g经由连杆机构而进行开合操作，所述连杆机构例如通过未图示的气缸驱动而开合。
如图1所示，工件保持部4d以保持工件W的状态，相互接近至处于上升位置的进胶套筒块3a与工件安置凹部3g之间在平面视时重合的位置，将工件W交付给从工件安置凹部3g突出的多个支撑销3i。这样，使装载器本体4a进入开模的塑封模具1，从树脂投入部4b向进胶套筒块3a的进胶套筒3e投入塑封树脂R1，并且使保持成形前的工件W的一对工件保持部4d，相互接近至处于上升位置的进胶套筒块3a与工件安置凹部3g之间在平面视时重合的位置，将工件W交付给下模3。树脂投入部4b优选在将由一对工件保持部4d所保持的工件W交付给下模3时，向进胶套筒3e投入塑封树脂R1。
由此，装载器4与工件安置凹部3g的工件W的搬入时机一致而向进胶套筒块3a的进胶套筒3e供给塑封树脂R1，由此可顺利地实现工件搬入作业，可进行合模动作而由进胶套筒块3a的桥接部3d夹持经定位的工件W。
而且，工件保持部4d以不干扰进胶套筒块3a的方式，以保持工件W的状态通过滑动机构4e滑动而定位并搬入至工件安置凹部3g，因此可简化塑封模具1的结构。
(卸载器机构)
接下来，参照图13对在塑封模具1中搬出成形后的工件W(成形品)及多余树脂R2的卸载器5(工件搬出装置)的一例进行说明。
如图13所示，卸载器5将成形后的工件W(成形品)及多余树脂R2从开模的塑封模具1(下模3)中搬出。
若在树脂塑封后将塑封模具1开模，则成形后的工件W支撑于在塑封模具1的工件安置凹部3g突出的支撑销3i，由远离下模夹持面的进胶套筒块3a支撑的多余树脂R2成为经分离的状态(下文中将在模具成形后的动作中描述)。此状态下，卸载器本体5a进入塑封模具1而搬出工件W及多余树脂R2(成形品余料流道)。在卸载器本体5a中，设有以保持多余树脂R2的状态从进胶套筒块3a中回收多余树脂R2的余料保持块5b(多余树脂回收部)。余料保持块5b是相对于卸载器本体5a而由线圈弹簧5c悬吊支撑。余料保持块5b通过设于下端部的吸附垫5b1而被按压于成形品余料流道R2并吸附保持。此外，本实施例利用吸附垫5b1来保持多余树脂R2，但未必需要设为吸附垫5b1，余料保持块5b也可通过开合爪(未图示)来保持多余树脂R2。
而且，在余料保持块5b的两侧，设有以保持成形后的工件W(成形品)的状态而可接近或远离地移动的一对工件回收部5d。一对工件回收部5d相对于卸载器本体5a经由滑动机构5e而可滑动地组装有卸载手5f。作为滑动机构5e，例如可使用无杆气缸，一对卸载手5f可在
图13的左右方向，向接近的方向和远离的方向同时移动。而且，在各卸载手5f，可开合地设有保持工件W(例如矩形基板)的宽度方向两侧的、可开合的开合爪5g。开合爪5g经由连杆机构进行开合操作，所述连杆机构例如通过未图示的气缸驱动而开合。
余料保持块5b保持多余树脂R2，工件回收部5d从下模3的工件安置凹部3g保持成形后的工件W，并且一对工件回收部5d相互远离至不与进胶套筒块3a干扰的位置，将成形后的工件W搬出。
这样，使卸载器本体5a进入开模的塑封模具1，余料保持块5b吸引保持由进胶套筒块3a所支撑的多余树脂R2，一对工件回收部5d保持成形后的工件W，并且通过滑动机构5e而相互远离至不与进胶套筒块3a干扰的位置，将成形后的工件W搬出。由此，工件回收部5d以不干扰进胶套筒块3a的方式，以保持成形品的状态从工件安置凹部3g搬出成形后的工件W，因而可简化塑封模具1的结构。
(装载器动作)
此处，关于树脂塑封装置的塑封动作的一例，与对塑封模具的工件搬入搬出动作一起进行说明。首先，参照图1至图5对利用装载器4进行的工件搬入动作进行说明。
图1中，将工件W(矩形基板)及塑封树脂R1搬入至开模的下模3。下模3中，进胶套筒块3a及进胶套筒3e由线圈弹簧3c施力，相较于下模夹持面(下模嵌件3b上表面)而处于上升位置，支撑销3i处于从工件安置凹部3g突出的状态。
装载器4在树脂投入部4b内保持塑封树脂R1，一对工件保持部4d通过滑动机构4e而在自树脂投入部4b相互远离的位置(左右拉开的位置)保持装载手4f，且在开合爪4g握持工件W(矩形基板)的短边方向两侧，在此状态下进入塑封模具1。
图2中，装载器4下降，成为将由装载手4f所保持的工件W载置于在工件安置凹部3g上突出的多个支撑销3i的状态。开合爪4g处于保持闭合而保持工件W的状态。
图3中，使滑动机构4e运转，使一对装载手4f向靠近树脂投入部4b的方向滑动。此时，开合爪4g在平面视时位于桥接部3d之间，因而不与进胶套筒块3a干扰，而且，工件W的上表面高度成为较桥接部3d的下表面更靠下的位置，因而工件W的前端以潜入桥接部3d之下的方式滑动。而且，树脂投入部4b位于进胶套筒块3a的正上方，因而开放闸板4c而将塑封树脂R1(树脂锭片)投入至进胶套筒3e。
图4中，开放装载手4f的开合爪4g而将工件W(矩形基板)交付至支撑销3i上。此时，使工件W的定位孔Wh与下模3的定位销3j对位。开合爪4g在平面视时配置于进胶套筒块3a的避让空间S(参照图12的B)，因而不与桥接部3d干扰。
图5中，装载器4将工件W交付于下模3后，装载器本体4a上升而自塑封模具1退避。而且，工件W及塑封树脂R1向塑封模具1的搬入完成，因而进行塑封模具1的合模动作。即，下模3开始上升，因而支撑销3i相对下降，定位销3j嵌入至定位孔Wh，在工件安置凹部3g决定工件W的位置并载置。
而且，从设于工件安置凹部3g的吸引孔3h预先开始抽吸空气，或者在载置工件后抽吸空气，因而工件W定位固定于工件安置凹部3g。
这样，在开模的塑封模具1中，在下模3的工件安置凹部3g将由装载器4搬入的工件W定位，通过合模，进胶套筒块3a被上模2下压，在进胶套筒块3a与下模嵌件3b之间夹住工件W，因而模具侧的结构变得简单，模具成本变得低廉，可避免塑封树脂R1向工件端面迂回，也不易引起模具内的动作不良，而且维护也可简易地进行。
(塑封模具动作)
接下来，参照图7至图11对利用塑封模具1进行的树脂塑封动作进行说明。图7表示将工件W安置于下模3的工件安置凹部3g，在进胶套筒3e装填了树脂锭片R的状态。进胶套筒块3a及进胶套筒3e受到线圈弹簧3c施力而处于上升位置。而且，上模2的夹持面吸附保持离型膜F，辅助销2d以将离型膜F下压的方式从上模夹持面突出。
若进行合模动作而上模2碰触进胶套筒块3a，则抵抗线圈弹簧3c的施力而将进胶套筒块3a及进胶套筒3e下压。接下来，若如图8所示那样下模3与上模2合模，则成为进胶套筒块3a及进胶套筒3e被上模2及下模3夹住的状态。此时，设于进胶套筒块3a的桥接部3d跨越经定位于工件安置凹部3g的工件W的外周缘部，按压工件上表面(基板面)。由此，在上模余料部2b、上模流道浇口2c与进胶套筒块3a的上端面(桥接部3d上表面)之间，在多处(图12中为五处)形成与上模模腔凹部2a连通的树脂路。而且，从上模2突出的辅助销2d(参照图7)碰触相向的工件W的基板面而被压回。
图9中，在塑封模具1内置着加热器(未图示)，在进胶套筒3e内熔融的塑封树脂R1通过挤胶头3f的上升，而经过上模余料部2b、上模流道浇口2c与进胶套筒块3a的上端面之间的树脂路，填充至上模模腔凹部2a内。填充至上模模腔凹部2a内的塑封树脂R1加热硬化(固化)。
图10中，将塑封模具1开模。此时，下模3以在工件安置凹部3g吸附保持工件W的状态下降，由此，受到线圈弹簧3c施力的进胶套筒块3a及进胶套筒3e相对地上升。由此，成形后的工件W(成形品)的封装部PK(树脂密封部)与形成于进胶套筒块3a上的多余树脂R2(成形品余料流道)进行浇口切断。而且，辅助销2d从上模2突出并按压工件W的基板面，由此封装部PK与经离型膜F覆盖的上模模腔凹部2a容易脱模。
接下来，图11中，若进行开模，则支撑销3i从工件安置凹部3g突出，因而工件W从工件安置凹部3g被上推。由此，工件W成为定位销3j从定位孔Wh脱出的状态。而且，设于工件安置凹部3g的吸引孔3h的空气抽吸可继续，或也可与开模一起停止。
(卸载器动作)
最后，参照图13至图16对利用卸载器5进行的工件搬出动作加以说明。图13中，卸载器5进入开模的塑封模具1。下模3中，进胶套筒块3a及进胶套筒3e受到线圈弹簧3c施力而较下模夹持面(下模嵌件3b上表面)处于上升位置，支撑销3i处于自工件安置凹部3g突出的状态。因此，成形后的工件W(成形品)与多余树脂R2(成形品余料流道)处于经分离的状态。卸载器5在一对工件回收部5d通过滑动机构5e而向余料保持块5b相互接近的位置(靠近中央的位置)保持卸载手5f，且开合爪5g张开，在此状态下进入塑封模具1。
图14中，卸载器5下降，卸载手5f的开合爪5g进入经支撑销3i支撑的工件W的两侧。此时，开合爪5g位于桥接部3d之间，因而不会与进胶套筒块3a干扰。另外，通过闭合开合爪5g从而握持工件W。而且，余料保持块5b将吸附垫5b1按压于多余树脂R2(成形品余料流道)，因而吸附保持多余树脂R2。
图15中，使滑动机构5e运转，使一对卸载手5f分别向远离余料保持块5b的方向(左右两侧)滑动。
图16中，卸载器5的卸载器本体5a以保持成形后的工件W(成形品)及多余树脂R2(成形品余料流道)的状态上升，从塑封模具1退避。
卸载器5将成形品交付给成形品收纳部，将多余树脂R2回收至废料箱(scrapbox)，由此结束一系列树脂塑封动作。
关于包括所述的塑封模具1、装载器4、卸载器5的树脂塑封装置6，例如可适用于图25的平面布局图所示那样的装置。
图25中，模块型的树脂塑封装置6被工件及树脂的供给部6a与成形品及多余树脂的收纳部6b夹持，是将单个或多个加压部6c连结而成。装载器4在工件及树脂的供给部6a与加压部6c之间往返移动，卸载器5在加压部6c与成形品及多余树脂的收纳部6b之间往返移动。而且虽未图示，但装载器4及卸载器5可沿着对工件及树脂的供给部6a、加压部6c、成形品及多余树脂的收纳部6b共同设置的移动轨道而往返移动，或也可沿着个别的移动轨道而往返移动。
(其他实施例1)
接下来，参照图17至图24，对塑封模具1的其他实施例加以说明。装载器4及卸载器5的结构相同，因此对相同构件标注相同编号而援用说明。
如图17所示，在下模3，在工件安置凹部3g设有突出的多个支撑销3i，但为了简化模具结构，也可省略多个支撑销3i。在工件安置凹部3g设有吸引工件W的吸引孔3h的结构相同。
如图17所示，在下模嵌件3b的上表面，挖入有供载置工件W的工件安置凹部3g(工件载置部)。工件安置凹部3g的深度相当于工件W的板厚近似程度。
图24为下模3的平面布局图。在工件安置凹部3g的外形线L3上，在不与设于进胶套筒块3a的桥接部3d干扰的位置，在四处各设有左右一对开合爪4g的避让凹部3k。避让凹部3k是以在与下模3之间交接工件W时，不与装载器4的开合爪4g、卸载器5的开合爪5g干扰的方式，与开合爪4g、开合爪5g的配置对应地设有左右一对。沿着较工件安置凹部3g的外形线L3更靠内侧的假想线L4，等间隔地以环绕的方式配置有吸引保持工件W的多个吸引孔3h。
以下，关于利用装载器4进行的工件搬入动作、利用塑封模具1进行的树脂塑封动作、利用卸载器5进行的工件搬出动作，以不同点为中心进行说明。而且，以利用装载器4向下模3搬入工件的工件搬入动作为中心进行说明，关于利用卸载器5进行的工件搬出动作，援用装载器4的说明。
(装载器动作)
如图17所示，首先装载器4在树脂投入部4b内保持塑封树脂R1，在一对工件保持部4d通过滑动机构4e而自树脂投入部4b相互远离的位置(左右拉开的位置)保持装载手4f，且在开合爪4g握持工件W(矩形基板)的短边方向两侧，在此状态下进入塑封模具1。下模3中，进胶套筒块3a及进胶套筒3e受到线圈弹簧3c施力，较下模夹持面(下模嵌件3b上表面)而处于上升位置。
图18中，装载器本体4a下降，以装载手4f的开合爪4g保持工件W的状态，开合爪4g下降至工件W的上表面较进胶套筒块3a的桥接部3d更靠下方的位置。接下来，使滑动机构4e运转，使一对装载手4f向靠近树脂投入部4b的方向滑动。此时，开合爪4g在平面视时位于桥接部3d之间，因而不会与进胶套筒块3a干扰。而且，树脂投入部4b位于进胶套筒块3a的正上方，因而开放闸板4c而将塑封树脂R1(树脂锭片)投入至进胶套筒3e。
图19中，使装载手4f进一步下降，使开合爪4g下降至进入避让凹部3k，开放开合爪4g而将工件W交付给工件安置凹部3g。此时，使工件W的定位孔Wh与下模3的定位销3j对位并嵌入。而且，预先自设于工件安置凹部3g的吸引孔3h开始抽吸空气，因而工件W定位固定于工件安置凹部3g。作为整体的工件W的移动，描绘L字状、左右相反的倒L字状的轨迹而移动。
图20中，装载器4将工件W交付给下模3后，装载器本体4a上升，从塑封模具1在X-Y方向移动退避。而且，工件W及塑封树脂R1的搬入完成，因而进行塑封模具1的合模动作。
(塑封模具动作)
接下来，参照图21至图23对利用塑封模具1进行的树脂塑封动作加以说明。图21表示工件W安置于下模3的工件安置凹部3g，在进胶套筒3e装填了树脂锭片R1的状态。进胶套筒块3a及进胶套筒3e受到线圈弹簧3c施力而处于上升位置。而且，上模2的夹持面吸附保持离型膜F，辅助销2d以将离型膜F下压的方式从上模夹持面突出。
进行合模动作，如图22所示，成为进胶套筒块3a及进胶套筒3e由上模2与下模3夹住的状态。此时，设于进胶套筒块3a的桥接部3d跨越经定位于工件安置凹部3g的工件W的外周缘部，按压工件上表面(基板面)。由此，在上模余料部2b、上模流道浇口2c与进胶套筒块3a的上端面(桥接部3d上表面)之间，在多处(图24中为五处)形成与上模模腔凹部2a连通的树脂路。而且，从上模2突出的辅助销2d碰触相向的工件W的基板面而被压回。
图22中，在模架和/或塑封模具1内置着加热器(未图示)，在进胶套筒3e内熔融的塑封树脂R1通过挤胶头3f的上升，而经过上模余料部2b、上模流道浇口2c与进胶套筒块3a的上端面之间的树脂路，填充至上模模腔凹部2a内。填充至上模模腔凹部2a内的塑封树脂R1加热硬化(固化)。
图23中，将塑封模具1开模。此时，下模3以在工件安置凹部3g吸附保持工件W的状态下降，由此，受到线圈弹簧3c施力的进胶套筒块3a及进胶套筒3e相对地上升。由此，成形后的工件W(成形品)与形成于进胶套筒块3a上的多余树脂(成形品余料流道)进行浇口切断。而且，辅助销2d从上模2突出而按压工件W的基板面，由此封装部P与上模模腔凹部2a容易脱模。
(卸载器动作)
卸载器5在一对工件回收部5d通过滑动机构5e而向余料保持块5b相互接近的位置(靠近中央的位置)保持卸载手5f，且开合爪5g张开，在此状态下进入塑封模具1。
与图19所示的装载器4同样地，卸载器5下降，卸载手5f的开合爪5g在载置于工件安置凹部3g的工件W的两侧进入避让凹部3k。此时，开合爪5g在平面视时位于桥接部3d之间，因而不会与进胶套筒块3a干扰。而且，一对开合爪5g进入避让凹部3k，因而也不会与工件安置凹部3g干扰。接下来，通过闭合开合爪5g从而握持工件W。而且，余料保持块5b将吸附垫5b1按压于多余树脂R2(成形品余料流道)，因而吸附保持多余树脂R2。
图16中，使滑动机构5e运转，使一对卸载手5f分别向远离余料保持块5b的方向(左右两侧)滑动。
图16中，卸载器5的卸载器本体5a以保持成形后的工件W(成形品)及多余树脂R2(成形品余料流道)的状态上升，从塑封模具1退避。
此时，可省略在塑封模具1的下模3的工件安置凹部3g设有多个的支撑销3i，因而可进一步简化塑封模具1的结构，抑制装置成本，实现成形品质高的树脂塑封。所述实施例的情况下，在支撑销3i上使工件W横向滑动，但其他实施例1中，在工件安置凹部3g上或正上方的空间上横向滑动的方面不同。
(其他实施例2)
所述实施例及其他实施例1以配置有多个进胶套筒3e的进胶套筒块3a为中心，以一对工件W在两侧而长边彼此相向的方式配置，但工件W未必需要为两片，即便在配置于进胶套筒块3a的侧方的工件载置部配置了一片工件W的情况下，也可同样地实施。
如以上所说明，这样使装载器本体4a进入开模的塑封模具1，利用树脂投入部4b向进胶套筒块3a的进胶套筒3e投入塑封树脂R1，并且使保持成形前的工件W的一对工件保持部4d，相互接近至处于上升位置的进胶套筒块3a与工件安置凹部3g之间在平面视时重合的位置，将工件W交付给模具夹持面，因而工件保持部3d能以不干扰进胶套筒块3d的方式，以保持工件W的状态将工件W定位并搬入至工件安置凹部3g。而且，可使卸载器本体5a进入开模的塑封模具3，余料保持块5b(多余树脂回收部)吸附保持由进胶套筒块3a所支撑的多余树脂R1，一对工件回收部5d保持成形后的工件W，并且相互远离至不与进胶套筒块3a干扰的位置，将成形后工件搬出。通过以上内容，可简化塑封模具1的结构。
这样，针对开模的塑封模具1，利用装载器4将工件W搬入至工件安置凹部3g，且不与进胶套筒块3a干扰地进行定位，并且利用卸载器5将成形后的工件W及多余树脂R2不与进胶套筒块3a干扰地从工件安置凹部3g取出，因而模具侧的结构变得简单，模具成本变得低廉，可避免塑封树脂R1绕向工件端面，不易引起模具内的动作不良，而且维护也可简易地进行。
对于包括所述塑封模具1的树脂塑封装置而言，可抑制装置成本，实现成形品质高的树脂塑封。
而且，塑封树脂R1不限于树脂锭片，例如也可供给颗粒状树脂、粉体状树脂、液状树脂等。
塑封模具1在上模2形成有模腔凹部，但也可在下模3设有模腔凹部。

Claims (15)

1.一种工件搬入装置，其特征在于，向开模的塑封模具搬入工件及塑封树脂，所述工件搬入装置包括：
搬入装置本体，对设于进胶套筒块的侧方的工件载置部搬入所述工件，所述进胶套筒块以能够升降的方式设于所述塑封模具的模具夹持面；
树脂投入部，设于所述搬入装置本体，以保持所述塑封树脂的状态投入至所述进胶套筒块的进胶套筒；以及
工件保持部，设于所述搬入装置本体，以保持所述工件的状态，以能够接近或远离所述树脂投入部的方式移动，
所述工件保持部以保持所述工件的状态，相互接近至处于上升位置的所述进胶套筒块与所述工件载置部之间在平面视时重合的位置，将所述工件交付给所述工件载置部。
2.根据权利要求1所述的工件搬入装置，其中，
所述工件保持部相对于所述搬入装置本体经由滑动机构以能够滑动的方式组装有装载手，在装载手包括开合爪，所述开合爪保持矩形基板的宽度方向两侧并且能够开合。
3.根据权利要求1或2所述的工件搬入装置，其中，
所述工件保持部保持一对工件，对设于所述进胶套筒块的两侧的工件载置部搬入所述一对工件。
4.根据权利要求1或2所述的工件搬入装置，其中，
所述树脂投入部在将由所述一对工件保持部所保持的工件交付给所述模具夹持面时，将所述塑封树脂投入至所述进胶套筒。
5.一种树脂塑封装置，包括权利要求1至4中任一项所述的工件搬入装置。
6.一种工件搬出装置，其特征在于，将成形后的工件及多余树脂从开模的塑封模具中搬出，所述工件搬出装置包括：
搬出装置本体，以由所述塑封模具的工件载置部所支撑的成形后的工件与由进胶套筒块所支撑的多余树脂经分离的状态，将所述成形后的工件及所述多余树脂搬出；
多余树脂回收部，设于所述搬出装置本体，保持所述进胶套筒块上残留的所述多余树脂；以及
工件回收部，设于所述搬出装置本体，以保持所述成形后的工件的状态，在所述多余树脂回收部的侧方以能够接近或远离的方式移动，
所述工件回收部自所述工件载置部保持所述成形后的工件并且所述多余树脂回收部保持所述多余树脂后，所述工件回收部相互远离至不与所述进胶套筒块干扰的位置，将所述成形后的工件搬出。
7.根据权利要求6所述的工件搬出装置，其中，
所述工件回收部从设于所述进胶套筒块的两侧的工件载置部保持并搬出一对工件。
8.一种树脂塑封装置，包括权利要求6或7所述的工件搬出装置。
9.一种塑封模具，其特征在于，通过工件搬入装置在开模的模具间供给工件及塑封树脂，所述塑封模具包括：
第一模具，模腔凹部及连接于所述模腔凹部的树脂路由离型膜覆盖；以及
第二模具，具有进胶套筒块及嵌件，所述进胶套筒块包括供投入所述塑封树脂的进胶套筒，所述嵌件在所述进胶套筒块的两侧具有工件载置部，所述工件载置部将由所述工件搬入装置搬入的工件定位并进行载置，
所述进胶套筒块一直向远离所述第二模具的夹持面的方向受到施力，对于由所述工件搬入装置定位并载置于所述工件载置部的工件而言，通过合模，所述进胶套筒块被所述第一模具下压而跨越所述工件端部，所述工件在所述进胶套筒块与所述嵌件之间被夹住。
10.根据权利要求9所述的塑封模具，其中，
在所述其中一个模具，以通过开模而能够经由所述离型膜碰触所述工件的树脂密封区域以外的基板面的方式，设有朝向所述工件受到施力的辅助销。
11.根据权利要求9或10所述的塑封模具，其中，
在所述工件载置部，在多处设有定位销，所述定位销通过与设于所述工件的多个定位孔嵌合从而进行定位。
12.根据权利要求9或10所述的塑封模具，其中，
在所述工件载置部设有：多个支撑销，在开模时从第二模具面突出而支撑工件，随着合模而从所述工件载置部退避至所述第二模具内，将所述工件载置于所述工件载置部。
13.根据权利要求9或10所述的塑封模具，其中，
在所述工件载置部设有：避让槽，在搬入成形前工件或搬出成形后工件时，避免与握持工件的开合爪发生干扰。
14.根据权利要求9或10所述的塑封模具，其中，
所述第一模具包括经树脂路连结的一对模腔凹部，所述第二模具在进胶套筒块的两侧包括一对嵌件，所述一对嵌件具有将工件定位并载置的工件载置部。
15.一种树脂塑封装置，包括权利要求9至14中任一项所述的塑封模具。
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