CN110154300B - 树脂模制装置以及树脂模制方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种高效地供给薄膜以及模制树脂的树脂模制装置。本发明的树脂模制装置具有：输送工具，其作为治具，在与下模的腔室凹部的形状相对应地形成的通孔内保持模制树脂并将其与薄膜一起输送；第1工作台，其保持自薄膜辊拉出并被切断为预定长度的薄膜，将被切断后的薄膜和输送工具组合在一起；第2工作台，其载置在下表面侧保持有薄膜的状态的输送工具，并且构成为能够移动；输送工具拾取构件，其保持在下表面侧保持有薄膜的状态的输送工具并将输送工具自第1工作台向第2工作台输送；以及分配构件，其向载置于第2工作台上的输送工具中的通孔的内侧投入模制树脂。

Description

树脂模制装置以及树脂模制方法

技术领域

本发明涉及对在基材搭载有电子零件的工件进行树脂模制的树脂模制装置以及树脂模制方法。

背景技术

作为通过树脂模制来制造半导体装置等电子装置的方法，公知有这样的方法：对在基材搭载有许多个电子零件的工件一并进行树脂模制，将成形品切割成单片从而做成各个电子装置。这样的树脂模制方式之一是压缩成形方式。

大概地说，压缩成形方式是如下方法：向在具有上模和下模地构成的模制模具设置的模制区域(腔室)供给预定量的树脂，并且在该模制区域配置工件，通过利用上模和下模进行夹紧的操作来进行树脂模制。此时，在使用在上模设有腔室的模制模具的情况下，通常进行如下操作：在工件上将粘度较高的树脂一并朝向中心位置供给并进行成形。在该情况下，为了使供给至工件上的树脂填充于腔室内，需要使模制树脂流动至腔室的端部，因此，存在产生波流痕的情况。

另一方面，在使用在下模设有腔室的模制模具的情况下，通常进行如下操作：利用薄膜来覆盖包含该腔室的模具面，以均等的厚度来供给模制树脂，使保持于上模的工件浸渍于熔融的模制树脂并进行树脂模制。例如，公开有专利文献1(日本特开2010－247429号公报)、专利文献2(日本特开2004－148621号公报)、专利文献3(日本特开2017－024398号公报)等记载的装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－247429号公报

专利文献2：日本特开2004－148621号公报

专利文献3：日本特开2017－024398号公报

发明内容

发明要解决的问题

在上述专利文献等例示的以往的压缩成形方式的树脂模制装置中通常为如下结构：将进行工件的供给及成形品的收纳的机构、进行工件及成形品的厚度测量的机构、或者进行输送的机构等在平面内并列地配置。因此，存在树脂模制装置的设置面积容易变大这样的课题。

而且，若将工件的厚度测量、搭载的电子零件的计数、或者成形品的厚度测量、以及工件、成形品的输送等工序一个(一项)一个地实施，则工序时间变长而成为生产的阻碍，存在装置整体的生产率难以提高的课题。

而且，在上述专利文献等例示的以往的压缩成形方式的树脂模制装置中，在模制模具的上模具有腔室的结构的情况下，能够在将模制树脂搭载于一个工件之上的状态下进行输送，并进行树脂模制，因此，具有能够简化装置结构、工序的优点。但是，在模制模具的下模具有腔室的结构的情况下，在将工件送入之后，需要将薄膜(剥离膜)、模制树脂以所需量送入，因此存在当进行成形的工件增加时装置结构、工序复杂化这样的课题。

像这样，尤其是，针对在下模具有腔室的树脂模制装置而言，期望一种能够高效地供给工件及成形品、薄膜及模制树脂，并且，能够简化结构、工序的装置。

用于解决问题的方案

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种树脂模制装置，该树脂模制装置通过实现使针对工件、成形品进行供给、收纳、厚度测量以及输送等的机构沿上下方向分阶层地配置的结构，从而与以往装置相比能够减少设置面积，并且，通过实现将工件、成形品以两个并列的状态进行处理、输送的结构，从而与以往装置相比能够缩短工序时间。

而且，本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供能够高效地供给在树脂模制中使用的工件及成形品、薄膜及模制树脂，并且能够简化结构、工序的树脂模制装置以及树脂模制方法。

本发明通过作为一个实施方式的以下所述的解决手段来解决所述课题。

本发明的树脂模制装置是使用模制模具和输送部对工件进行树脂模制的树脂模制装置，该输送部将在基材搭载有电子零件的所述工件向所述模制模具输送，并且将由该模制模具进行树脂模制而成的成形品送出，该树脂模制装置的特征在于，该树脂模制装置具有：供给库升降机，其使收纳所述工件的供给库升降；收纳库升降机，其配置于在上下方向上与所述供给库升降机不同的位置，该收纳库升降机使收纳所述成形品的收纳库升降；供给轨道，其配设在所述供给库升降机的前方，该供给轨道供自所述供给库的预定位置取出的所述工件载置；收纳轨道，其载置所述成形品并且使所述成形品朝向所述收纳库通过；工件计测器，其配设于所述供给轨道的下方，该工件计测器针对所述供给轨道上的所述工件自下表面侧对所述工件的厚度进行计测；供给拾取构件，其保持所述供给轨道上的所述工件并将所述工件向所述输送部输送；以及收纳拾取构件，其保持所述输送部上的所述成形品并将所述成形品向所述收纳轨道输送，所述供给轨道、所述工件计测器以及所述收纳轨道在上下方向上重叠地并列设置。

采用该结构，能够实现对于工件、成形品进行供给、收纳、厚度的测量以及输送等的机构沿上下方向分阶层地配置的结构。因此，与各结构在平面内并列设置的以往装置相比较，能够大幅度减少装置的设置面积。

而且，优选的是，所述供给轨道以能够使两个所述工件沿左右方向并列地载置的方式构成为两列，所述工件计测器具有一个或者两个厚度传感器，该一个或者两个厚度传感器利用预定的一次扫描对两列的所述供给轨道上的两个所述工件的各自的厚度进行计测。采用该结构，能够利用一个或者两个厚度传感器同时对两个工件W的同一对应位置进行扫描。因此，能够利用扫描距离以及扫描时间最短的一次扫描，对两个工件W进行计测，因此，能够大幅度地缩短工序时间。

而且，优选的是，该树脂模制装置还具有工件加热部，该工件加热部自下表面侧对所述工件进行加热，所述工件加热部配设为，在所述供给轨道的上方，能够在比保持于所述供给拾取构件的状态的所述工件的外周靠外的位置和与保持于所述供给拾取构件的状态的所述工件的下表面相对的位置之间进退移动。采用该结构，在使利用供给拾取构件保持着的状态的工件W向上方移动的路径途中，能够利用工件加热部进行加热(预热)。因此，与各结构在平面内并列设置的以往装置相比较，能够大幅度减少装置的设置面积。

而且，优选的是，该树脂模制装置设定为所述供给拾取构件向所述输送部输送所述工件的左右方向的送入路和所述收纳拾取构件自所述输送部输送所述成形品的左右方向的送出路在前后方向上并列设置。采用该结构，能够同时进行供给拾取构件对工件进行的送入动作和收纳拾取构件对成形品进行的送出动作，因此，与送入路和送出路重叠地构成的以往装置相比较，能够大幅度地缩短工序时间。

而且，本发明的树脂模制装置是使用模制模具对工件进行树脂模制从而加工成成形品的树脂模制装置，该模制模具具有：上模，其保持在基材搭载有电子零件的所述工件；以及下模，其形成有腔室凹部，模制树脂隔着薄膜向该腔室凹部供给，该树脂模制装置的特征在于，该树脂模制装置具有：输送工具，其作为治具，该输送工具形成有与所述腔室凹部的形状相对应的通孔，在所述通孔内保持所述模制树脂并将所述模制树脂与所述薄膜一起输送；第1工作台，其保持自薄膜辊拉出并被切断为预定长度的所述薄膜，该第1工作台将所述被切断后的薄膜和所述输送工具组合在一起；第2工作台，其载置在下表面侧保持有所述薄膜的状态的所述输送工具，并且构成为能够移动；输送工具拾取构件，其保持在下表面侧保持有所述薄膜的状态的所述输送工具并将所述输送工具自所述第1工作台向所述第2工作台输送；以及分配构件，其向载置于所述第2工作台上的所述输送工具中的所述通孔的内侧投入所述模制树脂。

采用该结构，通过实现将在薄膜的供给中使用的第1工作台和在模制树脂的供给中使用的第2工作台分别设置的结构，从而能够同时进行在使输送工具保持薄膜以及模制树脂时所需要的薄膜的准备、模制树脂的准备等处理。因此，与利用同一工作台进行上述处理的以往装置相比较，能够大幅度地缩短工序时间。

而且，优选的是，所述输送工具以能够将两个所述薄膜沿左右方向并列地保持的方式具有两列薄膜保持部，并且在各个所述薄膜保持部具有与各所述薄膜相对应的树脂投入孔作为所述通孔。采用该结构，能够利用一个输送工具来保持分别搭载有模制树脂的两个薄膜，并将它们向模制模具输送。因此，与利用一个输送工具一个一个地输送薄膜的以往装置相比较，能够大幅度地缩短工序时间。

而且，优选的是，所述第1工作台以及所述薄膜辊在上下方向上分阶层地并列设置。采用该结构，与各结构在平面内并列设置的以往装置相比较，能够减少装置的设置面积。

而且，优选的是，该树脂模制装置还具有树脂加热部，该树脂加热部自保持有所述薄膜以及所述模制树脂的状态的所述输送工具的上表面侧进行加热。采用该结构，能够在向薄膜上搭载模制树脂之后立刻加热从而搭载表面液化，因此，尤其是，在使用颗粒状、粉末状的模制树脂的情况下，能够防止粉尘(树脂的细微粉末等)的产生，能够抑制制品不良的产生。

而且，本发明的树脂模制装置是使用具有上模以及下模的模制模具，对在基材搭载有电子零件的工件进行树脂模制从而加工成成形品的树脂模制装置，该树脂模制装置的特征在于，该树脂模制装置具有：第1输送部，其在上表面具有保持所述工件的第1保持部以及保持树脂模制成的所述成形品的第2保持部，该第1输送部保持所述工件并将所述工件向所述上模的预定保持位置输送，并且，将所述成形品向所述模制模具外的预定位置输送；以及第2输送部，其在下表面具有对保持薄膜以及模制树脂的输送工具进行保持的第3保持部以及保持使用完毕的薄膜的第4保持部，该第2输送部将所述薄膜以及所述模制树脂向所述下模的预定保持位置输送，并保持所述薄膜以及所述模制树脂的保持被解除的状态的所述输送工具地将所述输送工具向所述模制模具外的预定位置输送，并且，保持在树脂模制成的所述成形品被取出后的状态的所述下模残留的所述薄膜并将所述薄膜向所述模制模具外的预定位置输送。

采用该结构，能够高效地输送在树脂模制中使用的工件及成形品、薄膜及模制树脂，因此，与以往装置相比能够缩短工序时间。而且，能够简化装置结构、工序。

而且，优选的是，所述工件为长条形状的长条工件，所述薄膜为与所述长条工件相对应的长条形状的长条薄膜，所述第1保持部具有两列工件保持部，该两列工件保持部能够将两个所述长条工件以使该长条工件的长边方向平行的方式并列地保持，所述第2保持部具有两列成形品保持部，该两列成形品保持部能够将对所述长条工件进行加工而成的两个所述成形品以使该成形品的长边方向平行的方式并列地保持，所述输送工具具有两列送入薄膜保持部，该两列送入薄膜保持部能够将两个所述长条薄膜以使该长条薄膜的长边方向平行的方式并列地保持，所述第3保持部具有保持所述输送工具的输送工具保持部，所述第4保持部具有两列送出薄膜保持部，该两列送出薄膜保持部能够将使用完毕的两个所述长条薄膜以使该长条薄膜的长边方向平行的方式并列地保持。采用该结构，能够实现两个两个地同时输送工件及成形品、薄膜及模制树脂的结构，与一个一个地输送上述构件的以往装置相比较，能够大幅度地缩短工序时间。

而且，优选的是，所述工件为长条形状的长条工件，或者为比该长条工件宽的宽幅工件，所述薄膜为与所述长条工件相对应的长条形状的长条薄膜，或者为比该长条薄膜宽的宽幅薄膜，所述第3保持部具有输送工具保持部，该输送工具保持部共用地保持一个长条薄膜输送工具或者宽幅薄膜输送工具作为所述输送工具，该长条薄膜输送工具具有两列送入薄膜保持部，该两列送入薄膜保持部能够将两个所述长条薄膜以使该长条薄膜的长边方向平行的方式并列地保持，该宽幅薄膜输送工具具有保持一个所述宽幅薄膜的一个送入薄膜保持部。采用该结构，能够根据要加工成成形品的工件是长条工件和宽幅工件中的哪一种工件，来利用共用的输送工具保持部保持不同的输送工具并将薄膜送入，因此，能够利用简易的切换来进行薄膜的供给。

而且，优选的是，所述第1保持部构成为能够在如下两种结构之间调换，一种结构为具有两列工件保持部，该两列工件保持部能够将两个所述长条工件以使该长条工件的长边方向平行的方式并列地保持，另一种结构为具有保持一个所述宽幅工件的一个工件保持部，所述第2保持部构成为能够在如下两种结构之间调换，一种结构为具有两列成形品保持部，该两列成形品保持部能够将对所述长条工件加工而成的两个所述成形品以使该成形品的长边方向平行的方式并列地保持，另一种结构为具有对将一个所述宽幅工件加工而成的一个所述成形品进行保持的一个成形品保持部。采用该结构，能够构成为，即使是长条工件和宽幅工件中的任一种工件，也能够利用第1保持部和第2保持部的简易的结构调换来进行工件和成形品的输送。

而且，优选的是，所述薄膜为与所述长条工件相对应的长条形状的长条薄膜，或者为比该长条薄膜宽的宽幅薄膜，所述第4保持部具有薄膜保持部，该薄膜保持部在将两个所述长条薄膜沿左右方向并列地保持为使该长条薄膜的长边方向平行的两个长条区域和保持一个所述宽幅薄膜的宽幅区域重叠的区域，配置有吸附并保持薄膜的多个吸附部。采用该结构，无论是吸附保持长条薄膜的情况，还是吸附保持宽幅薄膜的情况，通过将多个吸附部配置于能够保持薄膜的位置，从而即使是长条薄膜和宽幅薄膜中的任意的薄膜，也能够不进行结构的调换等地进行送出。

而且，优选的是，设置有多个所述输送工具，多个所述输送工具在如下不同的工序中进行处理，所述工序包括：清洗所述输送工具的清洗工序；使所述薄膜组合于所述输送工具的薄膜设置工序；向与所述薄膜组合后的所述输送工具投下所述模制树脂的树脂投下工序；以及向所述模制模具供给所述薄膜和所述模制树脂的树脂供给工序。采用该结构，通过在用于进行树脂模制的各工序内使各输送工具循环，从而能够缩短各工序中的输送工具的等待时间，能够使生产率提高。

而且，优选的是，所述输送工具具有第1吸引孔，该第1吸引孔产生吸引力并保持所述薄膜，所述第3保持部具有第2吸引孔，该第2吸引孔配设于在将所述输送工具保持于预定位置的状态下与所述第1吸引孔连通的位置并产生吸引力。采用该结构，在将薄膜吸引在输送工具的下表面的状态下，能够利用第3保持部输送该输送工具。

而且，本发明的树脂模制方法是使用所述的树脂模制装置进行树脂模制的树脂模制方法，其特征在于，设置有多个所述输送工具，多个所述输送工具在如下工序之间在不同的工序中进行处理，所述工序包括：清洗所述输送工具的清洗工序；使所述薄膜组合于所述输送工具的薄膜设置工序；向与所述薄膜组合后的所述输送工具投下所述模制树脂的树脂投下工序；以及向所述模制模具供给所述薄膜和所述模制树脂的树脂供给工序。采用该结构，通过在用于进行树脂模制的各工序内使各输送工具循环，从而能够缩短各工序中的输送工具的等待时间，能够使生产率提高。

发明的效果

采用本发明，通过实现对于工件、成形品进行供给、收纳、厚度的测量以及输送等的机构沿上下方向分阶层地配置的结构，从而与以往装置相比能够减少设置面积。而且，通过实现以将工件、成形品并列设置两个的状态进行处理、输送的结构，从而与以往装置相比能够缩短工序时间。

而且，采用本发明，能够谋求实现如下结构：在一个下模设置两个或者两个以上的腔室，并且在各腔室分别配置工件，从而同时地进行树脂模制。尤其是，能够高效地供给在树脂模制中使用的工件及成形品、薄膜及模制树脂，因此，与以往装置相比能够缩短工序时间。而且，能够简化装置结构、工序。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的树脂模制装置的例子的俯视图。

图2是图1的II－II位置的左视图。

图3是表示图1的树脂模制装置的供给轨道的例子的俯视图。

图4是表示图1的树脂模制装置的收纳轨道的例子的俯视图。

图5是图1的V－V位置的左视图。

图6是图1的VI－VI位置的左视图。

图7是图1的VII－VII位置的左视图。

图8是图1的VIII－VIII位置的主视图。

图9是表示图1的树脂模制装置的输送工具的例子的俯视图。

图10是表示图1的树脂模制装置的模制模具的例子的俯视图。

图11是本发明的实施方式的树脂模制装置的动作说明图。

图12是继图11之后的动作说明图。

图13是继图12之后的动作说明图。

图14是继图13之后的动作说明图。

图15是继图14之后的动作说明图。

图16是继图15之后的动作说明图。

图17是继图16之后的动作说明图。

图18是继图17之后的动作说明图。

图19是继图18之后的动作说明图。

图20是继图19之后的动作说明图。

图21是继图20之后的动作说明图。

图22是继图21之后的动作说明图。

图23是继图22之后的动作说明图。

图24是继图23之后的动作说明图。

图25是继图24之后的动作说明图。

图26是继图25之后的动作说明图。

图27是继图26之后的动作说明图。

图28是表示本发明的实施方式的树脂模制装置的变形例的俯视图。

图29是表示本发明的实施方式的控制结构的例子的框图。

图30是表示本发明的实施方式的树脂供给动作的例子的流程图。

具体实施方式

(整体结构)

以下，参照附图，针对本发明的实施方式进行详细地说明。图1是表示本发明的实施方式的树脂模制装置1的例子的概略图(俯视图)。而且，图2～图10是表示树脂模制装置1的各结构的详细情况的概略图。另外，为了方便说明，存在在图中利用箭头说明树脂模制装置1中的前后、左右、上下的方向的情况。而且，在用于说明各实施方式的所有附图中，存在针对具有相同功能的构件标注相同的附图标记，省略其重复说明的情况。

本实施方式的树脂模制装置1是使用具有上模204以及下模206的模制模具202进行工件(被成形品)W的树脂模制成形的装置。以下，作为树脂模制装置1，以压缩成形装置为主要的例子进行说明，在该压缩成形装置中，利用上模204保持工件W，利用薄膜(剥离膜)F覆盖设置于下模206的腔室208(包含一部分模具面206a)并供给模制树脂R，进行上模204和下模206的夹紧动作，使工件W浸渍于熔融的模制树脂R从而进行树脂模制。另外，腔室208的形状被在下模206的上表面呈预定形状凹陷的腔室凹部209所限定，能够通过隔着薄膜F地供给模制树脂R从而进行压缩成形。

首先，作为成形对象的工件W具有在基材Wa呈行列状搭载有多个电子零件Wb的结构。更具体地说，作为基材Wa的例子，能够列举呈长条状地形成的树脂基板、陶瓷基板、金属基板、载体片、引线框、晶圆等板状的构件(长条形状的长条工件)。而且，作为电子零件Wb的例子，能够列举半导体芯片、MEMS芯片、从动元件、散热板、导电构件、间隔件等。另外，如后述那样，作为基材Wa，尤其是，还可以考虑能够与使用正方形状、圆形状的构件的情况相对应的装置变形例。

作为在基材Wa搭载电子零件Wb的方法的例子，具有基于倒装芯片安装、引线接合安装等的搭载方法。或者，在树脂模制后自成形品剥离基材(玻璃制、金属制的载体片)Wa的结构的情况下，还具有如下方法：使用具有热剥离性的粘接带、通过紫外线照射进行固化的紫外线固化性树脂来粘贴电子零件Wb的方法。

另一方面，作为模制树脂R的例子，使用有颗粒状的热固化性树脂(例如，含有填料的环氧系树脂)。另外，并不限于上述状态，也可以是液状、粉末状、圆柱状、板状、片状等其他状态(形状)。

而且，作为薄膜F的例子，能够适当地使用耐热性、容易剥离性、柔软性、伸展性优异的薄膜材料，例如，PTFE(聚四氟乙烯)，ETFE(乙烯-四氟乙烯共聚物)，PET、FEP、含氟玻璃纤维布、聚丙烯、聚偏二氯乙烯等。作为该薄膜F，能够使用例如与长条形状的工件W相对应的长条形状的长条薄膜。

接着，针对本实施方式的树脂模制装置1的概要进行说明。如图1所示，树脂模制装置1作为主要结构具有：工件处理单元100A，其主要进行工件W的供给和树脂模制后的成形品Wp的收纳；冲压单元100B，其主要进行对工件W的树脂模制并进行向成形品Wp的加工；以及分配单元100C，其主要进行薄膜F以及模制树脂R的供给和树脂模制后的使用完毕的薄膜Fd的收纳(废弃)。另外，在本实施方式中，举出在一个下模设置两个腔室并且配置两个工件W从而一并进行树脂模制，同时获得两个成形品Wp的压缩成形方式的树脂模制装置的例子进行说明。

在本实施方式中，工件处理单元100A、冲压单元100B以及分配单元100C那样的单元被连结起来从而被组装起来。作为一例，工件处理单元100A、冲压单元100B以及分配单元100C在左右方向上自左侧按照该顺序并列设置。另外，任意数量的导轨(未图示)呈直线状跨各单元之间地设置，用于输送工件W等的第1装载部(第1输送部)210以及用于输送薄膜F等的第2装载部(第2输送部)212以能够沿着任意的导轨在预定的单元之间移动的方式设置。另外，这些装载部210、212不仅进行例如工件W等相对于模制模具202的送入动作，还进行自模制模具202送出成形品Wp的送出动作，因此，还能够作为卸载部发挥功能。

因此，通过改变单元的结构，能够变更树脂模制装置1的构成方式。例如，图1所示的构成是设置了三台冲压单元100B的例子，但也能够构成为仅设置一台冲压单元100B、或者连结二台或四台以上冲压单元100B地设置的树脂模制装置(未图示)。而且，还能够设置其他单元。例如，还能够设置与分配单元100C不同的供给模制树脂R的单元、供给在模具内与工件W组装的构件的单元(未图示)。作为一个例子，该构件也可以是作为散热板、保护板发挥功能的板状构件。在该情况下，也能够在将板状构件重叠于薄膜F上之后，将模制树脂R供给至板状构件上再进行输送。

(工件处理单元)

接着，以树脂模制装置1所具有的工件处理单元100A的结构为主，针对工件W和成形品Wp的输送动作进行详细地说明。

首先，工件处理单元100A具有：供给库升降机103，其使收纳有多个工件W的供给库102升降；以及收纳库升降机113，其使收纳有多个成形品Wp的收纳库112升降。该收纳库升降机113配置于在上下方向上与供给库升降机103不同的位置。例如，能够设置为，上述的升降机103、113以在俯视时相互重叠的状态在上下方向上分阶层地并列设置。在此，针对供给库102、收纳库112而言能够使用公知的堆叠库、间隙库等，在本实施方式中，均以电子零件Wb的搭载面向下的状态分别收纳工件W以及成形品Wp。另外，从保护电子零件Wb的观点出发，优选的是，使用将工件W插入于在库框架的内侧相面对的凹部地进行保持的间隙库，从而将工件W彼此分开地保持。而且，供给库升降机103构成为能够通过保持供给库102地使供给库102升降从而自预定的位置取出工件W。收纳库升降机113构成为能够通过保持收纳库112地使收纳库112升降从而将成形品Wp收纳在预定的位置。

接着，工件处理单元100A具有供给轨道104，该供给轨道104配设在供给库102的前方，供自供给库102取出的工件W载置。在本实施方式中，在供给库102和供给轨道104之间具有使工件W通过的中转轨道106，但也能够构成为省略该中转轨道。另外，针对工件W自供给库102向供给轨道104上的移动，能够使用公知的推动构件等(未图示)。

在此，供给轨道104避开电子零件Wb的搭载位置地利用一对轨道自下方支承工件W的较长的边，在侧方沿前后方向引导工件W。而且，供给轨道104以能够将两个工件W在短边方向上沿左右方向并列地载置的方式构成为两列(图中104A、104B)，并且具有能够沿左右方向移动的移动机构(未图示)。由此，能够在将自供给库102取出的工件W载置于一侧的列(例如，104A)后，使供给轨道104A、104B向左方和右方中的任意预定方向(例如，右方)移动，使接下来的工件W载置于另一侧的列(例如，104B)。而且，供给轨道104A、104B分别构成为能够与工件W的宽度相应地改变轨道间的宽度。

接着，工件处理单元100A具有工件计测器114，该工件计测器114配设在供给轨道104的下方，并且构成为能够沿前后以及左右方向移动，其针对供给轨道104上的工件W自下表面侧(电子零件Wb的搭载面侧)对工件W的厚度进行计测。该工件计测器114由激光位移计、照相机(单摄像头照相机、多摄像头照相机)构成，基于它们的输出数据来计测工件W的厚度。另外，在此所说的“厚度的计测”包含：基材Wa中有无搭载电子零件Wb、电子零件Wb的搭载高度的计测；搭载的位置偏移的计测；以及搭载数的计测等必要的计测。基于此处的“厚度的计测”的结果，根据例如有无搭载电子零件Wb、搭载高度等算出在工件W中搭载的电子零件Wb的容积，调整模制树脂R的供给量，由此，能够高精度地控制成形品的成形厚度。

在此，工件计测器114具有对两列供给轨道104A、104B上的两个工件W各自的厚度进行计测的两个厚度传感器114a、114b。作为一个例子，在与右侧列的工件W相对应的位置配设有厚度传感器114a，并且在与左侧列的工件W相对应的位置配设有厚度传感器114b。由此，能够同时扫描各个工件W的同一对应位置，能够利用扫描距离以及扫描时间为最短的一次扫描对两个工件W进行计测。因此，能够大幅度地缩短工序时间。作为进行一次扫描时的工件W的计测动作，一边使工件W沿着如下的图案相对于厚度传感器114a、114b移动，一边以预定间隔对工件W进行计测即可，该图案是由使在纵向或者横向上将工件W分成n(n为2以上的整数)份的直线的相接近的端部彼此连接的线构成的。由此，能够通过沿着预定的图案的“一个扫描动作(一次扫描)”来任意地对工件W中的基材Wa的厚度、电子零件Wb的高度等进行计测。而且，在本实施方式的结构中，能够利用用于载置工件W的供给轨道104A、104B的左右方向的移动动作的机构和工件计测器114的前后方向的移动动作的机构以简易的结构实施扫描动作(向前后左右方向的移动)。另外，与供给轨道104A、104B同样地，构成为能够与工件W的宽度相应地改变厚度传感器114a、114b的间隔。由此，即使工件W的大小(宽度)改变，也能够通过一次扫描对两个工件W进行计测。

另外，作为变形例，也可以是，在进行一次扫描时的工件W的计测动作中，作为厚度传感器114a、114b的照相机通过一次向前后方向的移动来一并拍摄预定的宽度，从而进行工件W整个表面的厚度的计测。而且，也可以使工件计测器114沿前后左右移动，从而实施扫描动作。而且，也可以构成为，具有一个厚度传感器，以预定的一次扫描对两个工件W按顺序进行计测(未图示)。

而且，工件计测器114根据其与后述的工件W的供给动作之间的关系，优选的是，针对供给轨道104上的工件W自下表面侧对工件W的厚度进行计测，但也可以构成为，针对工件W自上表面侧对工件W的厚度进行计测。在该情况下，工件计测器114也能够设置于使工件W通过的中转轨道106的上下任一侧或者设置于上下两侧。另外，工件计测器114也可以构成为不仅能读取工件W的厚度，还能够读取标于工件W的识别信息(例如二维码)。而且，还能够使能够读取工件W的二维码的代码读取构件115设置于中转轨道106的上下任一侧。作为这样的工件W的识别信息，通过标注例如连号或者不重复的代码，能够识别是哪一个工件W。通过对该识别信息关联树脂模制的详细条件等并进行记录，能够实现像后述那样的追溯性的工艺的提高。

接着，工件处理单元100A具有供给拾取构件120，该供给拾取构件120保持载置于供给轨道104上的工件W，将工件W向预定位置输送。另外，在以下，“拾取构件”是指与在任意的位置之间移送预定的对象物的拾放机构相当的结构。该供给拾取构件120作为保持工件W的机构，具有公知的保持机构(例如，具有保持爪来进行夹持的结构、具有与吸引装置连通的吸引孔来进行吸附的结构等)(未图示)。另外，对于吸引装置，能够使用真空泵等公知的机构(以下相同)。在此，供给拾取构件120构成为能够沿左右以及上下方向移动。由此，通过保持载置于供给轨道104上的工件W地进行上升动作，最终能够向后述的第1保持部210A输送(供给)。

而且，本实施方式的供给拾取构件120的上述保持机构构成为，在与两列供给轨道104A、104B上的两个工件W相对应的位置沿左右方向并列设置两列。由此，能够以沿左右方向并列的状态同时保持并输送两列供给轨道104A、104B上的两个工件W。换言之，能够将工件W以使其长边方向平行的方式并列地保持。

接着，工件处理单元100A具有工件加热部116，该工件加热部116自下表面侧加热工件W。在此，作为加热工件W的结构，在工件加热部116的上表面配设有公知的加热机构(例如，电热线加热部、红外线加热部等)(未图示)。由此，通过在将工件W送入模制模具202并加热之前进行了预热，能够抑制工件W在模制模具202内的伸长。另外，作为变形例，还能够考虑不具有工件加热部116的结构。在该情况下，能够在第1保持部210A(第1装载部210)设置加热部。在该情况下，能够在利用第1保持部210A保持工件W的期间进行预热。而且，也可以在第1装载部210设置加热部。在该情况下，在交接工件W时能够预先自第1保持部210A的位置退避，在输送工件W时进行预热。

本实施方式的工件加热部116配设为在供给轨道104的上方能够相对于被供给拾取构件120保持着的状态的工件W的下表面侧进退移动(参照图2)。换言之，可以说工件加热部116配设为能够在比工件W的外周靠外侧的位置和工件W的下表面的正下方的位置之间移动。由此，能够进行对进行树脂模制前的工件W加热的预热工序。另外，在使工件加热部116向工件W的下表面的正下方的位置移动时，通过进行使保持着工件W的状态的供给拾取构件120向下方移动从而使工件W接近工件加热部116的动作，由此，能够实现更高效的加热。

另外，本实施方式的工件加热部116的上述的加热机构成为如下结构：在与保持于供给拾取构件120的两个工件W相对应的位置沿左右方向并列设置两列。由此，能够对由供给拾取构件120沿左右方向并列地保持的两个工件W同时且均等地加热。

像这样，实现了如下结构：在供给轨道104的上方，即在利用供给拾取构件实现的上下方向的移动过程中，利用工件加热部116对被供给拾取构件保持着的状态的工件W进行加热(预热工序)。因此，与各结构在平面内并列设置的以往装置相比较，能够大幅度地减少装置的设置面积。

接着，与工件处理单元100A的各机构协同动作的第1装载部210在其上表面具有第1保持部210A，该第1保持部210A将该工件W向上模204的预定保持位置输送。对于该第1保持部210A，在相对于供给轨道104向侧方(作为一个例子，右方)的位置移动时，能够载置通过供给拾取构件120输送来的工件W。在进行工件W的交接的情况下，供给拾取构件120在供给轨道104上经过预热工序进一步上升，接着向右方移动，由此，移动至能够交给位于供给轨道104的右方的第1保持部210A的位置。第1保持部210A具有公知的保持机构(例如，具有保持爪来进行夹持的结构、具有与吸引装置连通的吸引孔来进行吸附的结构等)作为对载置的工件W进行保持的工件保持部(图中为附图标记210a、210b)。

在本实施方式中，上述的工件保持部210a、210b成为如下结构：在与保持于供给拾取构件120的两个工件W相对应的位置沿左右方向并列设置两列。即，能够将工件W以使其长边方向平行的方式并列地保持。由此，由供给拾取构件120沿左右方向并列地保持的两个工件W能够按照当前配置并同时载置而无需改变排序，能够沿左右方向并列地保持、输送两个工件W。

而且，利用第1保持部210A保持工件W的第1装载部210构成为能够沿前后、左右以及上下方向移动。通过左右方向的移动，能够使工件W自工件处理单元100A向冲压单元100B输送。另一方面，通过前后方向的移动，能够使工件W自模制模具202的外部向内部(即，向开模状态的上模204和下模206之间)输送。并且，通过上下方向的移动，能够使工件W在模制模具202的内部向上模204的预定保持位置输送(交接)。另外，作为变形例，还能够考虑代替第1保持部210A沿左右移动的结构，构成为利用供给拾取构件120来代为进行该移动范围的移动。而且，还能够考虑代替第1保持部210A沿上下移动的结构，构成为利用模制模具202的开闭模机构来代为进行该移动范围的移动(均未图示)。

接着，第1装载部210在其上表面具有第2保持部210B，该第2保持部210B供树脂模制成的成形品Wp自模制模具202(在此为上模204)取下后载置，并将该成形品Wp向模制模具202外的预定位置输送。另外，第2保持部210B具有公知的保持机构(例如，具有保持爪来进行夹持的结构、具有与吸引装置连通的吸引孔来进行吸附的结构等)作为对载置的成形品Wp进行保持的成形品保持部(图中为附图标记210c、210d)。

而且，本实施方式的第2保持部210B的上述的成形品保持部210c、210d成为如下结构：在与树脂模制后保持于模制模具202(上模204)的两个成形品Wp相对应的位置沿左右方向并列设置两列。即，能够将成形品Wp以使其长边方向平行的方式并列地保持。由此，由模制模具202(上模204)沿左右方向并列地保持的两个成形品Wp能够按照当前配置并同时载置而无需改变排序，能够沿左右方向并列地保持、输送两个成形品Wp。

在此，在本实施方式中，第2保持部210B和上述第1保持部210A作为第1装载部210构成为一体。作为一个例子，第1装载部210在后方侧配设有具有左右两列工件保持部210a、210b的第1保持部210A，在前方侧配设有具有左右两列成形品保持部210c、210d的第2保持部210B。因此，第1保持部210A以及第2保持部210B作为第1装载部210构成为能够一体地沿前后、左右以及上下方向移动。由此，不仅能够实现装置结构的简化以及小型化，还能够实现将工件W和成形品Wp一起两个两个地同时输送的结构，因此，还能够缩短工序时间。

另外，作为变形例，还能够考虑将具有第2保持部210B的装载部构成为独立于具有上述第1保持部210A的装载部(未图示)。在该情况下，只要构成为能够与上述第1保持部210A同样地移动即可。

接着，工件处理单元100A具有第1收纳拾取构件122，该第1收纳拾取构件122对载置于第2保持部210B上的成形品Wp进行保持并向预定位置输送。并且，工件处理单元100A具有第2收纳拾取构件124，该第2收纳拾取构件124供由第1收纳拾取构件122保持着的成形品Wp载置，并将成形品Wp向单元内的预定位置输送。对于第1收纳拾取构件122和第2收纳拾取构件124，均是具有公知的保持机构(例如，具有保持爪来进行夹持的结构、具有与吸引装置连通的吸引孔来进行吸附的结构等)来作为保持成形品Wp的机构(未图示)。在本实施方式中，通过组合第1收纳拾取构件122和第2收纳拾取构件124，构成自第1装载部210输送成形品Wp的收纳拾取构件。

在此，本实施方式的第1收纳拾取构件122构成为能够沿左右方向移动。由此，能够对载置于第2保持部210B上的成形品Wp进行保持并将成形品Wp向第2收纳拾取构件124上输送。在此，也可以是，在第1收纳拾取构件122和第2收纳拾取构件124的交接过程中，通过将成形品Wp夹入并待机，从而一边使其平坦化一边进行冷却，防止成形品Wp的翘曲、形变。另外，作为第1收纳拾取构件122的变形例，也可以设置为不仅能够沿左右方向移动还能够沿上下方向移动的结构(收纳拾取构件)。由此，能够实现省略第2保持部210B的上下方向的移动机构的结构。

而且，本实施方式的第1收纳拾取构件122的上述的保持机构成为如下结构：在与载置于第2保持部210B(两列成形品保持部210c、210d)上的两个成形品Wp相对应的位置沿左右方向并列设置两列。由此，能够以沿左右方向并列的状态同时保持并输送第2保持部210B上的两个成形品Wp。

而且，在本实施方式中，设定为供给拾取构件120向第1保持部210A输送工件W的左右方向的送入路和收纳拾取构件(第1收纳拾取构件122)自第2保持部210B输送成形品Wp的左右方向的送出路在前后方向上并列设置。由此，基于供给拾取构件120的工件W的送入动作和基于收纳拾取构件(第1收纳拾取构件122)的成形品Wp的送出动作不会交叉、不会重叠，因此，能够抑制等待时间的产生。因此，能够同时进行多个动作从而高效地进行各动作，因此能够谋求处理的顺畅化，能够缩短工序时间。

另一方面，本实施方式的第2收纳拾取构件124构成为能够沿上下方向移动。由此，能够对载置于第2收纳拾取构件124上的成形品Wp进行保持，并将成形品Wp向后述的收纳轨道108上输送。

而且，本实施方式的第2收纳拾取构件124的上述的保持机构在与由第1收纳拾取构件122保持着的两个成形品Wp相对应的位置沿左右方向并列设置两列。由此，能够以沿左右方向并列的状态同时保持并输送由第1收纳拾取构件122保持着的两个成形品Wp。

另外，在本实施方式中，像上述那样构成为具有两个收纳拾取构件(第1收纳拾取构件122以及第2收纳拾取构件124)，但作为变形例，也可以构成为具有能够沿左右以及上下方向移动的一个收纳拾取构件(未图示)。由此，能够对载置于第2保持部210B上的成形品Wp进行保持，并直接向收纳轨道108上输送。而且，也可以利用多关节机器人(输送机器人)构成供给拾取构件120和收纳拾取构件。在该情况下，例如只要采用将水平多关节机器人和升降机构组合而成的输送机构，就能够使工件W以及成形品Wp沿左右以及上下方向移动，能够发挥与上述结构同样的功能。

另外，在上述结构中，第1装载部210只要在其与第1收纳拾取构件122之间移动至能够交接成形品Wp的位置(与图1中的第1收纳拾取构件122重叠的位置)，就能够实施上述动作。但是，通过使第1装载部210能够移动到装置侧面，从而操作人员能够容易触及第1装载部210所保持的工件W、成形品Wp。在该情况下，在工件处理单元100A中能够采用使供第1装载部210移动的轨道自身沿左右方向移动的结构。采用该结构，在第2收纳拾取构件124上下移动时，能够预先使该轨道自第2收纳拾取构件124的移动范围退避。其结果，在进行通常的生产时，能够通过第1装载部210和两个收纳拾取构件122、124的协同动作来输送成形品Wp，在进行保养时，能够通过第1装载部210使工件W、成形品Wp移动至操作人员容易直接操作的位置(装置侧面位置)。

接着，工件处理单元100A具有收纳轨道108，该收纳轨道108配设在工件计测器114的下方，供利用收纳拾取构件(在此为第2收纳拾取构件124)输送来的成形品Wp载置。另外，载置于收纳轨道108上的成形品Wp在该收纳轨道108上通过(滑动移动)，向收纳库112收纳。另外，收纳轨道108在其结构方面与供给轨道104基本相同，仅工件W、成形品Wp的移动的朝向不同，因此，存在省略针对供给轨道104已经说明的部分的情况(处理成形品Wp的其他结构也相同)。

在本实施方式中，在收纳轨道108和收纳库112之间具有供成形品Wp通过的中转轨道110，但也能够构成为省略该中转轨道。另外，针对成形品Wp自收纳轨道108上向收纳库112的移动，能够使用公知的推动构件等(未图示)。

在此，收纳轨道108避开电子零件Wb的搭载位置地自下方支承成形品Wp的较长的边，在侧方引导成形品Wp。而且，收纳轨道108以能够将两个成形品Wp在短边方向上沿左右方向并列地载置的方式构成为两列(图中的108A、108B)，并且具有能够沿左右方向移动的移动机构(未图示)。由此，能够在将保持于收纳拾取构件(在此为第2收纳拾取构件124)的两个成形品Wp以沿左右方向并列的状态同时载置后，使成形品Wp依次向收纳库112移动。例如，使一侧列(例如，108B)上的成形品Wp向收纳库112移动，接着，使收纳轨道108A、108B向左方和右方中的任意预定方向(例如，左向)移动，能够使另一侧列(例如，108A)上的成形品Wp向收纳库112移动。

接着，工件处理单元100A具有成形品计测器118，该成形品计测器118配设在收纳轨道108的下方，其针对收纳轨道108上的成形品Wp自下表面侧(电子零件Wb的搭载面侧)对成形品Wp进行检查。作为一个例子，该成形品计测器118能够配置于如下位置，即，在使成形品Wp向收纳库112移动时，收纳轨道108A、108B位于成为预定位置时的下方位置。该成形品计测器118由激光位移计、照相机(单摄像头照相机、多摄像头照相机)构成，能够用于与基于它们的输出数据的基准值之间进行比较、使用图案对照等方法对成形品Wp的厚度进行计测、检测成形品Wp的成形处的外观上的不良。另外，“收纳轨道的下方”还包含设置中转轨道110的情况中的中转轨道的下方。而且，在此所说的“检查”包含在基材Wa上进行树脂模制而成的部分(树脂成形部分)的厚度、树脂模制的外观(电线的露出)、树脂模制的不良(填充不良等)的计测等必要的计测。也可以是，基于此处的“检查”的结果，例如基于树脂成形部分的实际的厚度和目标的厚度的值之差来调整模制树脂R的供给量，能够高精度地控制成形品Wp的成形厚度。

在本实施方式的成形品计测器118固定配设有一个厚度传感器118a。由此，能够针对在收纳轨道108上通过的成形品Wp的预定的位置(例如，树脂成形部分的中央位置、外周位置)的厚度进行计测。

以上，如所说明的那样，在本实施方式中，成为使供给轨道104、工件计测器114、收纳轨道108以及成形品计测器118在上下方向上重叠地并列设置，自上起按该顺序分阶层地并列设置的结构(包括前后左右方向的偏移)。并且，供给库升降机103以及收纳库升降机113也配置于在上下方向上不同的位置，自上起按该顺序分阶层地并列设置的结构。采用上述结构，与各结构在平面内并列设置的以往装置相比较，能够大幅度地减少装置的设置面积。

而且，在上述实施方式中，在使用向模制模具202输送工件W并且将利用该模制模具202树脂模制而成的成形品Wp送出的第1装载部210来对工件W进行树脂模制的树脂模制装置1中，通过构成为使对工件W的厚度进行计测的工件计测器114和对成形品Wp进行检查的成形品计测器118重叠地配置，从而与以往装置相比能够使设置面积减少。在该情况下，在利用工件计测器114对工件W的厚度进行计测之后，通过第1装载部210向模制模具202输送工件W，利用成形品计测器118对由第1装载部210自模制模具202输送来的成形品Wp进行检查。

而且，能够实现如下结构，即，在基于第2收纳拾取构件124的上下方向的移动中，例如在第1收纳拾取构件122和第2收纳拾取构件124的交接中一边通过夹入来实现平坦化一边进行成形品Wp的散热工序，因此，无需设置额外的散热单元，还能够谋求装置的设置面积的减少。

而且，采用上述的结构，针对自在供给轨道104上载置两个例如长条状的工件W的状态起，到在收纳轨道108上载置两个加工后的成形品Wp的状态为止的工序，能够全部在使工件W或者成形品Wp沿左右方向并列两个的状态下进行。因此，与中途包含依次进行一个一个的处理的工序而导致包含部分花费时间的工序的以往装置相比较，能够大幅度缩短工序时间。

并且，采用上述结构，能够实现如下结构：在自供给库102取出工件W开始到加工为成形品Wp并向收纳库112收纳为止的全部工序中，在工件W以及成形品Wp移动时，针对工件W以及成形品Wp的朝向(保持、载置的朝向)不进行任何转换地使其沿前后、左右、上下方向移动。因此，与在工序中工件W以及成形品Wp的朝向进行转换的以往装置相比较，能够缩短工序时间，还能够简化装置结构。

另外，作为上述的树脂模制装置1的变形例，也可以构成为如下的压缩成形方式的树脂模制装置2(参照图28)，即：在一个下模设置一个腔室并且配置一个工件W(例如，设想作为基材Wa使用圆形的晶圆、正方形的基板、长方形的基板等的情况)从而进行树脂模制，获得一个成形品。在该情况下，能够构成为加工作为工件W的比作为上述的长条工件的工件W宽的宽幅工件(大尺寸工件)。作为该宽幅工件，也可以使用比长条工件宽的正方形、长方形、多边形的工件W或作为直径(宽度)相对地比长条工件宽的圆形的晶圆、载体片的工件W。在该情况下，能够考虑以下的工件处理单元500A那样的结构来代替工件处理单元100A。

作为一个例子，工件处理单元500A也可以设置具有机器手504的输送机器人，该机器手504代替上述的供给轨道104、收纳轨道108而进行工件W自供给库的取出、或者成形品Wp向收纳库的收纳等。在此，对于该机器手504，能够使用在公知的多关节机器人等的顶端的与工件W的形状相对应的叉状的构件具有吸附机构的机构。另外，也可以构成为具有多个机器手(未图示)。而且，不仅是针对上述的供给拾取构件120和收纳拾取构件，也可以设置进行供给轨道104、收纳轨道108中的工件W和成形品Wp的输送的输送机器人。

而且，在第1保持部210A中，能够构成为如下结构：能够将前述的两列工件保持部210a、210b和保持一个工件W(宽幅工件)的宽幅工件保持部506调换地设置。并且，在第2保持部210B中，能够构成为如下结构：能够将前述的两列成形品保持部210c、210d和保持一个成形品Wp(与宽幅工件W对应的成形品Wp)的宽幅成形品保持部508调换地设置。

像这样，针对能够切换长条工件和宽幅工件的结构，例如，能够考虑使第1保持部210A调换成如下结构：以将作为两个长条工件的工件W并列地保持为使其长边方向平行的方式具有两列工件保持部210a、210b的结构；具有保持作为一个宽幅工件的工件W的一个宽幅工件保持部506的结构。而且，能够考虑使第2保持部210B调换成如下结构：以将对作为长条工件的工件W进行加工而成的两个成形品Wp并列地保持为使其长边方向平行的方式具有两列成形品保持部210c、210d的结构；具有保持将一个该工件W加工而成的一个成形品Wp的一个宽幅成形品保持部508的结构。通过构成这样的结构，无论是长条工件和宽幅工件中的任意的工件W，都能够通过第1保持部210A和第2保持部210B的简易的结构的调换来输送工件W和成形品Wp。

(冲压单元)

接着，针对树脂模制装置1所具有的冲压单元100B的结构进行详细地说明。

首先，冲压单元100B具有模制模具202，模制模具202具有能够开闭的一对模具(例如，由合金工具钢形成的多个模具块、模具板、模具柱等、由其他构件组装而成的模具)。在本实施方式中，将一对模具中的在铅垂方向上靠上方侧的一模具设为上模204，将靠下方侧的另一模具设为下模206。该模制模具202通过上模204和下模206相互接近、远离来进行合模、开模。即，铅垂方向为开闭模方向。

另外，模制模具202通过公知的开闭模机构(未图示)进行开闭模。例如，开闭模机构构成为具有：一对压板；架设有一对压板的多个连结机构(杆、柱部)；使压板可动(升降)的驱动源(例如，电动马达)；以及驱动传递机构(例如，肘杆)等(针对驱动用机构均未图示)。

在此，模制模具202配设于该开闭模机构的一对压板之间。在本实施方式中，成为固定模具的上模204组装于固定压板(固定于连结机构的压板)，成为可动模具的下模206组装于可动压板(沿连结机构升降的压板)。但是，并不限于该结构，也可以将上模204设为可动模具，将下模206设为固定模具，或者，也可以将上模204、下模206均设为可动模具。或者，也可以设置两张可动压板，将上模204以及下模206设为两组。

接着，针对模制模具202的下模206进行具体地说明。下模206具有下板224、腔室块226、夹具228等，将这些构件组装起来从而构成下模206(参照图10)。

在此，腔室块226固定地组装于下板224的上表面(靠上模204侧的表面)。夹具228以包围腔室块226的方式构成为环状，夹具228与腔室块226邻接并相对于下板224的上表面分离(浮动)地组装于下板224的上表面。

在本实施方式中，下模206具有自模具面(分型面)206a凹陷的腔室208，腔室块226构成腔室208的深部(底部)，夹具228构成腔室208的侧部。换言之，利用该腔室块226的上表面和夹具228的内周壁面形成有呈预定形状凹陷的腔室凹部209。

另外，在本实施方式中，如图21等所示，腔室208具有沿左右方向并列设置两个的结构(图中为附图标记208A、208B)，而且，具有分别对应的腔室块226A、226B。由此，能够将两个薄膜F(搭载有模制树脂R的部分)分别同时收容于腔室208A、208B内。因此，能够实现将工件W两个两个地同时进行树脂模制的结构，因此，能够缩短工序时间。另外，也可以构成为如下结构：在下模206中，使夹具228设置为针对每个腔室208A、208B切开的结构从而能够独立地升降，在上模204中具有利用弹性体来吸收两个工件W的板厚差的板厚调整机构。采用该结构，即使同时进行压缩成形的两个工件W存在厚度的差，也不会产生倾斜，能够在减少树脂量的供给不均等影响的同时进行成形。另外，在本实施方式中，以腔室208A、208B沿左右方向横向排列的方式配置有模具的构件。因此，将构成腔室208A的腔室块226A、构成腔室208B的腔室块226B和夹具228设置为左右独立的凹槽构造，能够相对于收容上述构件的基座在装置的前后方向上逐个插拔并进行保养。

在此，在与夹具228相对的上模204的模具面设有吸引槽(未图示)，该吸引槽连通于吸引装置(未图示)。而且，通过设有包围上述构件的密封构造，使吸引装置驱动并减压，由此，能够在合模的状态下进行腔室208内的脱气。

而且，模制模具202具有自下模206的模具面206a侧吸引薄膜F的薄膜吸引机构。作为一个例子，该薄膜吸引机构借助贯通夹具228地配设的吸引路230a、230b连通于吸引装置(未图示)。具体而言，吸引路230a、230b的一端通至下模206的模具面206a，另一端与配设于下模206外的吸引装置连接。由此，使吸引装置驱动从而自吸引路230a、230b吸引薄膜F，能够将薄膜F吸附并保持于包含腔室208的内表面的模具面206a。更具体地说，能够自吸引路230b吸引薄膜F，将薄膜F吸附并保持于腔室208的外侧的模具面206a，自吸引路230a吸引薄膜F，从而薄膜F能够向模具面206a吸附并保持于腔室208的内表面(腔室凹部209的模具面)。

像这样，通过设置覆盖腔室208的内表面以及下模206的模具面206a(局部)的薄膜F，能够使成形品Wp的下表面中的模制树脂R的部分容易地剥离，因此，能够自模制模具202容易地取出成形品Wp。

而且，模制模具202在下板224和夹具228之间具有施力构件(例如，螺旋弹簧等弹簧)232。夹具228借助该施力构件232可动地组装于下板224。由此，腔室块226被夹具228包围，腔室块226和夹具228能够沿开闭模方向相对地往复移动。像这样，在下模206中，腔室块226固定地保持于下板224，另一方面，夹具228以可动的方式借助施力构件232分离(浮动)地被保持。此时，成为夹具228的内周面和腔室块226的外周面之间的间隙被确保为预定的尺寸的结构。因此，能够使夹具228顺畅地移动。

另外，上述间隙包含于前述的薄膜吸引机构的吸引路230a，在腔室块226和夹具228之间的分界(腔室208的角部)处吸引薄膜F。因此，薄膜吸引机构具有密封构件234(例如，O型圈)。密封构件234以上述间隙作为吸引路230a且不会发生空气泄漏的方式设于腔室块226和夹具228(的下部)之间，从而进行密封。

而且，下模206具有加热部(例如，电热线加热部)、辅助加热部(例如，电热线加热部)、温度传感器、控制部、电源等(均未图示)，进行加热以及其控制。作为一个例子，下模206的加热部内置于下板224、收容上述构件的模具基座(未图示)，主要对下模206整体和工件W施加热量。利用上述下模206的加热部，将下模206调整至预定温度(例如，120℃～180℃)地进行加热。

接着，针对模制模具202的上模204进行具体地说明。上模204具有上板222、腔室板236等，通过组装上述构件从而构成上模204。在此，腔室板236固定地组装于上板222的下表面(下模206侧的表面)。

而且，上模204具有加热部(例如，电热线加热部)、温度传感器、控制部、电源等(均未图示)，进行加热以及其控制。作为一个例子，上模204的加热部内置于上板222，主要对上模204整体和模制树脂R施加热量。利用该上模204的加热部，将上模204调整至预定温度(例如，120℃～180℃)地进行加热。

并且，上模204具有工件保持机构240，该工件保持机构240将工件W保持于腔室板236的下表面中的预定位置。作为一个例子，该工件保持机构240借助配设于腔室板236的吸引路240a连通于吸引装置(未图示)。具体而言，吸引路240a的一端通至上模204的模具面204a，另一端与配设于上模204外的吸引装置连接。由此，使吸引装置驱动从而自吸引路240a吸引工件W，能够将工件W吸附并保持于模具面204a(在此为腔室板236的下表面)。而且，也可以构成为具有保持爪，保持爪与具有吸引路240a的结构并列设置并夹持工件W的外周。

另外，在本实施方式中，如图21等所示，工件保持机构240具有沿左右方向并列设置两个的结构(图中为附图标记240A、240B)。由此，能够分别利用工件保持机构240A、240B将两个工件W同时保持。因此，能够实现将工件W两个两个地同时进行树脂模制的结构，因此，能够缩短工序时间。另外，也可以如下那样成形，即：作为前述的板压调整机构，使保持工件W的腔室板236设置为能够针对每个腔室208A、208B分开地独立升降，由此，即使同时进行压缩成形的两个工件W存在厚度的差，也不会产生倾斜。

像前述那样，作为上述的树脂模制装置1的变形例，也可以构成为如下的压缩成形方式的树脂模制装置2(参照图28)，即：在一个下模设置一个腔室并且配置一个工件W从而进行树脂模制，获得一个成形品。在该情况下，代替冲压单元100B，能够考虑以下的冲压单元500B那样的结构。

作为一个例子，冲压单元500B在下模206中，代替收容前述的两个薄膜以及模制树脂的两列腔室208A、208B，只要构成为具有隔着一个薄膜收容模制树脂的腔室208即可。并且，在上模204中，将保持前述的两个工件的工件保持机构240A、240B一并使用为保持一个工件W的工件保持机构240即可。

(分配单元)

接着，以树脂模制装置1所具有的分配单元100C的结构为主，针对薄膜F以及模制树脂R的供给动作进行详细地说明。

像前述那样，分配单元100C是进行薄膜F以及模制树脂R的供给等的单元。在本实施方式中，在将薄膜F以及模制树脂R向模制模具202输送时，使用输送工具400作为用于保持并输送这些构件的治具。即，通过使用该输送工具400作为治具，从而保持模制树脂R使其与薄膜F一起输送。而且，输送工具400能够将薄膜F以使其长边方向平行的方式并列地保持(详细见后述)。

首先，分配单元100C具有准备台302，该准备台302供尚未保持薄膜F以及模制树脂R的状态的输送工具400载置，能够进行适宜的清洗。例如，自模制模具202送出的输送工具400附着有模制树脂R成为导致动作不良的原因。在此，能够利用刷子、吸引机构(均未图示)清洗包含后述的通孔在内的表面来防止动作不良。

接着，具有保持输送工具400并将输送工具400在多个预定位置(工作台)之间输送的输送工具拾取构件304。另外，作为保持输送工具400的机构，具有公知的保持机构(例如，具有保持爪来进行夹持的结构、具有与吸引装置连通的吸引孔来进行吸附的结构等)(未图示)。例如，能够采用如下结构：在输送工具400的外周部分设置凹凸部，通过使凹凸部卡挂在自输送工具拾取构件304的下表面向下立设的保持爪，从而进行保持并输送。

在此，输送工具拾取构件304构成为能够沿前后、左右以及上下方向移动。由此，能够对载置于准备台302上的输送工具400进行保持，并将其向后述的薄膜台308以及树脂投下台310输送。

接着，分配单元100C在准备台302的后方的位置具有：薄膜辊306，其为长条状的薄膜F呈辊状卷绕而成的薄膜辊306；以及薄膜台(第1工作台)308，其配设在薄膜辊306的上方(在本实施方式中为斜上方)，自薄膜辊306拉出的薄膜F被切断为预定长度的长条状并被该薄膜台308保持。

作为一个例子，薄膜台308以及薄膜辊306具有在上下方向上自上方起按该顺序分阶层地并列设置的结构(包含前后左右方向的偏移)。由此，与各结构在平面内并列设置的以往装置相比较，能够减少装置的设置面积。

在本实施方式中，作为薄膜辊306，两个薄膜辊306A、306B沿左右方向并列地配设。由此，能够同时向薄膜台308上供给两个同形状的薄膜F。在此，薄膜辊306A、306B既可以设置为利用其中心轴307a进行支承，也可以设置为利用以比薄膜辊306A、306B的外形小的间隔设置的多个的滚筒307b自下方进行支承。在该情况下，通过构成为利用滚筒307b自下方支承薄膜辊306A、306B，能够不需要插拔中心轴307a而简易地更换两个并列的薄膜辊306A、306B。而且，针对薄膜辊306向薄膜台308的送出，也可以设置为将端部夹入后拉出的结构、利用设于薄膜台308的跟前的驱动式的滚筒送出的结构。

另一方面，薄膜台308具有公知的切断机构(例如，固定刀切断器、熔断器等)(未图示)作为切断长条状的薄膜F的机构。而且，具有公知的保持机构(例如，具有连通于吸引装置的吸引孔来进行吸附的结构等)(未图示)作为保持两个薄膜F的机构。在该薄膜台308中，在此切断的薄膜F和输送工具400组合在一起。

在此，如图9所示，本实施方式的输送工具400具有上表面和下表面形成为平行的平面的概略平板状的形状，并且具有两列保持薄膜F的送入薄膜保持部(图中为400A、400B)。而且，在各送入薄膜保持部400A、400B配设有树脂投入孔400a、400b，该树脂投入孔400a、400b在与各薄膜F相对应的位置(保持各薄膜F的位置)以自上表面观察时各薄膜F露出的方式形成为通孔。该树脂投入孔400a、400b通过与前述的腔室凹部209的形状相对应地形成，从而在模制树脂R向树脂投入孔400a、400b内投下并被保持时，能够以适宜的状态准备模制树脂R。

并且，在树脂投入孔400a、400b的周围配设有多个第1吸引孔400c，该多个第1吸引孔400c产生吸引力来保持薄膜。另外，第1吸引孔400c成为如下结构：经由(连通)设于后述的第3保持部212A的第2吸引孔212b、设于后述的输送工具拾取构件304的第3吸引孔(未图示)，来传递通过吸引装置(未图示)产生的吸引力。采用上述的结构，能够将两个薄膜F以沿左右方向并列地吸引于被输送工具拾取构件304输送至薄膜台308上的输送工具400的下表面的状态保持。另外，也可以构成为利用保持爪将薄膜F的外周夹入地进行保持。

接着，具有树脂投下台(第2工作台)310，其相对于薄膜台308配设于侧方(作为一个例子，右方)，并且构成为能够沿前后左右方向移动，该树脂投下台310供由输送工具拾取构件304输送来的输送工具400(在下表面保持有两个薄膜F的状态)载置。另外，树脂投下台310具有公知的保持机构(例如，具有保持爪来进行夹持的结构、具有与吸引装置连通的吸引孔来进行吸附的结构等)(未图示)来作为对载置的输送工具400进行保持的机构。

并且，在图1中，以相对于薄膜台308将上述的树脂投下台310夹在中间的配置在侧方(作为一个例子，右方)且是在比树脂投下台310高的位置具有分配构件312。该分配构件312向载置于树脂投下台310的输送工具400中的树脂投入孔400a、400b投入模制树脂R，向露出的薄膜F上(树脂投入孔400a、400b的内侧)搭载(投下)该模制树脂R。该分配构件312例如构成为包括：料斗312a，其储存模制树脂R；重量计312b，其对投下的树脂的重量进行计量；导流槽312c，其利用振动送料器(未图示)将计量后的模制树脂R送出；以及喷嘴312d，其限制自导流槽312c送出并投下的模制树脂R的投下位置。

在此，本实施方式的树脂投下台310构成为能够沿前后以及左右方向移动(图1中在三个位置处进行了图示)。通过左右方向的移动，能够在保持有薄膜F的状态下使载置于树脂投下台310上的输送工具400向分配构件312的下方进退移动。由此，能够使输送工具400在分配构件312和薄膜台308的中间的位置以及分配构件312的喷嘴312d的正下方的位置之间移动。而且，通过前后方向的移动，能够将保持有搭载了模制树脂R的薄膜F的状态的输送工具400向预定位置(由后述的第3保持部212A对输送工具400进行保持的位置)输送。另外，作为变形例，还能够考虑代替树脂投下台310左右移动的结构，利用分配构件312来代为进行该移动范围的移动的结构。而且，还能够考虑代替树脂投下台310前后移动的结构，利用第3保持部212A(后述)来代为进行该移动范围的移动的结构(均未图示)。

而且，一边使树脂投下台310在前后以及左右方向的预定路径上移动，一边自两个喷嘴312d将模制树脂R向树脂投入孔400a、400b送出，由此，能够于在树脂投入孔400a、400b内露出的薄膜F上以预定厚度不发生偏差地铺设模制树脂R。由此，能够防止薄膜F上的模制树脂R的偏差所引起的不良品的产生。

在此，本实施方式的分配构件312具有两个喷嘴312d，该两个喷嘴312d分别向输送工具400中的两列树脂投入孔400a、400b投入模制树脂。作为一个例子，在与右侧的树脂投入孔400a相对应的位置配设有一个喷嘴312d，并且在与左侧的树脂投入孔400b相对应的位置配设有另一个喷嘴312d。换言之，构成为两个喷嘴312d的各自的中心间距离与树脂投入孔400a、400b的各自的中心间距离相同。由此，能够一边同时通过各个树脂投入孔400a、400b的同一对应位置一边投入模制树脂R，能够在移动距离以及移动时间为最短的一个路径上，将模制树脂R铺设在两个薄膜F上。因此，能够大幅度地缩短工序时间。另外，作为变形例，也可以构成为具有一个喷嘴，在预定的一个路径上，按顺序将模制树脂R铺设于两个薄膜F上(未图示)。

接着，具有树脂加热部314，其通过自保持有搭载了模制树脂R的薄膜F的状态的输送工具400的上表面侧进行加热，来对该模制树脂R进行加热。另外，作为加热输送工具400(模制树脂R)的结构，在树脂加热部314的下表面配设有公知的加热机构(例如，电热线加热部、红外线加热部等)(未图示)。由此，能够同时加热以通过输送工具400搭载于两个薄膜F上的状态被保持的模制树脂R。

在此，本实施方式的树脂加热部314配设于树脂投下台310的移动路径上，更具体地说，配设于自分配构件312的喷嘴312d的正下方的位置移动至通过后述的第3保持部212A对输送工具400进行保持的位置的路径途中。由此，能够在利用分配构件312的喷嘴312d向保持于输送工具400的薄膜F上投入模制树脂R后，立刻进行加热该模制树脂R的工序。因此，尤其是，作为模制树脂R，在使用颗粒状、粉末状等的树脂的情况下，能够在向薄膜F上搭载后立刻进行加热从而使位于表面的粉末状等的树脂加热熔融并一体化。由此，能够防止粉尘(树脂的细微粉末等)的产生，能够防止因粉尘在装置内扩散所导致的动作不良、制品不良的产生。

另外，也可以是，在树脂加热部314的前后的位置处具有供给树脂检查器315，该供给树脂检查器315对在树脂投入孔400a、400b内向薄膜F上投下并供给的模制树脂R的外观进行计测。该供给树脂检查器315用于通过在树脂投下台310的移动路径的上方具有照相机(单摄像头照相机、多摄像头照相机)，从而能够使用它们的输出值、拍摄图像，来记录投下的模制树脂R的厚度、形状。由此，例如，通过将成形品Wp的成形厚度和实际信息关联起来地保存数据，从而由操作人员对这些数据进行比较，还能够选定模制树脂R的投下条件。由此，能够确保与模制树脂R的供给相关的追溯性，能够维持成形品质。

接着，与分配单元100C的各机构协同动作的第2装载部212具有第3保持部212A。该第3保持部212A在其下表面接受载置于树脂投下台310上的输送工具400，并将其向下模206的预定保持位置输送，并且将解除了对薄膜F以及模制树脂R的保持的输送工具400向前述的准备台302上输送。另外，第3保持部212A具有公知的保持机构(例如，具有保持爪来进行夹持的结构、具有与吸引装置连通的吸引孔来进行吸附的结构等)来作为保持该输送工具400的输送工具保持部212a。并且，具有第2吸引孔212b，该第2吸引孔212b配设于与在预定位置保持的输送工具400的第1吸引孔400c连通的位置，产生(传递)基于吸引装置(未图示)产生的吸引力。由此，能够一边维持使两个薄膜F(分别搭载有模制树脂R的状态)沿左右方向并列地吸附于输送工具400的下表面的状态，一边向下模206的预定保持位置(配设有腔室208的位置)输送。另外，也可以设置为在输送工具400的下表面具有夹持两个薄膜F的外周地进行保持的保持爪的第3保持部212A。

在此，具有本实施方式的第3保持部212A的第2装载部212构成为能够沿前后、左右以及上下方向移动。通过左右方向的移动，能够进行将输送工具400(保持有分别搭载有模制树脂R的两个薄膜F的状态)自分配单元100C向冲压单元100B输送的动作。而且，通过前后方向的移动，能够进行将输送工具400(保持有分别搭载有模制树脂R的两个薄膜F的状态)自模制模具202的外部向内部(即，向开模状态的上模204和下模206之间)输送的动作。

并且，通过上下方向的移动(还存在组合前后、或者左右方向的移动的情况)，能够进行对载置于树脂投下台310上的输送工具400(保持有分别搭载有模制树脂R的两个薄膜F的状态)进行保持的动作。在该情况下，还能够进行如下动作：一边在下模206的预定保持位置(配设有腔室208的位置)保持输送工具400，一边解除对分别搭载有模制树脂R的两个薄膜F的保持，针对两个腔室208A、208B(包含一部分模具面206a)分别(一对一地)进行载置。并且，还能够进行将薄膜F以及模制树脂R的保持被解除的状态的输送工具400向前述的准备台302上载置的动作。另外，作为变形例，还能够考虑利用其它机构(树脂投下台310、下模206等)的移动来调换第3保持部212A的移动范围的一部分(未图示)。

接着，第2装载部212具有第4保持部212B，该第4保持部212B在该树脂模制而成的成形品Wp自模制模具202(在此为上模204)被取出后保持残留于下模206的薄膜(使用完毕的薄膜)Fd，将其向预定位置(后述的薄膜处理机316)输送。另外，第4保持部212B具有公知的保持机构(例如，具有连通于吸引装置的吸引孔来进行吸附的结构等)(图中为附图标记212c、212d)作为保持使用完毕的薄膜Fd的送出薄膜保持部。

而且，本实施方式的第4保持部212B的上述送出薄膜保持部212c、212d构成为在与模制模具202(下模206)的两个腔室208A、208B相对应的位置沿左右方向并列设置两列。即，能够将薄膜F以使其长边方向平行的方式并列地保持。由此，能够将在树脂模制后由模制模具202(下模206)沿左右方向并列地保持的两个使用完毕的薄膜Fd同时地沿左右方向并列地保持并输送。

在此，在本实施方式中，第4保持部212B和上述第3保持部212A作为第2装载部212构成为一体。作为一个例子，第2装载部212在后方侧配设有具有输送工具保持部212a的第3保持部212A，在前方侧配设有具有左右两列的送出薄膜保持部212c、212d的第4保持部212B。因此，第3保持部212A以及第4保持部212B作为第2装载部212构成为能够一体地沿前后、左右以及上下方向移动。由此，不仅能够实现装置结构的简化以及小型化，还能够实现将搭载有模制树脂R的薄膜F、使用完毕的薄膜Fd一起两个两个地同时输送的结构，因此，还能够缩短工序时间。

另外，作为变形例，还能够考虑如下结构：将具有第4保持部212B的装载部独立于具有上述第3保持部212A的装载部地构成(未图示)。在该情况下，只要设置为能够与上述第3保持部212A同样地移动的结构即可。

接着，分配单元100C具有薄膜处理机316，该薄膜处理机316能够收纳通过第4保持部212B输送来的使用完毕的薄膜Fd。作为一个例子，薄膜处理机316形成为上部(上表面部分)开口的箱状。由此，在输送使用完毕的薄膜Fd的第4保持部212B到达薄膜处理机316的正上方位置时，停止第4保持部212B的输送动作，并且解除对使用完毕的薄膜Fd的保持，从而能够使该使用完毕的薄膜Fd落下并将其收纳于薄膜处理机316内。

以上，如所说明的那样，采用本实施方式的结构，能够实现如下装置，该装置能够高效地进行在供给、加工(树脂模制)两个长条状的工件W后取出两个成形品Wp的动作。尤其是，在一个下模设置两个腔室208A、208B并且配置两个工件W地一并进行树脂模制时，能够一边维持在两个薄膜F分别搭载有模制树脂R的状态，一边向下模206的腔室208A、208B输送。因此，与以往装置相比较，能够在抑制工序、装置构造的复杂化的同时，使生产率大幅度地提高。并且，与在一个下模206设置两个腔室208A、208B并且配置两个工件W且利用一个(一张)薄膜F覆盖整体的结构相比，还能够谋求薄膜使用量的减少。

而且，将在薄膜F的供给中使用的薄膜台308和在模制树脂R的供给中使用的树脂投下台310设置为彼此独立的结构，从而能够同时进行处理，因此，与以往装置相比，能够缩短工序时间。

像前述那样，作为上述的树脂模制装置1的变形例，也可以构成为如下的树脂模制装置2(参照图28)，即：在一个下模设置一个腔室并且配置一个工件W进行树脂模制，从而获得一个成形品。在该情况下，作为薄膜F能够设置为如下结构：使用比作为上述长条薄膜的薄膜F宽的宽幅薄膜。作为该宽幅薄膜，使用比长条薄膜宽的正方形、长方形的单片形式的薄膜F较为简易。但是，作为宽幅薄膜，只要比长条薄膜宽即可，也可以使用切成圆形的单片形式的薄膜F。在该情况下，能够考虑以下的分配单元500C那样的结构来代替分配单元100C。

作为一个例子，分配单元500C设置为如下结构即可，即：能够将前述的输送工具400的两列送入薄膜保持部400A、400B和保持一个薄膜F(宽幅薄膜)的大型送入薄膜保持部516调换地设置。并且，前述的两列送出薄膜保持部212c、212d设置为如下结构即可，即：无论是针对作为两个长条薄膜的使用完毕的薄膜Fd，还是针对作为一个宽幅薄膜的使用完毕的薄膜Fd，都能够进行吸附并保持。

像这样，针对能够将长条薄膜和宽幅薄膜切换地使用的结构，例如能够考虑如下结构：第3保持部212A具有输送工具保持部212a，该输送工具保持部212a能够共用地保持长条用和宽幅用这两种输送工具400。作为被输送工具保持部212a保持的第一输送工具400为一个长条薄膜输送工具400，其以能够将作为长条薄膜的两个薄膜F并列地保持为使其长边方向平行的状态的方式，具有两列送入薄膜保持部400A、400B。作为被输送工具保持部212a保持的第二输送工具400，能够考虑设置为如下结构：具有输送工具保持部212a，该输送工具保持部212a共用地保持输送工具400，输送工具400具有保持作为一个宽幅薄膜的薄膜F的一个送入薄膜保持部516。

通过构成这样的结构，能够根据要加工为成形品Wp的工件W为长条工件和宽幅工件中的哪一种工件W，来利用共用的输送工具保持部212a保持不同的输送工具400，并将薄膜F与模制树脂R一起送入，因此，能够通过简易的切换进行薄膜F的供给。

而且，针对能够切换地使用长条薄膜和宽幅薄膜的结构，第4保持部212B能够构成为具有送出薄膜保持部212c、212d的结构，该送出薄膜保持部212c、212d在将作为两个长条薄膜的使用完毕的薄膜Fd以使其长边方向平行的方式沿左右方向并列地保持的两个长条区域和保持作为一个宽幅薄膜的使用完毕的薄膜Fd的宽幅区域重叠的区域，配置有吸附并保持使用完毕的薄膜Fd的多个吸附部。在该情况下，由于例如应该吸附的位置重叠，因此，使用相同的吸附部，无论是针对作为长条工件用的长条薄膜的使用完毕的薄膜Fd，还是针对作为一个宽幅薄膜的使用完毕的薄膜Fd，都能够吸附并保持。

采用该结构，无论是保持作为长条薄膜的使用完毕的薄膜Fd的情况，还是吸附保持作为宽幅薄膜的使用完毕的薄膜Fd的情况，通过在能够保持使用完毕的薄膜Fd的位置配置有吸附部，针对在长条薄膜和宽幅薄膜中的任意使用完毕的薄膜Fd，都能够不进行结构的调换等地进行送出。

另外，也可以是，对于分配单元500C的平面布局，代替图1以及图8所示的构造，设置为将薄膜台308和树脂投下台310交换的配置。在该情况下，与该交换相配合地使准备台302也向装置侧面位置移动，能够自装置侧面实现输送工具400的设置、清洗用的刷子，上述构件的交换也变得容易。

(树脂模制动作)

接着，针对使用本发明的实施方式的树脂模制装置1进行树脂模制的动作，参照图5～图27，以冲压单元100B以及分配单元100C的动作为中心进行说明。

首先，利用输送工具拾取构件304，使在准备台302上清洗完毕的输送工具400(未保持薄膜F以及模制树脂R的状态)被保持，如图11所示那样将其向薄膜台308上输送。在该情况下，输送工具400能够在被输送工具拾取构件304的保持爪保持的状态下进行输送。另一方面，自两个薄膜辊306A、306B拉出的两个薄膜F分别被切断为预定长度的长条状并被保持在薄膜台308上。

接着，如图12所示，通过使输送工具拾取构件304向下方移动(下降)，从而输送工具400的下表面抵接于薄膜台308上的两个薄膜F。

接着，如图13所示，借助输送工具拾取构件304使输送工具400的第1吸引孔400c产生吸引力，从而在将两个薄膜F吸附并保持于输送工具400的下表面的状态下，使输送工具拾取构件304向上方移动(上升)。

接着，如图14所示，通过使输送工具拾取构件304向侧方(右方)移动，从而使被输送工具拾取构件304保持的输送工具400(保持着两个薄膜F的状态)向树脂投下台310上输送。

接着，如图15所示，通过使输送工具拾取构件304向下方移动(下降)，从而使输送工具400的下表面的两个薄膜F抵接于树脂投下台310上。在该状态下，使由输送工具拾取构件304的保持机构对输送工具400的保持解除(停止)，从而使输送工具400(保持着两个薄膜F的状态)载置于树脂投下台310上。由此，输送工具拾取构件304保持在下表面侧保持有薄膜F的状态的输送工具400，完成自薄膜台308向树脂投下台310输送的一系列的动作。

接着，通过使树脂投下台310向侧方(右方)移动，如图16所示，使载置于树脂投下台310上的输送工具400(保持着两个薄膜F的状态)向分配构件312的喷嘴312d的正下方的位置输送。

接着，如图17所示，使用两个喷嘴312d，向输送工具400中的两列的树脂投入孔400a、400b的内侧同时投入模制树脂R。此时，通过预先对工件W的厚度进行计测，能够调整向各树脂投入孔400a、400b内投下并供给的模制树脂R的量，因此，能够使向腔室208供给的模制树脂R的量适当。例如，预先在分配构件312侧单独地测量自两个喷嘴312d投下的模制树脂R，投入与喷嘴312d中的一个喷嘴312d相对应的既定量的模制树脂R，然后，停止该模制树脂R的投下，直到另一个喷嘴312d投下既定量的模制树脂为止地持续进行投下动作。

而且，在自两个喷嘴312d投下模制树脂R时，使搭载了输送工具400的树脂投下台310沿任意的图案移动。由此，向各树脂投入孔400a、400b内以对应的图案(使前述的任意的图案旋转180度得到的图案)供给模制树脂R。在此，通过使树脂投下台310沿没有间隙的图案移动，从而在两个薄膜F上分别以预定厚度不发生偏差地铺设模制树脂R。例如，通过使树脂投下台310沿着如下图案移动，能够在树脂投入孔400a、400b内整体均等地供给模制树脂R，该图案是由使在纵向或者横向上将树脂投入孔400a、400b分成n(n为2以上的整数)份的直线的相接近的端部彼此连接的线构成的。另外，在此所说的“直线”未必需要上述的间隔均等，也可以在途中弯折。

接着，如图18所示，通过使树脂投下台310向前方移动，从而使载置于树脂投下台310上的输送工具400一边经过树脂加热部314的正下方的位置一边输送。由此，对保持于输送工具400的状态的薄膜F上的模制树脂R进行加热。接着，通过使树脂投下台310进一步向前方移动，如图19所示，从而使载置于树脂投下台310上的输送工具400向预定位置(由第3保持部212A对输送工具400进行保持的位置)输送。

接着，通过使第3保持部212A自图19所示的状态向下方移动(下降)，从而使第3保持部212A的下表面抵接于树脂投下台310上的输送工具400。接着，第3保持部212A利用保持爪保持输送工具400。而且，借助第3保持部212A使输送工具400的第1吸引孔400c产生吸引力，使两个薄膜F吸附于输送工具400的下表面。在维持该状态的同时，利用第3保持部212A保持输送工具400，如图20所示，使第3保持部212A和输送工具400向上方移动(上升)。

接着，通过使第2装载部212移动，如图21所示，从而使保持于第3保持部212A的输送工具400自模制模具202的外部向内部(即，向开模状态的上模204和下模206之间)输送。另一方面，在将输送工具400向模制模具202输送之前，先将由第1装载部210的第1保持部210A保持的两个工件W送入上模204。此时，首先使第1装载部210在模制模具的内侧后退(进入)，利用第2保持部210B自上模204接受先前进行了树脂模制而成形的成形品Wp(参照图5)。接着，第1装载部210在模制模具的内侧前进，将保持于保持部210A的两个工件W向上模204交接。由此，如图21所示，通过第1保持部210A送入的两个工件W成为保持于上模204的状态，在对输送工具400进行输送之前，使工件W被充分加热。

而且，在将输送工具400向模制模具202输送之前，先利用第2装载部212的第4保持部212B保持使用完毕的薄膜Fd并将其自下模206送出。此时，首先使第2装载部212在模制模具的内侧后退(进入)，利用第4保持部212B吸附并接受先前进行树脂模制时使用并保持于下模206的使用完毕的薄膜Fd(参照图6)。由此，能够相对于模制模具202送入输送工具400。

接着，如图22所示，通过使第3保持部212A向下方移动(下降)，从而使输送工具400的下表面的两个薄膜F(搭载有模制树脂R的状态)抵接于下模206上。此时，各薄膜F(搭载有模制树脂R的部分)以收纳于腔室208A、208B内的方式载置。

接着，使借助第3保持部212A产生的来自输送工具400的第1吸引孔400c的吸引力停止，解除输送工具400对两个薄膜F(搭载有模制树脂R的状态)的保持。此时，各薄膜F的外缘部分分别在腔室208A、208B外的模具面206a处，以搭在吸引路230b的一端部分的方式载置。在此，自吸引路230b吸引薄膜F，将薄膜F吸附并保持于腔室208的外侧的模具面206a。接着，通过自吸引路230a吸附薄膜F，如图23所示，从而将薄膜F吸附于模具面206a并保持于腔室208的内表面(腔室凹部209的模具面)。由此，使模制树脂R隔着薄膜F向腔室208内(腔室凹部209上)供给。

接着，通过使第3保持部212A移动，如图24所示，从而将输送工具400取出。此时，保持于第3保持部212A的输送工具400(未保持薄膜F以及模制树脂R的状态)自模制模具202的内部向外部(即，自开模状态的上模204和下模206之间向外部)被取出，并被向准备台302上输送。在此，输送工具400被清洗，能够再次使用。

接着，如图25所示，进行模制模具202的合模，利用上模204和下模206将两个工件W夹紧。

接着，如图26所示，通过使各腔室208A、208B的腔室块226A、226B相对地上升，由此，使模制树脂R加热加压从而使模制树脂R热固化于两个工件W，同时进行树脂模制(压缩成形)。由此，能够形成两个成形品Wp。

接着，如图27所示，能够进行模制模具202的开模。此时，成为如下状态：成形品Wp和使用完毕的薄膜Fd分离，在上模204保持有两个成形品Wp，并且，在下模206保持有两个使用完毕的薄膜Fd。在该状态下，像上述那样成形品Wp以及使用完毕的薄膜Fd分别被取出并被输送，由此完成一组模制动作。

另外，针对上述那样的模制动作，为了动作的高效化，优选使用多个输送工具400，同时进行各工序。在该情况下，优选设置为如下结构：在树脂模制装置1的内部具有多个输送工具400，在上述各工序内使输送工具400循环。即，只要控制在树脂模制装置1中控制各部的动作的控制部(未图示)，使得多个输送工具400在如下工序之间进行不同的工序下的处理即可，所述工序包括：利用准备台302清洗输送工具400的清洗工序；使薄膜F组合于输送工具400的薄膜设置工序；向与薄膜F组合后的输送工具400投下模制树脂R的树脂投下工序；以及向模制模具202供给薄膜F和模制树脂R的树脂供给工序。

由此，能够缩短各工序中的输送工具400的等待时间，能够使生产率提高。能够通过同时进行例如在通常的情况下容易花费时间的针对薄膜F供给模制树脂R的供给工序和其他工序，从而能够高效地进行装置内的工序，能够提高生产率。

另外，使用作为变形例的树脂模制装置2进行树脂模制的情况的动作和使用上述的树脂模制装置1进行树脂模制的情况的动作基本相同。在该情况下，相对于两个工件W、两个薄膜F(以及搭载的模制树脂R)、两个成形品Wp而言，使装置结构等分别与一个工件W、一个薄膜F(以及搭载的模制树脂R)、一个成形品Wp相对应即可。

以上，如所说明的那样，采用本发明的树脂模制装置以及树脂模制方法，能够实现对于工件、成形品进行供给、收纳、厚度的测量以及输送等的机构沿上下方向分阶层地配置的结构。因此，与以往装置相比能够减少设置面积。

而且，能够实现如下结构，即：以将工件、成形品并列设置两个的状态进行处理、输送的结构；以及在一个下模设置两个腔室并且在各腔室分别配置工件从而同时进行树脂模制的结构。像这样，能够两个两个地同时输送工件以及成形品还有薄膜以及模制树脂，并且，能够同时对两个工件进行树脂模制，因此，与以往装置相比能够大幅度地缩短工序时间。此外，还能够实现装置结构、工序的简化。

另外，本发明不限于以上说明的实施例，能够在不脱离本发明的范围内进行各种变更。尤其是，以在下模具有腔室的压缩成形方式的树脂模制装置为例进行了说明，但还能够应用于在上模具有腔室的结构等。

而且，在以上说明的树脂模制装置的整体动作中，也可以是，通过一边进行以下说明的树脂供给控制一边依次进行树脂模制，从而谋求对于压缩成形中的成形品质(成形厚度的均匀化)的维持较为重要的树脂的供给均匀化。

(树脂供给控制)

以下，参照附图，针对用于进行本实施方式中的树脂供给控制的结构、动作进行详细地说明。图29是表示本发明的实施方式的树脂模制装置的控制结构的例子的框图。控制部CTR由CPU等构成，其与上述的工件处理单元100A、分配单元100C内的各部分协同动作，进行模制树脂R的供给控制。而且，控制部CTR对操作人员的操作所使用的显示部DIS进行显示控制，自输入部INP接受输入，控制部CTR自存储部MEM读出需要的信息或者向存储部MEM存储需要的信息。

图30是表示本发明的实施方式的树脂模制装置的树脂供给动作的例子的流程图。在此说明的动作相当于为了相对于一个工件W进行树脂模制而需要的一组的动作(一系列的动作)。而且，在实际的树脂模制装置1内，由于针对多个工件W同时进行各个动作，因此，上述一系列的动作中的必要的部分在局部重叠的时间轴上进行。

针对在相同附图中示出的树脂供给动作，首先，控制部CTR自存储部MEM获取成形条件信息Dc(步骤S1)。在此为，控制部CTR自存储部MEM读出例如成形品Wp中的树脂部分的成形厚度(目标值)、向输送工具400内投下模制树脂R的图案，来作为成形条件信息Dc。该模制树脂R的投下图案作为树脂投下台310的动作控制图案被预先存储，但不仅包含由移动目的地的点构成的树脂投下台310的移动位置，还包含各点间的树脂投下台310的移动速度。而且，在模制树脂R的投下图案中还包含自喷嘴312d投下模制树脂R的速度(单位时间的投下量)。

另一方面，控制部CTR获取接下来进行树脂模制的工件W的工件信息Dw(步骤S2)。在此为，在工件处理单元100A中，通过由代码读取构件115读取标于自供给库102取出的工件W的二维码，并向控制部CTR输出，从而使控制部CTR针对各个工件W获取工件信息Dw(例如连号等)。接着，控制部CTR获取厚度信息Dt(步骤S3)。在此为，通过使工件计测器114进行工件W的厚度的计测(详细见上述)，并向控制部CTR输出，从而使控制部CTR获取作为各个工件W中的基材Wa、电子零件Wb的厚度等的厚度信息Dt。

接着，控制部CTR输出树脂供给设定信息Dd1(步骤S4)。在此为，控制部CTR算出自分配构件312投下并供给的模制树脂R的量(重量)。这能够通过如下方式算出，即：利用自根据作为目标值的树脂部分的成形厚度和腔室208的外形(俯视时的形状)求出成形时的腔室208的容积减去通过工件W的厚度的计测获取的电子零件Wb的体积所得到的容积和成形后(固化状态)的模制树脂R的比重，来算出。接着，控制部CTR将该算出值与先前读出的模制树脂R的投下图案一起作为树脂供给设定信息Dd1向分配构件312输出。

接着，分配构件312基于树脂供给设定信息Dd1，向薄膜F上的树脂投入孔400a、400b的内侧投下模制树脂R。在此，在分配构件312中，利用重量计312b计量出预定量的模制树脂R并借助导流槽312c通过振动送出，自喷嘴312d投下。在这样的模制树脂R的投下动作中，有时难以始终自分配构件312均匀地投下模制树脂R。

例如，在通过分配构件312来储存模制树脂R的料斗312a中，在其内部中，在上侧和下侧所包含的颗粒的大小容易不同，容易引起因为投下的时机导致模制树脂R的粒度发生变化的情况。而且，在利用振动送料器在导流槽312c上送出时，由于模制树脂R的粒度不同导致送出速度也不同，因此，存在如下情况：即使进行动作欲以相同的投下图案投下，也难以使实际上投下的模制树脂R均匀化。因此，会产生如下情况：利用分配构件312，无法如自控制部CTR输出的树脂供给设定信息Dd1(供给的模制树脂R的重量)那样投下模制树脂R。相对于此，通过由分配构件312向控制部CTR输出作为实际供给的模制树脂R的量(重量)的实际供给量信息Dd2，从而使控制部CTR获取实际供给量信息Dd2(步骤S5)。

接着，控制部CTR获取供给树脂形状信息Dr(步骤S6)。在此为，供给树脂检查器315对投下至薄膜F上的模制树脂R的外观进行计测。例如，作为供给树脂检查器315的照相机对在载置于树脂投下台310上的输送工具400中的搭载于薄膜F上的模制树脂R进行拍摄，将拍摄图像作为供给树脂形状信息Dr向控制部CTR输出。

接着，控制部CTR获取成形品信息Dp(步骤S7)。在此，针对使用如以上那样准备的模制树脂R进行树脂模制而成的成形品Wp，由成形品计测器118对成形品Wp的厚度进行计测。接着，通过将该计测值向控制部CTR输出，使得控制部CTR获取作为各个成形品Wp中的(树脂成形部分)的厚度的成形品信息Dp。

接着，控制部CTR针对像以上那样获取的多个信息，将其作为与一个工件W的树脂模制相关的获取信息与工件信息Dw相关联地保存于存储部MEM(步骤S8)。通过将像这样获取的信息保存于存储部MEM，从而操作人员能够使用显示部DIS来确认在装置内实际进行的树脂模制的状态，自输入部INP进行必要的变更，或者能够向制造工厂的上位系统发送信息、利用于品质管理等。另外，作为树脂供给控制，也可以仅进行以上步骤来确保追溯性。

在实施装置内的进一步的控制的情况下，控制部CTR使用像以上那样获取的信息，来判断树脂供给是否适当(步骤S9)。在此，控制部CTR例如对作为树脂部分的成形厚度的目标值的成形条件信息Dc和作为成形品Wp中的(树脂成形部分)的厚度的成形品信息Dp进行比较。采用该结构，在目标值和成形品Wp中的实际的厚度之差超过预定值(容许值)时，能够判断为树脂供给并不适当。

接着，控制部CTR调整接下来的工件W的树脂供给设定信息Dd1(步骤S10)。在此为，例如在算出自分配构件312投下并供给的模制树脂R的重量时，根据上述目标值和成形品Wp的厚度之差为正的值还是负的值，将校正供给的模制树脂R的重量的校正值的正负设定为与之相反，从而能够使以后的工件W的成形厚度接近目标值。

作为步骤9的动作的其他例子，控制部CTR例如对作为供给的模制树脂R的重量的树脂供给设定信息Dd1和作为实际供给的模制树脂的量(重量)的实际供给量信息Dd2进行比较。采用该结构，在设定值和实际的值之差超过预定值(容许值)时，判断为树脂供给并不适当。在该情况下，在步骤S10中，控制部CTR能够使为了向以后的工件W供给而利用重量计312b计量并投下的模制树脂R的量增减。

作为步骤S9的动作的另一其他例子，控制部CTR例如基于作为在薄膜F上搭载的模制树脂R的拍摄图像的供给树脂形状信息Dr，来判断树脂供给是否适当。在此，将模制树脂R的拍摄图像分割为预定的分区(n行m列)，对该拍摄图像中的分区之间进行比较并算出偏差，基于该偏差来判断树脂供给是否适当。例如，获取构成各分区的图像的颜色、辉度的分布(颜色的浓度和像素数量的乘积)，基于作为每个分区的颜色的浓度而表示的树脂的投下量的偏差的大小，来判断树脂供给是否适当。

例如，若为通常在树脂模制中使用的黑色的环氧树脂，则向预定的分区内供给的模制树脂R的量越多，模制树脂R变得越密集，模制树脂R的间隙变得越少。在该情况下，位于模制树脂R之下的薄膜F(例如乳白色)难以映出，因此，图像逐渐接近模制树脂R的颜色(黑色)。因此，例如，在模制树脂R偏向地投下的情况下，导致薄膜F较多地映出而使图像的颜色变浅的区间和不会映出薄膜F而使图像的颜色变浓的区间混在一起。像这样，在图像的浓度在各区间较大程度地不同时(偏差较大时)，判断为树脂供给不适当。在该情况下，在步骤S10中，调整以后的工件W中的与树脂供给相关的指示。例如，控制部CTR能够使树脂投下台310的移动速度降低、或者使来自喷嘴312d的模制树脂R的投下速度增加，以在图像变浅的分区中投下更多的模制树脂R。另一方面，控制部CTR能够提高树脂投下台310的移动速度、或者使来自喷嘴312d的模制树脂R的投下速度降低，以使在图像变浓的分区中投下的模制树脂R减少。

像以上那样，控制部CTR基于获取信息进行调整接下来的工件W的树脂供给设定信息Dd1的动作，由此，能够使对于压缩成形中的品质的维持较为重要的模制树脂R的供给均匀化。

而且，在以上内容中，针对模制装置中的各单元说明了特征，但也可以是对于共用的工件进行加工、处理的单元，针对由任意的单元进行的结构、动作，由其他单元同样地进行。而且，在本申请中，上述单元的功能即使以单元单位来看也具有独立的效果，包含作为单体的单元的技术方案。例如，在分配单元中，能够通过组合薄膜和输送工具来准备供给模制树脂的构件。因此，还存在如下情况：即使另外准备并利用分配单元和冲压单元，也能够获得同样的效果。

而且，在以上内容中，主要针对将作为长条工件的两个工件W以使其长边方向平行地并列的状态在模制装置1内进行输送并成形的例子进行了说明。但是，也可以是，将作为长条工件的三个工件W以使其长边方向平行地并列的状态在模制装置1内进行输送并成形的结构。而且，考虑模具的更换的便利性，主要针对将作为长条工件的工件W以使其平行于装置的前后方向地并列的状态在模制装置1内进行输送并成形的例子进行了说明，但也可以是，将该工件W以使其平行于装置的左右方向地并列的状态在模制装置1内进行输送并成形的结构。在该情况下，只要将供给库升降机103、收纳库升降机113配置在工件处理单元100A的左侧，就能够不使工件W的朝向旋转地高效地输送。

而且，在以上内容中，针对自辊薄膜切断长条或者宽幅的薄膜F从而准备并输送薄膜的例子进行了说明，但针对在前述的实施方式的技术方案中与薄膜F无关的部分，也可以在利用不使用薄膜F的模制模具202进行压缩成形时进行实施。在该情况下，使用仅输送模制树脂R的专用的输送工具。而且，也可以设置为如下结构：不使用长条或者宽幅的薄膜F，将辊薄膜设置于冲压单元100B、500B从而供给薄膜F，使用仅输送模制树脂R的专用的输送工具的结构。在该输送工具中，通过将收容模制树脂R的位置的下方设置为能够开闭，从而能够设置为在闭状态下输送模制树脂R，在开状态下向腔室208供给的结构。

而且，在以上内容中，以在翻转成使在基材Wa搭载有电子零件Wb的面朝下的基础上向装置内供给为前提进行了说明，但也可以设置为在装置内进行树脂模制之前使工件W翻转。在该情况下，也能够在成形后使成形品Wp、收纳库112再次翻转。而且，既可以以工件W、成形品Wp为单位进行翻转，也可以以供给库102、收纳库112为单位进行翻转。作为为此而采用的结构，例如在将工件W、成形品Wp的外周夹持或者吸附保持着工件W、成形品Wp的预定位置的状态下将上述构件移送或者交接时，能够通过以相对于工件W、成形品Wp的外周的边成为平行的旋转轴线为基准使工件W、成形品Wp旋转180度，来实现翻转。采用该结构，不需要在使成形面朝上地进行作业的前后工序(接合工序、检查工序)的前后进行翻转作业，能够防止由作业失误导致的生产的停止等。

而且，也可以是，在由于作业失误导致未进行工件W、成形品Wp的翻转的情况下，即，在工件W以相对于设定好的朝向翻转后的错误朝向被供给的情况下，向操作人员发出警报使其纠正为正确的朝向。在该情况下，在工件计测器114对工件W的厚度进行测量时，也能够利用工件W的厚度来检测出半导体芯片等的安装朝向。

Claims (15)

1.一种树脂模制装置，其是使用模制模具和输送部对工件进行树脂模制的树脂模制装置，该输送部将在基材搭载有电子零件的所述工件向所述模制模具输送，并且将由该模制模具进行树脂模制而成的成形品送出，该树脂模制装置的特征在于，

该树脂模制装置具有：

供给库升降机，其使收纳所述工件的供给库升降；

收纳库升降机，其配置于在上下方向上与所述供给库升降机不同的位置，该收纳库升降机使收纳所述成形品的收纳库升降；

供给轨道，其配设在所述供给库升降机的前方，该供给轨道供自所述供给库的预定位置取出的所述工件载置；

收纳轨道，其载置所述成形品并且使所述成形品朝向所述收纳库通过；

工件计测器，其配设于所述供给轨道的下方，该工件计测器针对所述供给轨道上的所述工件自下表面侧对所述工件的厚度进行计测；

供给拾取构件，其保持所述供给轨道上的所述工件并将所述工件向所述输送部输送；以及

收纳拾取构件，其保持所述输送部上的所述成形品并将所述成形品向所述收纳轨道输送，

所述供给轨道、所述工件计测器以及所述收纳轨道在上下方向上重叠地并列设置，

该树脂模制装置还具有工件加热部，该工件加热部自下表面侧对所述工件进行加热，

所述工件加热部配设为，在所述供给轨道的上方，能够在比保持于所述供给拾取构件的状态的所述工件的外周靠外的位置和与保持于所述供给拾取构件的状态的所述工件的下表面相对的位置之间进退移动。

2.根据权利要求1所述的树脂模制装置，其特征在于，

所述供给轨道以能够使两个所述工件沿左右方向并列地载置的方式构成为两列，

所述工件计测器具有一个或者两个厚度传感器，该一个或者两个厚度传感器利用预定的一次扫描对两列的所述供给轨道上的两个所述工件的各自的厚度进行计测。

3.根据权利要求1或2所述的树脂模制装置，其特征在于，

设定为所述供给拾取构件向所述输送部输送所述工件的左右方向的送入路和所述收纳拾取构件自所述输送部输送所述成形品的左右方向的送出路在前后方向上并列设置。

4.根据权利要求1所述的树脂模制装置，其是使用模制模具对工件进行树脂模制从而加工成成形品的树脂模制装置，该模制模具具有：上模，其保持在基材搭载有电子零件的所述工件；以及下模，其形成有腔室凹部，模制树脂隔着薄膜向该腔室凹部供给，该树脂模制装置的特征在于，

该树脂模制装置具有：

输送工具，其作为治具，该输送工具形成有与所述腔室凹部的形状相对应的通孔，在所述通孔内保持所述模制树脂并将所述模制树脂与所述薄膜一起输送；

第1工作台，其保持自薄膜辊拉出并被切断为预定长度的所述薄膜，该第1工作台将被切断后的所述薄膜和所述输送工具组合在一起；

第2工作台，其载置在下表面侧保持有所述薄膜的状态的所述输送工具，并且构成为能够移动；

输送工具拾取构件，其保持在下表面侧保持有所述薄膜的状态的所述输送工具并将所述输送工具自所述第1工作台向所述第2工作台输送；以及

分配构件，其向载置于所述第2工作台上的所述输送工具中的所述通孔的内侧投入所述模制树脂。

5.根据权利要求4所述的树脂模制装置，其特征在于，

所述输送工具以能够将两个所述薄膜沿左右方向并列地保持的方式具有两列薄膜保持部，并且在各个所述薄膜保持部具有与各所述薄膜相对应的树脂投入孔来作为所述通孔。

6.根据权利要求4或5所述的树脂模制装置，其特征在于，

所述第1工作台以及所述薄膜辊在上下方向上分阶层地并列设置。

7.根据权利要求4或5所述的树脂模制装置，其特征在于，

该树脂模制装置还具有树脂加热部，该树脂加热部自保持有所述薄膜以及所述模制树脂的状态的所述输送工具的上表面侧进行加热。

8.根据权利要求1所述的树脂模制装置，其是使用具有上模以及下模的模制模具，对在基材搭载有电子零件的工件进行树脂模制从而加工成成形品的树脂模制装置，该树脂模制装置的特征在于，

该树脂模制装置具有：

第1输送部，其在上表面具有保持所述工件的第1保持部以及保持树脂模制成的所述成形品的第2保持部，该第1输送部保持所述工件并将所述工件向所述上模的预定保持位置输送，并且，将所述成形品向所述模制模具外的预定位置输送；以及

第2输送部，其在下表面具有对保持薄膜以及模制树脂的输送工具进行保持的第3保持部以及保持使用完毕的薄膜的第4保持部，该第2输送部将所述薄膜以及所述模制树脂向所述下模的预定保持位置输送，并保持所述薄膜以及所述模制树脂的保持被解除的状态的所述输送工具地将所述输送工具向所述模制模具外的预定位置输送，并且，保持在树脂模制成的所述成形品被取出后的状态的所述下模残留的所述使用完毕的薄膜并将所述薄膜向所述模制模具外的预定位置输送。

9.根据权利要求8所述的树脂模制装置，其特征在于，

所述工件为长条形状的长条工件，

所述薄膜为与所述长条工件相对应的长条形状的长条薄膜，

所述第1保持部具有两列工件保持部，该两列工件保持部能够将两个所述长条工件以使该长条工件的长边方向平行的方式并列地保持，

所述第2保持部具有两列成形品保持部，该两列成形品保持部能够将对所述长条工件进行加工而成的两个所述成形品以使该成形品的长边方向平行的方式并列地保持，

所述输送工具具有两列送入薄膜保持部，该送入薄膜保持部能够将两个所述长条薄膜以使该长条薄膜的长边方向平行的方式并列地保持，

所述第3保持部具有保持所述输送工具的输送工具保持部，

所述第4保持部具有两列送出薄膜保持部，该两列送出薄膜保持部能够将使用完毕的两个所述长条薄膜以使该长条薄膜的长边方向平行的方式并列地保持。

10.根据权利要求8所述的树脂模制装置，其特征在于，

所述工件为长条形状的长条工件，或者比该长条工件宽的宽幅工件，

所述薄膜为与所述长条工件相对应的长条形状的长条薄膜，或者为比该长条薄膜宽的宽幅薄膜，

所述第3保持部具有输送工具保持部，该输送工具保持部共用地保持一个长条薄膜输送工具或者宽幅薄膜输送工具来作为所述输送工具，该长条薄膜输送工具具有两列送入薄膜保持部，该两列送入薄膜保持部能够将两个所述长条薄膜以使该长条薄膜的长边方向平行的方式并列地保持，该宽幅薄膜输送工具具有保持一个所述宽幅薄膜的一个送入薄膜保持部。

11.根据权利要求10所述的树脂模制装置，其特征在于，

所述第1保持部构成为能够在如下两种结构之间调换，一种结构为具有两列工件保持部，该两列工件保持部能够将两个所述长条工件以使该长条工件的长边方向平行的方式并列地保持，另一种结构为具有保持一个所述宽幅工件的一个工件保持部，

所述第2保持部构成为能够在如下两种结构之间调换，一种结构为具有两列成形品保持部，该两列成形品保持部能够将对所述长条工件加工而成的两个所述成形品以使该成形品的长边方向平行的方式并列地保持，另一种结构为具有对将一个所述宽幅工件加工而成的一个所述成形品进行保持的一个成形品保持部。

12.根据权利要求10或11所述的树脂模制装置，其特征在于，

所述薄膜为与所述长条工件相对应的长条形状的长条薄膜，或者为比该长条薄膜宽的宽幅薄膜，

所述第4保持部具有薄膜保持部，该薄膜保持部在将两个所述长条薄膜沿左右方向并列地保持为使该长条薄膜的长边方向平行的两个长条区域和保持一个所述宽幅薄膜的宽幅区域重叠的区域，配置有吸附并保持薄膜的多个吸附部。

13.根据权利要求8～11中任一项所述的树脂模制装置，其特征在于，

设置有多个所述输送工具，

多个所述输送工具在如下不同的工序中进行处理，所述工序包括：清洗所述输送工具的清洗工序；使所述薄膜组合于所述输送工具的薄膜设置工序；向与所述薄膜组合后的所述输送工具投下所述模制树脂的树脂投下工序；以及向所述模制模具供给所述薄膜和所述模制树脂的树脂供给工序。

14.根据权利要求8～11中任一项所述的树脂模制装置，其特征在于，

所述输送工具具有第1吸引孔，该第1吸引孔产生吸引力并保持所述薄膜，

所述第3保持部具有第2吸引孔，该第2吸引孔配设于在将所述输送工具保持于预定位置的状态下与所述第1吸引孔连通的位置并产生吸引力。

15.一种树脂模制方法，其是使用权利要求4～14中任一项所述的树脂模制装置进行树脂模制的树脂模制方法，其特征在于，

设置有多个所述输送工具，

多个所述输送工具在如下工序之间在不同的工序中进行处理，所述工序包括：清洗所述输送工具的清洗工序；使所述薄膜组合于所述输送工具的薄膜设置工序；向与所述薄膜组合后的所述输送工具投下所述模制树脂的树脂投下工序；以及向所述模制模具供给所述薄膜和所述模制树脂的树脂供给工序。

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