JP6975935B2 - 光検出装置 - Google Patents
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 187
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 129
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 115
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 109
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 80
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 79
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 40
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 333
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 82
- 239000000463 material Substances 0.000 description 46
- 239000010408 film Substances 0.000 description 40
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 37
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 25
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 18
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 16
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 16
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 16
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- -1 carbamoyloxy group Chemical group 0.000 description 13
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 10
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 9
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 6
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 5
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N C60 fullerene Chemical compound C12=C3C(C4=C56)=C7C8=C5C5=C9C%10=C6C6=C4C1=C1C4=C6C6=C%10C%10=C9C9=C%11C5=C8C5=C8C7=C3C3=C7C2=C1C1=C2C4=C6C4=C%10C6=C9C9=C%11C5=C5C8=C3C3=C7C1=C1C2=C4C6=C2C9=C5C3=C12 XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KYQCOXFCLRTKLS-UHFFFAOYSA-N Pyrazine Chemical compound C1=CN=CC=N1 KYQCOXFCLRTKLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 4
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 238000002366 time-of-flight method Methods 0.000 description 4
- PCNDJXKNXGMECE-UHFFFAOYSA-N Phenazine Natural products C1=CC=CC2=NC3=CC=CC=C3N=C21 PCNDJXKNXGMECE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 206010047571 Visual impairment Diseases 0.000 description 3
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 3
- 125000004431 deuterium atom Chemical group 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 150000002790 naphthalenes Chemical class 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- XSCHRSMBECNVNS-UHFFFAOYSA-N quinoxaline Chemical compound N1=CC=NC2=CC=CC=C21 XSCHRSMBECNVNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- KDCGOANMDULRCW-UHFFFAOYSA-N 7H-purine Chemical compound N1=CNC2=NC=NC2=C1 KDCGOANMDULRCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 9H-carbazole Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N Quinoline Chemical compound N1=CC=CC2=CC=CC=C21 SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001454 anthracenes Chemical class 0.000 description 2
- 150000001601 aromatic carbocyclic compounds Chemical class 0.000 description 2
- IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N benzothiazole Chemical compound C1=CC=C2SC=NC2=C1 IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N fluoranthene Chemical class C1=CC(C2=CC=CC=C22)=C3C2=CC=CC3=C1 GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003472 fullerene Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000004297 night vision Effects 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 2
- 150000002987 phenanthrenes Chemical class 0.000 description 2
- 229920000412 polyarylene Chemical class 0.000 description 2
- 150000003220 pyrenes Chemical class 0.000 description 2
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 150000003518 tetracenes Chemical class 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- QGKMIGUHVLGJBR-UHFFFAOYSA-M (4z)-1-(3-methylbutyl)-4-[[1-(3-methylbutyl)quinolin-1-ium-4-yl]methylidene]quinoline;iodide Chemical class [I-].C12=CC=CC=C2N(CCC(C)C)C=CC1=CC1=CC=[N+](CCC(C)C)C2=CC=CC=C12 QGKMIGUHVLGJBR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- UWRZIZXBOLBCON-VOTSOKGWSA-N (e)-2-phenylethenamine Chemical class N\C=C\C1=CC=CC=C1 UWRZIZXBOLBCON-VOTSOKGWSA-N 0.000 description 1
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BCMCBBGGLRIHSE-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzoxazole Chemical compound C1=CC=C2OC=NC2=C1 BCMCBBGGLRIHSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 1H-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC=NC2=C1 HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BAXOFTOLAUCFNW-UHFFFAOYSA-N 1H-indazole Chemical compound C1=CC=C2C=NNC2=C1 BAXOFTOLAUCFNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XWIYUCRMWCHYJR-UHFFFAOYSA-N 1h-pyrrolo[3,2-b]pyridine Chemical compound C1=CC=C2NC=CC2=N1 XWIYUCRMWCHYJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEPOHXYIFQMVHW-XOZOLZJESA-N 2,3-dihydroxybutanedioic acid (2S,3S)-3,4-dimethyl-2-phenylmorpholine Chemical compound OC(C(O)C(O)=O)C(O)=O.C[C@H]1[C@@H](OCCN1C)c1ccccc1 VEPOHXYIFQMVHW-XOZOLZJESA-N 0.000 description 1
- CBHTTYDJRXOHHL-UHFFFAOYSA-N 2h-triazolo[4,5-c]pyridazine Chemical compound N1=NC=CC2=C1N=NN2 CBHTTYDJRXOHHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LCGTWRLJTMHIQZ-UHFFFAOYSA-N 5H-dibenzo[b,f]azepine Chemical compound C1=CC2=CC=CC=C2NC2=CC=CC=C21 LCGTWRLJTMHIQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000000660 7-membered heterocyclic compounds Chemical class 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-VVKOMZTBSA-N Dideuterium Chemical group [2H][2H] UFHFLCQGNIYNRP-VVKOMZTBSA-N 0.000 description 1
- SIKJAQJRHWYJAI-UHFFFAOYSA-N Indole Chemical class C1=CC=C2NC=CC2=C1 SIKJAQJRHWYJAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUIQMZJEGPQKFD-UHFFFAOYSA-N Methyl butyrate Chemical compound CCCC(=O)OC UUIQMZJEGPQKFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N Oxazole Chemical compound C1=COC=N1 ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N Pyrazole Chemical compound C=1C=NNC=1 WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N Pyrimidine Chemical compound C1=CN=CN=C1 CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical class C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004166 TaN Inorganic materials 0.000 description 1
- FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N Thiazole Chemical compound C1=CSC=N1 FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N [1,10]phenanthroline Chemical compound C1=CN=C2C3=NC=CC=C3C=CC2=C1 DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004442 acylamino group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004423 acyloxy group Chemical group 0.000 description 1
- 230000002730 additional effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004453 alkoxycarbonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004466 alkoxycarbonylamino group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005194 alkoxycarbonyloxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004644 alkyl sulfinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004390 alkyl sulfonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004656 alkyl sulfonylamino group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004414 alkyl thio group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000304 alkynyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 125000006598 aminocarbonylamino group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004397 aminosulfonyl group Chemical group NS(=O)(=O)* 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002490 anilino group Chemical group [H]N(*)C1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005162 aryl oxy carbonyl amino group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005161 aryl oxy carbonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005135 aryl sulfinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004657 aryl sulfonyl amino group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004391 aryl sulfonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005110 aryl thio group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005200 aryloxy carbonyloxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004104 aryloxy group Chemical group 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000656 azaniumyl group Chemical group [H][N+]([H])([H])[*] 0.000 description 1
- 125000000751 azo group Chemical group [*]N=N[*] 0.000 description 1
- HFACYLZERDEVSX-UHFFFAOYSA-N benzidine Chemical class C1=CC(N)=CC=C1C1=CC=C(N)C=C1 HFACYLZERDEVSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 1
- 150000001602 bicycloalkyls Chemical group 0.000 description 1
- ZADPBFCGQRWHPN-UHFFFAOYSA-N boronic acid Chemical compound OBO ZADPBFCGQRWHPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 1
- 125000003917 carbamoyl group Chemical group [H]N([H])C(*)=O 0.000 description 1
- 125000001951 carbamoylamino group Chemical group C(N)(=O)N* 0.000 description 1
- 150000001716 carbazoles Chemical class 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- WCZVZNOTHYJIEI-UHFFFAOYSA-N cinnoline Chemical compound N1=NC=CC2=CC=CC=C21 WCZVZNOTHYJIEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 1
- 125000000392 cycloalkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005685 electric field effect Effects 0.000 description 1
- ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N endo-cyclopentadiene Natural products C1C=CC=C1 ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002391 heterocyclic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 125000000717 hydrazino group Chemical group [H]N([*])N([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 125000005462 imide group Chemical group 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- AWJUIBRHMBBTKR-UHFFFAOYSA-N isoquinoline Chemical compound C1=NC=CC2=CC=CC=C21 AWJUIBRHMBBTKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000001404 mediated effect Effects 0.000 description 1
- DZVCFNFOPIZQKX-LTHRDKTGSA-M merocyanine Chemical class [Na+].O=C1N(CCCC)C(=O)N(CCCC)C(=O)C1=C\C=C\C=C/1N(CCCS([O-])(=O)=O)C2=CC=CC=C2O\1 DZVCFNFOPIZQKX-LTHRDKTGSA-M 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N o-biphenylenemethane Natural products C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N oxadiazole Chemical compound C1=CON=N1 WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001820 oxy group Chemical group [*:1]O[*:2] 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 125000002467 phosphate group Chemical group [H]OP(=O)(O[H])O[*] 0.000 description 1
- 125000005328 phosphinyl group Chemical group [PH2](=O)* 0.000 description 1
- 125000001476 phosphono group Chemical group [H]OP(*)(=O)O[H] 0.000 description 1
- LFSXCDWNBUNEEM-UHFFFAOYSA-N phthalazine Chemical compound C1=NN=CC2=CC=CC=C21 LFSXCDWNBUNEEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical class N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000301 poly(3-hexylthiophene-2,5-diyl) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000548 poly(silane) polymer Chemical class 0.000 description 1
- 229920000768 polyamine Chemical class 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- CPNGPNLZQNNVQM-UHFFFAOYSA-N pteridine Chemical compound N1=CN=CC2=NC=CN=C21 CPNGPNLZQNNVQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003217 pyrazoles Chemical class 0.000 description 1
- 150000003219 pyrazolines Chemical class 0.000 description 1
- PBMFSQRYOILNGV-UHFFFAOYSA-N pyridazine Chemical compound C1=CC=NN=C1 PBMFSQRYOILNGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- JWVCLYRUEFBMGU-UHFFFAOYSA-N quinazoline Chemical compound N1=CN=CC2=CC=CC=C21 JWVCLYRUEFBMGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004469 siloxy group Chemical group [SiH3]O* 0.000 description 1
- 125000003808 silyl group Chemical group [H][Si]([H])([H])[*] 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 125000000020 sulfo group Chemical group O=S(=O)([*])O[H] 0.000 description 1
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 150000003536 tetrazoles Chemical class 0.000 description 1
- 125000004149 thio group Chemical group *S* 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- 150000003577 thiophenes Chemical class 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 125000005259 triarylamine group Chemical class 0.000 description 1
- YWBFPKPWMSWWEA-UHFFFAOYSA-O triazolopyrimidine Chemical compound BrC1=CC=CC(C=2N=C3N=CN[N+]3=C(NCC=3C=CN=CC=3)C=2)=C1 YWBFPKPWMSWWEA-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 150000004961 triphenylmethanes Chemical class 0.000 description 1
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Description
ソース領域およびドレイン領域を含む半導体層と、
半導体層の前記ソース領域と前記ドレイン領域とで挟まれた領域上に位置し、光電変換層を含むゲート絶縁層と、
ゲート絶縁層上に位置するゲート電極と、
ソース領域およびドレイン領域のうちの一方に入力が電気的に接続された第1信号検出トランジスタを含む信号検出回路と、
ソース領域およびドレイン領域のうちの一方と第1信号検出トランジスタの入力との間に接続された第1転送トランジスタと、
第1信号検出トランジスタの入力に一端が電気的に接続された第1キャパシタと、
を備え、
信号検出回路は、ゲート電極を介した光電変換層への光の入射によって生じる、光電変換層の誘電率の変化に対応した電気信号を検出する、光検出装置。
ゲート絶縁層は、光電変換層と半導体層との間に位置する絶縁層を含む、項目1に記載の光検出装置。
透明ゲート電極と半導体層との間に位置する遮光膜を有する、項目1または2に記載の光検出装置。
光電変換層は、逆方向のバイアス電圧の増大に従って出力電流密度の絶対値が増大する第1電圧範囲と、順方向のバイアス電圧の増大に従って出力電流密度が増大する第2電圧範囲と、および、第1電圧範囲と第2電圧範囲との間であって、バイアス電圧に対する出力電流密度の変化率の絶対値が前記第1電圧範囲および前記第2電圧範囲よりも小さい第3電圧範囲と、を有する光電流特性を有する、項目1から3のいずれかに記載の光検出装置。
ソース領域およびドレイン領域のうちの他方の電位を基準としたときに第3電圧範囲内にあるゲート電圧をゲート電極に供給する電圧供給回路をさらに備え、
ソース領域およびドレイン領域のうちの一方は、ソース領域およびドレイン領域のうちの他方と、透明ゲート電極との間の電位差が第3電圧範囲内に維持された状態で、光電変換層の誘電率の変化に対応した電気信号を出力する、項目4に記載の光検出装置。
信号検出回路は、ソース領域およびドレイン領域のうちの一方に入力が電気的に接続された第2信号検出トランジスタを含み、
ソース領域およびドレイン領域のうちの一方と第2信号検出トランジスタの入力との間に接続された第2転送トランジスタと、
第2信号検出トランジスタの入力に一端が電気的に接続された第2キャパシタと、
をさらに備える、項目1から5のいずれかに記載の光検出装置。
ソース領域およびドレイン領域のうちの一方と第1キャパシタの一端との間に電気的に接続された第1電流増幅回路をさらに備える、項目1から6のいずれかに記載の光検出装置。
ソース領域およびドレイン領域のうちの一方と第1キャパシタの一端との間に電気的に接続された反転増幅器をさらに備える、項目1から7のいずれかに記載の光検出装置。
第1電極と、
第1電極に対向する第2電極と、
第1電極と第2電極との間に配置された光電変換層と、
ゲートが前記第1電極に電気的に接続された電界効果トランジスタと、
電界効果トランジスタのソースおよびドレインのうちの一方に入力が電気的に接続された第1信号検出トランジスタを含む信号検出回路と、
電界効果トランジスタのソースおよびドレインのうちの一方と第1信号検出トランジスタの入力との間に接続された第1転送トランジスタと、
第1信号検出トランジスタの入力に一端が電気的に接続された第1キャパシタと、
を備え、
信号検出回路は、第2電極を介した光電変換層への光の入射によって生じる、第1電極と第2電極との間の誘電率の変化に対応した電気信号を検出する、光検出装置。
光電変換層は、逆方向バイアス電圧の増大に従って出力電流密度の絶対値が増大する第1電圧範囲と、順方向バイアス電圧の増大に従って出力電流密度が増大する第2電圧範囲と、第1電圧範囲と第2電圧範囲との間であって、バイアス電圧に対する出力電流密度の変化率の絶対値が前記第1電圧範囲および前記第2電圧範囲よりも小さい第3電圧範囲と、を有する光電流特性を有する、項目9に記載の光検出装置。
第1電極と光電変換層との間、および、光電変換層と第2電極との間の少なくとも一方に配置された、少なくとも1つの絶縁層をさらに備える、項目10に記載の光検出装置。
ソースおよびドレインのうちの他方の電位を基準としたときに第1電圧範囲内にある電圧を第2電極に供給する電圧供給回路をさらに備え、
電界効果トランジスタのソースおよびドレインのうちの一方は、電界効果トランジスタのソースおよびドレインのうちの他方と、第2電極との間の電位差が第1電圧範囲内に維持された状態で、第1電極と第2電極との間の誘電率の変化に対応した電気信号を出力する、項目11に記載の光検出装置。
ソースおよびドレインのうちの他方の電位を基準としたときに第3電圧範囲内にある電圧を第2電極に供給する電圧供給回路をさらに備え、
電界効果トランジスタのソースおよびドレインのうちの一方は、電界効果トランジスタのソースおよびドレインのうちの他方と、第2電極との間の電位差が第3電圧範囲内に維持された状態で、第1電極と第2電極との間の誘電率の変化に対応した電気信号を出力する、項目10または11に記載の光検出装置。
第1電極は、遮光性電極である、項目9から13のいずれかに記載の光検出装置。
電界効果トランジスタのゲートと第1電極とを接続する接続部をさらに備える、項目9から14のいずれかに記載の光検出装置。
信号検出回路は、ソースおよびドレインのうちの一方に入力が電気的に接続された第2信号検出トランジスタを含み、
ソースおよびドレインのうちの一方と第2信号検出トランジスタの入力との間に接続された第2転送トランジスタと、
第2信号検出トランジスタの入力に一端が電気的に接続された第2キャパシタと、
をさらに備える、項目9から15のいずれかに記載の光検出装置。
ソースおよびドレインのうちの一方と第1キャパシタの一端との間に電気的に接続された第1電流増幅回路をさらに備える、項目9から16のいずれかに記載の光検出装置。
ソースおよびドレインのうちの一方と第1キャパシタの一端との間に電気的に接続された反転増幅器をさらに備える、項目9から17のいずれかに記載の光検出装置。
図1は、本開示の第1の実施形態に係る例示的な光検出装置の断面を模式的に示す。図1に示す光検出装置1000は、各々が光センサ100Aを有する複数の単位画素セル10Aを含む。複数の単位画素セル10Aは、例えばマトリクス状に配列されることにより、光センサアレイを形成する。図1は、複数の単位画素セル10Aのうち、光センサアレイの行方向に沿って配置された3つの単位画素セル10Aの断面を模式的に示している。なお、図1は、光検出装置1000を構成する各部の配置をあくまでも模式的に示しており、図1に示す各部の寸法は、必ずしも現実のデバイスにおける寸法を厳密に反映しない。このことは、本開示の他の図面においても同様である。また、以下では、図面が過度に複雑となることを避けるために、一部の要素の図示を省略することがある。
図2は、光検出装置1000の例示的な回路構成を示す。上述したように、光センサ100Aは、電界効果トランジスタに似たデバイス構造を有している。そのため、ここでは、トランジスタと同様の回路記号を用いて便宜的に光センサ100Aを表現する。
次に、光電変換層23pの構成の典型例を詳細に説明する。
図5は、光電変換層23pにおける光電流特性の典型例を示す。図5中、太い実線のグラフは、光が照射された状態における、光電変換層の例示的な電流−電圧特性(I−V特性)を示している。なお、図5には、光が照射されていない状態におけるI−V特性の一例も、太い破線によってあわせて示されている。
赤外領域に吸収を有する光電変換材料は、バンドギャップが狭い。また、暗電流の原因となる、熱励起に起因する電流における活性化エネルギーは、バンドギャップに比例する。そのため、容量変調トランジスタのゲート絶縁層の材料として、赤外領域に吸収を有する光電変換材料を用いると、ゲートリークが発生し、十分なS/N比を確保できない可能性がある。なお、0.1Vのバイアス電圧のもとでの有機光電変換層単体におけるリーク電流の大きさは、例えば1×10-8A/cm2程度である(「×」は乗算を表す)。
図1および図2を参照して説明した構成では、アドレストランジスタ30のオン時、不純物領域20sの電圧(容量変調トランジスタのソース電圧といってもよい)は、光センサ100Aに対する照度の変化に従って時々刻々変化する。換言すれば、垂直信号線46を介して読み出される信号レベルは、読み出し時における、光センサ100Aに対する照度に応じたレベルである。すなわち、照度に関する情報がリアルタイムで取得される。
本開示の光検出装置1000における光センサのデバイス構造は、図1を参照して説明した構成に限定されない。図13は、本開示の第2の実施形態に係る光検出装置の断面を模式的に示す。第2の実施形態において、光検出装置1000は、各々が光センサ100Bを有する複数の単位画素セル10Bを含む。図13では、図面が複雑となることを避けるため、複数の単位画素セル10Bのうちの1つを示しており、上述の信号検出回路76などの図示が省略されている。
図19は、本開示の第3の実施形態に係る光検出装置の断面を模式的に示す。図19に示す単位画素セル10C中の光センサ100Cと、図13を参照して説明した、第2の実施形態の光センサ100Bとの間の相違点は、光センサ100Cの光電変換部が、光電変換層23pと電極(画素電極21および/または透明電極22)との間に配置された絶縁層を含む点である。図19に例示する構成では、画素電極21と光電変換層23pとの間、および、光電変換層23pと透明電極22との間に、それぞれ、絶縁層29aおよび29bが配置されている。
図21は、本開示の第4の実施形態に係るカメラシステムの構成例を模式的に示す。図21に示すカメラシステム300は、レンズ光学系310と、上述の光検出装置1000と、システムコントローラ330と、カメラ信号処理部320とを有する。
11A、13A、13Ac、15A、17A、19A 単位画素セル
11B、13B、15B、17B、19B 単位画素セル
12 電圧供給回路
14 垂直走査回路
20 半導体基板
20d、20s、30s 不純物領域
20t 素子分離領域
21 画素電極
22 透明電極
22g 透明ゲート電極
23、33 ゲート絶縁層
23p 光電変換層
24、34 ゲート電極
23x、29a、29b 絶縁層
26 赤外線透過フィルタ
30、30a、30b アドレストランジスタ
40 多層配線
42 電源配線
44、44a、44b アドレス信号線
45、45a、45b 転送制御線
46、46a、46b 垂直信号線
47 リセット制御線
48 ゲート電圧制御線
49 定電流源
50 層間絶縁層
54 接続部
60 容量変調トランジスタ
70、70a、70b 転送トランジスタ
72、72a、72b キャパシタ
75、75a、75b 信号検出トランジスタ
76 信号検出回路
78 リセットトランジスタ
80 電流増幅回路
92 反転増幅器
94 電源
96 フィードバックトランジスタ
100A〜100C 光センサ
230A 光電変換構造
230h 混合層
230p p型半導体層
230n n型半導体層
234 電子ブロッキング層
236 正孔ブロッキング層
300 カメラシステム
310 レンズ光学系
320 カメラ信号処理部
330 システムコントローラ
1000 光検出装置
Claims (9)
- ソース領域およびドレイン領域を含む半導体層と、
前記半導体層の前記ソース領域と前記ドレイン領域とで挟まれた領域上に位置し、光電変換層を含むゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層上に位置するゲート電極と、
前記ソース領域および前記ドレイン領域のうちの一方に電気的に接続されたゲートを有する第1信号検出トランジスタと、
前記ソース領域および前記ドレイン領域のうちの前記一方と前記第1信号検出トランジスタの前記ゲートとの間に接続された第1転送トランジスタと、
前記第1信号検出トランジスタの前記ゲートに一端が電気的に接続された第1キャパシタと、
前記第1転送トランジスタと前記第1キャパシタとの間にドレインおよびソースの一方が接続されたリセットトランジスタと、を備える、光検出装置。 - 前記ゲート絶縁層は、前記光電変換層と前記半導体層との間に位置する絶縁層を含む、請求項1に記載の光検出装置。
- 前記ゲート電極と前記半導体層との間に位置する遮光膜を有する、
請求項1または2に記載の光検出装置。 - 前記光電変換層は、逆方向のバイアス電圧の増大に従って出力電流密度の絶対値が増大する第1電圧範囲と、順方向のバイアス電圧の増大に従って出力電流密度が増大する第2電圧範囲と、前記第1電圧範囲と前記第2電圧範囲との間であって、バイアス電圧に対する出力電流密度の変化率の絶対値が前記第1電圧範囲および前記第2電圧範囲よりも小さい第3電圧範囲と、を有する光電流特性を有する、請求項1から3のいずれか1項に記載の光検出装置。
- 前記ソース領域および前記ドレイン領域のうちの他方の電位を基準としたときに前記第3電圧範囲内にあるゲート電圧を前記ゲート電極に供給する電圧供給回路をさらに備え、
前記ソース領域および前記ドレイン領域のうちの前記一方は、前記ソース領域および前記ドレイン領域のうちの前記他方と、前記ゲート電極との間の電位差が前記第3電圧範囲内に維持された状態で、前記光電変換層へ入射した光量に対応した電気信号を出力する、請求項4に記載の光検出装置。 - 前記ソース領域および前記ドレイン領域のうちの前記一方に電気的に接続されたゲートを有する第2信号検出トランジスタと、
前記ソース領域および前記ドレイン領域のうちの前記一方と前記第2信号検出トランジスタの前記ゲートとの間に接続された第2転送トランジスタと、
前記第2信号検出トランジスタの前記ゲートに一端が電気的に接続された第2キャパシタと、をさらに備える、請求項1から5のいずれか1項に記載の光検出装置。 - 前記ソース領域および前記ドレイン領域のうちの前記一方と前記第1キャパシタの前記一端との間に電気的に接続された第1電流増幅回路をさらに備える、請求項1から6のいずれか1項に記載の光検出装置。
- 前記ソース領域および前記ドレイン領域のうちの前記一方と前記第1キャパシタの前記一端との間に電気的に接続された反転増幅器をさらに備える、請求項1から7のいずれか1項に記載の光検出装置。
- 前記ソース領域および前記ドレイン領域のうちの他方と、前記ゲート電極との間に電圧を印加する電圧供給回路をさらに備える、
請求項1から4のいずれか1項に記載の光検出装置。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015222063 | 2015-11-12 | ||
JP2015222063 | 2015-11-12 | ||
JP2016108610 | 2016-05-31 | ||
JP2016108610 | 2016-05-31 | ||
JP2017519025A JP6176583B1 (ja) | 2015-11-12 | 2016-10-27 | 光検出装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017519025A Division JP6176583B1 (ja) | 2015-11-12 | 2016-10-27 | 光検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017216459A JP2017216459A (ja) | 2017-12-07 |
JP6975935B2 true JP6975935B2 (ja) | 2021-12-01 |
Family
ID=58694986
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017519025A Active JP6176583B1 (ja) | 2015-11-12 | 2016-10-27 | 光検出装置 |
JP2017129191A Active JP6975935B2 (ja) | 2015-11-12 | 2017-06-30 | 光検出装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017519025A Active JP6176583B1 (ja) | 2015-11-12 | 2016-10-27 | 光検出装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10317287B2 (ja) |
JP (2) | JP6176583B1 (ja) |
CN (1) | CN107004691B (ja) |
WO (1) | WO2017081847A1 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3386189B1 (en) * | 2015-12-03 | 2021-03-24 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Image-capture device |
JP6646824B2 (ja) | 2016-01-22 | 2020-02-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 撮像装置 |
JP2017175108A (ja) * | 2016-03-17 | 2017-09-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 光センサおよび撮像装置 |
JP2018082295A (ja) * | 2016-11-16 | 2018-05-24 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及び撮像システム |
JP6920652B2 (ja) | 2017-02-03 | 2021-08-18 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 撮像装置 |
KR20220149639A (ko) * | 2017-10-30 | 2022-11-08 | 소니 세미컨덕터 솔루션즈 가부시키가이샤 | 고체 촬상 소자 |
CN110945865B (zh) * | 2017-12-28 | 2023-06-13 | 松下知识产权经营株式会社 | 摄像装置 |
JP7063651B2 (ja) * | 2018-02-19 | 2022-05-09 | エイブリック株式会社 | 信号検出回路及び信号検出方法 |
KR102590315B1 (ko) | 2018-05-28 | 2023-10-16 | 삼성전자주식회사 | 유기 광전 소자 및 이를 포함하는 적층형 이미지 센서 |
CN111971800A (zh) | 2018-06-14 | 2020-11-20 | 松下知识产权经营株式会社 | 具备控制电极、透明电极和将上述控制电极与上述透明电极的侧面电连接的连接层的图像传感器 |
JP7084803B2 (ja) * | 2018-07-06 | 2022-06-15 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 測距センサ及びタイムオブフライトセンサ |
CN111954938A (zh) | 2018-10-17 | 2020-11-17 | 松下知识产权经营株式会社 | 光电变换元件及图像传感器 |
US11158819B2 (en) | 2018-12-27 | 2021-10-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | P-type organic semiconductor, composition, photoelectric conversion film, photoelectric conversion device, and image sensor |
WO2021140753A1 (ja) * | 2020-01-07 | 2021-07-15 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 受光素子および受光装置 |
US11496697B2 (en) * | 2020-02-28 | 2022-11-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | LWIR sensor with capacitive microbolometer and hybrid visible/LWIR sensor |
US20230261013A1 (en) * | 2020-04-16 | 2023-08-17 | Egis Technology Inc. | Photoelectric sensor |
US20230299113A1 (en) * | 2020-08-19 | 2023-09-21 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Solid-state imaging device and electronic device |
TWI830307B (zh) * | 2022-07-27 | 2024-01-21 | 茂達電子股份有限公司 | 具有減少控制複雜度機制的光感測器 |
Family Cites Families (62)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2415425B2 (de) * | 1974-03-29 | 1977-11-03 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Anordnung zur ein- und umspeicherung verschiedener einspeicherbarer zustaende |
JPS5850030B2 (ja) * | 1979-03-08 | 1983-11-08 | 日本放送協会 | 光電変換装置およびそれを用いた固体撮像板 |
FR2555000B1 (fr) | 1983-11-15 | 1986-01-17 | Thomson Csf | Dispositif photosensible pour l'infrarouge |
US4698657A (en) | 1984-02-10 | 1987-10-06 | Sharp Kabushiki Kaisha | FET type sensor and a method for driving the same |
JPS60194345A (ja) | 1984-03-14 | 1985-10-02 | Sharp Corp | 電界効果型センサの駆動方法 |
JPH01277746A (ja) | 1988-04-30 | 1989-11-08 | Toshiba Corp | 半導体センサ |
JPH02137267A (ja) | 1988-11-17 | 1990-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 焦電型赤外線固体撮像装置及びその駆動方法 |
US6127692A (en) * | 1989-08-04 | 2000-10-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion apparatus |
GB2236016A (en) * | 1989-09-13 | 1991-03-20 | Philips Electronic Associated | Pyroelectric and other infrared detection devices with thin films |
US5182624A (en) | 1990-08-08 | 1993-01-26 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Solid state electromagnetic radiation detector fet array |
JP2624410B2 (ja) * | 1991-10-04 | 1997-06-25 | 日本電信電話株式会社 | 赤外光検出素子および赤外光検出器 |
JPH07254691A (ja) * | 1994-03-15 | 1995-10-03 | Olympus Optical Co Ltd | 固体撮像装置の製造方法 |
US5591963A (en) | 1994-08-22 | 1997-01-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion device with dual insulating layer |
JP2921821B2 (ja) * | 1994-08-22 | 1999-07-19 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置 |
US6410899B1 (en) * | 1998-06-17 | 2002-06-25 | Foveon, Inc. | Active pixel sensor with bootstrap amplification and reduced leakage during readout |
KR100382817B1 (ko) * | 1999-01-20 | 2003-05-09 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 생체감지패턴 및 이를 이용한 박막트랜지스터형 광센서 |
US7173275B2 (en) * | 2001-05-21 | 2007-02-06 | Regents Of The University Of Colorado | Thin-film transistors based on tunneling structures and applications |
JP2003294527A (ja) * | 2002-04-04 | 2003-10-15 | Isao Tatsuno | フィルム状の光センサーとそれを用いた光センサー回路 |
JP2004096079A (ja) * | 2002-07-11 | 2004-03-25 | Sharp Corp | 光電変換装置、画像読取装置および光電変換装置の製造方法 |
JP4250398B2 (ja) * | 2002-10-10 | 2009-04-08 | 日本放送協会 | 単板型撮像素子およびこれを用いた撮像装置 |
KR100745596B1 (ko) * | 2004-11-29 | 2007-08-02 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 그 제조방법 |
US7551059B2 (en) * | 2005-01-06 | 2009-06-23 | Goodrich Corporation | Hybrid infrared detector array and CMOS readout integrated circuit with improved dynamic range |
US7616231B2 (en) * | 2005-01-06 | 2009-11-10 | Goodrich Corporation | CMOS active pixel sensor with improved dynamic range and method of operation for object motion detection |
JP2006261638A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-09-28 | Sony Corp | 固体撮像装置および固体撮像装置の駆動方法 |
US7547886B2 (en) * | 2005-07-07 | 2009-06-16 | The Regents Of The University Of California | Infrared sensor systems and devices |
JP4236271B2 (ja) * | 2006-01-17 | 2009-03-11 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置 |
US8299510B2 (en) * | 2007-02-02 | 2012-10-30 | Rohm Co., Ltd. | Solid state imaging device and fabrication method for the same |
JP4978224B2 (ja) * | 2007-02-08 | 2012-07-18 | カシオ計算機株式会社 | 光電変換装置及びそれを備えた表示パネル |
EP1970959A3 (en) * | 2007-03-12 | 2013-07-31 | FUJIFILM Corporation | Photoelectric conversion element and solid-state imaging device |
JP5108339B2 (ja) | 2007-03-12 | 2012-12-26 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子 |
TWI479887B (zh) * | 2007-05-24 | 2015-04-01 | Sony Corp | 背向照明固態成像裝置及照相機 |
JP2009259872A (ja) * | 2008-04-11 | 2009-11-05 | Rohm Co Ltd | 光電変換装置およびその製造方法、および固体撮像装置 |
JP4947006B2 (ja) * | 2008-08-05 | 2012-06-06 | ソニー株式会社 | 光電変換装置及び光電変換素子 |
TWI585955B (zh) * | 2008-11-28 | 2017-06-01 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 光感測器及顯示裝置 |
US20100224880A1 (en) * | 2009-03-05 | 2010-09-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP5382711B2 (ja) * | 2009-09-07 | 2014-01-08 | 国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 | 光照射によって誘電率が変化する膜を用いた電子デバイス |
KR101608903B1 (ko) * | 2009-11-16 | 2016-04-20 | 삼성전자주식회사 | 적외선 이미지 센서 |
US8193497B2 (en) * | 2010-02-12 | 2012-06-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Near-infrared photodetectors, image sensors employing the same, and methods of manufacturing the same |
WO2011124481A2 (en) * | 2010-04-07 | 2011-10-13 | International Business Machines Corporation | Photo detector and integrated circuit |
JP5569134B2 (ja) * | 2010-05-10 | 2014-08-13 | セイコーエプソン株式会社 | 熱型光検出装置および電子機器 |
WO2012004923A1 (ja) * | 2010-07-09 | 2012-01-12 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置および固体撮像装置の駆動方法 |
JP4921581B2 (ja) * | 2010-10-22 | 2012-04-25 | キヤノン株式会社 | 撮像装置、放射線撮像装置及びそれを用いた放射線撮像システム |
JP2012124318A (ja) * | 2010-12-08 | 2012-06-28 | Sony Corp | 固体撮像素子の製造方法、固体撮像素子、および電子機器 |
JPWO2012117670A1 (ja) * | 2011-03-01 | 2014-07-07 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置 |
JP5814626B2 (ja) * | 2011-05-27 | 2015-11-17 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置及び光電変換装置の製造方法 |
US8569806B2 (en) * | 2011-09-02 | 2013-10-29 | Hoon Kim | Unit pixel of image sensor and photo detector thereof |
CN103258829A (zh) * | 2012-02-16 | 2013-08-21 | 索尼公司 | 固态成像装置、图像传感器及其制造方法以及电子设备 |
JP6021439B2 (ja) * | 2012-05-25 | 2016-11-09 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
KR101989907B1 (ko) * | 2012-05-31 | 2019-06-17 | 삼성전자주식회사 | 유기 이미지 센서 및 그 제조방법 |
DE102013217278B4 (de) * | 2012-09-12 | 2017-03-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Photodetektorschaltung, Bildgebungsvorrichtung und Verfahren zum Ansteuern einer Photodetektorschaltung |
JP2014078869A (ja) * | 2012-10-11 | 2014-05-01 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子および撮像装置並びに固体撮像素子の駆動制御方法 |
US9177987B2 (en) * | 2012-10-12 | 2015-11-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Binary CMOS image sensors, methods of operating same, and image processing systems including same |
US9105658B2 (en) * | 2013-01-30 | 2015-08-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for processing oxide semiconductor layer |
KR102136845B1 (ko) * | 2013-09-16 | 2020-07-23 | 삼성전자 주식회사 | 적층형 이미지 센서 및 그 제조방법 |
JP6172522B2 (ja) | 2013-12-04 | 2017-08-02 | ソニー株式会社 | 赤外線検出素子およびその検出方法、並びに電子機器 |
TW202243228A (zh) * | 2014-06-27 | 2022-11-01 | 日商半導體能源研究所股份有限公司 | 攝像裝置及電子裝置 |
JP2016021445A (ja) * | 2014-07-11 | 2016-02-04 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、および、撮像システム |
JP6351423B2 (ja) * | 2014-07-31 | 2018-07-04 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及び撮像システム |
JP6425448B2 (ja) * | 2014-07-31 | 2018-11-21 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、および、撮像システム |
JP2016111677A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-06-20 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、無線センサ、及び電子機器 |
JP6587497B2 (ja) * | 2014-10-31 | 2019-10-09 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US10396210B2 (en) * | 2014-12-26 | 2019-08-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device with stacked metal oxide and oxide semiconductor layers and display device including the semiconductor device |
-
2016
- 2016-10-27 CN CN201680003705.6A patent/CN107004691B/zh active Active
- 2016-10-27 JP JP2017519025A patent/JP6176583B1/ja active Active
- 2016-10-27 WO PCT/JP2016/004726 patent/WO2017081847A1/ja active Application Filing
-
2017
- 2017-06-30 JP JP2017129191A patent/JP6975935B2/ja active Active
- 2017-07-28 US US15/662,654 patent/US10317287B2/en active Active
-
2019
- 2019-04-22 US US16/391,160 patent/US10866142B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2017081847A1 (ja) | 2017-11-09 |
WO2017081847A1 (ja) | 2017-05-18 |
US10866142B2 (en) | 2020-12-15 |
CN107004691B (zh) | 2022-02-11 |
US20190250042A1 (en) | 2019-08-15 |
US20170328776A1 (en) | 2017-11-16 |
US10317287B2 (en) | 2019-06-11 |
JP2017216459A (ja) | 2017-12-07 |
JP6176583B1 (ja) | 2017-08-09 |
CN107004691A (zh) | 2017-08-01 |
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