JP5682033B2 - 樹脂封止装置 - Google Patents
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Description
本実施形態では、ウエハレベルのワークWからウエハレベルパッケージ(eWLP)を形成する樹脂封止装置について説明する。この樹脂封止装置は、被成形品であるワークを供給する供給部と、供給部からローダにより供給されたワークを樹脂封止(パッケージング)するモールド金型を有するプレス部と、樹脂封止後、アンローダによりワークが金型から取り出されて、成形品としてワークを収納する収納部とを備えているものである。図1に、本実施形態における樹脂封止装置1Aの要部であるモールド金型2を模式的に示す。なお、図1では、モールド金型2が型開きした状態が示されている。
前記実施形態1では、キャビティ凹部11の底部に設けられた格子状の凸部23によって、供給領域A1とその周囲を仕切る段差部B1を形成した場合について説明した。本実施形態では、図9に示す下型4の断面と、図13に示す下型4のクランプ面4aの平面から分かるように、ワークWに複数の半導体チップ15が格子状に配置され、半導体チップ15の厚みによって、供給領域A2とその周囲を仕切る段差部B2が形成される場合について説明する。なお、前記実施形態と重複する説明は省略する場合がある。
前記実施形態2では、複数の半導体チップ15が格子状に配置されたワークWを利用して、半導体チップ15の厚みによって、供給領域A2とその周囲を仕切る段差部B2が形成された場合について説明した。本実施形態では、図14に示す下型4の断面から分かるように、ワークWは、下型4に載置される面とは反対面に突起する複数の突起端子35を有する半導体ウエハであり、突起端子35の高さによって、供給領域A3とその周囲を仕切る段差部B3が形成される場合について説明する。なお、前記実施形態と重複する説明は省略する場合がある。
前記実施形態1では、キャビティ凹部11の底部に設けられた格子状の凸部23によって、供給領域A1とその周囲を仕切る段差部B1を形成した場合について説明した(図7参照)。これに対して、図18に示す下型4のクランプ面4aの平面から分かるように、キャビティ凹部11の底部(キャビティ駒21)に整列して設けられた複数の凹部36によって、供給領域A4とその周囲を仕切る段差部B4を形成しても良い。
2 モールド金型
11 キャビティ凹部(キャビティ)
12 粒体樹脂(樹脂)
A1、A2、A3、A4 供給領域
B1、B2、B3、B4 段差部
C1、C2、C3 パッケージ領域
W ワーク
Claims (4)
- 複数のパッケージ領域によって構成されるワークに対応する容積を有するキャビティ凹部が形成されたモールド金型を備え、前記キャビティ凹部に供給された複数の粒体樹脂が溶融され、前記ワークを保持して前記モールド金型が型締めされ、溶融した樹脂で前記ワークが樹脂封止される樹脂封止装置であって、
前記キャビティ凹部の底部に、複数の粒体樹脂が供給される複数の供給領域と、その周囲とに段差部が形成されており、
前記段差部は、前記キャビティ凹部の底部に形成された格子状の凸部から構成されており、
前記凸部を含む前記キャビティ凹部の形状に沿うようにリリースフィルムが吸着され、前記リリースフィルムで覆われた前記格子状の凸部によって、複数の粒体樹脂が配分して供給される前記複数の供給領域が区画されており、
前記複数の供給領域のそれぞれに対向する位置に、複数の粒体樹脂を保持する複数の保持部を有する樹脂搬送部を備えており、前記保持部が、ホッパと、前記ホッパの前記供給領域側に開閉可能に設けられた一対のシャッタとを有しており、前記一対のシャッタの開放によって、前記リリースフィルムで覆われた前記供給領域に複数の粒体樹脂を供給することを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1記載の樹脂封止装置において、
前記段差部の高さは、前記モールド金型の型締めの際に該段差部が前記ワークに接しない高さであることを特徴とする樹脂封止装置。 - 複数のパッケージ領域によって構成されるワークに対応する容積を有するキャビティ凹部が形成されたモールド金型を備え、前記キャビティ凹部に供給された複数の粒体樹脂が溶融され、前記ワークを保持して前記モールド金型が型締めされ、溶融した樹脂で前記ワークが樹脂封止される樹脂封止装置であって、
前記キャビティ凹部の底部に、複数の粒体樹脂が供給される複数の供給領域と、その周囲とに段差部が形成されており、
前記段差部の高さは、前記モールド金型の型締めの際に該段差部が前記ワークに接しない高さであり、
前記段差部によって、複数の粒体樹脂が配分して供給される前記複数の供給領域が区画されていることを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項3記載の樹脂封止装置において、
前記キャビティ凹部に複数の粒体樹脂を供給する際に、前記複数の供給領域のそれぞれに対向する位置に、複数の粒体樹脂を保持する複数の保持部を有する樹脂搬送部を備えており、
前記保持部は、ホッパと、前記ホッパの前記供給領域側に開閉可能に設けられた一対のシャッタとを有していることを特徴とする樹脂封止装置。
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