JP2020062857A - 搬送装置、樹脂成形装置、搬送方法、及び樹脂成形品の製造方法 - Google Patents

搬送装置、樹脂成形装置、搬送方法、及び樹脂成形品の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】樹脂成形品の少なくとも一部と他方の型との間に張り出した部材を有する樹脂注入部が設けられた一方の型から樹脂成形品を搬送装置によって搬出する。【解決手段】樹脂注入部が設けられた一方の型から樹脂成形品を搬出する搬送装置であって、樹脂注入部は、樹脂成形品の少なくとも一部と他方の型との間に張り出した部材を有するものであり、搬送装置は、樹脂成形品を保持する保持部材と、樹脂成形品を保持した保持部材を水平方向に移動させて樹脂注入部から離す水平移動機構とを備える。【選択図】図２

Description

本発明は、搬送装置、樹脂成形装置、搬送方法、及び樹脂成形品の製造方法に関するものである。
従来、例えば特許文献１に示すように、樹脂材料が配置されるポットが形成された下型と、ポットに配置された樹脂材料が注入されるキャビティが形成された上型とを備える樹脂成形装置において、樹脂成形品は搬送装置により取り出されるように構成されている。
特開２００１−２１７２６９号公報
しかしながら、この樹脂成形装置により樹脂成形された基板を下型から持ち上げて搬出する従来の方式では、例えば基板と上型との間に下型の部材が存在すると、その部材と基板とが接触してしまい搬出することが難しい場合がある。
そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであり、樹脂成形品の少なくとも一部と他方の型との間に張り出した部材が設けられた一方の型から樹脂成形品を搬送装置によって搬出することをその主たる課題とするものである。
すなわち本発明に係る搬送装置は、樹脂注入部が設けられた一方の型から樹脂成形品を搬出する搬送装置であって、前記樹脂注入部は、前記樹脂成形品の少なくとも一部と他方の型との間に張り出した部材を有するものであり、前記搬送装置は、前記樹脂成形品を保持する保持部材と、前記樹脂成形品を保持した前記保持部材を水平方向に移動させて前記樹脂注入部から離す水平移動機構とを備えることを特徴とする。
このように構成した本発明によれば、樹脂成形品の少なくとも一部と他方の型との間に張り出した部材を有する樹脂注入部が設けられた一方の型から樹脂成形品を搬送装置によって搬出することができる。
本発明に係る一実施形態の樹脂成形装置の構成を示す模式図である。 同実施形態の成形モジュールの基板載置状態を示す模式図である。 同実施形態の成形モジュールの樹脂材料装填状態を示す模式図である。 同実施形態の成形モジュールの型締め状態を示す模式図である。 同実施形態の成形モジュールの樹脂注入状態を示す模式図である。 同実施形態の成形モジュールの型開き状態を示す模式図である。 同実施形態の搬送装置が下型の上方にある状態を模式的に示す側面図である。 同実施形態の水平移動機構及び昇降移動機構の構成を模式的に示す図である。 同実施形態の水平移動機構及び昇降移動機構の動作を模式的に示す図である。 同実施形態の搬送装置が所定の保持位置にある状態を模式的に示す側面図である。 同実施形態の搬送装置が樹脂成形品を吸着保持した状態を模式的に示す側面図である。 同実施形態の搬送装置が水平移動機構により樹脂成形品を移動した状態を模式的に示す側面図である。 同実施形態の搬送装置が昇降移動機構により樹脂成形品を持ち上げた状態を模式的に示す側面図である。 同実施形態の搬送装置において搬送爪の間隔が縮小した状態を模式的に示す側面図である。 樹脂成形品とカルブロックとの位置関係を示す模式図である。
次に、本発明について、例を挙げてさらに詳細に説明する。ただし、本発明は、以下の説明により限定されない。
樹脂成形装置には、図１５に示すように、樹脂材料を収容するポットが形成されたカルブロックが下型に設けられたものが考えられる。このカルブロックは、下型の上面から上部に突出している。また、カルブロックは、下型の上面に載置された基板の上部に張り出した張り出し部を有している。そして、基板のポット側端部は、下型の上面と張り出し部の下面との間に挟まれた状態で型締めされる。また、型締めされた状態で、カルブロックの上部及び張り出し部と上型の凹部との間に樹脂通路が形成され、当該樹脂通路を通じて樹脂材料がキャビティ内に注入される。この樹脂成形装置では、上記の樹脂通路によって、基板の上面から樹脂材料が注入されることになる。
しかしながら、この樹脂成形装置により樹脂整形された基板を、下型から持ち上げて搬出する場合、カルブロックの張り出し部に基板が接触してしまい、搬出することが難しい。
本発明の搬送装置は、前述のとおり、樹脂注入部が設けられた一方の型から樹脂成形品を搬出する搬送装置であって、前記樹脂注入部は、前記樹脂成形品の少なくとも一部と他方の型との間に張り出した部材を有するものであり、前記搬送装置は、前記樹脂成形品を保持する保持部材と、前記樹脂成形品を保持した前記保持部材を水平方向に移動させて前記樹脂注入部から離す水平移動機構とを備えることを特徴とする。
この搬送装置であれば、搬送装置が樹脂成形品を保持した保持部材を水平方向に移動させて樹脂注入部から離す水平移動機構を有するので、樹脂成形品の少なくとも一部と他方の型との間に張り出した部材を有する樹脂注入部が設けられた一方の型から樹脂成形品を搬送装置によって搬出することができる。
また、搬送装置は、前記水平移動機構により移動した前記保持部材を前記一方の型から前記他方の型に向かう方向に移動させる昇降移動機構を更に備えることが望ましい。
搬送機構は、前記保持部材が移動可能に設けられたベース部材を更に備えていることが考えられる。この構成において水平移動機構の具体的な実施の態様としては、前記保持部材を前記樹脂注入部から離れる方向にガイドするガイド部と、前記保持部材を前記ガイド部に沿って移動させる水平駆動部とを有することが考えられる。また、昇降移動機構の具体的な実施の態様としては、前記保持部材を鉛直方向にガイドするガイド部と、前記水平駆動部による前記保持部材の水平移動に伴って前記保持部材を鉛直方向に移動させる昇降カム機構とを有することが考えられる。
この構成であれば、水平移動機構の駆動部と昇降移動機構の駆動部とを共通にすることができるので、構成を簡単化できるだけでなく、コストダウンを可能にすることができる。
前記水平駆動部は、前記樹脂注入部に向かう方向又は離れる方向にスライドするスライド部材を有しており、前記水平移動機構は、前記スライド部材の移動に伴って前記保持部材を前記樹脂注入部から離れる方向に移動させるリンク機構をさらに備えることが望ましい。
この構成であれば、水平移動機構がリンク機構を有するので、スライド部材の移動を無理なく保持部材の移動に伝達することができる。
スライド部材、リンク機構及び保持部材それぞれの移動方向に関わらず、それらを連動させるためには、前記スライド部材及び前記リンク機構の間に第１の水平カム機構が設けられており、前記リンク機構及び前記保持部材の間に第２の水平カム機構が設けられていることが望ましい。
搬送装置は、前記一方の型から前記樹脂成形品を離す離型機構を更に備え、前記水平移動機構は、前記離型機構により前記樹脂成形品が前記一方の型から離れた状態の前記保持部材を水平方向に移動させることが望ましい。
この構成であれば、樹脂成形品を移動させる場合に樹脂成形品と一方の型とを離してから移動させているので、樹脂成形品が傷付いたり破損したりすることを防ぐことができる。また、樹脂成形品の移動をスムーズに行うことができる。
樹脂成形品を保持するためには、前記保持部材が、前記樹脂成形品を吸着する吸着パッドを有することが考えられる。この構成において、搬送機構の構成を簡単化するとともに、コストダウンを可能にするためには、離型機構が前記吸着パッドによる吸着力を用いて構成されていることが望ましい。
搬送装置が前記樹脂成形品を引っ掛けて保持する搬送爪を更に備える構成とすることが考えられる。この搬送爪を用いることで、樹脂成形品をより安定して搬送することができるので、樹脂成形品を落下させることを抑制することが可能である。
この構成において、前記昇降移動機構を用いて、前記保持部材を前記一方の型から他方の型に向かう方向に移動させた後、前記搬送爪を用いて前記樹脂成形品を保持することが望ましい。
搬送爪を有する構成において、樹脂成形品を水平移動させた後に昇降移動させることによって、樹脂成形品が一方の型から離れ、搬送爪を用いて樹脂成形品の一方の型側面を保持することができる。
また、搬送装置に昇降移動機構を含めることで、一方の型に樹脂成形品と一方の型とを離すための離型部材（例えば、エジェクタピン）を設けなくても、搬送爪を用いて樹脂成形品の一方の型側面を保持することができる。
また、本発明に係る樹脂成形装置は、上記の搬送装置を有することを特徴とする。
この樹脂成形装置であれば、樹脂成形品の少なくとも一部と他方の型との間に張り出した部材を有する樹脂注入部が設けられた一方の型から樹脂成形品を搬送装置によって搬出することができる。
さらに本発明の樹脂成形品の搬送方法は、上記の搬送装置を用いて、樹脂封止された樹脂成形品を保持した保持部材を前記水平移動機構により水平方向に移動させて前記樹脂注入部から離すとともに、前記樹脂注入部から離れた前記保持部材を前記昇降移動機構により前記保持部材を前記他方の型方向に移動させて搬出することを特徴とする。
その上、本発明に係る樹脂成形品の製造方法は、樹脂成形により電子部品を樹脂成形する樹脂成形品の製造方法であって、成形対象物に対して樹脂成形を行う成形工程と、樹脂封止された樹脂成形品を上記の搬送装置を用いて搬出する搬出工程とを備える。
この樹脂成形品の製造方法であれば、樹脂成形品の少なくとも一部と他方の型との間に張り出した部材を有する樹脂注入部が設けられた一方の型から樹脂成形品を搬送装置によって搬出することができる。
＜本発明の一実施形態＞
以下に、本発明に係る樹脂成形装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下に示すいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
＜樹脂成形装置の全体構成＞
本実施形態の樹脂成形装置１００は、電子部品Ｗｘが実装された成形対象物Ｗ１を樹脂材料Ｊを用いたトランスファー成形によって樹脂成形するものである。
ここで、成形対象物Ｗ１としては、例えば金属基板、樹脂基板、ガラス基板、セラミックス基板、回路基板、半導体基板、配線基板、リードフレーム等であり、配線の有無は問わない。また、樹脂成形のための樹脂材料Ｊは例えば熱硬化性樹脂を含む複合材料であり、樹脂材料Ｊの形態は顆粒状、粉末状、液状、シート状又はタブレット状等である。また、成形対象物Ｗ１の上面に実装される電子部品Ｗｘとしては、例えばベアチップ又は樹脂封止されたチップである。
具体的に樹脂成形装置１００は、図１に示すように、成形前の成形対象物Ｗ１及び樹脂材料Ｊを供給する供給モジュール１００Ａと、樹脂成形する成形モジュール１００Ｂと、成形後の成形対象物Ｗ２（以下、樹脂成形品Ｗ２）を収容する収納モジュール１００Ｃとを、それぞれ構成要素として備えている。なお、供給モジュール１００Ａと、成形モジュール１００Ｂと、収納モジュール１００Ｃとは、それぞれ他の構成要素に対して、互いに着脱されることができ、かつ、交換されることができる。
供給モジュール１００Ａには、成形対象物Ｗ１を供給する成形対象物供給部１１と、樹脂材料Ｊを供給する樹脂材料供給部１２と、成形対象物供給部１１から成形対象物Ｗ１を受け取り成形モジュール１００Ｂに搬送し、樹脂材料供給部１２から樹脂材料Ｊを受け取り成形モジュール１００Ｂに搬送する搬送装置１３（以下、ローダ１３）とが設けられている。
ローダ１３は、供給モジュール１００Ａと成形モジュール１００Ｂとの間を行き来するものであり、供給モジュール１００Ａと成形モジュール１００Ｂとに亘って設けられたレール（不図示）に沿って移動する。
成形モジュール１００Ｂは、図２〜図６に示すように、樹脂注入部１４が設けられた成形型の一方の型１５（以下、下型１５）と、下型１５に対向して設けられ、樹脂材料Ｊが注入されるキャビティ１６ａが形成された成形型の他方の型１６（以下、上型１６）と、下型１５及び上型１６を型締めする型締め機構１７とを有する。下型１５は、型締め機構１７により昇降する可動盤１０１に下プラテン１０２を介して設けられている。上型１６は、上部固定盤（不図示）に上プラテン１０３を介して設けられている。
本実施形態の樹脂注入部１４は、樹脂材料Ｊを収容するポット１４１ａが形成されたカルブロック１４１と、ポット１４１ａに収容された樹脂材料Ｊを圧送するためのプランジャ１４２と、当該プランジャ１４２を駆動するプランジャ駆動部１４３とを有している。なお、プランジャ１４２は、ポット１４１ａにおいて加熱されて溶融した樹脂材料Ｊを圧送するものである。
カルブロック１４１は、下型１５に形成された凹部１５Ｍに設けられており、凹部１５Ｍにおいて昇降できるように弾性部材１４４により弾性支持されている。また、カルブロック１４１の上端部には、凹部１５Ｍの開口よりも外側に張り出した張り出し部１４１ｂが形成されている。このように張り出し部１４１ｂを有するカルブロック１４１は、樹脂成形品Ｗ２の少なくとも一部と上型１６との間に張り出した部材となる。
上型１６には、成形対象物Ｗ１の電子部品Ｗｘを収容するとともに溶融した樹脂材料Ｊが注入されるキャビティ１６ａが形成されている。また、上型１６には、カルブロック１４１の張り出し部１４１ｂに対向する部分に凹部であるカル１６ｂが形成されるとともに、当該カル１６ｂとキャビティ１６ａを接続するランナ１６ｃが形成されている。なお、図示しないが上型１６には、カルブロック１４１とは反対側にエアベントが形成されている。
そして、図４に示すように、型締め機構１７により下型１５及び上型１６を型締めすると、カル１６ｂとランナ１６ｃとからなる樹脂流路が、ポット１４１ａとキャビティ１６ａとを連通する。また、下型１５及び上型１６を型締めすると、カルブロック１４１の張り出し部１４１ｂの下面と下型１５の上面との間に成形対象物Ｗ１のポット側端部が挟まれることになる。この状態でプランジャ１４２により溶融した樹脂材料Ｊをキャビティ１６ａに注入すると、成形対象物Ｗ１の電子部品Ｗｘが樹脂封止される。
収納モジュール１００Ｃには、樹脂成形品Ｗ２を収納する収納部１８と、成形モジュール１００Ｂから樹脂成形品Ｗ２を受け取り、収納部１８に搬送する搬送装置１９（以下、アンローダ１９）とが設けられている。
アンローダ１９は、成形モジュール１００Ｂと収納モジュール１００Ｃとの間を行き来するものであり、成形モジュール１００Ｂと収納モジュール１００Ｃとに亘って設けられたレール（不図示）に沿って移動する。なお、アンローダ１９の詳細は後述する。
この樹脂成形装置１００の基本動作について、図２〜図６を参照して簡単に説明する。
図２に示すように、下型１５と上型１６とが型開きされた状態で、ローダ１３により成形前の成形対象物Ｗ１が搬送されて下型１５に渡されて載置される。この際、上型１６及び下型１５は、樹脂材料Ｊを溶融し、硬化させることができる温度に昇温されている。その後、図３に示すように、ローダ１３により樹脂材料Ｊが搬送されてカルブロック１４１のポット１４１ａ内に収容される。
この状態で、型締め機構１７により下型１５を上昇させると、図４に示すように、カルブロック１４１が上型１６に当たり、下型１５の凹部１５Ｍ内を下降して、張り出し部１４１ｂの下面が成形対象物Ｗ１のポット側端部に接触する。また、上型１６の下面が成形対象物Ｗ１のベント側端部に接触する。これにより下型１５及び上型１６が型締めされる。この型締め後にプランジャ駆動部１４３によりプランジャ１４２を上昇させると、図５に示すように、ポット１４１ａ内の溶融した樹脂材料Ｊが樹脂通路を通ってキャビティ１６ａ内に注入される。そして、キャビティ１６ａ内で樹脂材料Ｊが硬化した後に、図６に示すように、型締め機構１７により型開きし、アンローダ１９により樹脂成形品Ｗ２を搬出して、収納部１８に搬送する。
＜アンローダ１９の具体的な構成＞
次に、本実施形態におけるアンローダ１９の具体的な構成について、図７〜図１３を参照して説明する。なお、図７、図１０、図１１には、搬送爪２５の図示を省略している。
アンローダ１９は、図７等に示すように、樹脂成形品Ｗ２を保持する保持部材２０と、当該保持部材２０が移動可能に設けられるベース部材２１と、樹脂成形品Ｗ２を保持した保持部材２０を水平方向に移動させてカルブロック１４１から離す水平移動機構２２と、水平移動機構２２により移動した保持部材２０を下型１５から上型１６に向かう上方向に移動させる昇降移動機構２３とを備えている。
保持部材２０は、下型１５に載置された樹脂成形品Ｗ２を吸着する吸着パッド２４を有している。この吸着パッド２４は、保持部材２０の下面に設けられており、吸着パッド２４には、樹脂成形品Ｗ２を吸着するための吸引機構（不図示）が接続されている。なお、吸引機構は、例えば、保持部材の内部に形成された吸引流路と、当該吸引流路に接続された吸引ポンプとを有する。
本実施形態の吸着パッド２４は、下型１５から樹脂成形品Ｗ２を離す離型機構を構成している。吸着パッド２４により樹脂成形品Ｗ２を吸着すると、吸着パッド２４の吸引力により吸着パッド２４が弾性変形して樹脂成形品Ｗ２が下型１５から持ち上がることになる（図１１参照）。なお、吸着パッド２４による樹脂成形品Ｗ２の持ち上げ量は、樹脂成形品Ｗ２がカルブロック１４１の張り出し部１４１ｂに接触しない程度である。
ベース部材２１は、レール（不図示）に沿って水平方向及び上下方向に移動可能に設けられている。このベース部材２１には、保持部材２０に保持された樹脂成形品Ｗ２の落下の防止又は樹脂成形品Ｗ２の保持のための搬送爪２５が設けられている（図１１、図１２参照）。この搬送爪２５は、樹脂成形品Ｗ２の両端部に引っ掛かるように設けられた対をなすものであり、図示しない駆動部により、当該搬送爪２５同士の間隔が拡大又は縮小される。駆動部により搬送爪２５の間隔を縮小させることによって樹脂成形品Ｗ２に引っ掛かるようにし、搬送爪２５の間隔を拡大させることによって昇降移動機構２３による樹脂成形品Ｗ２の昇降移動を妨げないようにする。
水平移動機構２２は、樹脂成形品Ｗ２を保持した保持部材２０をカルブロック１４１から離れる方向に直線的に移動させるものである。なお、上記の通り、保持部材２０の吸着パッド２４により樹脂成形品Ｗ２は離型されていることから、水平移動機構２２は、吸着パッド２４により離型された樹脂成形品Ｗ２をカルブロック１４１から離れる方向に直線的に移動させる。
具体的に水平移動機構２２は、保持部材２０をカルブロック１４１から離れる方向にガイドするガイド部２２１と、保持部材２０をガイド部２２１に沿って移動させる水平駆動部２２２とを有している。
ガイド部２２１は、ベース部材２１においてカルブロック１４１に対して進退する前後方向に設けられたレールと、保持部材２０に設けられ、レールを移動するスライダとを有する。
水平駆動部２２２は、図８に示すように、カルブロック１４１（ポット側）に向かう方向又は離れる方向にスライドするスライド部材２２２ａを有しており、例えばエアシリンダなどのアクチュエータ２２２ｂによりスライド部材２２２ａを移動させるものである。
そして、水平移動機構２２は、図８に示すように、スライド部材２２２ａの移動に伴って保持部材２０をカルブロック１４１から離れる方向に移動させるリンク機構２２３をさらに備えている。本実施形態のリンク機構２２３は、スライド部材２２２ａがカルブロック１４１から離れる方向に移動するのに伴って、保持部材２０をカルブロック１４１から離れる方向に移動させる構成としてある。
具体的にリンク機構２２３は、２つのリンクアーム２２３ａ、２２３ｂを有しており、第１のリンクアーム２２３ａは第２のリンクアーム２２３ｂよりもスライド部材２２２ａ側に設けられている。各リンクアーム２２３ａ、２２３ｂは、ベース部材２１に設けられた回転軸２２３ａ１、２２３ｂ１により回転可能とされている。第１のリンクアーム２２３ａと第２のリンクアーム２２３ｂの連結部２２３ｃは、一方のリンクアーム２２３ｂに設けられたスライド孔２２３ｃ１と、他方のリンクアーム２２３ａに設けられ、スライド孔２２３ｃ１をスライドするピン２２３ｃ２とから構成されている。これにより、第１のリンクアーム２２３ａの回転に伴って第２のリンクアーム２２３ｂが第１のリンクアーム２２３ａとは逆向きに回転することになる。
さらに、水平移動機構２２は、図８に示すように、スライド部材２２２ａ及びリンク機構２２３の間に第１の水平カム機構２２４が設けられており、リンク機構２２３及び保持部材２０の間に第２の水平カム機構２２５を備えている。
第１の水平カム機構２２４は、スライド部材２２２ａに設けられた第１のローラ接触部２２４ａと、第１のリンクアーム２２３ａに設けられ、第１のローラ接触部２２４ａの移動に伴って移動する第１のローラ部材２２４ｂとを有している。本実施形態の第１のローラ接触部２２４ａは、スライド部材２２２ａの側面に形成された傾斜面及び平坦面からなり、当該傾斜面及び平坦面を第１のローラ部材２２４ｂがスライドするように構成されている。第１のローラ接触部２２４ａの傾斜面に沿って第１のローラ部材２２４ｂが移動することにより、第１のリンクアーム２２３ａが一方向に回転する（図９（ｂ）参照）。一方、第１のローラ接触部２２４ａの平坦面に沿って第１のローラ部材２２４ｂが移動することにより、第１のリンクアーム２２３ａは回転することなくその状態を維持する（図９（ｃ）参照）。本実施形態の第１のローラ部材２２４ｂは、例えば、第１のリンクアーム２２３ａの内側端部に回転可能に設けられた転動体（ベアリング）やブッシュにより構成してもよい。これにより、第１の水平カム機構２２４の移動（ローラ部材２２４ｂの回転）をスムーズにしている。
第２の水平カム機構２２５は、保持部材２０に設けられた第２のローラ接触部２２５ａと、第２のリンクアーム２２３ｂに設けられ、第２のローラ接触部２２５ａの移動に伴って移動する第２のローラ部材２２５ｂとを有している。本実施形態の第２のローラ部材２２５ｂは、例えば、第２のリンクアーム２２３ｂの外側端部に回転可能に設けられた転動体（ベアリング）やブッシュにより構成してもよい。これにより、第２の水平カム機構２２５の移動（ローラ部材２２５ｂの回転）をスムーズにしている。また、第２のローラ接触部２２５ａは、保持部材２０のカルブロック１４１側を向く面に設けられており、本実施形態では平坦面としてある。
このようなリンク機構２２３により、水平駆動部２２２がスライド部材２２２ａをカルブロック１４１から離れる方向に移動させると（図９（ａ）→（ｂ））、スライド部材２２２ａの第１のローラ接触部２２４ａの傾斜面に沿って第１のローラ部材２２４ｂが移動して第１のリンクアーム２２３ａが回転する。そして、この第１のリンクアーム２２３ａの回転に伴って、第２のリンクアーム２２３ｂが第１のリンクアーム２２３ａとは逆向きに回転し、第２のリンクアーム２２３ｂの第２のローラ部材２２５ｂが保持部材２０の第２のローラ接触部２２５ａをカルブロック１４１から離れる方向に押す。これによって、保持部材２０がカルブロック１４１から離れる方向に移動する。その後、第１のローラ部材２２４ｂが第１のローラ接触部２２４ａの平坦面に到達すると（図９（ｂ）→（ｃ））、第１のリンクアーム２２３ａの回転が停止して、保持部材２０の水平方向への移動が停止する。
なお、保持部材２０は、例えばＴ型ブロック２２６を介して設けられた弾性部材２６によりカルブロック１４１側に付勢されており、水平駆動部２２２によりスライド部材２２２ａをカルブロック１４１に向かって移動させると、保持部材２０はカルブロック１４１に向かって移動する。
昇降移動機構２３は、水平移動機構２２により移動した保持部材２０を鉛直方向に直線的に移動させるものである。なお、昇降移動機構２３による移動時には、樹脂成形品Ｗ２がカルブロック１４１の張り出し部１４１ｂよりも外側に位置している。
具体的に昇降移動機構２３は、保持部材２０を鉛直方向（上下方向）にガイドするガイド部２３１（図７参照）と、水平駆動部２２２による保持部材２０の水平移動に伴って保持部材２０を鉛直方向に移動させる昇降カム機構２３２（図８参照）とを有している。
ガイド部２３１は、ベース部材２１において上下方向に設けられたレールと、保持部材２０に設けられ、レールを移動するスライダとを有する。
昇降カム機構２３２は、図８に示すように、スライド部材２２２ａに設けられた昇降ローラ部材２３２ａと、保持部材２０に設けられ、昇降ローラ部材２３２ａの移動に伴って移動する昇降ローラ接触部２３２ｂとを有している。本実施形態の昇降ローラ部材２３２ａは、スライド部材２２２ａとともに移動するものである。また、昇降ローラ接触部２３２ｂは、昇降ローラ部材２３２ａがカルブロック１４１から離れる方向に移動するのに伴って、昇降ローラ接触部２３２ｂが上方向に移動するような傾斜面を有する。
このような昇降移動機構２３により、水平駆動部２２２がスライド部材２２２ａをカルブロック１４１から離れる方向に移動すると（図９（ｂ）→（ｃ））、昇降ローラ接触部２３２ａがカルブロック１４１から離れる方向に移動し、昇降ローラ部材２３２ｂが上方向に移動する（図９（ｃ）参照）。これによって、保持部材２０が上方向に移動する。
なお、水平駆動部２２２によりスライド部材２２２ａをカルブロック１４１に向かって移動させると、保持部材２０は自重によりガイド機構２３１によって下方向に移動する（図９（ｂ）参照）。
＜アンローダ１９の動作＞
次に、アンローダ１９の搬出動作について図７、図１０〜図１４を参照して説明する。
まず、図７に示すように、アンローダ１９を下型１５の上方に移動させた後に、図１０に示すように、樹脂成形品Ｗ２を吸着保持するための所定位置に下降させる。そして、図１１に示すように、保持部材２０の吸着パッド２４により樹脂成形品Ｗ２を吸着保持する。なお、図１１には図示していないが、搬送爪２５の間隔は、樹脂成形品Ｗ２の吸着保持を邪魔しないように拡大した状態である。また、ベース部材２１には、カルブロック１４１の上面に残った不要樹脂Ｋを吸着するための吸着パッド２７が設けられており、当該吸着パッド２７が不要樹脂Ｋを吸着保持する。ここで、図１１に示すように、保持部材２０の吸着パッド２４による樹脂成形品Ｗ２の吸着保持と同時に樹脂成形品Ｗ２は下型１５から離型される。
そして、図１２に示すように、水平移動機構２２により保持部材２０をポットブロック１４１から離れる方向に移動させる。具体的には水平駆動部２２２によりスライド部材２２２ａを離れる方向に移動させると（図９（ｂ）参照）、リンク機構２２３及び水平カム機構２２４、２２５により、保持部材２０がカルブロック１４１から離れる方向に移動する。この移動により、樹脂成形品Ｗ２は、カルブロック１４１の張り出し部１４１ｂよりも外側に移動される。
また、図１３に示すように、水平移動機構２２により保持部材２０を移動させると、その移動に伴って保持部材２０が持ち上がる。具体的には水平駆動部２２２によりスライド部材２２２ａを離れる方向に移動させると（図９（ｃ）参照）、昇降カム機構２３２により、保持部材２０が上方向に移動する。この移動により、樹脂成形品Ｗ２は、搬送爪２５により保持ができる程度の高さに移動される。
その後、図１４に示すように、搬送爪２５の間隔を縮小させて、樹脂成形品Ｗ２の下側に搬送爪２５が位置するようにする。この状態で、アンローダ１９は、保持した樹脂成形品Ｗ２を収納モジュール１００Ｃの収納部１８に搬送する。
＜本実施形態の効果＞
本実施形態の樹脂成形装置１００によれば、アンローダ１９が樹脂成形品Ｗ２を保持した保持部材２０を水平方向に移動させてカルブロック１４１から離す水平移動機構２２を有するので、樹脂成形品Ｗ２の上部に張り出した張り出し部１４１ｂを有するカルブロック１４１が設けられた下型１５から樹脂成形品Ｗ２をアンローダ１９によって搬出することができる。
＜その他の変形実施形態＞
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、前記実施形態では、昇降移動機構２３は水平移動機構２２の水平駆動部２２２を用いて構成しているが、昇降移動機構２３の駆動部を水平移動機構２２の水平駆動部２２２とは別に設けてもよい。
また、前記実施形態では、離型機構は吸着パッド２４を用いて構成しているが、その他、樹脂成形品Ｗ２を保持した保持部材２０を上方向に移動させることによって離型するものであってもよいし、搬送装置１９自体を上方向に移動させることによって離型するものであってもよい。なお、離型機構は必須の構成ではなく、樹脂成形品Ｗ２を下型１５に接触した状態で水平移動させる構成としてもよい。
さらに、前記実施形態では、水平駆動部２２２によりスライド部材２２２ａをカルブロック１４１から離れる方向に移動させることによって保持部材２０がカルブロック１４１から離れる方向に移動する構成としてあるが、水平駆動部２２２によりスライド部材２２２ａをカルブロック１４１に向かう方向に移動させることによって保持部材２０がカルブロック１４１から離れる方向に移動する構成としてもよい。この場合、例えばリンク機構２２３を１つのリンクアーム（例えば前記実施形態の第１のリンクアーム２２３ａ）から構成することが考えられる。
前記実施形態では搬送爪２５が吸着保持された樹脂成形品Ｗ２の落下を防止するものであったが、樹脂成形品Ｗ２を持ち上げた後に吸着保持を解除して搬送爪２５により樹脂成形品Ｗ２を保持する構成としてもよい。また、搬送時に吸着保持する構成であれば、搬送爪２５を有さない構成としてもよい。
前記実施形態では、カルブロック１４１が下型１５に設けられた構成であったが、カルブロック１４１が上型１６に設けられた構成としても良い。この場合、アンローダ１９は、前記実施形態と同様の動作により、上型１６から樹脂成形品Ｗ２を搬出する。
本発明の樹脂成形装置は、トランスファー成形に限られず、例えば圧縮成形等であっても良い。
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
１００・・・樹脂成形装置
Ｗ２・・・樹脂成形品
１４・・・樹脂注入部
１４１ｂ・・・張り出し部
１４１・・・カルブロック
１９・・・アンローダ（搬送装置）
２０・・・保持部材
２２・・・水平移動機構
２３・・・昇降移動機構
２１・・・ベース部材
２２１・・・ガイド部
２２２・・・水平駆動部
２３１・・・ガイド部
２３２・・・昇降カム機構
２２２ａ・・・スライド部材
２２３・・・リンク機構
２２４・・・第１の水平カム機構
２２５・・・第２の水平カム機構
２４・・・吸着パッド（離型機構）
２５・・・搬送爪
搬送機構は、前記保持部材が移動可能に設けられたベース部材を更に備えていることが考えられる。この構成において水平移動機構の具体的な実施の態様としては、前記保持部材を前記樹脂注入部から離れる方向にガイドするガイド機構と、前記保持部材を前記ガイド機構に沿って移動させる水平駆動部とを有することが考えられる。また、昇降移動機構の具体的な実施の態様としては、前記保持部材を鉛直方向にガイドするガイド機構と、前記水平駆動部による前記保持部材の水平移動に伴って前記保持部材を鉛直方向に移動させる昇降カム機構とを有することが考えられる。
この構成であれば、水平移動機構の駆動部と昇降移動機構の駆動部とを共通にすることができるので、構成を簡単化できるだけでなく、コストダウンを可能にすることができる。
具体的に水平移動機構２２は、保持部材２０をカルブロック１４１から離れる方向にガイドするガイド機構に相当するガイド部２２１と、保持部材２０をガイド部２２１に沿って移動させる水平駆動部２２２とを有している。
なお、水平駆動部２２２によりスライド部材２２２ａをカルブロック１４１に向かって移動させると、保持部材２０は自重によりガイド部２３１によって下方向に移動する（図９（ｂ）参照）。

Claims (11)

  1. 樹脂注入部が設けられた一方の型から樹脂成形品を搬出する搬送装置であって、
    前記樹脂注入部は、前記樹脂成形品の少なくとも一部と他方の型との間に張り出した部材を有するものであり、
    前記搬送装置は、
    前記樹脂成形品を保持する保持部材と、
    前記樹脂成形品を保持した前記保持部材を水平方向に移動させて前記樹脂注入部から離す水平移動機構とを備える、搬送装置。
  2. 前記水平移動機構により移動した前記保持部材を前記一方の型から前記他方の型に向かう方向に移動させる昇降移動機構を更に備える、請求項１記載の搬送装置。
  3. 前記保持部材が移動可能に設けられたベース部材を更に備え、
    前記水平移動機構は、前記保持部材を前記樹脂注入部から離れる方向にガイドするガイド機構と、前記保持部材を前記ガイド機構に沿って移動させる水平駆動部とを有し、
    前記昇降移動機構は、前記保持部材を鉛直方向にガイドするガイド機構と、前記水平駆動部による前記保持部材の水平移動に伴って前記保持部材を鉛直方向に移動させる昇降カム機構とを有する、請求項２記載の搬送装置。
  4. 前記水平駆動部は、前記樹脂注入部に向かう方向又は離れる方向にスライドするスライド部材を有しており、
    前記水平移動機構は、前記スライド部材の移動に伴って前記保持部材を前記樹脂注入部から離れる方向に移動させるリンク機構をさらに備える、請求項３記載の搬送装置。
  5. 前記スライド部材及び前記リンク機構の間に第１の水平カム機構が設けられており、前記リンク機構及び前記保持部材の間に第２の水平カム機構が設けられている、請求項４記載の搬送装置。
  6. 前記一方の型から前記樹脂成形品を離す離型機構を更に備え、
    前記水平移動機構は、前記離型機構により前記樹脂成形品が前記一方の型から離れた状態の前記保持部材を水平方向に移動させる、請求項１乃至５の何れか一項に記載の搬送装置。
  7. 前記保持部材は、前記樹脂成形品を吸着する吸着パッドを有しており、
    前記吸着パッドによる吸着力を用いて前記離型機構が構成されている、請求項６記載の搬送装置。
  8. 前記樹脂成形品を引っ掛けて保持する搬送爪を更に備え、
    前記昇降移動機構を用いて、前記保持部材を前記一方の型から他方の型に向かう方向に移動させた後、前記搬送爪を用いて前記樹脂成形品を保持する、請求項２乃至５の何れか一項に記載の搬送装置。
  9. 請求項１乃至８の何れか一項に記載の搬送装置を有する樹脂成形装置。
  10. 請求項１乃至８の何れか一項に記載の搬送装置を用いた樹脂成形品の搬送方法であって、
    樹脂成形された樹脂成形品を保持した保持部材を前記水平移動機構により水平方向に移動させて前記樹脂注入部から離すとともに、前記樹脂注入部から離れた前記保持部材を前記昇降移動機構により前記保持部材を前記他方の型方向に移動させて搬出する搬送方法。
  11. 樹脂成形により電子部品を樹脂成形する樹脂成形品の製造方法であって、
    成形対象物に対して樹脂成形を行う成形工程と、
    樹脂成形された樹脂成形品を請求項１乃至８の何れか一項に記載の搬送装置を用いて搬出する搬出工程とを備える、樹脂成形品の製造方法。

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