KR102203781B1 - 수지 몰드 장치 및 수지 몰드 방법 - Google Patents

Abstract

성형품의 품질성을 향상할 수 있는 기술을 제공하는 것을 과제로 한다. 해결 수단으로서, 하형(32)은, 캐비티 오목부(33)의 저부를 구성하는 하형 캐비티 피스(34)와, 캐비티 오목부(33)의 측부를 구성하는 하형 클램퍼(35)와, 수지(R)가 탑재된 필름(F)을 유지하여 반송 가능한 필름 로더(57)와, 하형 캐비티 피스(34)의 단면과 하형 클램퍼(35)의 단면을 덮도록 배치된 필름(F)을 흡착하는 흡착부(67)를 구비한다. 하형 캐비티 피스(34)는, 하형 클램퍼(35)에 대하여 상대적으로 이동한다. 필름 로더(57)는, 하형 캐비티 피스(34)의 단면과 하형 클램퍼(35)의 단면이 수평으로 유지된 하형(32)에, 수지(R)가 하형 캐비티 피스(34) 상에 위치하도록 필름(F)을 배치하고, 흡착부(67)는, 캐비티 오목부(33)의 내면에 추종하여 필름(F)을 흡착 유지하고, 캐비티 오목부(33)에 수지(R)를 공급한다.

Description

수지 몰드 장치 및 수지 몰드 방법{RESIN MOLDING DEVICE AND RESIN MOLDING METHOD}

본 발명은, 수지 몰드 장치 및 수지 몰드 방법에 적용하기에 유효한 기술에 관한 것이다.

예를 들면, WLP(Wafer Level Package) 등의 몰드 성형에 있어서, 하형(下型)에 대형 워크(예를 들면, 기판에 실장(實裝)된 복수의 칩 부품이 기판과 본딩 와이어를 개재하여 전기적 접속이 이루어진 것.)를 배치하고, 상형(上型)에 캐비티 오목부(워크의 클램프 시에는 캐비티가 된다.)를 구성하는 몰드 금형을 이용하여 행해진다. 그러나, 이와 같은 몰드 금형을 이용하여 워크 상에 수지를 공급하여 압축 성형을 행할 때에는, 워크 중앙에 얹혀진 수지가 외측으로 흐르기 때문에, 에어의 혼입에 의한 보이드나 와이어 스위프 등에 의한 성형품의 품질 불량의 문제가 생기기 쉽다.

다른 한편, 하형에 캐비티 오목부(하형 캐비티)를 구성하는 몰드 금형을 이용함으로써, 그 캐비티 오목부에 수지를 공급하고, 거기에서 용융한 수지에 상형에 의해 유지된 워크의 칩 부품이나 본딩 와이어를 침지시켜 수지 몰드할 수 있다. 이와 같은 하형 캐비티에서의 수지 몰드는, 보이드나 와이어 스위프 등의 성형품의 품질 불량을 저감할 수 있다. 이와 같은 하형 캐비티를 구성하는 몰드 금형으로서는, 예를 들면, 일본 공개특허 특개2004-148621호 공보(특허문헌 1)에 기재되어 있다.

이 특허문헌 1에는, 몰드 금형의 외부에서 릴리스 필름을 캐비티 오목부의 형상에 맞추어 변형시켜, 캐비티 오목부의 저부(底部)에 대응하는 프리폼부(저부)에 수지를 공급한 상태에서, 릴리스 필름 및 수지를 몰드 금형의 내부에 반입하여 배치하는 기술이 기재되어 있다.

일본 공개특허 특개2004-148621호 공보

특허문헌 1에 기재된 바와 같은 릴리스 필름에는, 예를 들면, 일정한 유연성, 신축성, 내열성의 필름이 이용된다. 이와 같은 릴리스 필름은, 어느 정도의 온도에서 가열됨으로써, 그 중앙을 향하여 수축하도록 열 수축되거나, 불균일한 주름이 되도록 열 수축되거나 하는 일이 일어난다. 또, 릴리스 필름은, 예를 들면, 캐비티 오목부의 형상에 맞추어 변형시킨 경우, 적지 않게 왜곡이 모인 상태라고 할 수 있다.

이 때문에, 릴리스 필름이, 예를 들면, 캐비티 오목부의 형상과 같이 변형된 상태대로, 미리 가열되어 있는 몰드 금형에 배치될 때에는, 원하는 형상으로 릴리스 필름의 형상을 유지할 수 없다. 예를 들면, 릴리스 필름에 주름이 생기거나, 주름이 겹쳐져 간극이 생겨 버리거나 해 버리는 경우가 있다. 이와 같이 릴리스 필름에 주름이 생기거나, 겹침이 생기거나 하면, 성형품의 외관에 전사되거나, 겹친 개소로부터 수지가 누설되어 버리거나 하는 문제가 생긴다.

본 발명의 목적은, 성형품의 품질성을 향상할 수 있는 기술을 제공하는 데에 있다. 본 발명의 상기 및 그 외의 목적과 신규의 특징은, 본 명세서의 기술 및 첨부 도면으로부터 명백해질 것이다.

본원에 있어서 개시되는 발명 중, 대표적인 것의 개요를 간단하게 설명하면, 다음과 같다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치는, 상형과 캐비티 오목부가 형성되는 하형을 형 폐쇄하여, 상기 캐비티 오목부에 충전된 수지에 의해 워크를 수지 몰드하는 수지 몰드 장치로서, 상기 하형은, 상기 캐비티 오목부의 저부를 구성하는 하형 캐비티 피스와, 상기 캐비티 오목부의 측부를 구성하는 하형 클램퍼와, 상기 수지가 탑재된 필름을 유지하여 반송 가능한 로더와, 상기 하형 캐비티 피스의 단면(端面) 및 상기 하형 클램퍼의 단면을 덮도록 배치(세트라고도 한다.)된 상기 필름을 흡착하는 흡착부를 구비하며, 상기 하형 캐비티 피스는, 상기 하형 클램퍼에 대하여 상대적으로 이동 가능하게 구성되고, 상기 로더는, 상기 하형 캐비티 피스의 단면과 상기 하형 클램퍼의 단면이 수평(면일(面一), 동등한 높이라고도 한다.)으로 유지된 상기 하형에, 상기 수지가 상기 하형 캐비티 피스 상에 위치하도록 상기 필름을 배치하고, 상기 흡착부는, 상기 캐비티 오목부의 내면에 추종하여 상기 필름을 흡착 유지하고, 상기 캐비티 오목부에 상기 수지를 공급하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치는, 제 1 형과 캐비티 오목부가 형성되는 제 2 형을 형 폐쇄하여, 상기 캐비티 오목부에 충전된 수지에 의해 워크를 수지 몰드하는 수지 몰드 장치로서, 상기 제 2 형은, 상기 캐비티 오목부의 저부를 구성하는 캐비티 피스와, 상기 캐비티 오목부의 측부를 구성하는 클램퍼와, 당해 클램퍼에 대하여 당해 캐비티 피스를 상대적으로 이동시키는 가동부와, 상기 캐비티 피스의 단면과 상기 클램퍼의 단면을 덮도록 배치된 필름을 흡착하는 흡착부를 구비하며, 상기 필름을 플랫 상태에서 반송함과 함께, 상기 캐비티 피스의 단면과 상기 클램퍼의 단면을 동등한 높이(수평, 면일이라고도 한다.)에 위치시키면서 상기 필름을 플랫 상태대로 상기 캐비티 피스의 단면과 상기 클램퍼의 단면에 배치하는 로더를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 방법은, 수지 몰드 장치를 이용하여, 상형과 캐비티 오목부가 형성되는 하형을 형 폐쇄하여, 상기 캐비티 오목부에 충전된 수지에 의해 워크를 수지 몰드하는 수지 몰드 방법으로서, 상기 하형은, 상기 캐비티 오목부의 저부를 구성하는 하형 캐비티 피스와, 상기 캐비티 오목부의 측부를 구성하는 하형 클램퍼와, 상기 수지가 탑재된 필름을 유지하여 반송 가능한 로더와, 상기 하형 캐비티 피스의 단면과 상기 하형 클램퍼의 단면을 덮도록 배치된 상기 필름을 흡착하는 흡착부를 구비하며, (a) 상기 하형 캐비티 피스의 단면과 상기 하형 클램퍼의 단면이 수평으로 유지된 상기 하형에, 상기 로더에 의해서 상기 수지가 상기 하형 캐비티 피스 상에 위치하도록 상기 필름을 배치하는 공정과, (b) 상기 흡착부에 의해서 상기 필름을 흡인하면서, 상기 하형 클램퍼에 대하여 상기 하형 캐비티 피스를 상대적으로 이동하여 상기 캐비티 오목부를 형성함으로써, 상기 캐비티 오목부의 내면에 추종시키면서 상기 필름을 흡착 유지함과 함께, 상기 수지를 그대로 상기 캐비티 오목부에 공급하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 플랫 상태에서 필름을 배치하고 나서 캐비티 오목부의 형상에 추종하여 필름을 변형할 수 있어, 예를 들면, 필름의 주름 발생을 방지하거나, 필름의 겹침을 방지하거나 할 수 있다. 따라서, 성형품의 외관 불량이 형성되는 것을 방지하거나, 겹친 개소로부터의 수지 누설을 방지하거나 하여, 성형품의 품질성을 향상할 수 있다. 또, 하형에 캐비티 오목부를 구성함으로써, 캐비티 오목부에서 용융한 수지에, 예를 들면, 칩 부품(예를 들면, 반도체 칩, 칩 콘덴서)이나 본딩 와이어를 침지시킴으로써, 보이드나 와이어 스위프 등에 의한 성형품의 품질 불량을 저감할 수 있다.

또, 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치에 있어서, 상기 로더는, 상기 필름을 유지하는 유지면과, 상기 필름에 탑재된 상기 수지의 회피부(clearance)가 되는, 상기 유지면으로부터 오목한 오목부와, 상기 오목부의 주위의 상기 유지면에 연결되고, 상기 필름을 흡인하는 에어로(air路)를 갖는 핸드부를 구비하는 것이 바람직하다.

이것에 의하면, 필름에 탑재된 수지의 상태(형상, 양)를 유지하여, 캐비티 오목부에 수지를 공급할 수 있다. 또, 필름 상에 탑재되어 있는 오목부 내의 수지의 무게에 의해서 필름이 휘지 않도록 흡착 유지할 수 있다.

또, 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치에 있어서, 상기 로더는, 상기 유지면을 개폐 가능한 롤 형상의 셔터부를 구비하며, 상기 셔터부의 폐쇄 상태에서 상기 필름을 상기 셔터부에 의해 지지하여 반송하고, 상기 셔터부의 개방 상태에서 상기 하형에 상기 필름을 배치하는 것이 바람직하다.

이것에 의하면, 필름 상에 탑재되어 있는 오목부 내의 수지의 무게에 의해서 필름이 휘지 않도록, 셔터부에 의해 필름을 플랫하게 유지할 수 있다. 또, 필름의 하형에의 배치시에는 셔터부를 권취하여 공간 절약화를 도모할 수 있다.

또, 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치에 있어서, 상기 로더는 가열부 및 냉각부를 구비하는 것이 바람직하다.

이것에 의하면, 필름이나 이것에 탑재되는 수지의 가열을 보조하거나, 냉각하거나 하는 것이 용이하게 된다.

또, 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치에 있어서, 상기 하형 캐비티 피스의 상부가 분리 가능하게 설치되고, 상기 하형 클램퍼의 상부가 분리 가능하게 설치되고, 상기 하형 캐비티 피스의 상부와 상기 하형 클램퍼의 상부가 접속 부재에 의해서 접속되고, 상기 로더는, 상기 하형 캐비티 피스의 상부의 단면과 상기 하형 클램퍼의 상부의 단면이 수평인 상태에서, 상기 하형 캐비티 피스의 상부의 단면 및 상기 하형 클램퍼의 상부의 단면을 덮도록 배치된 상기 필름을 반송하는 것이 바람직하다.

이것에 의하면, 필름 및 이것에 탑재된 수지를 안정된 상태에서 몰드 금형에 배치할 수 있다.

또, 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치에 있어서, 링 형상의 상부 및 하부 플레이트를 구비하고, 상기 하부 플레이트는, 주연(周緣)부 단(端)에서 상기 상부 플레이트측의 면으로부터 오목하게 둘레 방향으로 연장되는 단턱 구비 부분(step-shaped part)이 형성되고, 상기 상부 플레이트와 상기 하부 플레이트의 사이에 상기 필름을 끼워, 상기 하부 플레이트의 단턱 구비 부분에 상기 상부 플레이트의 내경부를 대응시켜 상기 상부 플레이트가 감합되어 필름 플레이트부가 구성되고, 상기 하형 클램퍼에는 주연부 단에서 단면으로부터 오목하게 둘레 방향으로 연장되는 단턱 구비 부분이 형성되고, 상기 하형 클램퍼의 단턱 구비 부분에 상기 하부 플레이트의 내경부를 대응시켜 상기 필름 플레이트부가 감합되는 것이 바람직하다.

이것에 의하면, 간단한 구성으로 필름을 플랫하게 유지할 수 있어, 그대로의 상태로 하형에 배치할 수 있다.

또, 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치에 있어서, 상기 하형 캐비티 피스의 상부가 분리 가능하게 설치되고, 형 개방한 상태에서, 상기 하형 캐비티 피스의 상부의 단면과 상기 하형 클램퍼의 단면이 수평이 되도록, 상기 하형 캐비티 피스의 상부가 플로팅 지지되어 있는 것이 바람직하다.

이것에 의하면, 예를 들면, 반송부에 의해서 하형 클램퍼를 밀어 내려 하형 캐비티 피스의 단면과 하형 클램퍼의 단면을 수평으로 할 필요가 없어져, 반송부의 동작·구성을 간소화할 수 있다. 또, 하형에 필름이 배치되었을 때에는, 하형 캐비티 피스의 상부가 플로팅한 상태이기 때문에, 필름의 열 수축을 방지할 수 있고, 필름에 탑재되는 수지의 과열을 방지하거나, 가열 조정을 행하거나 하는 것이 용이하게 된다.

또, 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치에 있어서, 상기 하형 클램퍼에는, 상기 하형 클램퍼의 단면으로부터 돌출 가능하게 플로팅 지지된 복수의 핀을 구비하고,

상기 복수의 핀은, 상기 하형 클램퍼의 단면으로부터 돌출하여 상기 워크를 지지하고, 상기 워크를 클램프한 상태에서는 상기 하형 클램퍼의 내부에 수용되는 것이 바람직하다.

이것에 의하면, 클램프 전에 상형에 의해 유지되어 있는 워크가 낙하하는 것을 방지할 수 있다.

본원에 있어서 개시되는 발명 중, 대표적인 것에 의해서 얻어지는 효과를 간단하게 설명하면, 성형품의 품질성을 향상할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치를 평면 레이아웃으로 나타낸 전체 구성도이다.
도 2는 과립 타입의 수지를 공급하는 수지 공급부의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 4는 도 3에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 5는 도 4에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 6은 도 5에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 7은 도 6에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 8은 도 7에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 9는 도 8에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 10은 본 발명의 제 2 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 11은 도 10에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 12는 도 11에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 13은 도 12에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 14는 도 13에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 15는 본 발명의 제 3 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 16은 도 15에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 17은 도 16에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 18은 도 17에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 19는 도 18에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 20은 본 발명의 제 4 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 21은 도 20에 나타낸 필름 플레이트부의 분해 단면도이다.
도 22는 도 20에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 23은 도 22에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 24는 도 23에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 25는 본 발명의 제 5 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 26은 도 25에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 27은 본 발명의 제 6 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 28은 본 발명의 기타 구성례에 있어서의 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 29는 도 28에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 30은 본 발명의 기타 구성례에 있어서의 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 31은 도 30에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 32는 도 31에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 33은 본 발명의 제 7 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 34는 도 33에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 35는 도 34에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 36은 도 35에 이어지는 수지 몰드 공정 중의 프레스부의 모식적 단면도이다.
도 37은 본 발명의 제 8 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치의 형 개방 상태의 정면 설명도이다.
도 38은 도 37의 가동 플래튼의 평면도이다.
도 39a 및 도 39b는 도 37에 이어지는 형 폐쇄 동작 도중의 몰드 금형의 단면 설명도이다.
도 40a∼도 40c는 몰드 금형의 일례와 형 폐쇄 동작을 나타낸 단면 설명도이다.
도 41a∼도 41c는 몰드 금형의 다른 예와 형 폐쇄 동작을 나타낸 단면 설명도이다.

이하의 본 발명에 있어서의 실시 형태에서는, 필요한 경우에 복수의 섹션 등으로 나누어 설명하지만, 원칙적으로 그들은 서로 관계가 없지 않고, 일방(一方)은 타방(他方)의 일부 또는 전부의 변형례, 상세 등의 관계에 있다. 이 때문에, 전체 도면에 있어서, 동일한 기능을 갖는 부재에는 동일한 부호를 붙이고, 그 반복되는 설명은 생략하는 경우가 있다. 또, 동일한 구성으로부터 얻어지는 동일한 효과에 대해서는 그 반복되는 설명은 생략하는 경우가 있다.

또, 구성 요소의 수(개수, 수치, 양, 범위 등을 포함함)에 대해서는, 특별히 명시한 경우나 원리적으로 명백하게 특정 수에 한정되는 경우 등을 제외하고, 그 특정 수에 한정되는 것이 아니며, 특정 수 이상이어도 이하여도 된다. 또, 구성 요소 등의 형상을 언급할 때에는, 특별히 명시한 경우 및 원리적으로 명백하게 그렇지 않다고 생각되는 경우 등을 제외하고, 실질적으로 그 형상 등에 근사 또는 유사한 것 등을 포함하는 것으로 한다.

(제 1 실시 형태)

먼저, 본 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치(100)에 대하여 도 1을 참조하여 설명한다. 도 1은 수지 몰드 장치(100)를 평면 레이아웃으로 나타낸 전체 구성도이다. 이 수지 몰드 장치(100)는, 수지 몰드를 행하는 구성인 것은 물론, 수지 몰드 후의 워크(성형품)을 검사하고 나서, 양품(良品)을 가열 경화(포스트큐어)시켜 수납하는 구성도 포함하는 것으로 되어 있다.

수지 몰드 장치(100)는, 여러 가지 처리 공정을 행하는 처리부로서, 워크 공급부(110), 수지 공급부(120), 프레스부(130), 워크 검사부·냉각부(140), 큐어부(150)(큐어로(爐)), 워크 수납부(160)를 구비하고 있다. 또, 수지 몰드 장치(100)는, 각 처리 공정을 제어하는 제어부(170)를 구비하고 있다. 각 처리부로서는, 적어도 단수로 구성되어 있으면 되고, 본 실시 형태에서는, 수지 공급부(120), 프레스부(130)가 각각 2기(복수)로 구성되어 있는 경우를 나타낸다. 이와 같이, 다른 처리부보다 처리 시간이 걸리는 것을 복수로 구성함으로써, 수지 몰드 장치(100) 전체의 가동률을 향상할 수 있다.

또, 수지 몰드 장치(100)는, 처리부 간에 워크나 수지를 반송하는 반송 로봇을 구비한 로봇 기구부(180)를 구비하고 있다. 반송 로봇은, 예를 들면, 각 처리부 간을 회전 및 직선 이동 가능하고, 다관절 끝에 핸드를 갖는 로봇이다. 수지 몰드 장치(100)에서는, 로봇 기구부(180)(반송 로봇)를 둘러싸고 각 처리부를 배치하고 있다. 이 때문에, 각 처리부 간에서의 워크나 수지의 이동 거리(도 1에서는 파선으로 워크나 수지의 이동을 나타낸다.)가 단축되어, 효율이 좋은 워크 반송을 할 수 있다. 또한, 로봇 기구부(180) 대신에, 에어 실린더나 리니어 모터와 같은 직동(直動) 기구에 의해서 구성된 반송 로봇 이외의 반송 기구에 의해서 처리부 간에 워크나 수지를 반송해도 된다.

워크 공급부(110)(도 1 참조)는, 수지 몰드가 행해지는 프레스부(130)로 워크를 공급하기 위한 처리부이다. 워크 공급부(110)는, 성형 전의 워크(피성형품)를 복수 수납할 수 있는 매거진(도시 생략)을 구비하고 있다. 이 매거진으로부터 공급된 워크는, 로봇 기구부(180)의 반송 로봇에 의해서 로봇 기구부(180)가 구비하는 워크 탑재부(도시 생략)에 일시적으로 탑재되어, 프레스부(130)가 구비하는 로더(190)(반송부)에 의해서 프레스부(130)로 반송된다.

수지 공급부(120)(도 1 참조)는, 수지 몰드가 행해지는 프레스부(130)로 수지를 공급하기 위한 처리부이다. 여기서, 수지 공급부(120)에 대하여 도 2를 참조하여 설명한다. 도 2는 과립 타입의 수지(R)(이하, 과립 수지라고 한다.)를 공급하는 수지 공급부(120)의 동작을 설명하기 위한 도면이다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 수지 공급부(120)는, 과립 수지(R)를 저류할 수 있는 수지 저류부(121), 복수의 소형의 수지 저류부(122)와, 수지 공급 영역(공급 대상)으로 과립 수지(R)를 공급하는 복수의 트러프(trough)(123)를 구비하고 있다. 쌍을 이루는 수지 저류부(122)와 트러프(123)는 연통(連通)되어 있고, XY 구동 기구(도시하지 않음)에 의해서 이동 가능하게 설치되어 있다. 수지 저류부(121)는, 고정하여 설치되어 과립 수지(R)를 대량으로 저류할 수 있고, 이보다 소형의 수지 저류부(122)로 소분(小分)하여 과립 수지(R)를 공급한다. 그리고, 전자 피더(도시하지 않음)에 의해서 수지 저류부(122)로부터 트러프(123)로 과립 수지(R)가 송출되어, 수지 공급 영역에 소정의 형상(예를 들면, 평탄 형상)으로 투하된다.

수지 저류부(122) 및 트러프(123)의 쌍은, 적어도 1쌍 설치되어 있으면 되지만, 복수 쌍(도 2에서는 3쌍) 설치함으로써 수지 공급 영역으로의 과립 수지(R)의 투하 시간을 단축할 수 있다. 3쌍의 수지 저류부(122) 및 트러프(123)는, 연결 부재(124)에 의해서 연결되어 있다. 이 연결에 의해, 각 쌍에 전자 피더를 설치하지 않더라도 하나의 전자 피더에 의해 동시에 동일한 정도의 양의 수지를 원하는 형상이 되도록 수지 공급 영역에 공급할 수 있다. 이와 같이, 복수의 수지 공급용 구조를 설치함으로써, 정확한 분량의 수지를 재빨리 공급할 수 있다. 마찬가지로, 액상 수지를 공급하는 디스펜서를 복수 구비해도 된다. 이 경우에도, 정확한 분량의 액상 수지를 재빨리 공급할 수 있다.

수지 공급부(120)에서의 공급 대상은 릴리스 필름(F)이다. 릴리스 필름(F)에는, 예를 들면, FEP 필름, PET 필름, 불소 함침 유리 크로스, 폴리염화비닐리덴, PTFE, ETFE 등의 일정한 유연성, 신축성, 내열성의 필름이 이용된다. 그리고, 수지 공급 대상이 되는 릴리스 필름(F)은, 롤 형상의 상태로부터 지지대(125) 상에 있어서 일방의 파지 부재(126)에 의해 인출되어, 소정 폭이 되는 위치에 있어서 파지 부재(126, 126)에 의해 파지된 상태에서, 1회의 성형분의 필름 폭으로 절단 부재(127)(예를 들면, 커터)에 의해 절단되어, 소정의 형상(예를 들면, 길쭉한 형상)의 상태가 된다.

릴리스 필름(F)(수지 공급 영역)으로의 수지 공급은, 먼저, 각 트러프(123)가 1렬째의 공급 영역의 연장 방향(X 방향)으로 이동하면서 과립 수지(R)를 공급해 가고, 1렬분의 직사각형 형상 공급 영역에 수지 공급이 종료된 후, 2열째 방향(Y 방향)을 향하여 이동한다. 이어서, 각 트러프(123)가 2열째의 공급 영역의 연장 방향(X 방향)으로 이동하면서 과립 수지(R)를 공급해 가고, 1렬분의 수지 공급이 종료된 후, 3열째 방향(Y 방향)으로 이동한다. 이어서, 각 트러프(123)가 3열째의 공급 영역의 연장 방향(X 방향)으로 이동하면서 과립 수지(R)를 공급해 가고, 1렬분의 수지 공급이 종료되어, 수지 공급 영역 전체로의 수지 공급이 종료된다.

이와 같은 수지 공급부(120)에 의하면, 릴리스 필름(F) 상에, 소정의 영역(면적), 소정의 두께(높이)로 과립 수지(R)를 소정 시간에 공급(탑재)할 수 있다. 그리고, 릴리스 필름(F) 상에 공급된 과립 수지(R)는, 릴리스 필름(F)과 함께, 로봇 기구부(180)에 의해서 로더(190)로 반송된 후, 로더(190)에 의해 프레스부(130)의 내부로 반입된다. 이 때문에, 릴리스 필름(F)은, 수지(R)를 반송하는 캐리어 필름이기도 하다.

프레스부(130)(도 1 참조)는, 워크에 수지 몰드를 행하고, 몰드 수지부(성형부)를 성형하기 위한 처리부이다. 이 처리 공정에 대해서는, 나중에 상세하게 설명한다. 성형 후의 워크는, 로더(190)에 의해서 로봇 기구부(180)가 구비하는 워크 탑재부(도시 생략)에 일시적으로 탑재되고, 로봇 기구부(180)의 반송 로봇에 넘겨진다.

워크 검사부·냉각부(140)(도 1 참조)는, 성형 후의 워크(성형품)의 상태를 검사하기 위한 처리부이며, 또한, 가열되어 있는 워크를 냉각하기 위한 처리부이다. 냉각부는, 워크 검사부와는 별개로 설치할 수도 있지만, 워크 검사부의 빈 영역에 배치함으로써, 구성을 컴팩트하게 할 수 있다.

워크 검사부의 검사 항목으로서는, 예를 들면, 워크의 두께 계측, 워크의 외관 검사 등이 있다. 이들 검사 결과는, 제어부(170)로 송신되어 처리된다. 예를 들면, 성형품을 일괄 또는 분할하여 촬상하여 외관 관찰에 의해서 미충전 등의 성형 불량이 없는지 여부가 검사된다. 성형의 양부(良否)와 불량이 있는 경우에는 불량의 종류나 촬상 화상을 가동 정보로서 제어부(170)의 기억부에 기억한다. 이상(異常)(상정을 상회하는 미충전 등)이 검출되었을 때에는 장치 전체의 동작을 멈추고 메인터넌스함으로써, 불량품이 연속 생산되는 것을 방지할 수 있다. 검사가 종료되면, 워크 검사부·냉각부(140)의 워크 주고받기 위치로부터 반송 로봇에 의해서 워크가 큐어부(150)로 반송된다.

큐어부(150)(도 1 참조)는, 워크의 몰드 수지부를 가열 경화(포스트큐어)하기 위한 처리부이다. 큐어부(150)는, 외부에 대하여 개폐 문(도시 생략)에 의해서 폐색되고, 내부가 소정 온도로 가열되어 있다. 반송 로봇에 유지되어 있는 워크가 큐어로(150)에 가까이 가면 개폐문이 개방되고, 워크가 내부에 배치되어 반송 로봇이 회피하면 개폐문이 폐색되고, 소정 시간 가열 경화된다. 그 후, 큐어부(150)로부터 반송 로봇에 의해서 반출된 워크는, 워크 검사부·냉각부(140)에서 냉각된 후, 워크 수납부(160)로 반송된다.

워크 수납부(160)(도 1 참조)는, 수지 몰드 장치(100)의 최종 공정으로서 워크를 수납하기 위한 처리부이다. 워크 수납부(160)는, 워크 공급부(110)와 동일한 매거진을 구비하고 있고, 이 매거진에 로봇 기구부(180)의 반송 로봇에 의해서 워크(성형품)가 수납되어 간다.

다음으로, 본 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치(100)의 프레스부(130)에 대하여 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3은 본 실시 형태에 있어서의 프레스부(130)의 모식적 단면도이다. 이 도 3에서는, 피성형품의 상태의 워크(W)도 나타내고 있다. 워크(W)는, 기판(10)(예를 들면, 배선 기판) 상에 칩 부품(11)(예를 들면, 반도체 칩)이 다이본드에 의해 실장되고, 본딩 와이어(도시 생략)에 의해서 기판(10)과 칩 부품(11)이 전기적으로 접속되어 있다.

프레스부(130)는, 몰드 금형(30)(쌍을 이루는 상형(31) 및 하형(32))을 구비하고 있다. 본 실시 형태에서는, 하형(32)을 가동형으로 하고 상형(31)을 고정형으로 하여 설명하지만, 상형(31)을 가동형, 하형(32)을 고정형으로 하거나, 상형(31) 및 하형(32)을 가동형으로 하거나 하는 경우여도 된다.

몰드 금형(30)에서는, 상형(31)에 워크(W)가 유지되고, 하형(32)에 캐비티 오목부(33)(워크 클램프시에 캐비티(C)를 구성한다.)가 설치되어 있다. 몰드 금형(30)은, 캐비티 오목부(33)의 저부를 구성하는 하형 캐비티 피스(34)와 이것을 둘러싸고 캐비티 오목부(33)의 측부(벽부)를 구성하는 하형 클램퍼(35)를 구비하고 있다. 몰드 금형(30)에서는, 하형 클램퍼(35)에 대하여 하형 캐비티 피스(34)가 상대적으로 이동함으로써 캐비티 오목부(33)의 깊이(높이)가 변화되어 캐비티(C)의 용적이 변화된다.

상형(31)의 구성에 대하여 구체적으로 설명한다. 상형(31)은, 상형 베이스(36)와 상형 인서트(37)와 상형 클램퍼(40)를 구비하고 있다. 상형 베이스(36)의 하면에, 도시하지 않은 히터를 구비하여 워크(W)를 가열 가능하게 구성된 상형 인서트(37)가 고정되어 조립되고, 또한, 상형 클램퍼(40)가 상하 방향으로 이동 가능하게 조립되어 있다. 상형 클램퍼(40)는, 한 장의 판 형상 금형으로 구성되고, 이것에 관통 구멍(41)이 형성되어 있다. 이 상형 클램퍼(40)의 관통 구멍(41)에, 상형 인서트(37)가 삽입하여 배치되어 있다. 즉, 상형 인서트(37)는 상형 클램퍼(40)에 둘러싸여 있다.

상형 클램퍼(40)는, 상형 베이스(36)에 가동부를 구성하는 탄성 부재(42)(예를 들면, 스프링)를 개재하여 상하 방향으로 이동 가능하게 조립되고, 매달기 지지(플로팅 지지)되어 있다. 이 때문에, 상형 베이스(36)에 대하여, 고정의 상형 인서트(37)와, 가동하는 상형 클램퍼(40)와의 관계는, 상형 인서트(37)가 탄성 부재(42)의 신축에 의해서 상형 클램퍼(40)에 대하여 상대적으로 이동하게 된다.

형 개방되어 있는 경우와 같은 탄성 부재(42)가 가압되어 있지 않은 상태(외부로부터의 영향을 받고 있지 않은 상태)에서는, 상형 인서트(37)의 하면(하측의 단면)은, 상형 클램퍼(40)의 하면(하측의 단면)보다 높은 위치(상방의 위치)에 있다. 환언하면, 상형 클램퍼(40)의 하면은, 상형 인서트(37)의 하면(하측의 단면)보다 낮은 위치(하방의 위치)에 있다. 후술하지만, 이와 같은 고저 차를 두어, 형 폐쇄할 때에 상형 클램퍼(40)와 하형 클램퍼(35)에 의해 밀폐 공간(챔버)을 구성함으로써, 감압하면서 수지 몰드할 수 있다. 또, 상형 클램퍼(40)에 대하여 상형 인서트(37)를 상대적으로 이동 가능하게 설치함으로써, 워크(W)의 판 두께에 관계없이 균일한 높이 위치에서 워크(W)를 클램프할 수 있다.

또, 상형(31)은, 상형 인서트(37)의 외주면과 상형 클램퍼(40)의 관통 구멍(41)의 내주면과의 사이에 설치된 시일 부재(43)(예를 들면, O-링)를 구비하고 있다. 이 시일 부재(43)는, 워크 클램프시에 형성되는 캐비티(C) 내를 감압으로 하기 위하여, 상형 인서트(37)의 외주면과 상형 클램퍼(40)의 관통 구멍(41)의 내주면과의 사이의 간극이 에어로(41A)가 되도록 시일하고 있다(도 7 참조).

에어로(41A)와 연통하도록, 상형 클램퍼(40)에는, 관통 구멍(41)의 내주면으로부터 금형 외부로 통하는 에어로(44)가 형성되어 있다. 이 에어로(44)는, 금형 외부의 감압부(45)(예를 들면, 펌프)와 연통되어 있다. 후술하지만, 간극의 에어로(41A) 및 에어로(44)를 개재하여 감압부(45)에 의해서, 캐비티(C)가 감압된다.

또한, 상형(31)에는, 워크(W)를 유지하는 워크 유지부가 설치되어 있다(도 27 참조). 이 워크 유지부는, 상형 인서트(37)의 단면에 연통하는 에어로(90)를 설치하고, 이 에어로(90)로 통하는 감압부(91)에 의해서, 상형 인서트(37)의 하면에 워크(W)의 기판(10)의 이면이 합쳐지도록 흡착시켜, 워크(W)를 유지한다. 또는, 워크 유지부는, 상형 인서트(37)의 단면에 설치된 클로(claw)부나, 정전 척에 의해서 워크(W)를 유지하는 경우여도 된다.

하형(32)의 구성에 대하여 구체적으로 설명한다. 가동형인 하형(32)은, 구동원(전동 모터)에 의해 구동하는 구동 전달 기구(토글 링크 등의 링크 기구 또는 나사 축 등)을 개재하여 하형 가동 플래튼을 승강시키는 공지의 형 클램프 기구에 의해서 형 개폐가 행해지게 되어 있다. 이 경우, 하형(32)의 승강 동작은 이동 속도나 가압력 등을 임의로 설정할 수 있다.

하형(32)은 하형 베이스(46)와 하형 캐비티 피스(34)와 하형 클램퍼(35)를 구비하고 있다. 하형 베이스(46)의 상면에, 하형 캐비티 피스(34)가 고정되어 조립되고, 또한, 하형 클램퍼(35)가 상하 방향으로 이동 가능하게 조립되어 있다. 하형 클램퍼(35)는, 한 장의 판 형상 금형으로 구성되고, 이것에 관통 구멍(47)이 형성되어 있다. 이 하형 클램퍼(35)의 관통 구멍(47)에, 하형 캐비티 피스(34)가 삽입되어 배치되어 있다. 즉, 하형 캐비티 피스(34)는 하형 클램퍼(35)에 둘러싸여 있다. 또, 하형 캐비티 피스(34)는, 도시하지 않은 히터를 구비함으로써 후술하는 바와 같이 수지(R)를 가열 가능하게 구성되어 있다.

하형 클램퍼(35)는, 하형 베이스(46)에 가동부를 구성하는 탄성 부재(50)(예를 들면, 스프링)을 개재하여 상하 방향으로 이동 가능하게 조립되고, 플로팅 지지되어 있다. 이 때문에, 하형 베이스(46)에 대하여 고정의 하형 캐비티 피스(34)와, 가동하는 하형 클램퍼(35)와의 관계는, 하형 캐비티 피스(34)가 탄성 부재(50)의 신축에 의해서 하형 클램퍼(35)에 대하여 상대적으로 이동하게 된다.

형 개방하고 있는 경우와 같은 탄성 부재(50)가 가압되어 있지 않은 상태(외부로부터의 영향을 받고 있지 않은 상태)에서는, 하형 캐비티 피스(34)의 상면(상측의 단면)은, 하형 클램퍼(35)의 상면(상측의 단면)보다 낮은 위치(하방의 위치)에 있다. 후술하지만, 이와 같은 고저 차를 두어, 하형 클램퍼(35)에 대하여 하형 캐비티 피스(34)를 상대적으로 이동 가능하게 설치함으로써, 캐비티 오목부(33)의 깊이(캐비티(C)의 용적)를 변화시킬 수 있다.

또, 하형(32)은, 하형 캐비티 피스(34)의 외주면과 하형 클램퍼(35)의 관통 구멍(47)의 내주면과의 사이에 설치된 시일 부재(51)(예를 들면, O-링)를 구비하고 있다. 이 시일 부재(51)는, 하형(32)의 파팅면에 배치되는 릴리스 필름(F)을 흡인하기 위하여, 하형 캐비티 피스(34)의 외주면과 하형 클램퍼(35)의 관통 구멍(47)의 내주면과의 사이의 간극이 에어로(47A)가 되도록 시일하고 있다(도 5 참조). 하형 캐비티 피스(34)의 상면과, 하형 클램퍼(35)의 관통 구멍(47)의 내주면이 캐비티 오목부(33)를 구성하므로, 에어로(47A)는, 캐비티 오목부(33)의 저부와 측부와의 각부(角部)에 연통하게 된다.

이 에어로(47A)와 연통하도록, 하형 클램퍼(35)에는, 관통 구멍(47)의 내주면으로부터 금형 외부로 통하는 에어로(52)가 형성되어 있다. 이 에어로(52)는, 금형 외부의 흡착부(53)(예를 들면, 펌프)와 연통되어 있다. 후술하지만, 간극의 에어로(47A) 및 에어로(52)를 개재하여 흡착부(53)에 의해서, 릴리스 필름(F)의 중앙부가 캐비티 오목부(33)의 형상에 추종하여 흡착 유지된다.

또, 하형 클램퍼(35)에는, 하형 클램퍼(35)의 상면으로부터 금형 외부로 통하는 에어로(54)가 형성되어 있다. 이 에어로(54)는, 금형 외부의 흡착부(55)(예를 들면, 펌프)와 연통되어 있다. 후술하지만, 에어로(54)를 개재하여 흡착부(55)에 의해서, 릴리스 필름(F)의 외주부가 하형 클램퍼(35)의 클램프면에 흡착 유지된다.

또, 각 프레스부(130)에 인접하여, 워크(W)를 상형(31)에 반송 가능한 워크 로더(56)와, 수지(R) 및 릴리스 필름(F)을 하형(32)으로 반송 가능한 필름 로더(57)를 갖는 로더(190)(도 1 참조)가 구비되어 있다. 로더(190)에서는, 워크 로더(56) 및 필름 로더(57)는, 로봇 기구부(180)로부터 프레스부(130) 내부로 워크(W)나 릴리스 필름(F)을 주고받을 수 있게 구성되고, 도시하지 않은 구동 기구에 의해서 각각 다른 계통에 의해 구동되어 프레스부(130)로 워크(W)나 릴리스 필름(F)의 반출입이 가능하게 되어 있다. 또한, 필름 로더(57)는, 수지(R) 및 릴리스 필름(F)을 로더(190) 내에서 로봇 기구부(180)로부터 수취하는 구성으로 해도 되고, 로봇 기구부(180)에 의해 수지 공급부(120)에 반송되어 수지(R) 및 릴리스 필름(F)을 공급받아도 된다.

워크 로더(56)는 지지판(60)과 지지부(61)와 위치 결정부(62)를 구비하고 있다. 지지판(60)은, 그 평면 영역의 크기가, 예를 들면 상형 클램퍼(40)의 관통 구멍(41)의 평면 영역보다 크게 구성되어 있다. 이 지지판(60)의 상면에, 소정의 높이로 평면에서 보아 링 형상의 지지부(61)가 설치되어 있다. 또, 지지판(60)의 상면에 있어서 지지부(61)보다 외측에, 소정의 높이로 복수의 위치 결정부(62)(예를 들면, 핀)가 설치되어 있다.

지지부(61)는, 그 평면 영역이 워크(W)의 기판(10)의 외연(外緣) 내측을 따라서 설치되어, 기판(10)의 평면 영역과 가능한 한 동일한 정도가 되도록 설치되어 있다. 또, 지지부(61)는, 그 높이가 워크(W)의 기판(10)에 탑재된 부재의 높이 (예를 들면, 칩 부품(11)의 두께나 본딩 와이어의 높이)보다 높아지도록 설치되어 있다. 이에 의해, 워크(W)는, 칩 부품(11) 및 본딩 와이어(도시 생략)에 대하여 지지판(60)이 접촉(간섭)하지 않도록, 기판(10)의 표면 외주부에서 지지부(61)에 의해서 지지된다.

위치 결정부(62)는, 상형 클램퍼(40)의 관통 구멍(41)의 내주면에 접촉함으로써, 워크 로더(56)를 상형 인서트(37)에 대하여 위치 결정 가능하게 구성되고, 일례로서 그 평면 배치가 상형 클램퍼(40)의 평면에서 보아 직사각형 형상의 관통 구멍(41)의 각부 각각에 설치되어 있다. 또, 위치 결정부(62)는, 그 높이가 워크(W)를 상형 인서트(37)에 넘겨지기 전에 관통 구멍(41)의 내주면과 접하도록 설치되어 있다. 이에 의해, 워크(W)는, 상형 인서트(37)의 하면의 소정 영역에 배치되도록, 위치 결정부(62)에 의해서 위치 결정된다.

이와 같은 구성의 워크 로더(56)에 의해서, 워크(W)의 기판(10)의 이면을 상형 인서트(37)의 하면에 접촉시켜, 워크(W)가 상형(31)으로 넘겨진다. 이 때, 지지부(61)에 의해서 기판(10)이 상형 인서트(37)의 하면에 밀리고, 이 기판(10)(워크(W))이 상형(31)의 유지부에 의해서 유지되게 된다.

필름 로더(57)는, 수지(R)가 탑재된 릴리스 필름(F)을 흡착하여 유지하는 핸드부(63)를 구비하고 있다. 핸드부(63)는, 릴리스 필름(F)을 유지하는 유지면(64)(흡착면)과, 유지면(64)으로 통하는 에어로(65)와, 유지면(64)으로부터 오목한 오목부(66)를 갖는다.

유지면(64)은, 그 크기(핸드부(63)의 평면 영역의 크기)가, 예를 들면 길쭉한 형상의 릴리스 필름(F)의 평면 영역의 외주를 따라서 흡착 가능한 크기로 되어 있다. 오목부(66)는, 유지면(64)의 영역 내에서, 예를 들면 n행 m열(n, m 중 적어도 어느 하나가 2 이상)의 매트릭스 배치되도록 핸드부(63)에 복수 형성되어 있다. 에어로(65)는, 오목부(66)와 간섭하지 않고 유지면(64)(예를 들면, 유지면(64)의 외주부나, 오목부(66) 사이의 유지면(64))으로부터 핸드부(63)의 외부로 통하도록 핸드부(63)에 형성되어 있다. 유지면(64)으로 통하는 에어로(65)는, 오목부(66)의 주위(각 오목부(66) 사이)에 설치되어 있다. 또, 에어로(65)는, 핸드부(63)의 외부의 흡착부(67)(예를 들면, 펌프)와 연통되어 있다. 이에 의해서, 수지(R)가 탑재된 릴리스 필름(F)을, 수지(R)를 둘러싸고 흡착함으로써 필요에 따라서 외주에 있어서 인장을 가하면서 유지할 수 있고, 수지(R)의 무게에 의해서 릴리스 필름(F)이 휘지 않도록 플랫하게 흡착 유지할 수 있다. 또한, 여기서 말하는, 릴리스 필름(F)이 플랫한 상태란, 릴리스 필름(F)이 절곡되거나 일그러지거나 되어 있지 않고 수지(R)의 반송이나 몰드 금형(30)에의 세트에 문제가 없을 정도로 평평한 상태를 말하며, 반드시 완전한 평면으로 되어 있을 필요는 없다.

이와 같은 구성의 필름 로더(57)에 의해서, 오목부(66)에서 릴리스 필름(F)에 탑재된 수지(R)에 대해서는 회피부를 확보하면서, 오목부(66)의 주위의 에어로(65)로부터 릴리스 필름(F)을 흡인하고 있다. 이에 의해, 유지면(64)에 릴리스 필름(F)이 플랫하게 유지된 상태(변형이 없는 상태)에서, 수지(R) 및 릴리스 필름(F)이 하형(32)으로 넘겨진다. 또, 오목부(66)에 의해서 수지(R)에 대한 회피부를 확보할 수 있으므로, 릴리스 필름(F)에 탑재된 수지(R)의 상태(형상, 양)를 유지할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 릴리스 필름(F)의 전체면이 아니라, 복수의 에어리어(복수의 오목부(66)에 대응하고 있다.)로 나뉘어 수지(R)가 탑재된다. 또한, 릴리스 필름(F)의 강도나 수지(R)의 중량에 따라서는 릴리스 필름(F)의 외주에서만 흡인하여 유지할 수도 있다.

다음으로, 본 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치(100)를 이용한 수지 몰드 방법(수지 몰드 장치(100)의 동작 방법)에 대하여 도 3∼도 9를 참조하여 설명한다. 도 3∼도 9는 본 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 공정 중의 프레스부(130)의 모식적 단면도이다.

본 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치(100)는, 하형(32)의 파팅면에 배치되는 릴리스 필름(F)을 구비하고 있다. 릴리스 필름(F)을 이용함으로써, 하형 캐비티 피스(34)와 하형 클램퍼(35)와의 간극으로부터의 수지 누설을 방지할 수 있다. 또, 하형 캐비티 피스(34)와 하형 클램퍼(35)와의 사이의 수지 막힘을 방지하여 하형 클램퍼(35)에 대한 하형 캐비티 피스(34)의 상대적 이동을 확보할 수 있다. 또한, 릴리스 필름(F)의 강도나 수지(R)의 중량에 따라서는 릴리스 필름(F)의 외주에서만 흡인하여 유지할 수도 있다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 몰드 금형(30)이 형 개방한 상태에 있어서, 금형 외부로부터, 워크 로더(56)에 의해서 워크(W)를 반입한다.

또, 몰드 금형(30)이 형 개방한 상태에 있어서, 필름 로더(57)에 의해서 수지(R) 및 릴리스 필름(F)을 반입한다. 이에 앞서, 롤 형상의 릴리스 필름(F) 상에 수지(R)가 탑재(공급)되고, 소정의 형상(예를 들면, 길쭉한 형상)으로 릴리스 필름(F)이 절단되어 있다(도 2 참조). 이 릴리스 필름(F)은, 흡착부(67)에 의해서 흡인하여 유지면(64)에 흡착되어 플랫 상태로 반입된다. 또한, 흡착부(67) 등의 흡인 동작은 화살표로 나타나 있다(도 3 등 참조).

계속해서, 도 4에 나타낸 바와 같이, 워크 로더(56)를 상승시키고, 상형(31)에 워크(W)를 넘긴다. 구체적으로는, 워크 로더(56)의 상승에 의해서, 위치 결정부(62)를 상형 클램퍼(40)의 관통 구멍(41)의 내주면에 맞닿게 한 후, 기판(10)의 이면을 상형 인서트(37)의 하면에 맞닿게 한다. 이어서, 워크 유지부(도시 생략)에 의해서, 상형 인서트(37)의 하면에 기판(10)(워크(W))이 유지된다. 이와 같이 하여, 워크 로더(56)로부터 상형(31)으로 워크(W)가 넘겨진다.

또, 도 4에 나타낸 바와 같이, 필름 로더(57)를 하강시키고, 하형(32)에 수지(R)가 탑재된 릴리스 필름(F)을 넘겨 수지(R)의 용융을 개시하게 한다. 구체적으로는, 먼저, 필름 로더(57)의 하강에 의해서, 릴리스 필름(F)을 개재하여 유지면(64)을 하형 클램퍼(35)의 상면에 맞닿게 한 후, 탄성 부재(50)를 압축시킨다(가동부를 가동시킨다). 즉, 필름 로더(57)의 하강에 의해서, 하형 클램퍼(35)를 밀어 내린다. 이어서, 하형 캐비티 피스(34)의 상면(상측의 단면)과 하형 클램퍼(35)의 상면(상측의 단면)이 수평 상태가 될 때까지, 필름 로더(57)를 하강시킨다. 또한, 여기서, 필름 로더(57)를 하강시키는 동작 대신에, 하형(32)을 상승시키는 동작에 의해 하형(32)에 릴리스 필름(F)을 넘겨도 된다.

이 때, 릴리스 필름(F) 상의 수지(R)는 하형 캐비티 피스(34) 내에 의해 가열됨으로써 용융이 개시된다. 또, 필름 로더(57)는, 유지면(64)에 의해 플랫한 릴리스 필름(F)을 유지하고 있다. 즉, 하형 캐비티 피스(34)의 상면(상측의 단면)과 하형 클램퍼(35)의 상면(상측의 단면)이 수평으로 유지된 하형(32)에, 필름 로더(57)에 의해서 수지(R)가 하형 캐비티 피스(34) 상에 위치하도록 플랫한 릴리스 필름(F)을 배치한다. 또한, 릴리스 필름(F)은, 하형(32)에 배치(공급)되었을 때에 플랫하면 된다. 이 경우, 도 4에 나타낸 바와 같이, 필름 로더(57)의 유지면(64)이 릴리스 필름(F)을 개재하여 캐비티 오목부(33)에 밀린 것과 같은 형상 또는 크기로 한 경우에는, 필름 로더(57)가 캐비티 피스(34)의 단면에 맞닿을 때까지 밀어 내리는 동작을 행하는 것만으로, 수평 상태의 하형(32)에 릴리스 필름(F)을 공급할 수 있어, 주름 등을 발생시키지 않고 간단하게 공급할 수 있다.

이어서, 하형 캐비티 피스(34)의 상면과 하형 클램퍼(35)의 상면이 수평인 상태에서, 하형 캐비티 피스(34)의 상면 및 하형 클램퍼(35)의 상면을 덮도록 배치된 플랫 상태의 릴리스 필름(F)을, 흡착부(53, 55)에 의해서 흡착, 유지한다. 이에 의해서, 필름 로더(57)로부터 하형(32)으로 수지(R) 및 릴리스 필름(F)이 넘겨진다. 또한, 흡착부(53, 55)는 다른 계통이어도 되고, 동일 계통이어도 된다.

계속해서, 후술하는 바와 같이 워크(W)를 유지한 후, 도 5에 나타낸 바와 같이, 워크 로더(56)를 하강시킨다. 이에 의해, 워크 로더(56)가 워크(W)로부터 격리된다. 그리고, 워크(W)는 상형(31)에 의해서만 유지된다.

또, 도 5에 나타낸 바와 같이, 흡착부(53, 55)에 의해서 플랫한 릴리스 필름(F)을 에어로(47A, 52, 54)로부터 흡인하면서, 필름 로더(57)를 상승시켜, 탄성 부재(50)를 신장시킨다(가동부를 가동시킨다). 그리고, 이 탄성 부재(50)에 의해서 하형 클램퍼(35)에 대하여 하형 캐비티 피스(34)를 상대적으로 이동하여 캐비티 오목부(33)를 형성한다. 이 때, 흡착부(55)에 의해서 릴리스 필름(F)의 외주부가 흡착되고, 흡착부(53)에 의해서 릴리스 필름(F)의 캐비티 오목부(33)의 각부에 대응하는 개소가 흡착되어 있으므로, 캐비티 오목부(33)의 내면에 추종시키면서 릴리스 필름(F)이 변형된다. 이에 의해, 릴리스 필름(F)이 캐비티 오목부(33)의 내면에 추종하여 흡착 유지된다.

또, 캐비티 오목부(33)의 내면에 추종시키면서 릴리스 필름(F)을 흡착 유지함과 함께, 수지(R)를 그대로 캐비티 오목부(33)에 공급한다. 필름 로더(57)에 의해서 수지(R)가 릴리스 필름(F)을 개재하여 하형 캐비티 피스(34) 상에 배치되어 있으므로, 하형 클램퍼(35)에 대하여 하형 캐비티 피스(34)가 상대적으로 이동하여 캐비티 오목부(33)가 형성되더라도, 수지(R)는 그대로의 상태를 유지하여 캐비티 오목부(33)에 공급된다. 따라서, 수지(R)의 형상이 무너지지 않고, 또한 위치가 바뀌지 않고 캐비티 오목부(33)의 저부에 수지(R)를 공급할 수 있다. 이와 같이 캐비티 오목부(33)에 원하는 상태에서 수지(R)를 공급하는 것은, 보이드나 와이어 스위프 등에 의한 성형품의 품질 불량을 저감하는 것에 작용한다.

계속해서, 도 6에 나타낸 바와 같이, 워크 로더(56) 및 필름 로더(57)를 몰드 금형(30) 내부로부터 회피시킨다.

계속해서, 도 7에 나타낸 바와 같이, 가동형인 하형(32)을 상승시켜, 몰드 금형(30)을 형 폐쇄(형 체결)한다. 구체적으로는, 하형 클램퍼(35)와 상형 클램퍼(40)에 의해 릴리스 필름(F)을 클램프하는 위치까지 하형(32)을 상승시킨다. 이에 의해, 캐비티 오목부(33)를 포함하는 몰드 금형(30) 내부가 기밀된다. 이 때, 감압부(45)를 구동해 둠으로써, 에어로(41A) 및 에어로(44)를 개재하여 캐비티 오목부(33)를 포함하는 몰드 금형(30) 내부가 감압(탈기)된다. 몰드 금형(30) 내부를 감압함으로써, 그 후의 수지 몰드에 있어서 용융한 수지(R)에 혼입되는 에어가 제거되어, 성형품에 보이드의 발생을 방지할 수 있다.

계속해서, 도 8에 나타낸 바와 같이, 가동형인 하형(32)을 더 상승시켜, 기판(10)의 외주부에 릴리스 필름(F)을 개재하여 하형 클램퍼(35)의 상면을 맞닿게 한다. 이 때, 탄성 부재(42)가 탄성 부재(50)보다 약하므로, 하형(32)(하형 클램퍼(35))의 상승에 의해서, 상형 클램퍼(40)를 개재하여 탄성 부재(42)가 압축된다. 이에 의해, 상형 인서트(37)(상형(31))와 하형 클램퍼(35)(하형(32))에 의해 워크(W)가 클램프되고, 기판(10)의 표면과 상형 클램퍼(40)의 하면은 수평인 상태가 된다. 이와 같이, 상형 클램퍼(40)에 대하여 상형 인서트(37)를 상대적으로 이동시킴으로써, 워크(W)의 판 두께에 관계없이 균일한 높이 위치에서 워크(W)를 클램프할 수 있다.

계속해서, 도 9에 나타낸 바와 같이, 가동형인 하형(32)을 더 상승시켜, 칩 부품(11)을 금형 온도에서 용융한 수지(R)에 침지시킨 후, 캐비티(C)(캐비티 오목부(33))에 충전된 용융 수지(R)를 가열 경화하여, 워크(W)에 수지 몰드를 행한다. 이 때, 하형 클램퍼(35)가 기판(10)을 개재하여 상형(31)에 맞닿아 이동이 방해받고 있으므로, 하형(32)(하형 베이스(46))의 상승에 의해서, 탄성 부재(50)가 압축된다. 하형(32)의 상승 정지 위치(환언하면, 이 탄성 부재(50)의 수축량)을 조정함으로써 원하는 성형 두께(성형 위치)에 있어서 수지 몰드가 행해진다. 이에 의해, 성형품이 거의 완성된다.

그 후, 워크 유지부에 의해서 워크(W)(성형품)가 상형(31)에 의해 유지되고, 또한, 흡착부(53, 55)에 의해서 릴리스 필름(F)이 하형(32)에 의해 유지된 상태에서 형 개방한다. 이 때, 릴리스 필름(F)을 이용하고 있음으로써, 워크(W)를 용이하게 이형시킬 수 있다. 그리고, 전술한 바와 같이, 검사부·냉각부(140), 큐어부(150)를 거쳐 워크 수납부(160)에 워크(W)를 수납한다.

본 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치(100)를 이용함으로써, 플랫 상태에서 릴리스 필름(F)을 배치하고 나서 캐비티 오목부(33)의 형상에 추종하여 릴리스 필름(F)을 변형할 수 있다. 예를 들면, 릴리스 필름(F)이 주름지거나 겹치거나 한 상태에서 몰드 금형(30)에 공급되는 경우는 없다. 따라서, 릴리스 필름(F)의 주름 등에 의한 성형품의 외관에의 전사를 방지하거나, 겹친 개소로부터의 수지 누설을 방지하거나 하여, 성형품의 품질성을 향상할 수 있다. 또, 하형(32)에 캐비티 오목부(33)를 구성함으로써, 캐비티 오목부(33)의 전체면에 공급되어 용융된 수지(R)에, 예를 들면, 칩 부품(11)이나 본딩 와이어(도시 생략)를 침지시킴으로써, 수지(R)의 유동을 최소한으로 함으로써 보이드나 와이어 스위프 등의 성형품의 품질 불량을 저감할 수 있다.

(제 2 실시 형태)

상기 제 1 실시 형태에 비하여, 본 실시 형태에서는, 워크 로더(56)기 워크(W)를 지그(상형 인서트(37)의 하부)와 함께 상형(31)에 배치(세트)하고, 필름 로더(57)가 가열부, 냉각부, 셔터부를 구비하는 점이 상이하다. 이하에서는, 이 상이점을 중심으로 도 10∼도 14를 참조하여 설명한다. 도 10∼도 14는 본 실시 형태에 있어서의 프레스부(130)의 모식적 단면도이다.

워크(W)(기판(10))가 대형이 됨에 따라, 워크(W)에는 휨(휘어짐)이 크게 발생하기 때문에, 상기 제 1 실시 형태와 같이, 단지, 기판(10)의 표면 외주부에서 워크 로더(56)(지지부(61))에 의해서 워크(W)를 유지한 경우에는, 기판(10)이 자중(自重)에 의해 휘어 형 내에서의 유지가 곤란하게 되거나, 반송 중에 낙하하거나 하는 등의 문제가 생겨 버린다. 그래서, 본 실시 형태에서는, 대형의 기판(10)의 이면에 플레이트 형상의 지그(37A)(부재)를 대고 휨의 발생을 방지하고, 지그(37A)와 함께 워크(W)를 워크 로더(56)에 의해서 반송한다. 이 지그(37A)는, 예를 들면, 상형 인서트(37)와 동일한 재질(스테인레스강)이다. 이 때문에, 지그(37A)는, 상형 인서트(37)의 하부가 분리 가능하게 설치된 것으로 간주할 수도 있다.

또, 상기 제 1 실시 형태와 같이, 필름 로더(57)에 복수의 오목부(66)를 설치하는 구성의 경우, 오목부(66)의 외주부(유지면(64)으로 통하는 에어로(65)가 설치되어 있다.)의 영역에는, 릴리스 필름(F) 상에 수지(R)를 탑재할 수 없다. 그러나, 핸드부(63)에 개구부가 넓은 하나의 오목부(66)를 형성하여, 릴리스 필름(F)에 광범위하게 수지(R)를 탑재한 경우에는, 수지(R)의 무게에 의해서 릴리스 필름(F)이 너무 휘어 플랫하게 유지하기가 곤란하게 되는 것을 생각할 수 있다. 그래서, 본 실시 형태에서는, 핸드부(63)의 개구부 하에 있어서, 수지(R)가 탑재된 릴리스 필름(F)을 유지 가능한 셔터부(70)를 설치하고 있다.

여기서, 본 실시 형태에 있어서의 필름 로더(57)에 대하여 구체적으로 설명한다. 필름 로더(57)는, 유지면(64)을 개폐 가능한 롤 형상의 셔터부(70)를 구비하고 있다. 이 셔터부(70)는, 도시하지 않은 구동부에 의해서, 유지면(64)을 개방한 상태(개방 상태)에는, 권취되어 유지면(64)으로부터 회피되고, 유지면(64)을 폐쇄한 상태(폐쇄 상태)에는, 유지면(64)에 송출된다. 이 때문에, 필름 로더(57)는, 셔터부(70)의 폐쇄 상태에서 릴리스 필름(F)을 셔터부(70)에 의해 지지하여 반송하고, 셔터부(70)의 개방 상태에서 하형(32)에 릴리스 필름(F)을 배치할 수 있다.

셔터부(70)는, 예를 들면, 얇은 판금이나 수지재와 같은 권취가 가능한 재질로 구성된다. 또, 셔터부(70)의 재질은, 릴리스 필름(F)에 대한 마찰 저항이 낮은 재질이나 형상을 갖는 것이 바람직하다. 이에 의해, 릴리스 필름(F)을 일그러지게 하지 않고 권취할 수 있다. 또, 셔터부(70)에는, 권취 방향에 직교하는 방향으로 연장하는 지지봉과 같은 심(71)이 들어간 것이 릴리스 필름(F)을 평탄하게 유지하는 면에서 바람직하다.

이와 같은 필름 로더(57)에 의하면, 릴리스 필름(F) 상에 탑재되어 있는 오목부(66) 내의 수지(R)의 무게에 의해서 릴리스 필름(F)이 휘지 않도록, 셔터부(70)에서 릴리스 필름(F)을 플랫하게 유지(지지)할 수 있다. 또, 릴리스 필름(F)의 하형(32)에의 배치시에는 셔터부(70)를 권취하여 공간절약화를 도모할 수 있다. 단, 셔터부(70)는, 반드시 권취 가능한 구성으로 할 필요는 없고, 판 형상의 부재를 개폐 가능하게 하는 구성으로 하더라도 릴리스 필름(F)(즉, 수지(R))을 유지할 수 있다.

또, 필름 로더(57)는 냉각부(72) 및 가열부(73)를 구비하고 있다. 이것에 의하면, 릴리스 필름(F)이나 이것에 탑재되는 수지(R)의 가열을 보조하거나, 냉각하거나 하는 것이 용이하게 된다. 또, 셔터부(70)에 가열부를 포함시킨 구성으로 함으로써, 릴리스 필름(F)을 예열하여, 릴리스 필름(F)을 캐비티 오목부(33)의 형상에 보다 확실하게 따르게 할 수도 있다. 이 경우, 예를 들면 심(71)을 열선으로 함으로써 셔터부(70)에 설치하는 가열부로 할 수 있다.

다음으로, 본 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치(100)를 이용한 수지 몰드 방법(수지 몰드 장치(100)의 동작 방법)에 대하여 설명한다.

도 10에 나타낸 바와 같이, 몰드 금형(30)이 형 개방한 상태에 있어서, 금형 외부로부터, 워크 로더(56)에 의해서 지그(37A)와 함께 워크(W)를 반입한다.

또, 몰드 금형(30)이 형 개방한 상태에 있어서, 필름 로더(57)에 의해서 수지(R) 및 릴리스 필름(F)을 반입한다. 이 때, 금형으로부터의 복사열에 의해 수지(R)가 가열되는 것을 방지하고 싶을 때에는, 냉각부(72)를 온 상태(또는 오프 상태)로 하고, 가열부(73)를 오프 상태로 해 둠으로써, 릴리스 필름(F)이나 수지(R)가 가열되는 것을 방지할 수도 있다.

또, 폐쇄한 상태의 셔터부(70)에 의해, 릴리스 필름(F) 상에 탑재된 수지(R)를 유지시킨 상태에서 몰드 금형(30)에 반입한다. 이 릴리스 필름(F)은, 흡착부(67)에 의해서 흡인하여 유지면(64)에 흡착되어 플랫 상태로 반입된다.

계속해서, 도 11에 나타낸 바와 같이, 워크 로더(56)를 상승시키고, 지그(37A)와 함께 워크(W)를 상형(31)으로 넘긴다. 구체적으로는, 워크 로더(56)의 상승에 의해서, 위치 결정부(62)를 상형 클램퍼(40)의 관통 구멍(41)의 내주면에 맞닿게 한 후, 워크(W)를 유지하고 있는 지그(37A)를 상형 인서트(37)의 하면에 맞닿게 한다. 이어서, 워크 유지부(도시 생략)에 의해서, 상형 인서트(37)의 하면에 워크(W) 및 지그(37A)를 유지한다. 이와 같이 하여, 워크 로더(56)로부터 상형(31)으로 워크(W)가 넘겨진다.

또, 도 11에 나타낸 바와 같이, 필름 로더(57)를 하강한다. 구체적으로는, 먼저, 필름 로더(57)의 하강에 의해서, 릴리스 필름(F) 및 셔터부(70)를 개재하여 유지면(64)을 하형 클램퍼(35)의 상면에 맞닿게 한 후, 탄성 부재(50)를 압축시킨다(가동부를 가동시킨다). 즉, 필름 로더(57)의 하강에 의해서, 하형 클램퍼(35)를 밀어 내린다. 이어서, 하형 캐비티 피스(34)의 상면과 하형 클램퍼(35)의 상면이 수평 상태가 될 때까지, 필름 로더(57)를 하강시킨다. 또한, 냉각부(72)를 온 상태로 하고 있는 경우, 몰드 금형(30)의 금형 온도를 저하시키지 않도록, 도 11에 나타낸 공정에서는, 냉각부(72)는 오프 상태로 하는 것이 바람직하다.

계속해서, 도 12에 나타낸 바와 같이, 워크 로더(56)를 하강시킨다. 이에 의해, 워크 로더(56)가 워크(W)로부터 격리된다. 그리고, 워크(W)는 상형(31)에 의해 유지된다.

또, 도 12에 나타낸 바와 같이, 하형(32)에 수지(R)가 탑재된 릴리스 필름(F)을 넘긴다. 구체적으로는, 먼저, 셔터부(70)를 권취하여, 하형 캐비티 피스(34)의 상면과 하형 클램퍼(35)의 상면이 수평으로 유지된 하형(32)에, 필름 로더(57)에 의해서 수지(R)가 하형 캐비티 피스(34) 상에 위치하도록 플랫 릴리스 필름(F)을 배치한다. 이어서, 흡착부(53, 55)에 의해서, 하형 캐비티 피스(34)의 상면 및 하형 클램퍼(35)의 상면이 수평이 된 하형(32)의 파팅면에, 플랫 상태의 릴리스 필름(F)을 흡착, 유지한다. 이에 의해서, 필름 로더(57)로부터 하형(32)으로 수지(R) 및 릴리스 필름(F)이 넘겨진다. 또, 가열부(73)를 온 상태로 함으로써, 하형(32)측(하방)으로부터의 가열에 추가하여, 상방으로부터도 수지(R)에 대하여 가열할 수 있어, 용융시키기 위한 시간을 단축시킬 수 있다. 이에 의해, 생산성을 향상할 수 있다.

계속해서, 도 13에 나타낸 바와 같이, 흡착부(53, 55)에 의해서 플랫한 릴리스 필름(F)을 에어로(47A, 52, 54)로부터 흡인하면서, 필름 로더(57)를 상승시켜, 탄성 부재(50)를 신장시킨다(가동부를 가동시킨다). 그리고, 이 탄성 부재(50)에 의해서 하형 클램퍼(35)에 대하여 하형 캐비티 피스(34)를 상대적으로 이동하여 캐비티 오목부(33)를 형성한다. 이 때, 흡착부(55)에 의해서 릴리스 필름(F)의 외주부가 흡착되고, 흡착부(53)에 의해서 릴리스 필름(F)의 캐비티 오목부(33)의 각부에 대응하는 개소가 흡착되어 있으므로, 캐비티 오목부(33)의 내면에 추종시키면서 릴리스 필름(F)이 변형된다. 이에 의해, 릴리스 필름(F)이 캐비티 오목부(33)의 내면에 추종하여 흡착 유지된다.

이 때에, 캐비티 오목부(33)의 내면에 추종시키면서 릴리스 필름(F)을 흡착 유지함으로써, 수지(R)가 그대로의 형상으로 캐비티 오목부(33)에 공급된다. 환언하면, 필름 로더(57)에 의해서 수지(R)가 릴리스 필름(F)을 개재하여 하형 캐비티 피스(34) 상에 배치되어 있으므로, 하형 클램퍼(35)에 대하여 하형 캐비티 피스(34)가 상대적으로 이동하여 캐비티 오목부(33)가 형성되더라도, 수지(R)는 그대로의 상태를 유지하여 캐비티 오목부(33)에 공급된다. 따라서, 수지(R)의 형상이 무너지지 않고, 또한 위치가 바뀌지 않고 캐비티 오목부(33)의 저부에 수지(R)를 공급할 수 있다.

계속해서, 도 14에 나타낸 바와 같이, 워크 로더(56) 및 필름 로더(57)를 몰드 금형(30) 내부로부터 회피시킨다. 그 후, 상기 제 1 실시 형태에서 도 7∼도 9을 참조하여 설명한 공정을 거쳐, 성형품이 거의 완성된다.

(제 3 실시 형태)

상기 제 2 실시 형태에서는, 필름 로더(57)로서, 수지(R)가 탑재된 탑재면측에서 릴리스 필름(F)을 흡착 유지하는 핸드부(63) 및 그 탑재면과는 반대면측에서 릴리스 필름(F)을 지지하는 셔터부(70)를 이용한 경우에 대하여 설명하였다. 이에 비하여, 본 실시 형태에서는, 필름 로더(57)로서, 수지(R) 및 릴리스 필름(F)을 지지하고, 그대로 하형(32)에 배치(세트)되는 지그(부재)를 이용하는 점이 상이하다. 이하에서는, 이 상이점을 중심으로 도 15∼도 19를 참조하여 설명한다. 도 15∼도 19는 본 실시 형태에 있어서의 프레스부(130)의 모식적 단면도이다.

상기 제 2 실시 형태와 같이, 릴리스 필름(F)을 지지하는 셔터부(70)에서는, 릴리스 필름(F)을 하형(32)에 배치할 때에, 셔터부(70)를 권취할(떼어낼) 필요가 있다. 이 때, 릴리스 필름(F) 상의 수지(R)가 무너지는 등에 의해 그 분포에 치우침이 발생할 우려가 있다. 그래서, 본 실시 형태에서는, 릴리스 필름(F) 아래에 플레이트 형상의 지그(34A)를 대고 플랫한 릴리스 필름(F)을 유지하고, 지그(34A)와 함께 릴리스 필름(F)을 필름 로더(57)에 의해서 반송하고, 릴리스 필름(F)이 배치된 대로의 상태의 지그(34A)를 하형(32)으로서 사용한다. 즉, 이 지그(34A)는, 예를 들면, 하형 캐비티 피스(34)와 동일한 재질(스테인레스강)이기 때문에, 하형 캐비티 피스(34)의 상부가 분리 가능하게 설치된 것으로 간주할 수 있다.

여기서, 본 실시 형태에 있어서의 필름 로더(57)와 프레스부(130)에 대하여 구체적으로 설명한다. 필름 로더(57)는, 하형 캐비티 피스(34)의 상부가 분리 가능하게 설치된 지그(34A)와, 하형 클램퍼(35)의 상부가 분리 가능하게 설치된 지그(35A)를 구비하고 있다. 또, 지그(35A)의 관통 구멍에 지그(34A)가 배치되고, 지그(34A)를 들어 올려 지지하도록, 지그(34A)의 외주면과 지그(35A)의 내주면이 복수의 접속 부재(74)에 의해서 접속되어 있다. 이 접속 부재(74)는, 예를 들면, 판 스프링과 같이, 지그(34A)에 대하여 지그(35A)를 상하 방향으로 가동할 수 있는 가동부로서도 이용된다.

이들 지그(34A)와 지그(35)의 두께가 다르고, 지그(34A)가 지그(35A)보다 두께가 얇다. 그리고, 외부로부터의 영향을 받고 있지 않은 상태에서는, 접속 부재(74)에 의해서, 지그(34A)의 단면과 지그(35A)의 단면이 수평으로 유지되어 있다. 또, 프레스부(130)에서는, 형 개방하고 있는 경우와 같은 탄성 부재(50)가 가압되어 있지 않은 상태(외부로부터의 영향을 받고 있지 않은 상태)에 있어서, 하형 캐비티 피스(34)의 하부 상면과 하형 클램퍼(35)의 하부 상면은, 동일한 높이 위치로 할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 이와 같은 지그(34A, 35A)의 두께 차(고저 차)를 두고, 지그(35A)(하형 클램퍼(35)의 상부)에 대하여 지그(34A)(하형 캐비티 피스(34)의 상부)를 상대적으로 이동 가능하게 설치함으로써, 캐비티 오목부(33)의 깊이(캐비티(C)의 용적)를 변화시킬 수 있다.

또, 본 실시 형태에 있어서의 프레스부(130)(필름 로더(57))는, 상면(수지(R)가 탑재된 면)으로부터 릴리스 필름(F)을 누르는 누름부(75, 76)를 구비하고 있다. 누름부(75)는, 수지(R)의 주위에서 릴리스 필름(F)을 누를 수 있도록, 외형이 다른 2개의 각환(角環) 형상 부재를 조합한 것과 같은 플랜지 형상으로 형성되고, 지그(34A)의 외주부의 단면에 대향하여 설치된다. 또, 누름부(76)는, 릴리스 필름(F)에 있어서의 하형 클램퍼(35)의 단면에 대향하여 외주부를 누를 수 있도록, 지그(35A)의 단면에 대향하여 설치된다.

필름 로더(57)에 의해서, 지그(34A)의 단면과 지그(35A)의 단면을 수평으로 유지하면서, 이들 단면에 릴리스 필름(F)을 플랫하게 유지하여 릴리스 필름(F)이 반송된다. 이에 의하면, 릴리스 필름(F) 및 이것에 탑재된 수지(R)를 안정된 상태에서 몰드 금형(30)에 배치할 수 있다.

다음으로, 본 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치(100)를 이용한 수지 몰드 방법(수지 몰드 장치(100)의 동작 방법)에 대하여 설명한다.

도 15에 나타낸 바와 같이, 몰드 금형(30)이 형 개방한 상태에 있어서, 금형 외부로부터, 워크 로더(56)에 의해서 워크(W)를 반입한다. 또, 몰드 금형(30)이 형 개방한 상태에 있어서, 필름 로더(57)에 의해서 수지(R) 및 릴리스 필름(F)을 반입한다.

또한, 이에 앞서, 예를 들면, 수지 공급부(120)에 있어서, 지그(34A)의 단면과 지그(35A)의 단면이 수평으로 유지된 상태에서, 롤 형상의 릴리스 필름(F)을 송출하고, 이 릴리스 필름(F) 상에 수지(R)가 탑재(공급)된다. 이어서, 소정의 형상(예를 들면, 길쭉한 형상)으로 릴리스 필름(F)이 절단됨으로써(도 2 참조), 이 릴리스 필름(F)은, 지그(34A) 및 지그(35A)의 단면이 수평이기 때문에, 거기에 배치될 때의 상태도 플랫이 된다. 이것이 로봇 기구부(180)와 로더(190)를 개재하여, 프레스부(130)에 공급된다.

계속해서, 도 16에 나타낸 바와 같이, 워크 로더(56)를 상승시키고, 워크(W)를 상형(31)으로 넘긴다.

또, 도 16에 나타낸 바와 같이, 필름 로더(57)를 하강시킨다. 구체적으로는, 필름 로더(57)의 하강에 의해서, 지그(35A)를 하형 클램퍼(35)의 상면에 맞닿게 한다. 이 때, 릴리스 필름(F)은, 지그(34A)(하형 캐비티 피스(34)의 상부)의 단면과 지그(35A)(하형 클램퍼(35)의 상부)의 단면이 수평으로 유지된 하형(32)에 필름 로더(57)에 의해서 플랫하게 배치된다. 또한, 이 때, 지그(34A)는 하형 캐비티 피스(34)의 상면에 맞닿아 있지 않다.

계속해서, 도 17에 나타낸 바와 같이, 워크 로더(56)를 하강시킨다. 이에 의해, 워크 로더(56)가 워크(W)로부터 격리된다.

또, 도 17에 나타낸 바와 같이, 흡착부(53, 55)에 의해서, 릴리스 필름(F)을 흡인한다. 구체적으로는, 흡착부(55)에 의해서 릴리스 필름(F)의 외주부가 흡착되고, 흡착부(53)에 의해서 릴리스 필름(F)의 중앙부가 흡착되어, 지그(35A)에 대하여 상하 방향으로 가동으로 설치되어 있는 지그(34A)가 접속 부재(74)에 의해서 하강한다(가동부를 가동시킨다).

이 접속 부재(74)에 의해서 하형 클램퍼(35)에 대하여 하형 캐비티 피스(34)를 상대적으로 이동하여 캐비티 오목부(33)가 형성되게 된다. 이 때, 흡착부(55)에 의해서 릴리스 필름(F)의 외주부가 흡착되고, 흡착부(53)에 의해서 릴리스 필름(F)의 캐비티 오목부(33)의 각부에 대응하는 개소가 흡착되어 있으므로, 캐비티 오목부(33)의 내면에 추종시키면서 릴리스 필름(F)이 변형된다. 이에 의해, 릴리스 필름(F)이 캐비티 오목부(33)의 내면에 추종하여 흡착 유지된다.

또, 캐비티 오목부(33)의 내면에 추종시키면서 릴리스 필름(F)을 흡착 유지함과 함께, 수지(R)를 그대로 캐비티 오목부(33)에 공급한다. 필름 로더(57)에 의해서 수지(R)가 릴리스 필름(F)을 개재하여 지그(34A) 상에 배치되어 있으므로, 캐비티 오목부(33)가 형성되더라도, 수지(R)는 그대로의 상태를 유지하여 캐비티 오목부(33)에 공급된다. 따라서, 수지(R)의 형상이 무너지지 않고, 또한 위치가 바뀌지 않고 캐비티 오목부(33)의 저부에 수지(R)를 공급할 수 있다.

계속해서, 도 18에 나타낸 바와 같이, 흡착부(53, 55)에 의해서 릴리스 필름(F)을 에어로(52, 54)로부터 흡인하면서, 필름 로더(57)를 상승시켜, 하형(32)에 수지(R) 및 릴리스 필름(F)을 넘긴다.

계속해서, 도 19에 나타낸 바와 같이, 워크 로더(56) 및 필름 로더(57)를 몰드 금형(30) 내부로부터 회피시킨다. 그 후, 상기 제 1 실시 형태에서 도 7∼도 9를 참조하여 설명한 공정을 거쳐, 성형품이 거의 완성된다.

(제 4 실시 형태)

상기 제 1 실시 형태에서는, 필름 로더(57)로서 릴리스 필름(F)을 플랫하게 흡착 유지하는 핸드부(63)를 이용한 경우에 대하여 설명하였다. 이에 비하여, 본 실시 형태에서는, 필름 로더(57)로서, 릴리스 필름(F)을 플레이트로서 지지하고, 그대로 하형(32)에 배치(세트)시키는 지그(부재)를 이용하는 점이 상이하다. 이하에서는, 이 상이점을 중심으로 도 20∼도 24를 참조하여 설명한다. 도 20, 도 22∼도 24는 본 실시 형태에 있어서의 프레스부(130)의 모식적 단면도이다. 도 21은 도 20에 나타낸 필름 로더(57)(필름 플레이트부)의 분해 단면도이다.

본 실시 형태에 있어서의 프레스부(130)에 대하여 구체적으로 설명한다. 필름 로더(57)는, 링 형상의 상부 플레이트(80) 및 하부 플레이트(81)를 구비하여, 상하로부터 끼워넣음으로써 릴리스 필름(F)을 전체 둘레로부터 인장한 상태에서 유지 가능하게 구성되어 있다(특히, 도 21 참조). 도 21에 나타낸 예에서는, 하부 플레이트(81)는, 플랜지 형상이 되도록, 주연부 단에서 상부 플레이트(80)측의 면으로부터 오목하게 둘레 방향으로 연장되는 단턱 구비 부분(82)이 형성되어 있다. 상부 플레이트(80)와 하부 플레이트(81)의 사이에 릴리스 필름(F)을 끼워, 하부 플레이트(81)의 단턱 구비 부분(82)(세경(細徑)부)에 상부 플레이트(80)의 내경부(80a)를 대응시켜 상부 플레이트(80)가 감합되어 필름 플레이트부(필름 로더(57))가 구성된다(특히, 도 20 참조). 그리고, 릴리스 필름(F)은, 상부 플레이트(80) 및 하부 플레이트(81)의 내주에 있어서 플랫이 되도록, 장설(張設; stretch)된다.

또한, 예를 들면, 동일한 링 형상의 상부 플레이트(80) 및 하부 플레이트(81)를 이용하여, 그들의 주연부에서 관통하는 구멍을 볼트 등에 의해 고정하여(릴리스 필름(F) 위치를 피하여), 필름 플레이트부를 구성해도 된다.

또, 하형 클램퍼(35)에는 주연부 단에서 단면으로부터 오목하게 둘레 방향으로 연장되는 단턱 구비 부분(83)이 형성되어 있다. 그리고, 하형 클램퍼(35)의 단턱 구비 부분(83)에 하부 플레이트(81)의 내경부(81a)를 대응시켜 필름 플레이트부(필름 로더(57))가 감합되어 고정된다. 본 실시 형태에서는, 간단한 구성으로 릴리스 필름(F)을 플랫하게 유지할 수 있고, 플랫 상태로 릴리스 필름(F)을 하형(32)에 배치할 수 있다.

다음으로, 본 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치(100)를 이용한 수지 몰드 방법(수지 몰드 장치(100)의 동작 방법)에 대하여 설명한다.

도 20에 나타낸 바와 같이, 몰드 금형(30)이 형 개방한 상태에 있어서, 금형 외부로부터, 워크 로더(56)에 의해서 워크(W)를 반입한다. 또, 몰드 금형(30)이 형 개방한 상태에 있어서, 필름 로더(57)에 의해서 수지(R) 및 릴리스 필름(F)을 반입한다.

또한, 이에 앞서, 도 21에 나타낸 바와 같이, 상부 플레이트(80)와 하부 플레이트(81)의 사이에 릴리스 필름(F)을 끼워 필름 플레이트부를 구성하고, 이 필름 플레이트부의 릴리스 필름(F) 상에 수지(R)가 탑재(공급)되어 있다.

계속해서, 도 22에 나타낸 바와 같이, 워크 로더(56)를 상승시켜, 워크(W)를 상형(31)으로 넘긴다.

또, 도 22에 나타낸 바와 같이, 필름 로더(57)를 하강시켜, 하형(32)에 수지(R)가 탑재된 릴리스 필름(F)을 넘긴다. 구체적으로는, 먼저, 필름 로더(57)의 하강에 의해서, 하부 플레이트(81) 하면을 하형 클램퍼(35)의 단턱 구비 부분(83) 상면에 맞닿게 하여 고정한 후, 탄성 부재(50)를 압축시킨다(가동부를 가동시킨다). 즉, 필름 로더(57)의 하강에 의해서, 하형 클램퍼(35)를 밀어 내린다. 이어서, 하형 캐비티 피스(34)의 상면(상측의 단면)과 하형 클램퍼(35)의 상면(상측의 단면)이 수평 상태가 될 때까지, 필름 로더(57)를 하강시킨다.

이 때, 필름 로더(57)는, 플랫한 릴리스 필름(F)을 장설 유지하고 있다. 즉, 하형 캐비티 피스(34)의 상면과 하형 클램퍼(35)의 상면이 수평으로 유지된 하형(32)에, 필름 로더(57)에 의해서 수지(R)가 하형 캐비티 피스(34) 상에 위치하도록 플랫한 릴리스 필름(F)을 배치한다.

이어서, 하형 캐비티 피스(34)의 상면과 하형 클램퍼(35)의 상면이 수평인 상태에서, 하형 캐비티 피스(34)의 상면 및 하형 클램퍼(35)의 상면을 덮도록 배치된 플랫한 상태의 릴리스 필름(F)을, 흡착부(53)에 의해서 흡착, 유지한다.

계속해서, 도 23에 나타낸 바와 같이, 워크 로더(56)를 하강시킨다. 이에 의해, 워크 로더(56)가 워크(W)로부터 격리된다. 그리고, 워크(W)는 상형(31)에 의해서만 유지된다. 이어서, 워크 로더(56)를 몰드 금형(30) 내부로부터 회피시킨다.

또, 도 23에 나타낸 바와 같이, 흡착부(53)에 의해서 플랫한 릴리스 필름(F)을 에어로(47A, 52)로부터 흡인하면서, 필름 로더(57)를 상승시켜, 탄성 부재(50)를 신장시킨다(가동부를 가동시킨다). 그리고, 이 탄성 부재(50)에 의해서 하형 클램퍼(35)에 대하여 하형 캐비티 피스(34)를 상대적으로 이동하여 캐비티 오목부(33)를 형성한다. 이 때, 하부 플레이트(81)의 내경부(81a)와 하형 클램퍼(35)의 단턱 구비 부분(83)가 감합에 의해서 릴리스 필름(F)의 외주부가 고정되고, 흡착부(53)에 의해서 릴리스 필름(F)의 캐비티 오목부(33)의 각부에 대응하는 개소가 흡착되어 있으므로, 캐비티 오목부(33)의 내면에 추종시키면서 릴리스 필름(F)이 변형된다. 이에 의해, 릴리스 필름(F)이 캐비티 오목부(33)의 내면에 추종하여 흡착 유지된다.

이 때에, 캐비티 오목부(33)의 내면에 추종시키면서 릴리스 필름(F)을 흡착 유지함으로써, 수지(R)가 그대로의 형상으로 캐비티 오목부(33)에 공급된다. 환언하면, 필름 로더(57)에 의해서 수지(R)가 릴리스 필름(F)을 개재하여 하형 캐비티 피스(34) 상에 배치되어 있으므로, 하형 클램퍼(35)에 대하여 하형 캐비티 피스(34)가 상대적으로 이동하여 캐비티 오목부(33)가 형성되더라도, 수지(R)는 그대로의 상태를 유지하여 캐비티 오목부(33)에 공급된다. 따라서, 수지(R)의 형상이 무너지지 않고, 또한 위치가 바뀌지 않고 캐비티 오목부(33)의 저부에 수지(R)를 공급할 수 있다. 이와 같이 캐비티 오목부(33)에 원하는 상태에서 수지(R)를 공급하는 것은, 보이드나 와이어 스위프 등에 의한 성형품의 품질 불량을 저감하는 것에 작용한다.

계속해서, 도 24에 나타낸 바와 같이, 가동형인 하형(32)을 상승시켜, 몰드 금형(30)을 형 폐쇄(형 체결)한다. 이에 의해, 릴리스 필름(F)이 클램프되고, 즉, 상형(31)과 하형(32)에 의해 필름 플레이트부(필름 로더(57))가 끼워넣어진다. 그 후, 상기 제 1 실시 형태에서 도 8∼도 9를 참조하여 설명한 공정을 거쳐, 성형품이 거의 완성된다.

(제 5 실시 형태)

상기 제 1 실시 형태에서는, 필름 로더(57)(핸드부(63))에 의해서 하형 클램퍼(35)를 밀어 내림으로써, 하형 캐비티 피스(34)의 상면과 하형 클램퍼(35)의 상면을 수평으로 하는 경우에 대하여 설명하였다. 이에 비하여, 본 실시 형태에서는, 하형(32) 내에 플로팅 지지한 플레이트 형상의 지그(34A)(하형 캐비티 피스(34)의 상부)를 설치하고, 그 지그(34A)의 상면과 하형 클램퍼(35)의 상면을 수평으로 하는 점이 상이하다. 이하에서는, 이 상이점을 중심으로 도 25∼도 26을 참조하여 설명한다. 도 25∼도 26은 본 실시 형태에 있어서의 프레스부(130)의 모식적 단면도이다.

본 실시 형태에 있어서의 프레스부(130)에 대하여 구체적으로 설명한다. 프레스부(130)는, 하형 캐비티 피스(34)의 상부가 분리 가능하게 설치된 플레이트 형상의 지그(34A)를 구비하고 있다. 또, 프레스부(130)는, 플레이트 형상의 지그(34A)의 예를 들면 네 모서리를 지지하는 복수의 지지 핀(84)을 구비하고 있다. 또, 프레스부(130)는, 하형 베이스(46)에 대하여 지지 핀(84)을 상하 방향으로 이동 가능하게 조립되고, 지지 핀(84)과 동일한 수의 탄성 부재(85)(예를 들면, 스프링)를 구비하고 있다. 이 때문에, 형 개방한 상태에서, 지그(34A)(하형 캐비티 피스(34)의 상부)의 상면과 하형 클램퍼(35)의 상면이 수평이 되도록, 지지 핀(84) 및 가동부를 구성하는 탄성 부재(85)에 의해서 지그(34A)가 플로팅 지지되어 있다. 또한, 플레이트 형상의 지그(34A)는, 탄성 부재(85)를 이용하지 않고 에어 실린더나 서보 모터와 같은 구동 기구를 이용하여 승강 가능한 구성으로 할 수도 있다.

다음으로, 본 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치(100)를 이용한 수지 몰드 방법(수지 몰드 장치(100)의 동작 방법)에 대하여 설명한다.

도 25에 나타낸 바와 같이, 몰드 금형(30)이 형 개방한 상태에 있어서, 수지(R) 및 릴리스 필름(F)을 반입하여, 하형(32)으로 넘긴다. 이 때, 릴리스 필름(F)은, 지그(34A)(하형 캐비티 피스(34)의 상부)의 상면과 하형 클램퍼(35)의 상면이 수평으로 유지된 하형(32)에 필름 로더(57)에 의해서 플랫하게 배치된다. 그리고, 흡착부(53, 55)에 의해서 릴리스 필름(F)을 흡인하기 시작한다.

계속해서, 도 26에 나타낸 바와 같이, 흡착부(53, 55)에 의해서, 릴리스 필름(F)을 흡인한다. 구체적으로는, 흡착부(55)에 의해서 릴리스 필름(F)의 외주부가 흡착되고, 흡착부(53)에 의해서 릴리스 필름(F) 이하의 공간의 공기가 흡인되어, 하형 클램퍼(35)에 대하여 상하 방향으로 가동으로 설치되어 있는 지그(34A)가 탄성 부재(85)를 압축시키면서 하강한다(가동부를 가동시킨다).

이 탄성 부재(85)에 의해서 하형 클램퍼(35)에 대하여 지그(34A)(하형 캐비티 피스(34)의 상부)를 상대적으로 이동하여 캐비티 오목부(33)가 형성되게 된다. 이 때, 흡착부(55)에 의해서 릴리스 필름(F)의 외주부가 흡착되고, 흡착부(53)에 의해서 릴리스 필름(F)의 캐비티 오목부(33)의 각부에 대응하는 개소가 흡착되어 있으므로, 캐비티 오목부(33)의 내면에 추종시키면서 릴리스 필름(F)이 변형된다. 이에 의해, 릴리스 필름(F)이 캐비티 오목부(33)의 내면에 추종하여 흡착 유지된다.

또, 캐비티 오목부(33)의 내면에 추종시키면서 릴리스 필름(F)을 흡착 유지함과 함께, 수지(R)를 그대로 캐비티 오목부(33)에 공급한다. 필름 로더(57)에 의해서 수지(R)가 릴리스 필름(F)을 개재하여 지그(34A) 상에 배치되어 있으므로, 캐비티 오목부(33)가 형성되더라도, 수지(R)는 그대로의 상태를 유지하여 캐비티 오목부(33)에 공급된다. 따라서, 수지(R)의 형상이 무너지지 않고, 또한 위치가 바뀌지 않고 캐비티 오목부(33)의 저부에 수지(R)를 공급할 수 있다. 그 후, 상기 제 1 실시 형태에서 도 7∼도 9를 참조하여 설명한 공정을 거쳐, 성형품이 거의 완성된다.

이것에 의하면, 예를 들면, 필름 로더(57)에 의해서 하형 클램퍼(35)를 밀어 내려 하형 캐비티 피스(34)의 단면과 하형 클램퍼(35)의 단면을 수평으로 할 필요가 없어져, 필름 로더(57)의 동작·구성(예를 들면, 구동 모터의 출력, 스트로크의 저감)을 간소화할 수 있다. 또, 하형(32)에 릴리스 필름(F)이 배치되었을 때에는, 지그(34A)(하형 캐비티 피스(34)의 상부)가 플로팅한 상태이기 때문에, 릴리스 필름(F)의 열 수축을 방지할 수 있고, 릴리스 필름(F)에 탑재되는 수지(R)의 과열을 방지하거나, 가열 조정을 행하거나 하는 것이 용이하게 된다.

(제 6 실시 형태)

상기 제 1 실시 형태에서는, 도 7을 참조하여 설명한 바와 같이, 형 폐쇄하여 캐비티 오목부(33)를 포함하는 몰드 금형(30) 내부가 기밀된 상태에서, 몰드 금형(30) 내부를 감압(탈기)하는 경우에 대하여 설명하였다. 이 때, 상형(31)의 워크 유지부(에어로(90) 및 흡착부(91))에 의해서, 기판(10)(워크(W))을 흡착에 의해 상형(31)에 유지하는 경우, 감압을 위한 흡인력에 의해 기판 흡착을 위한 흡인력이 저하되어, 기판(10)이 낙하할 우려가 있다. 이와 같은 상기 제 1 실시 형태에 비하여, 본 실시 형태에서는, 하형 클램퍼(35)에 복수 개의 핀을 플로팅 지지시켜 감압 공간의 형성 상태에 있어서, 기판(10)을 상형(31)에 누르도록 지지하는 구성으로 하고 있는 점이 상이하다. 이하에서는, 이 상이점을 중심으로 도 27을 참조하여 설명한다. 도 27은 본 실시 형태에 있어서의 프레스부(130)의 모식적 단면도이다.

프레스부(130)는, 하형 클램퍼(35)의 관통 구멍(47)의 주위를 따라서 하형 클램퍼(35)의 내부에 설치된 복수의 핀(86)을 구비하고 있다. 또, 프레스부(130)는, 하형 클램퍼(35)에 대하여 핀(86)을 상하 방향으로 이동 가능하게 하형 클램퍼(35)의 내부에 조립되고, 핀(86)과 동일한 수의 탄성 부재(87)(예를 들면, 스프링)를 구비하고 있다.

이 때문에, 감압 공간을 형성하는 상태에서, 하형 클램퍼(35)의 단면으로부터 돌출하여, 릴리스 필름(F)을 개재하여 기판(10)의 표면과 맞닿아 워크(W)를 지지하도록, 가동부를 구성하는 탄성 부재(87)에 의해서 핀(86)이 플로팅 지지되어 있다. 그리고, 워크(W)를 클램프한 상태에서는(도 8 참조), 핀(86)은 하형 클램퍼(35)의 내부에 수용된다. 따라서, 클램프 전에 상형(31)에 의해 유지되어 있는 워크(W)가 낙하하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 도 27에서는, 에어로(44)를 통하여 감압부(45)에 의한 감압 공간 형성할 때에, 그 흡인 경로가 막힌 것처럼 보이지만, 핀(86)은 부분적으로 배치되어 있기 때문에, 감압이 저해되는 경우는 없다.

(제 7 실시 형태)

워크(W)(기판(10))의 한쪽 면만을 수지 몰드하는 상기 제 1 실시 형태에 비하여, 본 실시 형태에서는, 워크(W)의 양면을 수지 몰드하는 점이 상이하다. 이하에서는, 이 상이점을 중심으로 도 33∼도 36을 참조하여 설명한다. 도 33∼도 36은 본 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 공정 중의 프레스부(130)의 모식적 단면도이다.

본 실시 형태에 있어서의 워크(W)는, 일방의 면(10a)과 그 반대의 타방의 면(10b)을 갖는 기판(10)과, 양면(10a, 10b)의 각각에 설치되는 복수의 볼 형상의 범프(11A, 11A)(제 1 부품, 제 2 부품)를 구비하고, 예를 들면 웨이퍼 형상(판 형상)으로 구성되어 있다. 양면(10a, 10b)의 각각의 범프(11A, 11A)가 수지 몰드되어, 양면(10a, 10b)의 각각에 수지 몰드부(14, 15)가 형성되고(도 36 참조), 워크(W)는 수지 몰드 제품(성형품)으로서 거의 완성된 것이 된다.

이와 같은 웨이퍼 형상의 워크(W)의 수지 몰드는, WLP(Wafer Level Package)라고 불리고 있다. 또한, 워크(W)에 설치되는 부품으로서는, 배선 부품인 범프(11A)에 한정하지 않고, 칩 부품(예를 들면, 반도체 칩, MEMS 칩, 칩 콘덴서 등)이어도 되고, 또한, 배선 부품 및 칩 부품의 양방이어도 된다. 기판(10)으로서는, 일반적인 기판뿐만 아니라 판 형상의 부재를 포함하고, 부품이 일시적으로 탑재되는 캐리어나 반도체 웨이퍼여도 된다.

또, 본 실시 형태에 있어서, 워크(W)는, 수지 몰드되어 있지 않고, 양면의 부품(범프(11A))이 노출된 것(도 33 참조)과, 일면만이 수지 몰드되어 다른 면의 부품(범프(11A))만이 노출한 것(도 35 참조)이 로봇 기구부(180)(도 1 참조)에 의해서 별개로 공급된다. 이 때문에, 본 실시 형태에 있어서의 프레스부(130)는, 판 형상의 제 1 지그(12)(도 33 참조) 및 제 2 지그(13)(도 35 참조)를 구비하게 된다.

지그(12, 13)는, 상형(31)과 하형(32)에 의해 워크(W)를 클램프할 때에, 상형 인서트(37)의 하면에 각각이 바뀌어 설치된다. 지그(12)는, 면(10a)에 있어서 제품으로서 제조되는 반도체 칩에 대하여 탑재되는 범프(11A)의 탑재 영역보다 큰 제 1 개공(開孔)(12a)(도 33에서는 복수를 나타낸다.)을 갖고 있다. 환언하면, 제 1 개공(12a)은, 범프(11A)로서 설치된 부품을 피하면서 워크(W)와 지그(12)가 맞겹쳐지도록 형성되어 있다. 또, 지그(13)는, 개공(12a)보다 큰 제 2 개공(13a)(도 35에서는 하나를 나타낸다.)을 갖고 있다.

지그(12)를 이용할 때에는, 범프(11A)가 개공(12a)에 들어가도록 하여(즉, 개공(12a)에 의해서 범프(11A)에 대해서는 회피부가 확보되어 있다.), 워크(W)의 면(10a)에 탑재된다(도 33 참조). 또, 지그(13)를 이용할 때에는, 수지 몰드부(15)가 개공(13a)에 들어가도록 하여(즉, 개공(13a)에 의해서 수지 몰드부(15)에 대해서는 회피부가 확보되어 있다.), 워크(W)의 면(10b)에 탑재된다(도 35 참조). 본 실시 형태에서는, 지그(12, 13)를 이용함으로써, 범프(11A)나 수지 몰드부(15)를 회피하여(피하여) 워크(W)를 클램프할 수 있다(도 34, 도 36 참조).

또한, 지그(12, 13)가 교환 가능하기 때문에, 다른 제품을 성형할 때에는 몰드 금형(30)을 공용하고, 다른 지그를 이용할 수 있다. 또, 지그(12, 13)는, 상형(31)에 고정하여 이용해도 된다.

본 실시 형태에 있어서, 로더(190)는, 로봇 기구부(180)로부터 넘겨진 워크(W) 상에 지그(12) 또는 지그(13)을 맞겹치고 나서 프레스부(130)에 이들을 반입한다. 또, 로더(190)는, 프레스부(130)로부터 넘겨진 수지 몰드된 워크(W) 상으로부터 지그(12) 또는 지그(13)를 떼어내어 로봇 기구부(180)에 반출한다. 이와 같이, 로더(190)에 지그(12) 또는 지그(13)가 준비됨으로써, 지그(12) 또는 지그(13)와 함께 워크(W)가 프레스부(130) 내부로 주고받아진다.

다음으로, 본 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치(100)(압축 성형 장치)를 이용한 성형품(수지 몰드 제품)의 제조 방법(수지 몰드 방법)에 대하여 설명한다. 구체적으로는, 성형품으로서 워크(W)의 양면(면(10a, 10b))의 각각에 수지 몰드부(14, 15)를 형성함에 있어서, 한쪽 면씩 성형하는 방법(1차 성형, 2차 성형의 2단계 몰드 방법)에 대하여 설명한다.

먼저, 로봇 기구부(180)에 의해서 반송된 워크(W)를 로더(190)에 있어서 범프(11A)가 개공(12a)에 들어가도록 하여 워크(W)의 일방의 면(10a)에 지그(12)를 탑재한다. 이 경우, 로더(190)에 있어서 지그(12)를 탑재하기 위하여, 로봇 기구부(180)는 워크(W)만을 반송하면 되고, 운반 가능한 중량이 작은 로봇 기구부(180)를 이용할 수 있어, 장치의 제조 비용을 삭감할 수 있다.

이어서, 몰드 금형(30)이 형 개방한 상태에 있어서, 금형 외부로부터, 워크 로더(56)(도 3 참조)에 의해서 워크(W) 및 지그(12)를 반입하고, 상형(31)에 지그(12)째 워크(W)를 넘긴다(도 33 참조). 이에 의해, 워크(W)는 상형(31)의 금형면에 의해 유지된다.

구체적으로는, 워크(W)의 면(10b)을 하형(32)을 향한 상태에서, 지그(12)를 상형 인서트(37)의 하면에 맞닿게 하고, 워크 유지부(도시 생략)에 의해서, 상형(31)(상형 인서트(37))의 금형면에서 지그(12)를 개재하여 워크(W)(기판(10))를 흡착 유지한다. 지그(12)에는 워크(W)(기판(10))의 면(10a) 상에 탑재되어 있는 범프(11A)를 회피시키는 개공(12a)이 설치되어 있으므로, 예를 들면, 범프(11A)를 보호할 수 있다. 또한, 지그(12)를 이용하지 않고, 상형 인서트(37)의 하면에 오목부를 새겨 넣어, 범프(11A)를 회피시키도록 해도 된다.

또, 몰드 금형(30)이 형 개방한 상태에 있어서, 필름 로더(57)(도 3 참조)에 의해서 수지(R) 및 릴리스 필름(F)을 반입하고, 필름 로더(57)로부터 하형(32)으로 수지(R) 및 릴리스 필름(F)을 넘긴다(도 33 참조). 이 때, 릴리스 필름(F)의 형상을 플랫으로부터 하형 캐비티 오목부(33)의 변형에 추종시켜, 하형 캐비티 오목부(33)를 포함하는 하형(32)의 금형면에 릴리스 필름(F)을 흡착 유지함과 함께, 수지(R)를 그대로 하형 캐비티 오목부(33)에 공급한다.

또한, 릴리스 필름(F)을 이용함으로써, 하형 인서트(34)와 하형 클램퍼(35)의 간극으로부터의 수지 누설을 방지할 수 있다. 단, 이와 같은 수지 누설의 영향이 없이 수지(R)를 그대로 반송할 수 있는 경우에는, 릴리스 필름(F)을 이용하지 않아도 된다.

계속해서, 도 34에 나타낸 바와 같이, 가동형인 하형(32)을 상승시켜, 금형 온도에서 용융한 수지(R)에 면(10b)에 설치된 범프(11A)를 모두 침지시킨 후, 상형(31)과 하형(32)에 의해 워크(W)를 클램프하면서, 하형 인서트(34)를 성형 위치에까지 이동시킨다. 그리고, 하형 캐비티(C)에 충전된 수지(R)를 가열 경화하여, 워크(W)에 수지 몰드를 행한다. 이에 의해, 워크(W)의 면(10b)에 수지 몰드부(15)가 형성된다.

그 후, 워크 유지부에 의해서 워크(W)(성형품)가 상형(31)에 의해 유지되고, 또한, 흡착부(53, 55)에 의해서 릴리스 필름(F)이 하형(32)에 의해 유지된 상태에서 형 개방한다. 이 때, 릴리스 필름(F)을 이용하고 있음으로써, 워크(W)를 용이하게 이형시킬 수 있다. 그리고, 전술한 바와 같이, 검사부·냉각부(140), 큐어부(150)를 거쳐 워크 수납부(160)에 워크(W)를 수납한다(도 1 참조).

이어서, 워크 수납부(160)에서는, 면(10b)에 형성된 수지 몰드부(15)를 구비한 워크(W)가 매거진에 수납되어 있으므로, 이 매거진을 워크 공급부(110)로 이동시킨다. 이 때, 워크(W)의 면(10a)에 수지 몰드부(14)를 형성할 수 있도록, 워크(W)를 반전시켜 둠으로써, 2차 성형의 준비가 갖추어지게 된다. 또한, 수지 몰드부(14)를 형성하기 위해서는, 지그(12)와 지그(13)를 바꾸어 수지 몰드부(15)를 형성한 공정과 동일한 공정이 행해진다.

이어서, 로봇 기구부(180)에 의해 로더(190)에 반입된 워크(W)의 수지 몰드부(15)가 개공(13a)에 들어가도록 하여 워크(W)의 일방의 면(10b)에 지그(13)를 탑재한다. 여기서, 지그(13)의 개공(13a)은, 수지 몰드부(15)의 평면 영역보다 크고, 환언하면, 수지 몰드부(15)를 형성하는 하형 캐비티(C)를 구성하는 하형 인서트(34)의 상면보다 크다.

계속해서, 몰드 금형(30)이 형 개방한 상태에 있어서, 금형 외부로부터, 워크 로더(56)(도 3 참조)에 의해서 워크(W) 및 지그(13)를 반입하고, 상형(31)에 지그(13)째 워크(W)를 넘긴다(도 35 참조). 지그(13)에는 워크(W)(기판(10))의 면(10b) 상에 탑재되어 있는 수지 몰드부(15)를 회피하는 개공(13a)이 형성되어 있으므로, 예를 들면, 수지 몰드부(15)를 보호할 수 있다. 또한, 지그(13)를 이용하지 않고, 상형 인서트(37)의 하면에 오목부를 새겨 넣어, 수지 몰드부(15)를 회피시키도록 해도 된다.

또, 몰드 금형(30)이 형 개방한 상태에 있어서, 필름 로더(57)(도 3 참조)에 의해서 수지(R) 및 릴리스 필름(F)을 반입하고, 필름 로더(57)로부터 하형(32)으로 수지(R) 및 릴리스 필름(F)을 넘긴다(도 35 참조). 이 때, 릴리스 필름(F)의 형상을 플랫으로부터 하형 캐비티 오목부(33)의 변형에 추종시켜, 하형 캐비티 오목부(33)를 포함하는 하형(32)의 금형면에 릴리스 필름(F)을 흡착 유지함과 함께, 수지(R)를 그대로 하형 캐비티 오목부(33)에 공급한다.

이 수지(R)는, 수지 몰드부(14)를 형성하는 것이며, 앞서 형성한 수지 몰드부(15)와 동량, 동질의 것으로 함으로써, 범프(11A)를 동일한 형상으로 밀봉할 수 있다. 단, 본 실시 형태에서는 범프(11A)로서 나타내어지는 기판(10)에 탑재된 부품의 높이가 다른 경우에는, 각각에 적당한 분량의 수지(R)를 이용할 수도 있다. 이 경우, 수지 몰드하는 두께의 차에 의한 휘어짐 방지의 목적이나, 탑재된 부품의 기능에 따라서 성질이 다른 수지(R)를 이용할 수도 있다.

계속해서, 도 36에 나타낸 바와 같이, 가동형인 하형(32)을 상승시켜, 금형 온도에서 용융한 수지(R)에 면(10a)에 설치된 범프(11A)를 모두 침지시킨 후, 상형(31)과 하형(32)에 의해 워크(W)를 클램프하면서, 하형 인서트(34)를 성형 위치에까지 이동시킨다. 그리고, 하형 캐비티(C)에 충전된 수지(R)를 가열 경화하여, 워크(W)에 수지 몰드를 행한다. 이에 의해, 워크(W)의 면(10a)에 수지 몰드부(14)가 형성된다.

그 후, 워크 유지부에 의해서 워크(W)(성형품)가 상형(31)에 의해 유지되고, 또한, 흡착부(53, 55)에 의해서 릴리스 필름(F)이 하형(32)에 의해 유지된 상태에서 형 개방한다. 이 때, 릴리스 필름(F)을 이용하고 있음으로써, 워크(W)를 용이하게 이형시킬 수 있다. 그리고, 전술한 바와 같이, 검사부·냉각부(140), 큐어부(150)를 거쳐 워크 수납부(160)에 워크(W)를 수납한다(도 1 참조).

그 후의 워크(W)에 대하여, 수지 몰드부(14, 15)의 단면을 연삭함으로써 범프(11A)를 노출시킴과 함께, 1개의 칩 상당의 에어리어마다 개편화(個片化)함으로써, 양면에 접속 단자면이 형성된 1개의 패키지(수지 몰드 제품)가 형성된다. 또한, 범프(11A)가 한쪽 면에 배치된 기판(10)의 일면끼리를 첩부함으로써 워크(W)로서 이용하는 경우에는, 기판(10)끼리를 박리시키고 나서 1개의 칩 상당의 에어리어에 개편화함으로써, 한쪽 면에 접속 단자면이 형성된 패키지를 효율적으로 성형할 수 있다.

본 실시 형태에 의하면, 판 형상의 워크(W)의 양면(10a, 10b)을 각각 압축 성형 방법에 의해서 수지 몰드할 수 있다. 또, 하형 캐비티 오목부(33)(하형 캐비티(C))로 수지(R)를 공급하여 수지 몰드할 수 있으므로, 대형의 워크(W)여도 효율적으로 성형할 수 있다.

또, 워크(W)의 한쪽 면에 수지 몰드부(15)를 형성한 후에, 워크 수납부(160)에 워크(W)를 수납하지 않고 프레스부(130)에 반입하여 수지 몰드부(14)를 형성함으로써, 수지 몰드부(14, 15)를 연속적으로 성형할 수도 있다.

또, 상술의 실시 형태에 있어서, 수지(R) 및 릴리스 필름(F)을 플랫하게 유지하기 위하여 설치한 셔터부(70) 대신에, 수지(R)를 플랫하게 유지하기 위하여 수지 유지용의 판 형상 부재를 수지(R)와 릴리스 필름(F)와의 사이에 끼워넣은 상태에서 릴리스 필름(F)을 반송해도 된다. 수지 유지용의 판 형상 부재는, 예를 들면, 금속판, 유리판 또는 실리콘 웨이퍼 등의 각종의 판재로 해도 되고, 리드 프레임이나 기판과 같은 구조체로 해도 된다. 이 경우, 수지 유지용의 판 형상 부재는, 성형 후에 박리해도 되고 그대로 패키지에 잔존시킴으로써, 방열층, 전자 실드층, 필터층, 렌즈층, 파장 변환층, 가스 투과 방지층, 또는, 배선층과 같은 기능층으로서 이용할 수도 있다. 이와 같은 수지 유지용의 판 형상 부재를 이용함으로써, 워크(W)에 첩부함으로써 고기능화가 가능한 판 형상의 부재에 의해 수지(R) 및 릴리스 필름(F)의 플랫한 반송을 행할 수 있고, 고기능의 제품을 간단하게 제조할 수 있다. 또한, 수지 유지용의 판 형상 부재와 셔터부(70)를 병용해도 된다.

(제 8 실시 형태)

상기 제 1 실시 형태에 있어서의 수지 몰드 장치의 프레스부에서는, 공지의 클램프 기구에 의해서 몰드 금형의 형 개폐를 행하는 경우에 대하여 설명하였다. 본 실시 형태에서는, 특히, 워크(W)의 대형화(WLP)에 대응한 클램프 기구를 프레스부에 구비한 수지 몰드 장치에 대하여 설명한다. 본 실시 형태의 수지 몰드 장치에 의하면, 형 폐쇄 동작에 있어서의 가동 플래튼의 평행도를 유지하면서 형 폐쇄를 고정밀도로 행하고 또한 최종 수지압을 고압으로 함으로써 성형 품질을 높일 수 있다.

이하에서, 본 발명에 관련된 몰드 금형을 개폐하는 클램프 기구를 구비한 수지 몰드 장치의 바람직한 실시 형태에 대하여 첨부 도면과 함께 상세하게 설명한다. 수지 몰드 장치(201)는, 상형(202) 및 하형(203)을 갖는 몰드 금형(204)과 당해 몰드 금형(204)을 개폐하는 클램프 기구(205)를 구비하고 있다.

도 37에 있어서, 클램프 기구(205)는, 직사각형 형상의 베이스부(206)에 설치되어 있다. 베이스부(206)와 고정 플래튼(207)과의 사이는 각 코너부(4개소; 도 38 참조)에 배치된 타이 바(208)에 의해 연결되어 있다. 상형(202)은 고정 플래튼(207)에 지지되고, 하형(203)은 가동 플래튼(209)의 정면(상면)측에 지지되어 있다. 가동 플래튼(209)은 관통하여 연계하는 타이 바(208)에 가이드되어 상하 이동한다.

가동 플래튼(209)의 배면측에는, 당해 가동 플래튼(209)에 연계하여 고정 플래튼(207)과의 사이에서 몰드 금형(204)을 제 1 형 체결력까지 형 폐쇄하는 볼 나사 기구(210)(제 1 형 개폐 기구)가 설치되어 있다.

구체적으로는, 베이스부(206)에는 타이 바(208)보다 내측에 4개소에서 나사 축(211)이 설치되고, 각 나사 축(211)을 회전 구동하는 제 1 구동 모터(212)(서보모터)가 4개소에 설치되어 있다. 제 1 구동 모터(212)는, 복수의 모터 간에서 동기를 취하여 구동하고 있고, 서보 제어에 의해서 고정밀도로 속도 제어할 수 있다. 또, 가동 플래튼(209)의 배면측에는, 나사 축(211)과 나사 감합하는 고정 너트(213)가 4개소에 설치되어 있다. 도 38에 있어서, 타이 바(208) 및 나사 축(211)은 베이스부(206)(가동 플래튼(209))의 대각 위치에서 서로 등간격으로 배치되어 있다. 또한, 볼 나사 기구(210)는 3개 이상 설치되어 있으면 몇 개 설치되어 있어도 된다.

가동 플래튼(209)의 배면측 중앙부에는, 토글 링크 기구(214)(제 2 형 개폐 기구)가 설치되어 있다. 토글 링크 기구(214)는, 가동 플래튼(209)에 연계하여 제1 형 체결력보다 클램프력을 더 강하게 한 제 2 형 체결력까지 형 폐쇄하여 최종 수지압을 유지한다. 구체적으로는, 베이스부(206)의 중앙부에는 나사 축(215) 및 그 나사 축(215)을 회전 구동하는 제 2 구동 모터(216)(서보 모터)가 설치되어 있다. 나사 축(215)에는 가동 너트(217)가 나사 감합되어 있다. 가동 너트(217)에는 링크 연결부(218)가 일체로 설치되어 있다. 또한, 각 구동 모터(216, 212)는, 벨트 기구를 이용함으로써 베이스부(206)의 측방(側方)에 배치해도 된다.

토글 링크 기구(214)는, 소위 배력 기구로서, 이하의 각 링크 부재에 의해서 구성되는 토글 링크 구조에 의해서 제 2 구동 모터(216)로부터의 출력을 증대(증폭)시켜 가동 플래튼(209)에 출력 가능하게 구성된다. 구체적으로는, 링크 연결부(218)에는 연결 링크(219)의 일단이 회동 가능하게 연결되어 있다. 연결 링크(219)의 타단은 삼각 링크(220)의 꼭지각 부분에 회동 가능하게 연결되어 있다. 삼각 링크(220)의 일방의 밑각 부분은 베이스부(206)에 대하여 회동 가능하게 연결되어 있고, 타방의 밑각 부분은 슬라이드 링크(221)의 일단에 회동 가능하게 연결되어 있다. 슬라이드 링크(221)의 타단은 가동 플래튼(209)의 배면에 설치된 연결부(209a)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 이와 같은 구성에 의해, 토글 링크 기구(214)에서는, 가동 너트(217)가 나사 감합된 제 2 구동 모터(216)에 의해, 가동 플래튼(209)의 배면에 설치된 연결부(209a)가 구동된다.

또, 제 1 구동 모터(212)와 제 2 구동 모터(216)는, 제어부(222)에 의해 구동 제어된다. 또, 각 타이 바(208)에는, 압력 센서(223)가 각각 설치되어 있다. 제어부(222)는, 압력 센서(223)로부터 몰드 금형(204)의 클램프압을 검출하여 제 1 구동 모터(212)와 제 2 구동 모터(216)를 구동 제어함으로써, 볼 나사 기구(210) 및 토글 링크 기구(214)에 의한 금형 클램프 동작을 제어한다.

구체적으로는, 제어부(222)는, 형 폐쇄 동작을 개시하면, 제 1 구동 모터(212)와 제 2 구동 모터(216)를 동기하여 구동시키고, 볼 나사 기구(210)에 의해 가동 플래튼(209)을 통하여 몰드 금형(204)에 공급된 워크를 제 1 형 체결력에 의해 클램프하고 나서 당해 볼 나사 기구(210)의 가압 상태를 토글 링크 기구(214)에 의한 가압 상태로 주고받아 당해 토글 링크 기구(214)에 의해 가동 플래튼(209)을 제 1 형 체결력보다 큰 제 2 형 체결력까지 클램프한다.

도 40a를 참조하여, 몰드 금형(204)의 일례에 대하여 설명한다. 상형(202)은, 상형 베이스(202a)가 고체 플래튼(7)에 지지되어 있다. 상형 베이스(202a)에는 상형 인서트(202b)가 조립된다. 상형 인서트(202b)의 워크(W)를 클램프면과 면일로 흡착 유지하는 워크 유지부(202c)가 형성되어 있다.

하형(203)은, 하형 베이스(203a)가 가동 플래튼(209)에 지지되어 있다. 하형 베이스(203a)의 클램프면에는 오목부가 형성되어 있고, 당해 오목부에는 하형 캐비티 피스(203b)가 지지되고 그 주위에 하형 클램퍼(203c)가 코일 스프링(203d)에 의해 가압되어 지지되어 있다. 하형 클램퍼(203c)는, 하형 캐비티 피스(203b)의 상면으로부터 상방으로 돌출되어 있고, 하형 캐비티 오목부(203e)가 형성되어 있다. 이 하형 캐비티 오목부(203e)를 덮도록 릴리스 필름(F)이 흡착 유지된다.

릴리스 필름(F)은 상형 클램프면에 흡착 유지된다. 릴리스 필름(F)은, 두께 0.5 ㎜ 정도이고 내열성을 갖는 것이며, 금형면으로부터 용이하게 박리되는 것으로서, 유연성, 신전성(伸展性)을 갖는 것, 예를 들면, PTFE, ETFE, PET, FEP 필름, 불소 함침 유리 크로스, 폴리프로필렌 필름, 폴리염화비닐리딘 등을 주성분으로 한 단층 또는 복층 막이 적합하게 이용된다.

다음으로, 클램프 기구(205)의 개폐 동작과 수지 몰드 동작의 일례에 대하여 도 37, 도 39a 및 도 39b, 도 40a∼도 40c를 참조하여 설명한다.

도 37에 있어서, 몰드 금형(204)이 형 개방 상태에 있어서, 도시하지 않은 공급 장치에 의해 워크(W)가 몰드 금형(204)에 공급된다. 또한, 하형(203)의 하형 캐비티 오목부(203e)는 미리 릴리스 필름(F)에 덮여 흡착 유지되어 있다.

도 40a에 나타낸 바와 같이, 워크(W)(예를 들면, 반도체 칩이 탑재된 기판, 반도체 웨이퍼 등)가 상형(202)의 워크 유지부(202c)에 흡착 유지되고, 릴리스 필름(F)에 덮인 하형 캐비티 오목부(203e)에 몰드 수지(R)(액상 수지, 과립상 수지, 입자체 수지(파우더 수지), 시트 수지, 태블릿 수지 등)가 공급된다. 또한, 몰드 수지(R)를 릴리스 필름(F)과 함께 하형 캐비티 오목부(203e)에 공급해도 된다.

형 폐쇄 동작을 개시하면, 제어부(222)는, 제 1 구동 모터(212)와 제 2 구동 모터(216)를 동기를 취하면서 구동한다. 도 39a에 있어서, 제 1 구동 모터(212)의 구동에 의해서 볼 나사 기구(210)는, 4개소에 갖는 나사 축(211)이 회전하고, 나사 축(211)의 회전에 따라서 고정 너트(213)와 나사 감합하는 가동 플래튼(209)이 고정 플래튼(207)에 대한 평행도를 유지한 채 상승한다. 즉, 하형(203)(구체적으로는 그 파팅면)이 상형(202)(구체적으로는 그 파팅면)에 대하여 평행도를 유지한 채 상승한다.

또, 제 2 구동 모터(216)의 구동에 의해, 토글 링크 기구(214)는, 나사 축(215)에 나사 감합되어 있는 가동 너트(217)가 위쪽으로 이동하기 때문에, 링크 연결부(218)의 양측에 연결하는 연결 링크(219)가 수평 방향을 향하여 양측으로 경도(傾倒)되고, 삼각 링크(220)가 기립하도록 회전하고, 슬라이드 링크(221)를 밀어 올린다. 이 때, 토글 링크 기구(214)는, 슬라이드 링크(221)와 연결부(209a)와의 사이에 형성된 간극에 의해 가동 플래튼(209)을 통한 하중을 받고 있지 않다.

또, 도 40b에 나타낸 바와 같이, 하형 클램퍼(203c)가 릴리스 필름(F)을 개재하여 워크(W)(기판) 및 상형 인서트(202b)에 맞닿은 채 코일 스프링(203d)이 압축된다. 이에 의해 몰드 금형(204) 내에 밀폐 공간(감압 공간, 폐쇄 공간)이 형성되고, 수지(R)가 캐비티 오목부(203e)(캐비티) 내에 충전된다. 이 경우, 가동 플래튼(209)이 평행도를 유지한 채 상승함으로써, 고정 플래튼(207)에 대해서도 평행도를 유지한 채 접근하게 된다. 따라서, 상형(202) 및 하형(203)의 형 체결도 평행도를 유지한 채로 행할 수 있다. 또한, 도 40에 나타낸 바와 같이 수지(R)를 하형 캐비티 오목부(203e) 중앙에 공급하는 경우와 같이 하형 캐비티 오목부(203e)의 외측을 향하여 수지(R)를 퍼뜨림으로써 캐비티 오목부(203e)(캐비티) 내에 충전될 때에는, 볼 나사 기구(210)에 의해서 형 체결 속도를 적절하게 제어할 수도 있다.

그대로 형 체결을 계속하고, 4개소에 있는 압력 센서(223)가 각각 제 1 형 체결 압력(예를 들면, 합계 36 ton; 몰드 수지(R)의 수지압)을 검출하면, 제 1 구동 모터(212)의 구동을 정지하고 제 2 구동 모터(216)의 구동을 계속한다. 이에 의해, 볼 나사 기구(210)에 의한 가동 플래튼(209)의 가압 상태를 토글 링크 기구(214)가 인계하여, 각 압력 센서(223)가 제 1 형 체결 압력보다 높은 제 2 형 체결력(예를 들면, 합계 125 ton; 최종 수지압)을 검출할 때까지 가압한다. 이에 의해, 도 39b에 있어서, 가동 너트(217)이 나사 축(215)을 따라서 더 위쪽으로 이동하고, 가동 플래튼(209)의 연결부(209a)를 통하여 연결하는 슬라이드 링크(221)가 삼각 링크(220)와 함께 직립한 상태가 된다. 또한, 제 1 구동 모터(212)의 구동을 정지하지 않고, 볼 나사 기구(210)와 토글 링크 기구(214)의 양방에 의해 가동 플래튼(209)을 가압해도 된다. 또, 볼 나사 기구(210)는 구동하면서 가압하지 않는 상태로 해도 된다.

이 때, 도 40c에 나타낸 바와 같이, 몰드 금형(204)은, 상형 인서트(202b)와 하형 클램퍼(203c)가 맞닿은 채, 가동 플래튼(209)에 대한 가압이 강해지기 때문에, 하형 클램퍼(203c)의 코일 스프링(203d)이 압축되어 몰드 수지(R)가, 하형 캐비티 오목부(203e) 내에 충전되어 최종 수지압인 채로 유지되어, 몰드 수지(R)가 가열 경화된다.

상술한 바와 같이, 볼 나사 기구(210)에 의해 가동 플래튼(209)을 통하여 몰드 금형(204)에 공급된 워크(W)를 제 1 형 체결력에 의해 클램프함으로써, 몰드 금형(204) 내에 밀폐 공간을 형성할 수 있다. 이 볼 나사 기구(210)에 의한 가압 상태를 토글 링크 기구(214)가 인계하여 당해 토글 링크 기구(214)에 의해 가동 플래튼(209)이 제 1 형 체결력보다 큰 제 2 형 체결력까지 클램프됨으로써, 최종 수지압에 의해 몰드 수지(R)를 가열 경화시킨다.

따라서, 형 폐쇄 동작에 있어서의 가동 플래튼(209)의 평행도를 유지하면서 형 폐쇄를 고정밀도로 행하고 또한 최종 수지압을 고압으로 함으로써 성형 품질을 높일 수 있다. 즉, 평행도나 형 체결 속도가 특히 중요한 몰드 수지(R)의 충전까지는, 볼 나사 기구(210)에 의해 고정밀도로 구동량을 제어하면서 형 체결해 가고, 가압력이 특히 중요한 몰드 수지(R)의 충전 후에는, 제 2 구동 모터(216)에 의한 출력을 증대시키는 토글 링크 기구(214)에 의해서 형 체결하여 가압함으로써, 몰드 금형(204)의 형 폐쇄 전후에 있어서 각각 요구되는 성능을 실현할 수 있다.

또, 몰드 금형(204)을 개폐하는 클램프 기구(205)로서, 제 2 구동 모터(216)에 의한 출력을 증대시키는 토글 링크 기구(214)를 이용함으로써, 예를 들면 출력을 증대시키는 기구를 이용하지 않고 직동 기구만을 이용하여, 형 개폐 동작을 행하는 경우에 비하여 기구를 구동하는 서보 모터(제 1 구동 모터(212), 제 2 구동 모터(216))를 보다 출력이 작은 것을 이용할 수 있고, 나사 축(211)의 직경도 가늘게 함으로써, 장치가 소형화되고, 소비 전력도 저감할 수 있고, 제조 비용을 줄일 수 있다. 따라서, 보다 값싸게 워크(W)의 대형화에 대응할 수 있다.

도 40a∼도 40c에서는 몰드 금형(204)의 상형(202)에 워크(W)를 유지하고, 하형(203)에 형성되는 캐비티에 몰드 수지(R)를 공급받고 있었지만, 그것과는 반대의 구성이어도 된다.

즉, 도 41a에 있어서, 상형(202)은, 상형 베이스(202a)가 고정 플래튼(207)에 지지되어 있다. 상형 베이스(202a)의 클램프면에는 오목부가 형성되어 있고, 당해 오목부에는 상형 캐비티 피스(202d)가 지지되고 그 주위에 상형 클램퍼(202e)가 코일 스프링(202f)에 의해 가압되어 매달기 지지되어 있다. 상형 클램퍼(202e)는, 상형 캐비티 피스(202d)의 하면으로부터 하방으로 돌출되어 있고, 상형 캐비티 오목부(202g)가 형성되어 있다. 이 상형 캐비티 오목부(202g)를 덮도록 릴리스 필름(F)이 흡착 유지된다.

하형(203)은, 하형 베이스(203a)가 가동 플래튼(209)에 지지되어 있다. 하형 베이스(203a)에는 하형 인서트(203f)가 조립되어 있다. 하형 인서트(203f)에는, 워크(W)를 클램프면과 면일로 흡착 유지하는 워크 유지부(203g)가 형성되어 있다.

도 41a에 나타낸 바와 같이, 몰드 금형(204)이 형 개방 상태에서, 워크(W)(예를 들면, 반도체 칩이 탑재된 기판, 반도체 웨이퍼 등)가 하형(203)의 워크 유지부(203g)에 공급되고, 몰드 수지(R)(액상 수지, 과립상 수지, 입자체 수지(파우더 수지), 시트 수지, 태블릿 수지 등)가 공급된다. 몰드 수지(R)는, 미리 워크(W) 상에 공급되고 나서 워크 유지부(203g)에 공급되어도 된다. 상형(202)의 상형 캐비티 오목부(202g)는 릴리스 필름(F)에 덮여 흡착 유지되어 있다.

볼 나사 기구(210)를 구동하여 형 폐쇄 동작이 개시되면, 도 41b에 나타낸 바와 같이, 상형 클램퍼(202e)가 릴리스 필름(F)을 개재하여 워크(W)(기판) 및 하형 인서트(203f)에 맞닿은 채 코일 스프링(202f)이 압축된다. 이에 의해 몰드 금형(204) 내에 밀폐 공간(감압 공간, 폐쇄 공간)이 형성된 채 몰드 수지(R)가, 상형 캐비티 오목부(202g) 내에 충전된다.

몰드 금형(204)이 제 1 형 체결력에 도달하여, 볼 나사 기구(210)에 의한 가압으로부터 토글 링크 기구(214)의 가압으로 이행하면, 도 41c에 나타낸 바와 같이, 몰드 금형(204)은, 하형 인서트(203f)와 상형 클램퍼(202e)가 맞닿은 채, 가동 플래튼(209)에 대한 가압이 강해지기 때문에, 상형 클램퍼(202e)의 코일 스프링(202f)이 압축된 상태가 되어 캐비티 오목부 내의 수지압이 상승하여 최종 클램프압이 되어 몰드 수지(R)에 소정의 수지압이 가해진 채 유지되어, 몰드 수지(R)가 가열 경화된다.

상기 구성에 의하면, 제어부(222)는, 형 폐쇄 동작을 개시하면, 볼 나사 기구(210) 및 토글 링크 기구(214)를 동기하여 구동시키고, 볼 나사 기구(210)에 의해 가동 플래튼(209)을 통하여 몰드 금형(204)에 공급된 워크(W)를 제 1 형 체결력에 의해 클램프함으로써, 몰드 금형(204)을 형 폐쇄하여 당해 몰드 금형(204) 내에 밀폐 공간을 형성할 수 있다. 이 볼 나사 기구(210)에 의한 가압 상태를 토글 링크 기구(214)가 인계하여 당해 토글 링크 기구(214)에 의해 가동 플래튼(209)이 제 1 형 체결력보다 큰 제 2 형 체결력까지 클램프됨으로써, 최종 수지압에 의해 몰드 수지(R)를 가열 경화시킬 수 있다.

따라서, 상술의 형 구성과 마찬가지로, 워크(W)의 대형화에 대응하여 몰드 금형(204)의 평행도나 형 체결 속도를 정밀도 좋게 유지한 채, 소형이고 더욱이 저비용으로 형 체결 가능한 수지 몰드 장치(201)를 제공할 수 있다. 또한, 토글 링크 기구(214) 대신에 유압 프레스 기구를 설치해도 된다. 이 경우에도 형 폐쇄 동작에 있어서의 가동 플래튼(209)의 평행도를 유지하면서 형 폐쇄를 고정밀도로 행하고 또한 최종 수지압을 고압으로 함으로써 성형 품질을 높일 수 있다. 또, 토글 링크 기구(214) 대신에 다른 배력 기구를 설치해도 된다.

또, 상술한 바와 같은 볼 나사 기구(210)에 의해 가동 플래튼(209)을 구동하여 형 개폐 동작을 행하여 형 클램프함과 함께, 상술의 토글 링크 기구(214)에 의해 도 40에 나타낸 하형 캐비티 피스(203b)만을 가압 및 구동하는 구성으로 해도 된다. 이 경우, 하형 베이스(203a) 및 가동 플래튼(209)에 관통 구멍을 형성함과 함께, 하형 캐비티 피스(203b)를 가압하는 가압 부재를 이 관통 구멍을 관통시킴과 함께 연결부(209a)에 연결함으로써, 하형 캐비티 피스(203b)를 별도로 구동시킬 수 있다. 이에 의하면, 하형 캐비티 피스(203b)에 의한 수지(R)의 가압력과 형 클램프력을 개별적으로 제어할 수 있기 때문에, 수지압을 임의로 상승시키면서 형 클램프력을 억제할 수도 있고, 장치 전체의 출력을 억제하더라도 수지압을 낮추지 않고 성형할 수도 있다. 또, 필요한 가압력에 따라서, 볼 나사 기구(210)만에 의한 구동과, 볼 나사 기구(210) 및 토글 링크 기구(214)에 의한 구동에 의해 구동 상태를 전환할 수도 있다. 또한, 하형 캐비티 피스(203b)를 단독으로 상승시켜 하형(203)으로부터 돌출시킴으로써, 형 클리닝을 용이하게 할 수도 있다.

이상으로, 본 발명을 실시 형태에 기초하여 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것이 아니며, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변경이 가능하다는 것은 자명하다.

상기 제 1 실시 형태에서는, 수지(R)로서 과립 수지를 이용한 경우에 대하여 설명하였다. 이것에 한정하지 않고, 수지(R)로서, 필름 형상의 수지를 이용해도 되고, 또한, 크기가 다른 필름 형상의 수지를 산(山) 형상이 되도록 적층시킨 것을 이용해도 된다.

구체적으로는, 도 28, 도 29에 나타낸 바와 같은 워크(W) 및 수지(R)를 이용하는 성형을 채용할 수 있다. 이들 도면에 나타낸 바와 같이, 워크(W)로서는, 기판(10) 상에 칩 부품(11)이 플립 칩 실장된 것을 이용할 수 있다. 이 경우, 수지(R)로서는, 가운데가 볼록하게 형성된(center convex shape) 필름 형상의 수지를 이용하거나, 가운데가 볼록하게 공급한 과립 수지를 이용하거나 할 수 있다. 이 경우, 상술한 실시 형태와 마찬가지로 워크(W) 및 수지(R)를 공급하고 나서 몰드하는 공정에 있어서, 형 폐쇄 후에 추가로 형 체결하는 과정에서, 도 29에 나타낸 바와 같이, 칩 부품(11)이 용융한 수지(R)에 침지될 때에, 중앙측의 칩 부품(11)으로부터 순서대로 수지(R)에 침지해 간다. 이 때에, 용융한 수지(R)는 기판(10) 중앙으로부터 외주측으로 흘려지게 된다. 따라서, 칩 부품(11)이 플립 칩 실장된 워크(W)를 밀봉할 때에는, 칩 부품(11)과 기판(10)과의 사이의 언더 필이 용이하게 된다.

상기 제 1 실시 형태에서는, 수지 공급부(120)에 있어서, 복수의 트러프(123)를 이용하여, 동시에 동일한 정도의 양의 수지(R)를 수지 공급 영역인 릴리스 필름(F) 상에 공급(탑재)하는 경우에 대하여 설명하였다. 이것에 한정하지 않고, 복수의 트러프(123) 대신에, 과립 수지나 액상 수지와 같은 유동성이 있는 수지를 공급 가능한 다련(多連) 노즐을 갖는 디스펜서를 이용해도 된다. 이것에 의하면, 수지 공급량의 증대(수지 공급 영역의 대형화)에 기인하는 공급 시간의 장시간화를 방지할 수 있다. 또, 예를 들면 수지 공급 영역에 대하여, 각 노즐을 분포하여 배치하여 수지 공급에 불균일이 없도록 함으로써, 균일하게 공급할 수도 있다.

상기 제 1 실시 형태에서는, 형 클램프 기구의 형 개폐에 따라서, 탄성 부재(50)를 신축시켜 하형 클램퍼(35)에 대하여 하형 캐비티 피스(34)를 상대적으로 이동시키는 경우에 대하여 설명하였다. 이것에 한정하지 않고, 형 클램프 기구와는 별도로 구동시키는, 하형 클램퍼(35)의 높이를 가변하는 기구를 이용해도 된다.

캐비티 높이의 가변 기구로서는, 예를 들면, 하형 캐비티 피스(34)가 구동원과 접속되어 몰드 금형(30)의 하형 베이스(46)에 이동 가능하게 조립되고, 하형 클램퍼(35)가 하형 베이스(46)에 고정하여 조립되는 구성이어도 된다.

또, 캐비티 높이의 가변 기구로서는, 하형 캐비티 피스(34)와 하형 베이스(46)와의 사이에, 계면이 테이퍼면(경사면)에 형성된 판 두께 조정 블록(테이퍼 블록)을 맞겹쳐 쐐기부를 설치하고, 판 두께 조정 블록 중 일방이 에어 실린더, 모터 등의 구동원에 의해 슬라이드 가능하게 한 구성이어도 된다.

상기 제 1 실시 형태에서는, 필름 로더(57)에 있어서 유지면(64)로부터만 흡착부(67)와 접속하여 에어 흡인하는 경우에 대하여 설명하였다(도 3 참조). 이것에 한정하지 않고, 필름 로더(57a)로서, 오목부(66) 내에 있어서 에어 흡인 가능한 구성으로 해도 되고, 또한, 오목부(66) 내에 에어를 충전하여 가압 가능한 구성으로 해도 된다. 구체적으로는, 도 30∼도 32에 나타낸 바와 같은 필름 로더(57a)를 이용할 수 있다. 또한, 도 30∼도 32에 있어서, 상형(31)(도 3 참조)은 생략하고 있다.

이 필름 로더(57a)에 의하면, 도 30에 나타낸 바와 같이, 수지(R)가 탑재된 릴리스 필름(F)을 반송할 때에는, 도 3에 나타낸 에어로(65)와 동일한 기능을 갖는 에어로(65a)와는 다른 계통의 흡인·가압부(67b)와 오목부(66)를 접속하는 에어로(65b)로부터 흡인 또는 가압을 행한다. 구체적으로는, 수지(R)의 중량에 의한 릴리스 필름(F)에의 가압과 흡착부(67a)에 의한 흡인력(부압)을 균형잡히게 함으로써, 수지(R)의 중량에 의해서 릴리스 필름(F)의 휨을 방지할 수 있다.

또, 이 필름 로더(57a)에 의하면, 도 31, 도 32에 나타낸 바와 같이, 릴리스 필름(F)을 캐비티 오목부(33)에 배치할 때에, 흡인·가압부(67b)로부터 에어를 공급하여 오목부(66) 내에 에어를 충전하여 가압함으로써 릴리스 필름(F)의 주름을 펼 수도 있다. 이것에 의하면, 캐비티 오목부(33)의 각부에 대응하는 개소로부터의 흡인에 의해서 릴리스 필름(F)을 캐비티 오목부(33)의 형상에 따르게 하면서, 캐비티 피스(34)의 단면에 릴리스 필름(F)의 주름을 외측으로 밀어내면서 밀어 찌그러뜨릴 수도 있으므로, 주름의 발생을 보다 확실하게 방지할 수 있다. 또한, 이 때 오목부(66) 내에 충전하는 에어로서 가열 에어를 이용할 수 있고, 형 온도를 낮추지 않고 주름의 발생을 방지할 수 있다. 또, 릴리스 필름(F)도 가열되기 때문에, 릴리스 필름(F)을 캐비티 오목부(33)의 형상에 보다 확실하게 따르게 할 수도 있다.

또한, 상기 제 1 실시 형태에서는, 필름 로더(57)는, 수지(R)가 탑재된 릴리스 필름(F)을 하형(32)에 배치하는 예에 대하여 설명하였지만 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 상형(31)에 배치할 수도 있다. 이 경우, 수지 몰드 장치(100)에 있어서의 몰드 금형(30)은, 하형(32)과 상형(31)을 상하 반전한 것과 같은 구성으로 되어, 하형(본 발명에 있어서의 제 1 형에 상당)과 캐비티 오목부가 형성되는 상형(본 발명에 있어서의 제 2 형에 상당)을 형 폐쇄하여, 이 캐비티 오목부에 충전된 수지에 의해 워크(W)를 수지 몰드 가능하게 구성된다. 이 상형은, 상기 제 1 실시 형태에 있어서의 하형(32)과 마찬가지로, 캐비티 오목부의 저부를 구성하는 캐비티 피스와, 캐비티 오목부의 측부를 구성하는 클램퍼와, 클램퍼에 대하여 캐비티 피스를 상대적으로 이동시키는 가동부와, 캐비티 피스의 단면과 클램퍼의 단면을 덮도록 배치된 릴리스 필름(F)을 흡인하여 흡착하는 흡착부를 구비하는 구성을 채용할 수 있다. 또, 필름 로더는, 상기 제 1 실시 형태에 있어서의 필름 로더(57)와 마찬가지로, 릴리스 필름(F)을 플랫한 상태로 반송함과 함께, 캐비티 피스의 단면과 클램퍼의 단면을 동등한 높이에 위치시키면서 릴리스 필름(F)을 평탄한 상태인 채로 이 캐비티 피스의 단면과 이 클램퍼의 단면에 배치한다. 이와 같은 수지 몰드 장치(100)에 의하면, 수지(R)와 함께 프레스부(130)에 반입하지 않는 경우이더라도, 주름의 발생을 방지하면서 배치할 수 있다.

또, 상기 제 1 실시 형태에서는 수지 공급부(120)에 있어서 과립 형상의 수지(R)를 릴리스 필름(F)에 공급하는 경우에 대하여 설명하였다. 이것에 한정하지 않고, 수지 공급부(120)는 액상의 수지(R)를 공급할 수도 있다. 이 경우, 수지 공급부(120)가 액상의 수지(R)를 워크(W) 상에 공급한 후에, 로봇 기구부(180)가 워크(W)째 프레스부(130)에 반입해도 된다. 또, 수지 공급부(120)는, 시트 형상의 수지(R)를 공급할 수도 있다. 이 경우, 로봇 기구부(180)는, 수지 공급부(120)에 의해서 공급된 시트 형상의 수지(R)를, 릴리스 필름(F) 또는 워크(W)와 맞겹치거나, 또는, 이 수지(R)만으로 프레스부(130)에 반입해도 된다.

또, 워크(W)로서는, 보호할 필요가 있는 면이 있으면, 칩 부품(11)이나 범프(11A)가 탑재되어 있지 않은 웨이퍼 자체와 같은 판 형상의 부재여도 된다. 이와 같은 판 형상의 부재의 표면은, 요철 형상을 가져도 되고 평탄한 면이어도 된다.

Claims (14)

1. 상형과 캐비티 오목부가 형성되는 하형을 형 폐쇄하여, 상기 캐비티 오목부에 충전된 수지에 의해 워크를 수지 몰드하는 수지 몰드 장치로서,
   링 형상의 상부 및 하부 플레이트를 구비하고, 상기 하부 플레이트는, 주연부 단에서 상기 상부 플레이트측의 면으로부터 오목하게 둘레 방향으로 연장되는 단턱 구비 부분이 형성되고, 상기 상부 플레이트와 상기 하부 플레이트의 사이에 필름을 끼워, 상기 하부 플레이트의 단턱 구비 부분에 상기 상부 플레이트의 내경부를 대응시켜 상기 상부 플레이트가 감합되어 구성된 필름 플레이트부와,
   상기 필름 플레이트부에 수지가 탑재되어 상기 링 형상의 상부 및 하부 플레이트 사이에 끼워진 필름 및 수지를 유지하여 반송 가능한 로더와,
   상기 하형은, 상기 캐비티 오목부의 저부를 구성하는 하형 캐비티 피스와, 상기 캐비티 오목부의 측부를 구성하는 하형 클램퍼와, 상기 하형 캐비티 피스의 단면 및 상기 하형 클램퍼의 단면을 덮도록 배치된 상기 필름을 흡착하는 흡착부를 구비하며,
   상기 하형 캐비티 피스는, 상기 하형 클램퍼에 대하여 상대적으로 이동 가능하게 구성되며, 상기 하형 클램퍼에는 주연부 단에서 단면으로부터 오목하게 둘레방향으로 연장되는 단턱 구비 부분이 형성되어 있고,
   상기 로더는, 상기 하형 캐비티 피스의 단면과 상기 하형 클램퍼의 단면에 설치된 단턱 구비 부분에 상기 하부 플레이트의 내경부를 대응시켜 상기 필름 플레이트부가 감합되고, 상기 수지가 상기 하형 캐비티 피스 상에 위치하도록 상기 필름을 배치하고,
   상기 흡착부는, 상기 캐비티 오목부의 내면에 추종하여 상기 필름을 흡착 유지하여, 상기 캐비티 오목부에 상기 수지를 공급하는 것을 특징으로 하는 수지 몰드 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 하형 클램퍼에는, 상기 하형 클램퍼의 단면으로부터 돌출 가능하게 플로팅 지지된 복수의 핀을 구비하고,
   상기 복수의 핀은, 상기 하형 클램퍼의 단면으로부터 돌출하여 상기 워크를 지지하고, 상기 워크를 클램프한 상태에서는 상기 하형 클램퍼의 내부에 수용되는 것을 특징으로 하는 수지 몰드 장치.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 로더는, 개폐 가능한 롤 형상의 셔터부를 구비하고, 상기 셔터부의 폐쇄 상태에서 상기 필름을 상기 셔터부에 의해 지지하여 반송하고, 상기 셔터부의 개방 상태에서 상기 하형에 상기 필름을 배치하는 것을 특징으로 하는 수지 몰드 장치.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 로더는, 가열부 및 냉각부를 구비하는 것을 특징으로 하는 수지 몰드 장치.
5. 수지 몰드 장치를 이용하여, 상형과 캐비티 오목부가 형성되는 하형을 형 폐쇄하여, 상기 캐비티 오목부에 충전된 수지에 의해 워크를 수지 몰드하는 수지 몰드 방법으로서,
   상기 하형은, 상기 캐비티 오목부의 저부를 구성하는 하형 캐비티 피스와, 상기 캐비티 오목부의 측부를 구성하는 하형 클램퍼와, 상기 하형 캐비티 피스의 단면 및 상기 하형 클램퍼의 단면을 덮도록 배치된 필름을 흡착하는 흡착부를 구비하며,
   상기 수지 몰드 장치는 링 형상의 상부 및 하부 플레이트를 구비하고, 상기 하부 플레이트는, 주연부 단에서 상기 상부 플레이트측의 면으로부터 오목하게 둘레 방향으로 연장되는 단턱 구비 부분이 형성되고, 상기 상부 플레이트와 상기 하부 플레이트의 사이에 필름을 끼워, 상기 하부 플레이트의 단턱 구비 부분에 상기 상부 플레이트의 내경부를 대응시켜 상기 상부 플레이트가 감합되어 구성된 필름 플레이트부를 구비하고,
   (a) 상기 필름 플레이트부에 수지가 탑재되어 상기 링 형상의 상부 및 하부 플레이트 사이에 끼워진 필름 및 수지를 유지하여 반송 가능한 로더에 의해서, 상기 상부 및 하부 플레이트에 의해 상기 수지가 탑재된 상기 필름을 끼워넣어 인장한 상태에서 유지하는 공정과,
   (b) 상기 필름에 탑재된 상기 수지가 상기 하형 캐비티 피스 상에 위치하도록, 상기 하형 캐비티 피스의 단면과 상기 하형 클램퍼의 단면이 수평으로 유지될 때까지 상기 로더에 의해서 상기 하형 클램퍼를 밀어 내려, 상기 하형 클램퍼에 대하여 상기 하형 캐비티 피스를 상대적으로 이동시키는 공정과,
   (c) 상기 흡착부에 의해서 상기 필름을 흡인하면서, 상기 하형 클램퍼에 대하여 상기 하형 캐비티 피스를 상대적으로 이동하여 상기 캐비티 오목부를 형성함으로써, 상기 캐비티 오목부의 내면에 추종시키면서 상기 필름을 흡착 유지함과 함께, 상기 수지를 그대로 상기 캐비티 오목부에 공급하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 수지 몰드 방법.
6. 삭제
7. 삭제
8. 삭제
9. 삭제
10. 삭제
11. 삭제
12. 삭제
13. 삭제
14. 삭제

Images