JP4250398B2 - 単板型撮像素子およびこれを用いた撮像装置 - Google Patents

単板型撮像素子およびこれを用いた撮像装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、物体の像情報を担持した入射光を受光し、該像情報に応じた画像信号を生成する単板型撮像素子およびこれを備えた撮像装置に関するもので、特に、色分離光学系を用いることなくカラー画像を撮像し得る単板型撮像素子およびこれを有する撮像装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
テレビカメラ等の撮像装置に利用される光導電膜の材料として、Siやa−Se(非晶質セレン)等がよく知られている。これらの材料を光導電膜として用いた撮像装置としては、入射光を赤・緑・青の3原色光等に分解する色分解プリズムおよびこのプリズムの後段に配置された各色光を受光する3枚の光導電膜(撮像素子)を備えた3板式のものが一般的である。
【0003】
ところで、このような3板式の撮像装置は、一般に、上述したような色分解プリズムや3枚の撮像素子が搭載されているためサイズが大型化し、重量も大きなものとなってしまうという問題がある。したがって、撮像装置の小型軽量化を実現するためには色分解プリズムを省略することおよび撮像素子を1枚とした単板式のものとすることが望まれる。
【0004】
このような要望に応じた撮像装置として、光導電膜平面内の各画素上に赤・緑・青の色フィルタをベイヤー配列で配設することにより色画素を形成したものが知られている(例えば、非特許文献1参照)。
【0005】
【非特許文献1】
木内雄二著、『イメージセンサの基礎と応用』、p145
【特許文献1】
米国特許番号5,965,875
【特許文献2】
特開2002−217474号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来技術においては、赤・緑・青のいずれか1色を1画素に割り当てて色画素を形成しているために解像度が低下してしまい、さらに、各画素において、入射光のうち、そのフィルタの色成分以外の色成分はその色フィルタを通過する際に吸収されてしまうため、光の利用効率も低下してしまう。
【0007】
上述した、ベイヤー配列を用いた従来技術で問題となる解像度や光の利用効率の低下は、光の入射方向に、不純物濃度が制御された3層のフォトダイオードを積層してなる光電変換部を設けること(例えば、上記特許文献1参照。)、あるいは、やはり光の入射方向に波長選択機能を有する光導電膜を積層すること(例えば、上記特許文献2参照。)により改善できることが知られている。
【0008】
しかしながら、前者は、不可避的に信号読出部が受光面と同一平面状に形成されるため、入射光に対する開口率を100%とすることに本質的な困難性があり、受光率を高くすることが困難である。
【0009】
一方、後者は、光の3原色である赤・緑・青のみに各々光感度を有する光導電膜を積層作製することで、光の利用効率および解像度に優れた単板式の多層型撮像装置を構築するものである。ここで、上記光導電膜としては、例えば、有機系材料を用いる。有機系材料は特定の波長域のみに吸収帯を有するものが多く、赤・縁・青の3原色のそれぞれに応じた吸収領域を有するような組成となるように分子設計を行なうことで、上記各色光に光感度を有する光導電膜を形成する。しかし、このような光導電膜を積層する構成では各層(膜)間に電気信号読出用の透明電極を配設する必要があるため構造が煩雑になることに加え、開口率を低下させることなく各層からの信号を読み出すことが困難である。
【0010】
本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、小型軽量で、入射光に対する開口率の損失がなく、かつ簡易な構造を有する単板型撮像素子およびこれを用いた撮像装置を提供することを目的とするものである。
また、上記目的に加えて、カラー画像信号を良好に得ることのできる単板型撮像素子およびこれを用いた撮像装置を提供することを目的とするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の単板型撮像素子およびこれを用いた撮像装置は、以下のような構成を備えている。
【0012】
すなわち、本発明の単板型撮像素子は、入射光が担持した像情報を光電変換して画像電気信号を出力する撮像素子であって、
撮像面を形成する感光膜を、受光量に応じて電気容量が変化する材料によって構成し、この感光膜の電気容量の変化に応じた画像電気信号を出力するように構成し、
前記画像電気信号はカラー画像信号であり、
前記感光膜は、赤色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する赤色光感光材料と、緑色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する緑色光感光材料と、青色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する青色光感光材料を含んでなり、
前記赤色光感光材料、前記緑色光感光材料、および前記青色光感光材料は、交流電界を印加したときの周波数応答特性が互いに異なるように構成されていることを特徴とするものである。
【0014】
また、前記赤色光感光材料、前記緑色光感光材料、および前記青色光感光材料は各々、交流電界を印加させるための2つの電極間において、順次積層される材料層を構成するようにして積層型構造をとるようにしてもよいし、
前記赤色光感光材料、前記緑色光感光材料、および前記青色光感光材料は各々、交流電界を印加させるための2つの電極間に配される単層内において略均一に分布するように形成して単層型構造をとるようにしてもよい。
【0015】
また、本発明の撮像装置は、上述したいずれかの単板型撮像素子と、該単板型撮像素子に対し交流電界を周波数走査可能に印加する交流電界印加回路と、該単板型撮像素子から出力された電気容量値を測定し、この測定値に基づき赤、緑および青の各色強度に対応した前記画像電気信号を出力する電気容量測定回路とを備えていることを特徴とするものである。
【0016】
なお、ここで「周波数走査」とは、周波数を連続的に変化させる場合のみならず、複数の周波数値を切り換えて変化させる場合も含まれる。
【0017】
【実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係る単板型撮像素子およびこれを用いた撮像装置について説明する。
【0018】
本発明の単板型撮像素子は、所定の材料により受光面を形成すると、光照射時において、その受光量に応じて該受光面の電気容量が増加するため、この電気容量の変化を測定することでその受光量を検出できる、という事実に着目してなされたもので、以下その理論を説明する(第1の実施形態)。
【0019】
すなわち、光照射により時間とともに変化する電場が受光面に与えられ電子分極(誘電分散)が生じると、受光面の感光膜を形成している材料の誘電率εが変化し、これにより膜の電気容量が変化することになる。ここで、膜の表面積をs、膜厚をdとすれば、膜の電気容量Cと膜形成材料の誘電率εの関係は、下式(1)により表される。
C=εs/d …(1)
【0020】
したがって、光照射による膜形成材料の誘電率εの変化に比例して、膜の電気容量Cが変化することになる。
【0021】
光が照射されない場合(光未照射時)における膜の電気容量C(C)は予め測定しておいて既知の一定値とすることができるから、光照射時における膜の電気容量Cを検出し、この電気容量Cと光未照射時における膜の電気容量Cとの差であるΔCを演算することにより受光量を求めることができる。
【0022】
そこで、撮像装置を、図2に示すように、受光面1の電気容量を測定する電気容量測定回路3を有するように構成し、この電気容量測定回路3からの電気容量値信号を出力信号として出力することにより所望の画像信号を得ることができる。
【0023】
なお、上記受光面1に所定の交流電界を印加すると、印加された交流電界周波数が高くなるにしたがって、光照射時および光未照射時の電気容量が共に低下することとなるから、この受光面1に所定の交流電界を印加することで所望の電気容量変化を得ることができる。図1は、上記受光面1に交流電界が印加されたときの、光照射時および光未照射時における電気容量の交流電界周波数特性の概略を示すグラフ(横軸は印加された交流電界周波数)である。
【0024】
また、本発明は、撮像素子をカラー用の単板型撮像素子として用いた場合に、色分解プリズムや色フィルタ等が不要になるという作用効果を奏するので、特に有用である。以下、その具体的な理論を説明する(第2の実施形態)。
【0025】
すなわち、撮像素子の受光面に対し、外部から交流電界を印加すると、交流電界周波数が低い領域においては膜中の電子は電界の変化に追従して移動できるため、電界印加によっても膜全体の容量に変化は起きないが、その交流電界周波数が高い領域となると膜中の電子の移動が電界の変化に追従できなくなってしまい、膜の容量全体が減少することになる。
【0026】
図3は、撮像素子の受光面を複数の材料によって構成し、この受光面に交流電界を印加したときの、光照射時および光未照射時における電気容量の交流電界周波数特性の概略を示すグラフである。
【0027】
ここで、上記受光面を構成する複数の材料として、膜の電気容量が減少する周波数が互いに異なり、かつ赤色光にのみ感度を有する材料(赤色用材料)、緑色光にのみ感度を有する材料(緑色用材料)、および青色光にのみ感度を有する材料(青色用材料)を用いるものとする。
【0028】
図3に示すように、領域1(低周波領域)においては、上記全ての材料(3種類の材料)の電気容量が周波数に追従できるため、測定される電気容量値は全ての材料の電気容量の和となる。次に、印加電界の周波数を高くして領域2(中周波数領域)に設定すると、3種類の材料のうちの1種類の材料の電気容量が印加電界周波数に追従できなくなり、膜全体の電気容量は低下し始め、ついには2種類の材料の電気容量の和に相当する電気容量値が測定されることになる。さらに周波数を高くして領域3(高周波数領域)に設定すると、残りの2種類の材料のうちの1種類の材料の電気容量が周波数に追従できなくなり、膜全体の電気容量は低下し始め、ついには残りの1種類の材料の電気容量に相当する電気容量値が測定されることになる。光が照射されない場合(光未照射時)における膜の電気容量値Cは既知の所定の値とすることができるので、各周波数領域(領域1〜3)について、光照射時における膜の電気容量値Cと光未照射時における膜の電気容量値Cとの差であるΔCを測定することにより、光の3原色各々についての受光量を求めることができることになる。
【0029】
そこで、カラー用の撮像装置としては、膜の電気容量が減少する周波数が互いに異なり、かつ赤色光にのみ感度を有する材料、緑色光にのみ感度を有する材料、および青色光にのみ感度を有する材料を感光材料として受光面に用い、図4に示すように、この受光面21に対して交流電界を周波数走査可能に印加する交流電界印加回路22、受光面21の電気容量を測定する電気容量測定回路23、および電気容量の変化分を赤色、緑色、青色の各成分に分離する色成分分離回路24で構成し、この電気容量測定回路23から電気容量値信号を出力信号として出力することにより所望の画像信号を得ることができる。
【0030】
次に、撮像素子の受光面部分の構造について説明する。図5は積層型感光膜の模式図を示すものであり、表面電極7および背面電極11の間に、各色光用感光材料が積層形成されている。
【0031】
上記表面電極7は光入射側であることから、透明性を高く形成されたものであり、例えばインジウムスズ酸化物(ITO)、インジウム酸化物、酸化スズ等により形成される。
【0032】
また、上記背面電極11に関しては上記透明電極の他、例えば、アルミニウム、バナジウム、金、銀、白金、鉄、コバルト、炭素、ニッケル、タングステン、パラジウム、マグネシウム、カルシウム、スズ、鉛、チタン、イットリウム、リチウム、ルテニウム、マンガン等の金属およびそれらの合金を用いることができる。
【0033】
これらの電極7、11の膜厚としては、例えば100〜200nm程度とされ、光透過性を高めたい場合には、例えば50〜100nmとする。
【0034】
さらに、感光材料は、赤色光のみに感度を有する感光材料からなる材料層8、緑色光のみに感度を有する感光材料からなる材料層9、および青色光のみに感度を有する感光材料からなる材料層10を積層形成したものである。ただし、各材料層8、9、10の積層順はいかようにも変更可能である。
【0035】
特に材料層8、9、10の形成材料を有機材料とした場合は、光の3原色のうち、一つの色光(該色光に略対応する波長帯域)のみに感度を有するものであればいずれも使用できる。例えば、アクリジン系色素、クマリン系色素、シアニン系色素、スクエアリリウム、オキサジン系色素、キサンテン系色素、アゾ系色素、フタロシアニン類、ペリレン誘導体、アルミニウムキノリン類等が用いられる。
【0036】
また、上記材料層8、9、10の形成材料として、フォトリフラクティブ材料を用いると、光照射により材料の屈折率が変化することから誘電率も大きく変化するのでより好ましい。
【0037】
無機系のフォトリフラクティブ材料としては、例えば、LiNbO、BaTiO、BGO、BSO(Bi12SiO20)、KTN(K(TaNb)O)、KNSBN(カリウム・ナトリウム・ストロンチウム・バリウム・ニオベート)、SBN((SrBa)Nb)、GaAs、InP、CdTe等が用いられる。
【0038】
また、フォトリフラクティブ材料は光導電性と電気光学効果の共存する材料とする必要があり、有機系のフォトリフラクティブ材料の場合には、通常は個々の特性を有する材料(光導電性材料および電気光学効果を有する材料)を混合して用いる。なお、光導電性材料としては、例えばポリパラフェニレンビニレン類、ポリフルオレン類、ポリビニルカルバゾール類、ポリチオール類、ポリチオフェン類、ポリシラン類、ポリゲルマン類やフラーレン等の増感剤を付加した液晶系高分子一般材料等が用いられ、電気光学効果を有する材料としては、例えばアゾベンゼン系色素等が用いられる。
【0039】
図6は、上述した積層型感光膜に替えて単層型感光膜の構成とされた撮像素子の受光面部分の模式図を示すものであり、表面電極27および背面電極31の間に感光材料からなる材料層32が形成されている。
【0040】
感光材料からなる材料層32は単層構成とされ、赤色光のみに感度を有する材料部位13、緑色光のみに感度を有する材料部位14および青色光のみに感度を有する材料部位15を、例えば分子レベルで、略均一に分布させることにより構成したものである。
【0041】
なお、各感光材料の態様としては、上述した積層型感光膜の場合と同様であり、各材料部位13、14、15の大きさは、例えば数nm(1分子の大きさに相当する)程度とされる。
また、このように単層型感光膜の構成とされた撮像素子においても、上記積層型感光膜の構成とされた撮像素子と略同様の作用効果を得ることができる。
【0042】
また、上記感光材料からなる材料層8、9、10、32の成膜は、真空蒸着法(共蒸着法)、スパッタ法、イオンプレーティング法等に代表される乾式法、あるいはスピンコート法、バーコート法、キャスト法、ディップ法等に代表される湿式法を用いることができる。
【0043】
さらに、上記感光材料からなる材料層8、9、10、32の膜厚は、電圧が過大とならない程度であって、電極間の短絡を起こさず、膜強度を確保できる程度に設定されるべきであり、例えば50nm〜5μm、好ましくは100nm〜1μmとする。
【0044】
以下、電気容量の交流電界周波数応答の測定に基づき、各色光(赤色光、緑色光、青色光)の受光量を得る演算手法について説明する。
なお、この演算は、上述した電気容量測定回路23において行なわれる。
【0045】
ここで、光の3原色のうち赤色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する第1の材料について、光未照射時における電気容量の周波数応答をC1d(f)、光照射時における電気容量の周波数応答をC1p(f)、電気容量変化の周波数応答をΔC(f)とし、また、光の3原色のうち緑色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する第2の材料について、光未照射時における電気容量の周波数応答をC2d(f)、光照射時における電気容量の周波数応答をC2p(f)、電気容量変化の周波数応答をΔC(f)とし、さらに、光の3原色のうち青色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する第3の材料について、光未照射時における電気容量の周波数応答をC3d(f)、光照射時における電気容量の周波数応答をC3p(f)、電気容量変化の周波数応答をΔC(f)とする。
【0046】
これら第1、第2、第3の3つの材料を等量混合して形成した単層分散膜全体の光未照射時における電気容量の周波数応答C(f)は、
(f)=C1d(f)+C2d(f)+C3d(f)…(2)
と表わされる。
【0047】
一方、光照射時における電気容量の周波数応答C(f)は、
(f)=C1p(f)+C2p(f)+C3p(f)…(3)
と表わされる。
【0048】
また、第1〜3の材料の各電気容量が追従できる限界の周波数を各々fT1、fT2、fT3としたとき、
T1<fT2<fT3
となるような第1〜3の材料を選択すると、上述した光未照射時および光照射時における周波数応答であるC(f)およびC(f)は図7のグラフに示すように表わされる。
【0049】
ここで、下記条件式(4)〜(8)を満足する周波数f、f、fを選択する。
<fT1 …(4)
T1<f<fT2 …(5)
T2<f<fT3 …(6)
dC(f)/df=0(a=1、2、3) …(7)
dC(f)/df=0(a=1、2、3) …(8)
【0050】
このように周波数f、f、fを選んだとき、光照射時における電気容量の周波数応答C(f)、C(f)、C(f)は下式(9)〜(11)で表わされる。
【0051】
(f)=C1p(f)+C2p(f)+C3p(f)…(9)
(f)=C1p(f)+C2p(f)+C3p(f
=C2p(f)+C3p(f) …(10)
(f)=C1p(f)+C2p(f)+C3p(f
=C3p(f) …(11)
【0052】
一方、C3p(f)およびC2p(f)は周波数fの値に依存せず一定であるから下式(12)、(13)が成立する。
3p(f)=C3p(f)=C3p(f) …(12)
2p(f)=C2p(f) …(13)
【0053】
上述した式(9)〜(13)を演算することにより、第1〜3の材料各々についての光照射時における電気容量の周波数応答であるC1p(f)、C2p(f)、C3p(f)全ての値を求めることができる。
【0054】
また、第1〜3の材料各々についての光未照射時における電気容量の周波数応答であるC1d(f)、C2d(f)、C3d(f)は予め測定しておいて、既知とすることができるため、所望とされる出力信号であるΔC(f)、ΔC(f)、ΔC(f)は、結局下式(14)〜(16)により得られる。
【0055】
ΔC(f)=C1p(f)−C1d(f) …(14)
ΔC(f)=C2p(f)−C2d(f) …(15)
ΔC(f)=C3p(f)−C3d(f) …(16)
【0056】
したがって、撮像装置においては、まず、撮像素子の受光面部分に対して印加する交流電界の周波数を、交流電界印加回路22において、f、f、fと変化させ、その際に得られた電気容量の周波数応答であるC(f)、C(f)、C(f)を電気容量測定回路23において測定し、上式(9)〜(13)に基づいて、第1〜3の材料各々についての光照射時における電気容量の周波数応答であるC1p(f)、C2p(f)、C3p(f)を演算する。この後、予め求めておいた、第1〜3の材料各々についての光未照射時における電気容量の周波数応答であるC1d(f)、C2d(f)、C3d(f)を用い、上式(14)〜(16)に基づいて、電気容量測定回路23において、上記出力信号であるΔC(f)、ΔC(f)、ΔC(f)を演算する。この後、これらの出力信号の強度から、色成分分離回路24において、赤、緑、青の色画像信号が生成され、出力され、フルカラー画像を再生することが可能となる。
【0057】
なお、上記周波数f、f、fの具体的数値としては、種々の数値に適宜設定可能であるが、例えば、各々f=4.0×1014Hz、f=5.5×1014Hz、f=6.7×1014Hzとする。
【0058】
また、上記電気容量測定回路23の構成としては、電気容量測定に用いられる周知の回路を利用可能であり、例えば時定数τを求めるRC回路と、この時定数τを抵抗成分Rで除算する演算回路からなる簡易な回路により構成することも可能である。
【0059】
なお、本発明の単板型撮像素子およびこれを用いた撮像装置は上記実施形態のものに限られるものではなく、その他の種々の態様の変更が可能であり、例えば、上記実施形態においては、受光された像情報を赤、緑、青の3原色画像情報に分解する態様について説明しているが、その他の複数の色画像情報に分解することが可能である。また、上記実施形態においては、低周波、中周波、高周波の各領域が、各々赤色、緑色、青色の色成分に対応するように構成されているが、これらの対応関係はこれに限られるものではないことは勿論である。
【0060】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明の単板型撮像素子は、受光面を形成する感光膜を、受光量に応じて電気容量が変化する材料から構成し、この感光膜の電気容量の変化に応じた画像電気信号を出力できるようにしており、これにより、小型軽量で、入射光に対する開口率を略100%とすることができ、かつ簡易な構造のものとすることができる。
【0061】
また、感光膜は、赤色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する赤色光感光材料と、緑色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する緑色光感光材料と、青色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する青色光感光材料を含むように構成し、前記赤色光感光材料、前記緑色光感光材料、および前記青色光感光材料は、交流電界を印加したときの周波数応答特性が互いに異なるように構成することで、小型軽量で、入射光に対する開口率を略100%とすることができ、かつ簡易な構造のカラー用撮像素子を得ることができる。
【0062】
さらに、本発明の撮像装置は、上述した単板型撮像素子と、該単板型撮像素子に対し交流電界を周波数走査可能に印加する交流電界印加回路と、該単板型撮像素子から出力された電気容量値を測定し、この測定値に基づき赤、緑および青の各色強度に対応した前記画像電気信号を出力する電気容量測定回路とを備えており、これにより、小型軽量で、入射光に対する開口率を略100%とすることができ、かつ簡易な構造のカラー用撮像装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係る撮像素子の受光面部分における電気容量変化の概略を示すグラフ
【図2】本発明の第1の実施形態に係る撮像素子を用いた撮像装置の概略構成を示すブロック図
【図3】本発明の第2の実施形態に係る撮像素子の受光面部分における電気容量変化の概略を示すグラフ
【図4】本発明の第2の実施形態に係る撮像素子を用いた撮像装置の概略構成を示すブロック図
【図5】本発明の第2の実施形態に係る撮像素子の受光面部分を積層型構造とした場合の模式図
【図6】本発明の第2の実施形態に係る撮像素子の受光面部分を単層型構造とした場合の模式図
【図7】光未照射時および光照射時における周波数応答であるC(f)およびC(f)の変化を示すグラフ
【符号の説明】
1、21 受光面
3、23 電気容量測定回路
7、27 表面電極
11、31 背面電極
8、9、10、32 材料層
13、14,15 材料部位
22 交流電界印加回路
24 色成分分離回路

Claims (4)

  1. 入射光が担持した像情報を光電変換して画像電気信号を出力する撮像素子において、
    撮像面を形成する感光膜を、受光量に応じて電気容量が変化する材料によって構成し、この感光膜の電気容量の変化に応じた画像電気信号を出力するように構成し、
    前記画像電気信号はカラー画像信号であり、
    前記感光膜は、赤色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する赤色光感光材料と、緑色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する緑色光感光材料と、青色領域の光にのみ反応して電気容量が変化する青色光感光材料を含んでなり、
    前記赤色光感光材料、前記緑色光感光材料、および前記青色光感光材料は、交流電界を印加したときの周波数応答特性が互いに異なるように構成されていることを特徴とする単板型撮像素子。
  2. 前記赤色光感光材料、前記緑色光感光材料、および前記青色光感光材料は各々、交流電界を印加させるための2つの電極間において、順次積層される材料層を構成してなることを特徴とする請求項記載の単板型撮像素子。
  3. 前記赤色光感光材料、前記緑色光感光材料、および前記青色光感光材料は各々、交流電界を印加させるための2つの電極間に配される単層内において略均一に分布するように形成されてなることを特徴とする請求項記載の単板型撮像素子。
  4. 請求項1からのいずれか1項記載の単板型撮像素子と、該単板型撮像素子に対し交流電界を周波数走査可能に印加する交流電界印加回路と、該単板型撮像素子から出力された電気容量値を測定し、この測定値に基づき赤、緑および青の各色強度に対応した前記画像電気信号を出力する電気容量測定回路とを備えていることを特徴とする撮像装置。
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