JP6180206B2 - 樹脂封止方法および圧縮成形装置 - Google Patents
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Description
まず、本実施形態における圧縮成形装置100(樹脂封止装置)について図1を参照して説明する。図1は、圧縮成形装置100を平面レイアウトで示す全体構成図である。この圧縮成形装置100は、圧縮成形で樹脂封止を行う構成であることはもちろん、成形品を検査してから、良品を加熱硬化(ポストキュア)させて収納する構成も含むものとなっている。
前記第1実施形態では、成形品として、ワークWの両面(面10a、10b)に樹脂封止部14、15を形成するにあたり、片面ずつ成形する方法(二段階封止方法)について説明した。本実施形態では、ワークWの両面に一度に樹脂封止部14、15を形成する方法(一段階封止方法)について図16〜図22を参照して説明する。図16〜図22は、本実施形態における樹脂封止工程中のプレス部130の模式的断面図である。なお、本実施形態の圧縮成形装置100の構成について、前記第1実施形態で説明したものは説明を省略する場合がある。
31 上型
32 下型
33 キャビティ凹部
R 樹脂
W ワーク
Claims (4)
- 半導体チップ、MEMSチップ、チップコンデンサを含むチップ部品、又は、ボール状のバンプを含む配線部品である第1部品が一方の面に設けられるとともに、半導体チップ、MEMSチップ、チップコンデンサを含むチップ部品、又は、ボール状のバンプを含む配線部品である第2部品が他方の面に設けられた板状の部材で構成され、一つのチップ相当のエリア毎に個片化されることで、複数のパッケージが形成されるワークを、上型と下型とで構成される封止金型を用い第1フィルムと第2フィルムとを介してクランプして圧縮成形により樹脂封止する樹脂封止方法であって、
前記上型は、第1キャビティの底部を構成する第1インサートと、前記第1キャビティの側部を構成する第1クランパとを備え、前記第1クランパに対して前記第1インサートが相対的に移動可能に構成され、
前記下型は、第2キャビティの底部を構成する第2インサートと、前記第2キャビティの側部を構成する第2クランパとを備え、前記第2クランパに対して前記第2インサートが相対的に移動可能に構成され、
前記第1フィルムは、長尺状のフィルム材が用いられ、ロール状に巻き取られた繰出しロールから引き出されて前記上型の金型面を通過して巻取りロールへ巻き取られるように設けられ、
前記第2フィルムは、ロール状の状態から一回の成形分のフィルム幅に切断された所定の形状を有し、
(a)一方の面に第1樹脂封止部によって封止される前記第1部品が設けられ、他方の面に第2樹脂封止部によって封止される前記第2部品が設けられた前記ワークを準備する工程と、
(b)前記ワークの一方の面に前記第1樹脂封止部用の樹脂を搭載する工程と、
(c)前記上型の金型面に第1フィルムを吸着保持する工程と、
(d)前記封止金型が型開きした状態において、前記第2樹脂封止部用の樹脂を搭載した前記第2フィルムを搬入し、
(e)前記第2インサートの端面と前記第2クランパの端面とに第2フィルムを吸着保持すると共に、前記第2樹脂封止部用の樹脂を前記第2キャビティに供給する工程と、
(f)前記第2部品を前記第2キャビティに収めるようにして、前記下型の金型面に前記ワークを配置する工程と、
(g)前記第1部品および前記第1樹脂封止部用の樹脂を前記第1キャビティに収めて、前記上型と前記下型とで前記ワークをクランプしながら、前記第1および第2インサートを成形位置に移動させて、前記第1樹脂封止部用の樹脂および前記第2樹脂封止部用の樹脂を同時に加熱硬化する工程と、
を含むことを特徴とする樹脂封止方法。 - 前記板状の部材は、基板、キャリア、半導体ウェハであることを特徴とする請求項1記載の樹脂封止方法。
- 半導体チップ、MEMSチップ、チップコンデンサを含むチップ部品、又は、ボール状のバンプを含む配線部品である第1部品が一方の面に設けられるとともに、半導体チップ、MEMSチップ、チップコンデンサを含むチップ部品、又は、ボール状のバンプを含む配線部品である第2部品が他方の面に設けられた板状の部材で構成され、一つのチップ相当のエリア毎に個片化されることで、複数のパッケージが形成されるワークを、第1フィルムと第2フィルムとを介してクランプして、前記ワークの両面に対して同時に圧縮成形により樹脂封止を行う圧縮成形装置であって、
上型と下型とで構成される封止金型を備え、
前記上型は、上型キャビティの底部を構成する上型インサートと、前記上型キャビティの側部を構成する上型クランパとを備え、前記上型クランパに対して前記上型インサートが相対的に移動可能に構成され、
前記下型は、下型キャビティの底部を構成する下型インサートと、前記下型キャビティの側部を構成する下型クランパとを備え、前記下型クランパに対して前記下型インサートが相対的に移動可能に構成され、
前記第1フィルムは、長尺状のフィルム材が用いられ、ロール状に巻き取られた繰出しロールから引き出されて前記上型の金型面を通過して巻取りロールへ巻き取られるように設けられ、
前記第2フィルムは、ロール状の状態から一回の成形分のフィルム幅に切断された所定の形状を有し、
前記第1部品を封止する第1樹脂封止部用の樹脂を前記ワークの一方の面に搭載し、前記第2部品を封止する第2樹脂封止部用の樹脂を前記第2フィルム上に搭載する樹脂供給部と、
前記上型の金型面に前記第1フィルムを吸着保持させる第1吸着部と、
前記下型インサートの端面と前記下型クランパの端面とに前記第2フィルムを吸着保持させる第2吸着部と、
前記第2樹脂封止部用の樹脂を搭載した前記第2フィルムを搬入し、前記第2フィルムに搭載された前記第2樹脂封止部用の樹脂を前記下型キャビティに供給するフィルムローダと、
前記第2部品を前記下型キャビティに収めるように前記下型の金型面に前記ワークを配置するワークローダと、
をさらに備え、
前記封止金型は、型閉じすることで前記第1部品および前記第1樹脂封止部用の樹脂を前記上型キャビティに収めて前記第1フィルムおよび前記第2フィルムを介して前記ワークをクランプしながら、前記上型インサートおよび前記下型インサートを成形位置に移動させた状態で、前記第1樹脂封止部用の樹脂および前記第2樹脂封止部用の樹脂を同時に加熱硬化させる構成であることを特徴とする圧縮成形装置。 - 前記板状の部材は、基板、キャリア、半導体ウェハであることを特徴とする請求項3記載の圧縮成形装置。
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