JP7065637B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
[マイクロコンピュータ]
図1は、実施形態1に基づく半導体装置の構成を示すブロック図である。
図2は、図1のフラッシュメモリモジュール(FMDL)の構成を表わすブロック図である。
次に、上記のCGドライバ回路22、MGドライバ回路23、高電圧デコード回路24、およびセンスアンプ/書込み制御回路27から、選択/非選択のブロックの選択/非選択メモリセルに供給される電圧の例について説明する。
図3は、データ書込み時にメモリセルに印加される電圧の例を表形式で示す図である。
図4は、データ消去時にメモリセルに印加される電圧の例を表形式で示す図である。耐圧緩和が必要になるような負の高電圧が印加される電極はメモリゲートMGであるので、以下ではメモリゲートMGの印加電圧に着目する。
図5は、図2における高電圧スイッチ回路の具体的な構成例を示す図である。
電圧制御線L0は、電圧VMGBPPを供給する。
電圧制御線L1は、電圧VMGBPNを供給する。
電圧制御線L2は、電圧VMGBNPを供給する。
電圧制御線L3は、電圧VMGBNNを供給する。
選択信号selbnn_g、selbnn_sおよびselbnn_mは、それぞれ電圧VSS、VEESまたはVEEMを選択するためのVDDレベルの選択信号である。
図6(A)は、電圧VMGPPを発生する回路を示す。
電圧制御線L4には、スイッチ51を通して電圧VPPAが供給され、スイッチ52を通して電圧VDDが供給される。
電圧制御線L5は、電圧VMGPNを供給する。
電圧制御線L6は、電圧VMGNPを供給する。
電圧制御線L7は、電圧VMGNNを供給する。
図7は、高電圧スイッチ回路の書込み・消去状態での昇圧電源の選択状態について説明する図である。
電圧VMGBPNは、電圧VPPC,VSS,VEESとを切り替える。
電圧VMGBNNは、電圧VSS,VEES,VEEMを切り替える。
電圧VMGPNは、電圧VPPC,VSSとVEESを切り替える。
電圧VMGNNは、電圧VDD、VSSとVEEMを切り替える。
メモリゲート線MGL_usは、選択ブロックの非選択メモリゲートと接続される。
メモリゲート線MGL_uuは、非選択ブロックの非選択メモリゲートと接続される。
MGPデコーダ220は、電圧VMGPP,VMGPNの入力を受けて、電圧制御線MGPL_s,MGPL_uを駆動する。
本例においては、複数のブロックとして2つのブロックを設ける場合が示されており、代表的に選択ブロック/非選択ブロックが各1個ずつの場合について説明する。
本例においては、複数のブロックとして2つのブロックを設ける場合が示されており、代表的に選択ブロック/非選択ブロックが各1個ずつの場合について説明する。
本例においては、各ブロックにおいて2行のメモリセル行が設けられる場合が示されており、代表的に選択ゲート/非選択ゲートが各1個ずつの場合について説明する。
本例においては、各ブロックにおいて2行のメモリセル行が設けられる場合が示されており、代表的に選択ゲート/非選択ゲートが各1個ずつの場合について説明する。
なお、各ラッチ型レベルシフタの構成は同一であるので、以降においては、その詳細な説明については繰り返さない。
PチャネルMOSトランジスタMP0は、ノードN3とノードN0との間に設けられ、そのゲートは、ノードN1と接続される。
NチャネルMOSトランジスタMN2,MN4は、ノードN0とノードN2との間に設けられ、それぞれのゲートは、制御信号enおよび入力信号inpの入力をそれぞれ受ける。
NチャネルMOSトランジスタMN3,MN5は、ノードN1とノードN2との間に設けられ、それぞれのゲートは、制御信号enおよび入力信号innの入力をそれぞれ受ける。
例えば、制御信号enが「H」レベルであり、入力信号innが「H」レベルである場合について説明する。このとき、入力信号inpは「L」レベルである。
これにより、ノードN1は、電圧unと接続される。
これにより、ノードN0は、電圧unと接続される。
時刻T2においてパルスが印加されるアドレスが選択され、時刻T3で[PH]から[PP]への状態遷移が開始される。
電圧VPPA=VPPC=VDD=1Vに設定されている。
この時、高電圧スイッチ回路25は、ブロックデコーダ24aに対して、電圧VMGBPP=電圧VPPA(1V)、電圧VMGBPN=電圧VSS(0V)、電圧VMGBNP=電圧VDD(1V)、電圧VMGBNN=電圧VSS(0V)を選択して出力する。
図17は、消去動作時の電圧および電圧制御線について説明するタイミングチャート図である。
時刻T5でパルスが印加されるアドレスが選択され、時刻T6において、[EH]から[EP]への状態遷移が開始される。[IS]の状態は図16と同様である。
昇圧回路26は、電圧VPPAを1Vから5V、電圧VPPCを1Vから3V、電圧VEEMを0Vから-3V、電圧VEESを0Vから-0.5Vにそれぞれ変更する。
同様に、高電圧スイッチ回路25は、ゲートデコーダ24bに対して、電圧VMGPPを1V(電圧VDD)から5V(電圧VPPA)、電圧VMGNPを1V(電圧VDD)から5V(電圧VPPA)に変更して出力する。このとき、電圧VMGPNおよび電圧VMGNNは0Vから変化しない。
なお、電圧VEES=-0.5Vは、高電圧デコード回路24でしか使用されず、メモリゲートMGそのものには伝わらない。
実施形態1では書込み/消去時のパルス印加前状態[PH]/[EH]状態で浅い負電圧VEEM(-0.5V)を発生させ、パルス印加状態[PP]/[EP]でデコーダ電源までVEESを接続し、メモリゲートMG負荷の充電を高速に実施する構成について説明した。
図18を参照して、図13のラッチ型レベルシフタと比較して、ラッチ部の正電源の高電位側端子upxとドライバ部の正電位側端子upとを分離した構成である。
当該構成にすることによりレベルシフタの安定動作と出力信号の低電源を両立することが可能である。
一方、時刻T61~T66の期間は全ての昇圧電源は同じ状態を保っている。
まず、時刻T61に非選択ブロックのメモリゲートMGを電圧VDDまで充電するため、電圧制御線MGBNL_uを電圧VMGBNN(0V)から電圧VMGBNP(1V)に切り替える。この時、電圧制御線MGBNL_uには非選択ブロックのメモリゲート線MGL_us/MGL_uuに接続され、かつ、MGBNデコーダのドライバ部の正電位側端子up-負電位側端子un間の電圧が1Vと低いため、負荷に対してドライバの能力が十分とれないので、充電速度は非常に遅い。
実施形態2では、ゲートデコーダ24bに対して電圧VEES(-0.5V)を適用した場合、ラッチ型レベルシフタをラッチ状態にする必要があるため、この期間は選択状態の切り替えができなかった。
図22を参照して、レベルシフタ213は、PチャネルMOSトランジスタMP10,MP11と、NチャネルMOSトランジスタMN10~MN13と、インバータIV1とを含む。
PチャネルMOSトランジスタMP10は、ノードN13とノードN11との間に設けられ、そのゲートは、ノードN15と接続される。
NチャネルMOSトランジスタMN10,MN11は、ノードN11とノードN14との間に設けられ、そのゲートは、ノードN12およびノードN15とそれぞれ接続される。
ノードN10は、入力信号inの入力を受ける。
実施形態4では、電圧VEESの生成について説明する。
本実施形態においては、電圧VEEVは、電圧VEEMに基づいてレギュレータ等で発生させる電圧である。本実施形態ではベリファイ動作を省略しているため、詳細な説明はしていないが、消去ベリファイ時には必要な電圧である。
図25を参照して、電圧制御線L10は、電圧VEESを供給する。
実施形態5は、電圧VEESを高電圧スイッチ回路で用いる構成について説明する。
図26には、電圧VMGNNを発生する回路が示されている。
Claims (15)
- しきい値電圧のレベル変化によりデータを記憶する複数のメモリトランジスタと、前記複数のメモリトランジスタのゲートにそれぞれ電圧を供給する複数のメモリゲート線とを含む第1および第2のメモリブロックと、
前記第1のメモリブロックに対応して設けられ、前記複数のメモリゲート線を駆動するために設けられる第1および第2の電圧制御線と、
前記第2のメモリブロックに対応して設けられ、前記複数のメモリゲート線を駆動するために設けられる第3および第4の電圧制御線と、
前記第1および第3の電圧制御線を駆動する第1デコーダと、
前記第2および第4の電圧制御線を駆動する第2デコーダと、
前記第1および第2デコーダに供給する電圧を制御する電圧制御回路とを備え、
前記電圧制御回路は、
書込動作前に前記第1デコーダに第1の電圧および前記第1の電圧よりも低い第2の電圧をそれぞれ供給し、前記第2デコーダに前記第1の電圧と前記第2の電圧との間の第3の電圧および前記第2の電圧をそれぞれ供給し、
書込動作時に前記第1デコーダに前記第1の電圧および前記第3の電圧をそれぞれ供給し、前記第2デコーダに前記第3の電圧と前記第2の電圧との間の第4の電圧および前記第2の電圧よりも低い第5の電圧をそれぞれ供給し、
前記第4の電圧は、各前記メモリトランジスタのしきい値電圧よりも低い、半導体装置。 - 前記第1~第2デコーダは、
前記第1~第4の電圧制御線にそれぞれ対応して設けられ、対応する電圧制御線を駆動する第1~第4ドライバ回路と、
前記第1~第4ドライバ回路にそれぞれ対応して設けられ、入力信号の電圧レベルを変換して対応するドライバ回路に出力する第1~第4レベルシフタとを含む、請求項1記載の半導体装置。 - 前記第1レベルシフタは、前記書込動作時に前記第3の電圧により前記第1ドライバ回路を駆動して前記第1の電圧を前記第1の電圧制御線に供給し、
前記第2レベルシフタは、前記書込動作時に前記第5の電圧により前記第2ドライバ回路を駆動して前記第4の電圧を前記第2の電圧制御線に供給し、
前記第3レベルシフタは、前記書込動作時に前記第1の電圧により前記第3ドライバ回路を駆動して前記第3の電圧を前記第3の電圧制御線に供給し、
前記第4レベルシフタは、前記書込動作時に前記第5の電圧により前記第4ドライバ回路を駆動して前記第4の電圧を前記第4の電圧制御線に供給する、請求項2記載の半導体装置。 - 前記第1~第4ドライバ回路は、前記対応する電圧制御線を駆動するための第1導電型トランジスタと、第2導電型トランジスタとを含み、
前記書込動作時に前記第1導電型トランジスタのゲートに前記第5の電圧が印加された場合に、対応する電圧制御線に前記第4の電圧が供給される、請求項3記載の半導体装置。 - 前記第1のメモリブロックの前記複数のメモリゲート線のうちの一つと、前記第2のメモリブロックの前記複数のメモリゲート線のうちの一つとを共通に制御する第5および第6の電圧制御線と、
前記第1のメモリブロックの前記複数のメモリゲート線のうちの別の一つと、前記第2のメモリブロックの前記複数のメモリゲート線のうちの別の一つとを共通に制御する第7および第8の電圧制御線と、
前記第5および第7の電圧制御線を駆動する第3デコーダと、
前記第6および第8の電圧制御線を駆動する第4デコーダと、
前記第3デコーダおよび第4デコーダに供給する電圧を制御する第2電圧制御回路とを備え、
前記第2電圧制御回路は、
書込動作前に前記第3デコーダに前記第1の電圧および前記第2の電圧をそれぞれ供給し、前記第4デコーダに前記第3の電圧および前記第2の電圧をそれぞれ供給し、
書込動作時に前記第3デコーダに前記第1の電圧および前記第3の電圧をそれぞれ供給し、前記第4デコーダに前記第3の電圧および前記第4の電圧をそれぞれ供給する、請求項1~4のいずれか1項に記載の半導体装置。 - しきい値電圧のレベル変化によりデータを記憶する複数のメモリトランジスタと、前記複数のメモリトランジスタのゲートにそれぞれ電圧を供給する複数のメモリゲート線とを含む第1および第2のメモリブロックと、
前記第1のメモリブロックに対応して設けられ、前記複数のメモリゲート線を駆動するために設けられる第1および第2の電圧制御線と、
前記第2のメモリブロックに対応して設けられ、前記複数のメモリゲート線を駆動するために設けられる第3および第4の電圧制御線と、
前記第1および第3の電圧制御線を駆動する第1デコーダと、
前記第2および第4の電圧制御線を駆動する第2デコーダと、
前記第1および第2デコーダに供給する電圧を制御する第1電圧制御回路とを備え、
前記第1電圧制御回路は、
消去動作前に前記第1デコーダに第1の電圧および前記第1の電圧よりも低い第2の電圧をそれぞれ供給し、前記第2デコーダに前記第1の電圧と前記第2の電圧との間の第3の電圧および前記第2の電圧をそれぞれ供給し、
消去動作時に前記第1デコーダに前記第3の電圧と前記第2の電圧との間の第4の電圧および前記第2の電圧よりも低い第5の電圧をそれぞれ供給し、前記第2デコーダに前記第4の電圧および前記第5の電圧よりも低い第6の電圧をそれぞれ供給し、
前記第4の電圧は、各前記メモリトランジスタのしきい値電圧よりも低い、半導体装置。 - 前記第1のメモリブロックの前記複数のメモリゲート線のうちの一つと、前記第2のメモリブロックの前記複数のメモリゲート線のうちの一つとを共通に制御する第5および第6の電圧制御線と、
前記第1のメモリブロックの前記複数のメモリゲート線のうちの別の一つと、前記第2のメモリブロックの前記複数のメモリゲート線のうちの別の一つとを共通に制御する第7および第8の電圧制御線と、
前記第5および第7の電圧制御線を駆動する第3デコーダと、
前記第6および第8の電圧制御線を駆動する第4デコーダと、
前記第3デコーダおよび第4デコーダに供給する第2電圧制御回路とを備え、
前記第2電圧制御回路は、
消去動作前に前記第3デコーダに前記第1の電圧および前記第2の電圧をそれぞれ供給し、前記第4デコーダに前記第1の電圧および前記第2の電圧をそれぞれ供給し、
消去動作時に前記第3デコーダに前記第4の電圧および前記第5の電圧をそれぞれ供給し、前記第4デコーダに前記第4の電圧および前記第6の電圧をそれぞれ供給する、請求項6記載の半導体装置。 - 前記第1~第2デコーダは、
前記第1~第4の電圧制御線にそれぞれ対応して設けられ、対応する電圧制御線を駆動する第1~第4ドライバ回路と、
前記第1~第4ドライバ回路にそれぞれ対応して設けられ、入力信号の電圧レベルを変換して対応するドライバ回路に出力する第1~第4レベルシフタとを含む、請求項6または7記載の半導体装置。 - 前記第1レベルシフタは、前記消去動作時に前記第5の電圧により前記第1ドライバ回路を駆動して前記第4の電圧を前記第1の電圧制御線に供給し、
前記第2レベルシフタは、前記消去動作時に前記第4の電圧により前記第2ドライバ回路を駆動して前記第6の電圧を前記第2の電圧制御線に供給し、
前記第3レベルシフタは、前記消去動作時に前記第5の電圧により前記第3ドライバ回路を駆動して前記第4の電圧を前記第3の電圧制御線に供給し、
前記第4レベルシフタは、前記消去動作時に前記第6の電圧により前記第4ドライバ回路を駆動して前記第4の電圧を前記第4の電圧制御線に供給する、請求項8記載の半導体装置。 - 前記第1~第4ドライバ回路は、前記対応する電圧制御線を駆動するための第1導電型トランジスタと、第2導電型トランジスタとを含み、
前記消去動作時に前記第1導電型トランジスタのゲートに前記第5の電圧あるいは前記第6の電圧が印加された場合に、対応する電圧制御線に前記第4の電圧が供給される、請求項9記載の半導体装置。 - 各前記第1~第4レベルシフタは、
前記入力信号をラッチするラッチ回路と、
前記ラッチ回路の信号の電圧レベルを変換して出力するドライバとを含む、請求項8記載の半導体装置。 - 前記第1電圧制御回路は、前記ラッチ回路と、前記ドライバとにそれぞれ異なる電圧を供給する、請求項11記載の半導体装置。
- 前記第1~第2デコーダは、
前記第1~第4のレベルシフタにそれぞれ対応して設けられ、前記入力信号の電圧レベルを変換した変換入力信号を対応するレベルシフタに出力する第5~第8レベルシフタをさらに含む、請求項8記載の半導体装置。 - 前記第5の電圧および前記第6の電圧は、共通の負電源回路により生成される、請求項6記載の半導体装置。
- 前記第2の電圧および前記第6の電圧に基づいて前記第5の電圧を生成する電圧生成回路をさらに備え、
前記電圧生成回路は、
第1および第2の負電圧レベルシフト回路と、
ソースに前記第2の電圧が接続され、ドレインが出力ノードと接続され、前記第1の負電圧レベルシフト回路の出力をゲートに受ける第1導電型の第1スイッチトランジスタと、
前記第1導電型の第1スイッチトランジスタと並列にドレインが出力ノードと接続され、ソースに第6の電圧が接続され、前記第2の負電圧レベルシフト回路の出力をゲートにうける第1導電型の第2スイッチトランジスタとを含む、請求項14記載の半導体装置。
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