TWI766729B - 工件搬出裝置、樹脂塑封裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種工件搬出裝置、樹脂塑封裝置，工件搬出裝置將成形後的工件及多餘樹脂從開模的塑封模具中搬出，包括：搬出裝置本體、多餘樹脂回收部、以及工件回收部，工件回收部自所述工件載置部保持所述成形後的工件並且所述多餘樹脂回收部保持所述多餘樹脂後，所述工件回收部相互遠離至不與所述進膠套筒塊干擾的位置，將所述成形後的工件搬出。

Description

工件搬出裝置、樹脂塑封裝置
本發明是有關於一種對塑封模具搬入成形前的工件(work)及塑封樹脂(mould resin)的工件搬入裝置、將成形後的工件及多餘樹脂從塑封模具中搬出的樹脂搬出裝置、塑封模具、以及包括所述裝置及模具的任一個的樹脂塑封裝置。
在將所述工件搬入至塑封模具並夾住外周緣部進行轉注成形時，存在如下擔憂，即：由於樹脂路(包含流道澆口(runner gate)、溢流澆口(overflow gate)、排氣槽(air vent)等)與工件端部交叉，導致塑封樹脂容易從端面洩漏，在工件表面或側面產生樹脂毛邊。因此提出了下述技術：將設有進膠套筒的進膠套筒塊設置成可升降，利用進膠套筒塊來按壓工件端部，並且在塊表面形成樹脂通路(橋接澆口(bridge gate)：橋接部)。
例如，為了防止塑封樹脂繞向工件端面，需要將工件端面與相向的模具端面對位，並盡可能地消除間隙的產生。因此提出了下述技術：利用推動塊來推動作為工件的矩形狀的條帶基板的一端面，使相反側端面碰觸進膠套筒嵌件(pot insert)的端面並對齊(參照專利文獻1：日本專利特開2015-51557號公報)。
而且，也提出了設有往返移動機構的塑封模具，所述往返移動機構利用空氣氣缸(air cylinder)使塑封模具的半導體基板接受部相對於澆口塊位置在兩側往返移動(參照專利文獻2：日本專利特開2015-79864號公報)。
[現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 日本專利特開2015-51557號公報
[專利文獻2] 日本專利特開2015-79864號公報
近年來，為了提高成形品的生產性，在一台樹脂塑封裝置中包括多台(例如三台或四台)塑封模具的裝置增多。因此，對於專利文獻1、專利文獻2所公開的推動基板端面的推動塊或使半導體基板接受部相對於澆口塊位置在兩側往返移動的機構來說，塑封模具的結構容易變得複雜，製造成本(模具套的代價)變得昂貴。而且，對於近年那樣在一台樹脂塑封裝置中包括多台(例如三台或四台)塑封模具的裝置來說，總成本也變得昂貴。
而且，若在塑封模具內設置可動部(推動塊或往返移動機構等)，則產生樹脂洩漏或產生樹脂飛邊(flash)，這樣一來，樹脂渣容易進入可動部，導致可動部的動作不良，而且維護作業也耗費工夫。進而，塑封模具的溫度變化劇烈，因而容易因熱而變形或劣化，可動部的零件更換頻率也可能提高。
以下將述的若干實施方式所適用的公開是為了解決所述問題而成，其目的在於提供一種工件搬入裝置、工件搬出裝置、塑封模具及樹脂塑封裝置，所述工件搬入裝置及工件搬出裝置可利用經簡化的模具結構來對塑封模具定位並交付工件和/或樹脂，所述塑封模具可避免塑封樹脂繞向工件端面而且動作不良少，所述樹脂塑封裝置通過包括所述工件搬入裝置、工件搬出裝置及塑封模具，從而抑制成本而實現成形品質高的樹脂塑封。
與以下將述的若干實施方式有關的公開至少包括下述結構。
即，一種工件搬入裝置，向開模的塑封模具搬入工件及塑封樹脂，其特徵在於包括：搬入裝置本體，對設於進膠套筒塊的側方的工件載置部搬入所述工件，所述進膠套筒塊以能夠升降的方式設於所述塑封模具的模具夾持面；樹脂投入部，設於所述搬入裝置本體，以保持所述塑封樹脂的狀態投入至所述進膠套筒塊的進膠套筒；工件保持部，設於所述搬入裝置本體，以保持所述工件的狀態，以能夠接近或遠離所述樹脂投入部的方式移動，所述工件保持部以保持所述工件的狀態，相互接近至處於上升位置的所述進膠套筒塊與所述工件載置部之間在平面視時重合的位置，將所述工件交付給所述工件載置部。
這樣，使搬入裝置本體進入開模的塑封模具，利用樹脂投入部向進膠套筒塊的進膠套筒投入塑封樹脂，並且使保持成形前的工件的工件保持部相互接近至處於上升位置的進膠套筒塊與工件 載置部之間在平面視時重合的位置，並交付工件。
藉此，工件保持部以不干擾進膠套筒塊的方式，以保持工件的狀態在工件載置部定位並搬入所述工件，因而可簡化塑封模具的結構。
所述工件保持部也可相對於所述搬入裝置本體經由滑動機構以能夠滑動的方式組裝有裝載手，在裝載手包括開合爪，此開合爪保持矩形基板的寬度方向兩側並且能夠開合。
藉此，可利用裝載手的開合爪夾持並可靠地握持矩形基板，通過滑動機構使所述矩形基板與塑封模具的工件載置部對位，滑動移動而交付所述矩形基板。
所述工件保持部也可保持一對工件，且對設於所述進膠套筒塊的兩側的工件載置部搬入所述一對工件。藉此，可將多個工件同時分別定位並搬入至工件載置部。
所述樹脂投入部優選在將由所述一對工件保持部所保持的工件交付給所述模具夾持面時，將所述塑封樹脂投入至所述進膠套筒。
藉此，工件搬入裝置與向工件載置部搬入工件的時機一致而向進膠套筒塊的進膠套筒供給塑封樹脂，藉此可順利地實現工件搬入作業，可進行合模動作並利用進膠套筒塊來夾持經定位的工件。
對於包括所述任一工件搬入裝置的樹脂塑封裝置來說，可簡化模具結構，使裝置成本廉價，也不會產生動作不良，維護 也可簡易地進行。
一種工件搬出裝置，將成形後的工件及多餘樹脂從開模的塑封模具中搬出，其特徵在於包括：搬出裝置本體，以由所述塑封模具的工件載置部所支撐的成形後的工件與由進膠套筒塊所支撐的多餘樹脂分離的狀態，搬出所述成形後的工件及所述多餘樹脂；多餘樹脂回收部，設於所述搬出裝置本體，保持所述進膠套筒塊上殘留的所述多餘樹脂；以及工件回收部，設於所述搬出裝置本體，以保持所述成形後的工件的狀態，在所述多餘樹脂回收部的側方以能夠接近或遠離的方式移動，所述工件回收部從所述工件載置部保持所述成形後的工件並且所述多餘樹脂回收部保持所述多餘樹脂後，所述工件回收部相互遠離至不與所述進膠套筒塊干擾的位置，將所述成形後的工件搬出。
這樣，使搬出裝置本體進入開模的塑封模具，多餘樹脂回收部保持由進膠套筒塊所支撐的多餘樹脂，工件回收部保持成形後的工件，並且相互遠離至不與進膠套筒塊干擾的位置，將成形後工件搬出。
藉此，工件回收部以不干擾進膠套筒塊的方式，以保持成形後的工件的狀態進行搬出，因而可簡化塑封模具的結構。
所述工件回收部也可從設於所述進膠套筒塊的兩側的工件載置部保持並搬出一對工件。藉此，可將成形後的多個工件同時從工件載置部搬出。
對於包括所述任一工件搬出裝置的樹脂塑封裝置來說， 可簡化模具結構，使裝置成本廉價，也不會產生動作不良，維護也可簡易地進行。
一種塑封模具，通過工件搬入裝置向開模的模具間供給工件及塑封樹脂，其特徵在於包括：第一模具，模腔凹部及與所述模腔凹部連接的樹脂路由離型膜覆蓋；以及第二模具，具有進膠套筒塊及嵌件，所述進膠套筒塊包括供投入所述塑封樹脂的進膠套筒，所述嵌件在所述進膠套筒塊的兩側具有工件載置部，所述工件載置部將由所述工件搬入裝置所搬入的工件定位並進行載置，所述進膠套筒塊一直向遠離所述第二模具的夾持面的方向受到施力，對於由所述工件搬入裝置定位並載置於所述工件載置部的工件來說，通過合模，所述進膠套筒塊被所述第一模具下壓而跨越所述工件端部，所述工件在所述進膠套筒塊與所述嵌件之間被夾住。
這樣，由工件搬入裝置搬入至開模的塑封模具中第二模具的工件載置部的工件經定位，通過合模，進膠套筒塊被第一模具下壓而跨越工件端部，在與嵌件之間夾持所述工件，因而模具側的結構變得簡單，模具成本變得低廉，可避免塑封樹脂繞向工件端面，不易引起模具內的動作不良，而且維護也可簡易地進行。
優選所述其中一個模具中，朝向所述工件受到施力的輔助銷以通過開模而經由所述離型膜能夠碰觸所述工件的樹脂密封區域以外的基板面的方式突設。
藉此，在開模時，輔助銷經由離型膜而碰觸工件的樹脂密封 區域以外的基板面，因而通過進膠套筒塊的上升而與多餘樹脂進行澆口切斷，並且通過輔助銷按壓基板，從而在模腔凹部成形的樹脂密封部與離型膜容易脫模。
在所述工件載置部，也可在多處設有定位銷，所述定位銷通過與設於所述工件的多個定位孔嵌合從而進行定位。
藉此，可將交付給工件載置部的工件無位置偏移地進行定位。
在所述工件載置部，也可設有多個支撐銷，所述支撐銷在開模時從第二模具面突出而支撐工件，隨著合模而從所述工件載置部退避至第二模具內，將所述工件載置於所述工件載置部。
藉此，在開模狀態下，在工件載置部中支撐銷從第二模具面突出，因而可通過工件搬入裝置以使開合爪保持工件兩側的狀態進行開合，將工件交付到支撐銷上。而且，若合模則支撐銷退避至第二模具內，藉此工件可載置於工件載置部。
在所述工件載置部，也可設有避讓槽，所述避讓槽在搬入成形前工件或搬出成形後工件時，避免與握持工件的開合爪發生干擾。
藉此，即便不在第二模具的工件載置部設有支撐銷，即便將握持工件的開合爪進行開合，也可通過避讓槽來回避干擾，藉此進行工件的交付或接受。
也可使所述第一模具包括經樹脂路連結的一對模腔凹部，所述第二模具包括一對嵌件，所述一對嵌件在進膠套筒塊的兩側具有將工件定位並載置的工件載置部。藉此，可在塑封模具 同時搬入定位多個工件並進行樹脂塑封。
對於包括所述任一塑封模具的樹脂塑封裝置來說，可抑制裝置成本，實現成形品質高的樹脂塑封。
本發明可提供一種工件搬入裝置及工件搬出裝置，可利用經簡化的模具結構來對塑封模具定位並交付工件及塑封樹脂。
而且，本發明可提供一種塑封模具，可避免塑封樹脂繞向工件端面而且動作不良少。
而且，本發明可提供一種樹脂塑封裝置，通過包括所述工件搬入裝置、工件搬出裝置及塑封模具，從而抑制成本，實現成形品質高的樹脂塑封。
1:塑封模具
2:上模
2a:上模模腔凹部
2b:上模餘料部
2c:上模流道澆口
2d:輔助銷
3:下模
3a:進膠套筒塊
3b:下模嵌件
3c:線圈彈簧
3d:橋接部
3e:進膠套筒
3e1:筒孔
3f:擠膠頭
3g:工件安置凹部
3h:吸引孔
3i:支撐銷
3j:定位銷
3k:避讓凹部
4:裝載器
4a:裝載器本體
4b:樹脂投入部
4c:閘板
4d:工件保持部
4e:滑動機構
4f:裝載手
4g:開合爪
5:卸載器
5a:卸載器本體
5b:餘料保持塊
5b1:吸附墊
5c:線圈彈簧
5d:工件回收部
5e:滑動機構
5f:卸載手
5g:開合爪
6:樹脂塑封裝置
6a:工件及樹脂的供給部
6b:成形品及多餘樹脂的收納部
6c:加壓部
F:離型膜
L1:工件外形線
L2:封裝部(樹脂密封部)外形線
L3:外形線
L4:假想線
PK:封裝部(樹脂密封部)
R1:塑封樹脂
R2:多餘樹脂
S:避讓空間
W:工件
Wh:定位孔
圖1為表示利用工件搬入裝置進行的工件及塑封樹脂的模具搬入動作的步驟說明圖。
圖2為表示繼圖1之後的工件及塑封樹脂的模具搬入動作的步驟說明圖。
圖3為表示繼圖2之後的工件及塑封樹脂的模具搬入動作的步驟說明圖。
圖4為表示繼圖3之後的工件及塑封樹脂的模具搬入動作的步驟說明圖。
圖5為表示繼圖4之後的工件及塑封樹脂的模具搬入動作的 步驟說明圖。
圖6為工件搬入裝置的下表面圖。
圖7為利用塑封模具進行的樹脂塑封步驟的說明圖。
圖8為繼圖7之後的樹脂塑封步驟的說明圖。
圖9為繼圖8之後的樹脂塑封步驟的說明圖。
圖10為繼圖9之後的樹脂塑封步驟的說明圖。
圖11為繼圖10之後的樹脂塑封步驟的說明圖。
圖12的A為上模的平面佈局圖，圖12的B為下模的平面佈局圖。
圖13為表示利用工件搬出裝置進行的成形品及多餘樹脂的模具搬出動作的步驟說明圖。
圖14為表示繼圖13之後的成形品及多餘樹脂的模具搬出動作的步驟說明圖。
圖15為表示繼圖14之後的成形品及多餘樹脂的模具搬出動作的步驟說明圖。
圖16為表示繼圖15之後的成形品及多餘樹脂的模具搬出動作的步驟說明圖。
圖17為表示向其他例的塑封模具利用工件搬入裝置進行的工件及塑封樹脂的搬入動作的步驟說明圖。
圖18為表示繼圖17之後的工件及塑封樹脂的搬入動作的步驟說明圖。
圖19為表示繼圖18之後的工件及塑封樹脂的搬入動作的步 驟說明圖。
圖20為表示繼圖19之後的工件及塑封樹脂的搬入動作的步驟說明圖。
圖21為利用其他例的塑封模具進行的樹脂塑封步驟的說明圖。
圖22為繼圖21之後的樹脂塑封步驟的說明圖。
圖23為繼圖21之後的樹脂塑封步驟的說明圖。
圖24為下模的平面佈局圖。
圖25為樹脂塑封裝置的平面佈局圖。
以下，關於本發明的工件搬入裝置、工件搬出裝置、塑封模具以及包括所述裝置及模具的樹脂塑封裝置的適宜的實施方式，與圖式一起進行詳述。而且，當提及塑封模具時，是指分別支撐於模架(mould base)的上模及下模，稱為所謂模套(chase)，是指將模開合機構(加壓裝置)除外。而且，當提及樹脂塑封裝置時，為至少包括塑封模具及對所述塑封模具進行開合的模開合機構(作為一例，為電動馬達及螺旋軸或肘杆機構等加壓裝置；未圖示)的裝置，此裝置還以自動化為目的而包括工件及樹脂的搬送裝置、成形後的工件(成形品)及多餘樹脂的搬出裝置。所謂工件，是導線架(lead frame)或多層基板等呈四邊形或短條狀的物品，以下簡稱為矩形基板。包括在轉注成形的情況下插入至進膠套筒而使擠膠頭(plunger)運轉的轉注機構，還包括在合模 時在模具內形成減壓空間的減壓機構等。以下，以塑封模具的結構為中心進行說明。而且，關於工件W，設想對搭載了晶片的矩形基板進行樹脂塑封的情況。關於塑封模具，作為一例，設下模為可動模且上模為固定模來進行說明，但也可使上模為可動模且下模為固定模，也可使兩者為可動模。
(塑封模具)
首先，關於用於樹脂塑封裝置的向塑封模具搬入工件及塑封樹脂的工件搬入裝置、將成形後的工件及多餘樹脂從塑封模具中搬出的工件搬出搬送裝置的結構，與塑封模具的結構一起進行說明。
首先，參照圖7及圖12對塑封模具1的結構進行說明。
對於開模的一對上模2(第一模具)及下模3(第二模具)，通過後述的工件搬入裝置來供給工件W(例如矩形基板)及塑封樹脂R1(例如樹脂錠片)。
如圖12的A所示，上模2中，在上模夾持面形成有上模模腔凹部2a、以及與其連接的包含上模餘料部2b及上模流道澆口2c的樹脂路。
如圖7所示，上模夾持面包含模腔凹部2a及樹脂路，由離型膜F覆蓋。離型膜F例如為厚度50μm左右且具有耐熱性的膜材，容易自模具面剝離，可適宜地使用具有柔軟性、伸展性的膜，例如以PTFE(Polytetrafluoroethylene，聚四氟乙烯)、ETFE(Ethylene-Tetrafluoroethylene，乙烯-四氟乙烯共聚物)、PET (Polyethylene terephthalate，聚對苯二甲酸乙二酯)、FEP(Fluorinated ethylene propylene，氟化乙烯丙烯)膜、氟含浸玻璃布、聚丙烯膜、聚氯乙烯等作為主成分的單層或多層膜。離型膜F可為單張膜、捲繞在輥間的長條膜的任一種。
而且，如圖12的A所示，在上模2的由與上模流道澆口2c交叉的工件外形線L1和封裝部(樹脂密封部)外形線L2所包圍的區域中，以可經由離型膜F而碰觸工件W的樹脂密封區域以外的基板部分的方式設有多個輔助銷2d。如圖7所示，輔助銷2d是由設於上模2內的彈性構件向從上模夾持面突出的方向一直施力而設置。多個輔助銷2d設置成通過開模而輔助銷2d碰觸工件W(基板部分)，促進封裝部自模腔凹部2a的脫模及澆口切斷(gate break)，且通過合模而退避至上模2內。
圖7中，在下模3的下模套塊(未圖示)寬度方向中央部，設有進膠套筒塊3a及下模嵌件3b。在進膠套筒塊3a內同心狀地嵌入有進膠套筒3e。進膠套筒塊3a及進膠套筒3e是相對於下模嵌件3b而由線圈彈簧3c一直以遠離下模夾持面的方式向上方施力。
如圖12的B所示，進膠套筒塊3a的上端面中，與相向的上模餘料部2b及上模流道澆口2c一起形成樹脂路的橋接部3d在進膠套筒塊3a的兩側突設。如圖7所示，橋接部3d的外周緣部以板厚逐漸變薄的方式形成，前端延伸至模腔面，跨越工件W的端部而按壓基板面。而且，進膠套筒塊3a的橋接部3d彼此的 空間部成為後述的握持工件W的裝載手4f的開合爪4g的避讓空間S。在進膠套筒3e的筒孔3e1內，以通過未圖示的驅動源而可升降的方式設有擠膠頭3f。在進膠套筒3e內，通過後述的裝載器4而投入塑封樹脂R1(例如樹脂錠片)。
如圖7所示，在下模嵌件3b的上表面，挖入有供載置工件W的工件安置凹部3g(工件載置部)。工件安置凹部3g的深度相當於工件W的板厚近似程度。
如圖12的B所示，沿著較工件安置凹部3g的外形線L3更靠內側的假想線L4，等間隔地以環繞的方式配置有吸引保持工件W的多個吸引孔3h。而且，由設有多個吸引孔3h的假想線L4所包圍的工件區域中，以可保持工件W的方式以良好的平衡配置有多個支撐銷3i，且所述多個支撐銷3i設置成可升降。多個支撐銷3i例如設於未圖示的下模座，在開模時若下模3下降，則從工件安置凹部3g突出而支撐工件W，若因合模而下模3上升，則從工件安置凹部3g退避至下模3內，而可將工件W載置於工件安置凹部3g。
而且，如圖12的B所示，在工件安置凹部3g的與進膠套筒塊3a的橋接部3d重疊的區域，沿著工件長度方向在多處突設有定位銷3j。在工件W，設有沿著進膠套筒側長邊部而供定位銷3j嵌入的定位孔Wh(參照圖5)，在上模2也開有定位銷3j的避讓孔。由後述的裝載器4搬入至下模3上的工件W通過定位孔Wh與定位銷3j對位並嵌入，從而將工件W定位並載置於工件安 置凹部3g。
如圖7所示，進膠套筒塊3a與進膠套筒3e一起由線圈彈簧3c一直向遠離下模3的夾持面的方向施力，對於由後述的工件搬入裝置(裝載器4)定位並載置於工件安置凹部3g的工件W來說，通過合模，進膠套筒塊3a被上模2下壓而跨越工件端部，所述工件W在所述進膠套筒塊3a與下模嵌件3b之間被夾住。
(裝載器機構)
接下來，參照圖1及圖6對將工件W及塑封樹脂R1搬入至塑封模具1的裝載器4(工件搬入裝置)的一例進行說明。
如圖1所示，裝載器4向開模的塑封模具1(下模3)搬入工件W及塑封樹脂R1。裝載器本體4a設置成在水平面內在X-Y方向移動，並且可相對於下模3的下模夾持面而升降。相對於設於下模3的進膠套筒塊3a及配置於其兩側的工件安置凹部3g，進行工件W的定位。
如圖6所示，在裝載器本體4a設有樹脂投入部4b，此樹脂投入部4b以保持塑封樹脂R1(例如樹脂錠片)的狀態將其投入至進膠套筒塊3a的進膠套筒3e。樹脂投入部4b在筒狀的容器內收納塑封樹脂R1並進行搬送，通過設於容器底部的閘板4c開合，從而將塑封樹脂R1投入至進膠套筒3e。而且，圖1中，在樹脂投入部4b的兩側，設有以保持工件W(例如矩形基板)的狀態可接近或遠離地移動的一對工件保持部4d。一對工件保持部4d相對於裝載器本體4a經由滑動機構4e而可滑動地組裝有裝載手 4f。作為滑動機構4e，例如可使用無杆氣缸(rodless cylinder)，一對裝載手4f可在圖1的左右方向，向接近的方向及遠離的方向同時移動。而且，在各裝載手4f，可開合地設有保持工件W(例如矩形基板)的寬度方向兩側的可開合的一對開合爪4g。開合爪4g經由連杆機構而進行開合操作，所述連杆機構例如通過未圖示的氣缸驅動而開合。
如圖1所示，工件保持部4d以保持工件W的狀態，相互接近至處於上升位置的進膠套筒塊3a與工件安置凹部3g之間在平面視時重合的位置，將工件W交付給從工件安置凹部3g突出的多個支撐銷3i。這樣，使裝載器本體4a進入開模的塑封模具1，從樹脂投入部4b向進膠套筒塊3a的進膠套筒3e投入塑封樹脂R1，並且使保持成形前的工件W的一對工件保持部4d，相互接近至處於上升位置的進膠套筒塊3a與工件安置凹部3g之間在平面視時重合的位置，將工件W交付給下模3。樹脂投入部4b優選在將由一對工件保持部4d所保持的工件W交付給下模3時，向進膠套筒3e投入塑封樹脂R1。
藉此，裝載器4與工件安置凹部3g的工件W的搬入時機一致而向進膠套筒塊3a的進膠套筒3e供給塑封樹脂R1，藉此可順利地實現工件搬入作業，可進行合模動作而由進膠套筒塊3a的橋接部3d夾持經定位的工件W。
而且，工件保持部4d以不干擾進膠套筒塊3a的方式，以保持工件W的狀態通過滑動機構4e滑動而定位並搬入至工件安置凹 部3g，因此可簡化塑封模具1的結構。
(卸載器機構)
接下來，參照圖13對在塑封模具1中搬出成形後的工件W(成形品)及多餘樹脂R2的卸載器5(工件搬出裝置)的一例進行說明。
如圖13所示，卸載器5將成形後的工件W(成形品)及多餘樹脂R2從開模的塑封模具1(下模3)中搬出。
若在樹脂塑封後將塑封模具1開模，則成形後的工件W支撐於在塑封模具1的工件安置凹部3g突出的支撐銷3i，由遠離下模夾持面的進膠套筒塊3a支撐的多餘樹脂R2成為經分離的狀態(下文中將在模具成形後的動作中描述)。此狀態下，卸載器本體5a進入塑封模具1而搬出工件W及多餘樹脂R2(成形品餘料流道)。在卸載器本體5a中，設有以保持多餘樹脂R2的狀態從進膠套筒塊3a中回收多餘樹脂R2的餘料保持塊5b(多餘樹脂回收部)。餘料保持塊5b是相對於卸載器本體5a而由線圈彈簧5c懸吊支撐。餘料保持塊5b通過設於下端部的吸附墊5b1而被按壓於成形品餘料流道R2並吸附保持。此外，本實施例利用吸附墊5b1來保持多餘樹脂R2，但未必須要設為吸附墊5b1，餘料保持塊5b也可通過開合爪(未圖示)來保持多餘樹脂R2。
而且，在餘料保持塊5b的兩側，設有以保持成形後的工件W(成形品)的狀態而可接近或遠離地移動的一對工件回收部5d。一對工件回收部5d相對於卸載器本體5a經由滑動機構5e而 可滑動地組裝有卸載手5f。作為滑動機構5e，例如可使用無杆氣缸，一對卸載手5f可在圖13的左右方向，向接近的方向和遠離的方向同時移動。而且，在各卸載手5f，可開合地設有保持工件W(例如矩形基板)的寬度方向兩側的可開合的開合爪5g。開合爪5g經由連杆機構進行開合操作，所述連杆機構例如通過未圖示的氣缸驅動而開合。
餘料保持塊5b保持多餘樹脂R2，工件回收部5d從下模3的工件安置凹部3g保持成形後的工件W，並且一對工件回收部5d相互遠離至不與進膠套筒塊3a干擾的位置，將成形後的工件W搬出。
這樣，使卸載器本體5a進入開模的塑封模具1，餘料保持塊5b吸引保持由進膠套筒塊3a所支撐的多餘樹脂R2，一對工件回收部5d保持成形後的工件W，並且通過滑動機構5e而相互遠離至不與進膠套筒塊3a干擾的位置，將成形後的工件W搬出。藉此，工件回收部5d以不干擾進膠套筒塊3a的方式，以保持成形品的狀態從工件安置凹部3g搬出成形後的工件W，因而可簡化塑封模具1的結構。
(裝載器動作)
此處，關於樹脂塑封裝置的塑封動作的一例，與對塑封模具的工件搬入搬出動作一起進行說明。首先，參照圖1至圖5對利用裝載器4進行的工件搬入動作進行說明。
圖1中，將工件W(矩形基板)及塑封樹脂R1搬入至開模 的下模3。下模3中，進膠套筒塊3a及進膠套筒3e由線圈彈簧3c施力，相較於下模夾持面(下模嵌件3b上表面)而處於上升位置，支撐銷3i處於從工件安置凹部3g突出的狀態。
裝載器4在樹脂投入部4b內保持塑封樹脂R1，一對工件保持部4d通過滑動機構4e而在自樹脂投入部4b相互遠離的位置(左右拉開的位置)保持裝載手4f，且在開合爪4g握持工件W(矩形基板)的短邊方向兩側，在此狀態下進入塑封模具1。
圖2中，裝載器4下降，成為將由裝載手4f所保持的工件W載置於在工件安置凹部3g上突出的多個支撐銷3i的狀態。開合爪4g處於保持閉合而保持工件W的狀態。
圖3中，使滑動機構4e運轉，使一對裝載手4f向靠近樹脂投入部4b的方向滑動。此時，開合爪4g在平面視時位於橋接部3d之間，因而不與進膠套筒塊3a干擾，而且，工件W的上表面高度成為較橋接部3d的下表面更靠下的位置，因而工件W的前端以潛入橋接部3d之下的方式滑動。而且，樹脂投入部4b位於進膠套筒塊3a的正上方，因而開放閘板4c而將塑封樹脂R1(樹脂錠片)投入至進膠套筒3e。
圖4中，開放裝載手4f的開合爪4g而將工件W(矩形基板)交付至支撐銷3i上。此時，使工件W的定位孔Wh與下模3的定位銷3j對位。開合爪4g在平面視時配置於進膠套筒塊3a的避讓空間S(參照圖12的B)，因而不與橋接部3d干擾。
圖5中，裝載器4將工件W交付於下模3後，裝載器本體 4a上升而自塑封模具1退避。而且，工件W及塑封樹脂R1向塑封模具1的搬入完成，因而進行塑封模具1的合模動作。即，下模3開始上升，因而支撐銷3i相對下降，定位銷3j嵌入至定位孔Wh，在工件安置凹部3g決定工件W的位置並載置。
而且，從設於工件安置凹部3g的吸引孔3h預先開始抽吸空氣，或者在載置工件後抽吸空氣，因而工件W定位固定於工件安置凹部3g。
這樣，在開模的塑封模具1中，在下模3的工件安置凹部3g將由裝載器4搬入的工件W定位，通過合模，進膠套筒塊3a被上模2下壓，在進膠套筒塊3a與下模嵌件3b之間夾住工件W，因而模具側的結構變得簡單，模具成本變得低廉，可避免塑封樹脂R1向工件端面迂回，也不易引起模具內的動作不良，而且維護也可簡易地進行。
(塑封模具動作)
接下來，參照圖7至圖11對利用塑封模具1進行的樹脂塑封動作進行說明。圖7表示將工件W安置於下模3的工件安置凹部3g，在進膠套筒3e裝填了塑封樹脂R1(例如樹脂錠片)的狀態。進膠套筒塊3a及進膠套筒3e受到線圈彈簧3c施力而處於上升位置。而且，上模2的夾持面吸附保持離型膜F，輔助銷2d以將離型膜F下壓的方式從上模夾持面突出。
若進行合模動作而上模2碰觸進膠套筒塊3a，則抵抗線圈彈簧3c的施力而將進膠套筒塊3a及進膠套筒3e下壓。接下來， 若如圖8所示那樣下模3與上模2合模，則成為進膠套筒塊3a及進膠套筒3e被上模2及下模3夾住的狀態。此時，設於進膠套筒塊3a的橋接部3d跨越經定位於工件安置凹部3g的工件W的外周緣部，按壓工件上表面(基板面)。藉此，在上模餘料部2b、上模流道澆口2c與進膠套筒塊3a的上端面(橋接部3d上表面)之間，在多處(圖12中為五處)形成與上模模腔凹部2a連通的樹脂路。而且，從上模2突出的輔助銷2d(參照圖7)碰觸相向的工件W的基板面而被壓回。
圖9中，在塑封模具1內置著加熱器(未圖示)，在進膠套筒3e內熔融的塑封樹脂R1通過擠膠頭3f的上升，而經過上模餘料部2b、上模流道澆口2c與進膠套筒塊3a的上端面之間的樹脂路，填充至上模模腔凹部2a內。填充至上模模腔凹部2a內的塑封樹脂R1加熱硬化(固化)。
圖10中，將塑封模具1開模。此時，下模3以在工件安置凹部3g吸附保持工件W的狀態下降，藉此，受到線圈彈簧3c施力的進膠套筒塊3a及進膠套筒3e相對地上升。藉此，成形後的工件W(成形品)的封裝部PK(樹脂密封部)與形成於進膠套筒塊3a上的多餘樹脂R2(成形品餘料流道)進行澆口切斷。而且，輔助銷2d從上模2突出並按壓工件W的基板面，藉此封裝部PK與經離型膜F覆蓋的上模模腔凹部2a容易脫模。
接下來，圖11中，若進行開模，則支撐銷3i從工件安置凹部3g突出，因而工件W從工件安置凹部3g被上推。藉此，工 件W成為定位銷3j從定位孔Wh脫出的狀態。而且，設於工件安置凹部3g的吸引孔3h的空氣抽吸可繼續，或也可與開模一起停止。
(卸載器動作)
最後，參照圖13至圖16對利用卸載器5進行的工件搬出動作加以說明。圖13中，卸載器5進入開模的塑封模具1。下模3中，進膠套筒塊3a及進膠套筒3e受到線圈彈簧3c施力而較下模夾持面(下模嵌件3b上表面)處於上升位置，支撐銷3i處於自工件安置凹部3g突出的狀態。因此，成形後的工件W(成形品)與多餘樹脂R2(成形品餘料流道)處於經分離的狀態。卸載器5在一對工件回收部5d通過滑動機構5e而向餘料保持塊5b相互接近的位置(靠近中央的位置)保持卸載手5f，且開合爪5g張開，在此狀態下進入塑封模具1。
圖14中，卸載器5下降，卸載手5f的開合爪5g進入經支撐銷3i支撐的工件W的兩側。此時，開合爪5g位於橋接部3d之間，因而不會與進膠套筒塊3a干擾。另外，通過閉合開合爪5g從而握持工件W。而且，餘料保持塊5b將吸附墊5b1按壓於多餘樹脂R2(成形品餘料流道)，因而吸附保持多餘樹脂R2。
圖15中，使滑動機構5e運轉，使一對卸載手5f分別向遠離餘料保持塊5b的方向(左右兩側)滑動。
圖16中，卸載器5的卸載器本體5a以保持成形後的工件W(成形品)及多餘樹脂R2(成形品餘料流道)的狀態上升，從塑 封模具1退避。
卸載器5將成形品交付給成形品收納部，將多餘樹脂R2回收至廢料箱(scrap box)，藉此結束一系列樹脂塑封動作。
關於包括所述的塑封模具1、裝載器4、卸載器5的樹脂塑封裝置6，例如可適用於圖25的平面佈局圖所示那樣的裝置。
圖25中，模塊型的樹脂塑封裝置6被工件及樹脂的供給部6a與成形品及多餘樹脂的收納部6b夾持，是將單個或多個加壓部6c連結而成。裝載器4在工件及樹脂的供給部6a與加壓部6c之間往返移動，卸載器5在加壓部6c與成形品及多餘樹脂的收納部6b之間往返移動。而且雖未圖示，但裝載器4及卸載器5可沿著對工件及樹脂的供給部6a、加壓部6c、成形品及多餘樹脂的收納部6b共同設置的移動軌道而往返移動，或也可沿著個別的移動軌道而往返移動。
(其他實施例1)
接下來，參照圖17至圖24，對塑封模具1的其他實施例加以說明。裝載器4及卸載器5的結構相同，因此對相同構件標注相同編號而援用說明。
如圖17所示，在下模3，在工件安置凹部3g設有突出的多個支撐銷3i，但為了簡化模具結構，也可省略多個支撐銷3i。在工件安置凹部3g設有吸引工件W的吸引孔3h的結構相同。
如圖17所示，在下模嵌件3b的上表面，挖入有供載置工件W的工件安置凹部3g(工件載置部)。工件安置凹部3g的深度相 當於工件W的板厚近似程度。
圖24為下模3的平面佈局圖。在工件安置凹部3g的外形線L3上，在不與設於進膠套筒塊3a的橋接部3d干擾的位置，在四處各設有左右一對開合爪4g的避讓凹部3k。避讓凹部3k是以在與下模3之間交接工件W時，不與裝載器4的開合爪4g、卸載器5的開合爪5g干擾的方式，與開合爪4g、開合爪5g的配置對應地設有左右一對。沿著較工件安置凹部3g的外形線L3更靠內側的假想線L4，等間隔地以環繞的方式配置有吸引保持工件W的多個吸引孔3h。
以下，關於利用裝載器4進行的工件搬入動作、利用塑封模具1進行的樹脂塑封動作、利用卸載器5進行的工件搬出動作，以不同點為中心進行說明。而且，以利用裝載器4向下模3搬入工件的工件搬入動作為中心進行說明，關於利用卸載器5進行的工件搬出動作，援用裝載器4的說明。
(裝載器動作)
如圖17所示，首先裝載器4在樹脂投入部4b內保持塑封樹脂R1，在一對工件保持部4d通過滑動機構4e而自樹脂投入部4b相互遠離的位置(左右拉開的位置)保持裝載手4f，且在開合爪4g握持工件W(矩形基板)的短邊方向兩側，在此狀態下進入塑封模具1。下模3中，進膠套筒塊3a及進膠套筒3e受到線圈彈簧3c施力，較下模夾持面(下模嵌件3b上表面)而處於上升位置。
圖18中，裝載器本體4a下降，以裝載手4f的開合爪4g 保持工件W的狀態，開合爪4g下降至工件W的上表面較進膠套筒塊3a的橋接部3d更靠下方的位置。接下來，使滑動機構4e運轉，使一對裝載手4f向靠近樹脂投入部4b的方向滑動。此時，開合爪4g在平面視時位於橋接部3d之間，因而不會與進膠套筒塊3a干擾。而且，樹脂投入部4b位於進膠套筒塊3a的正上方，因而開放閘板4c而將塑封樹脂R1(樹脂錠片)投入至進膠套筒3e。
圖19中，使裝載手4f進一步下降，使開合爪4g下降至進入避讓凹部3k，開放開合爪4g而將工件W交付給工件安置凹部3g。此時，使工件W的定位孔Wh與下模3的定位銷3j對位並嵌入。而且，預先自設於工件安置凹部3g的吸引孔3h開始抽吸空氣，因而工件W定位固定於工件安置凹部3g。作為整體的工件W的移動，描繪L字狀、左右相反的倒L字狀的軌跡而移動。
圖20中，裝載器4將工件W交付給下模3後，裝載器本體4a上升，從塑封模具1在X-Y方向移動退避。而且，工件W及塑封樹脂R1的搬入完成，因而進行塑封模具1的合模動作。
(塑封模具動作)
接下來，參照圖21至圖23對利用塑封模具1進行的樹脂塑封動作加以說明。圖21表示工件W安置於下模3的工件安置凹部3g，在進膠套筒3e裝填了樹脂錠片R1的狀態。進膠套筒塊3a及進膠套筒3e受到線圈彈簧3c施力而處於上升位置。而且，上模2的夾持面吸附保持離型膜F，輔助銷2d以將離型膜F下壓的 方式從上模夾持面突出。
進行合模動作，如圖22所示，成為進膠套筒塊3a及進膠套筒3e由上模2與下模3夾住的狀態。此時，設於進膠套筒塊3a的橋接部3d跨越經定位於工件安置凹部3g的工件W的外周緣部，按壓工件上表面(基板面)。藉此，在上模餘料部2b、上模流道澆口2c與進膠套筒塊3a的上端面(橋接部3d上表面)之間，在多處(圖24中為五處)形成與上模模腔凹部2a連通的樹脂路。而且，從上模2突出的輔助銷2d碰觸相向的工件W的基板面而被壓回。
圖22中，在模架和/或塑封模具1內置著加熱器(未圖示)，在進膠套筒3e內熔融的塑封樹脂R1通過擠膠頭3f的上升，而經過上模餘料部2b、上模流道澆口2c與進膠套筒塊3a的上端面之間的樹脂路，填充至上模模腔凹部2a內。填充至上模模腔凹部2a內的塑封樹脂R1加熱硬化(固化)。
圖23中，將塑封模具1開模。此時，下模3以在工件安置凹部3g吸附保持工件W的狀態下降，藉此，受到線圈彈簧3c施力的進膠套筒塊3a及進膠套筒3e相對地上升。藉此，成形後的工件W(成形品)與形成於進膠套筒塊3a上的多餘樹脂(成形品餘料流道)進行澆口切斷。而且，輔助銷2d從上模2突出而按壓工件W的基板面，藉此封裝部PK與上模模腔凹部2a容易脫模。
(卸載器動作)
卸載器5在一對工件回收部5d通過滑動機構5e而向餘料保 持塊5b相互接近的位置(靠近中央的位置)保持卸載手5f，且開合爪5g張開，在此狀態下進入塑封模具1。
與圖19所示的裝載器4同樣地，卸載器5下降，卸載手5f的開合爪5g在載置於工件安置凹部3g的工件W的兩側進入避讓凹部3k。此時，開合爪5g在平面視時位於橋接部3d之間，因而不會與進膠套筒塊3a干擾。而且，一對開合爪5g進入避讓凹部3k，因而也不會與工件安置凹部3g干擾。接下來，通過閉合開合爪5g從而握持工件W。而且，餘料保持塊5b將吸附墊5b1按壓於多餘樹脂R2(成形品餘料流道)，因而吸附保持多餘樹脂R2。
圖16中，使滑動機構5e運轉，使一對卸載手5f分別向遠離餘料保持塊5b的方向(左右兩側)滑動。
圖16中，卸載器5的卸載器本體5a以保持成形後的工件W(成形品)及多餘樹脂R2(成形品餘料流道)的狀態上升，從塑封模具1退避。
此時，可省略在塑封模具1的下模3的工件安置凹部3g設有多個的支撐銷3i，因而可進一步簡化塑封模具1的結構，抑制裝置成本，實現成形品質高的樹脂塑封。所述實施例的情況下，在支撐銷3i上使工件W橫向滑動，但其他實施例1中，在工件安置凹部3g上或正上方的空間上橫向滑動的方面不同。
(其他實施例2)
所述實施例及其他實施例1以配置有多個進膠套筒3e的進膠套筒塊3a為中心，以一對工件W在兩側而長邊彼此相向的方式配 置，但工件W未必須要為兩片，即便在配置於進膠套筒塊3a的側方的工件載置部配置了一片工件W的情況下，也可同樣地實施。
如以上所說明，這樣使裝載器本體4a進入開模的塑封模具1，利用樹脂投入部4b向進膠套筒塊3a的進膠套筒3e投入塑封樹脂R1，並且使保持成形前的工件W的一對工件保持部4d，相互接近至處於上升位置的進膠套筒塊3a與工件安置凹部3g之間在平面視時重合的位置，將工件W交付給模具夾持面，因而工件保持部4d能以不干擾進膠套筒塊3a的方式，以保持工件W的狀態將工件W定位並搬入至工件安置凹部3g。而且，可使卸載器本體5a進入開模的塑封模具3，餘料保持塊5b(多餘樹脂回收部)吸附保持由進膠套筒塊3a所支撐的多餘樹脂R2，一對工件回收部5d保持成形後的工件W，並且相互遠離至不與進膠套筒塊3a干擾的位置，將成形後工件搬出。通過以上內容，可簡化塑封模具1的結構。
這樣，針對開模的塑封模具1，利用裝載器4將工件W搬入至工件安置凹部3g，且不與進膠套筒塊3a干擾地進行定位，並且利用卸載器5將成形後的工件W及多餘樹脂R2不與進膠套筒塊3a干擾地從工件安置凹部3g取出，因而模具側的結構變得簡單，模具成本變得低廉，可避免塑封樹脂R1繞向工件端面，不易引起模具內的動作不良，而且維護也可簡易地進行。
對於包括所述塑封模具1的樹脂塑封裝置而言，可抑制裝置成本，實現成形品質高的樹脂塑封。
而且，塑封樹脂R1不限於樹脂錠片，例如也可供給顆粒狀樹脂、粉體狀樹脂、液狀樹脂等。
塑封模具1在上模2形成有模腔凹部，但也可在下模3設有模腔凹部。
3:下模
3a:進膠套筒塊
3b:下模嵌件
3c:線圈彈簧
3d:橋接部
3e:進膠套筒
3f:擠膠頭
3g:工件安置凹部
3h:吸引孔
3i:支撐銷
3j:定位銷
5:卸載器
5a:卸載器本體
5b:餘料保持塊
5b1:吸附墊
5d:工件回收部
5e:滑動機構
5f:卸載手
5g:開合爪
R2:多餘樹脂
W:工件

Claims (3)

  1. 一種工件搬出裝置，其特徵在於，將成形後的工件及多餘樹脂從開模的塑封模具中搬出，所述工件搬出裝置包括：搬出裝置本體，以由所述塑封模具的工件載置部所支撐的成形後的工件與由進膠套筒塊所支撐的多餘樹脂經分離的狀態，將所述成形後的工件及所述多餘樹脂搬出；多餘樹脂回收部，設於所述搬出裝置本體，保持所述進膠套筒塊上殘留的所述多餘樹脂；以及工件回收部，設於所述搬出裝置本體，以保持所述成形後的工件的狀態，在所述多餘樹脂回收部的側方以能夠接近或遠離的方式移動，所述工件回收部相對於所述搬出裝置本體經由滑動機構以能夠滑動的方式組裝有卸載手，在所述卸載手包括保持矩形基板的寬度方向兩側並且能夠開合的開合爪，所述工件回收部利用所述開合爪自所述工件載置部保持所述成形後的工件並且所述多餘樹脂回收部保持所述多餘樹脂後，所述工件回收部相互遠離至不與所述進膠套筒塊干擾的位置，將所述成形後的工件搬出。
  2. 如請求項1所述的工件搬出裝置，其中，所述工件回收部從設於所述進膠套筒塊的兩側的工件載置部保持並搬出一對工件。
  3. 一種樹脂塑封裝置，包括如請求項1或請求項2所述的工件搬出裝置。
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