JP6814459B2 - レーザ加工方法 - Google Patents
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Description
複層樹脂基板を切断する装置として、レーザ加工装置が用いられる(例えば、特許文献1を参照)。複層樹脂基板は、レーザ加工装置によって、上側の層だけが切断されたり(ハーフカット加工)、全ての層が切断されたりする(フルカット加工)。
しかし、使用するレーザの光学特性によっては、表面の樹脂層及び接着層を加工する際に、下側の中間樹脂層まで加工してしまうことがある。
レーザ光は、第1樹脂層に対して吸収率が高く、かつ、第2樹脂層に対して吸収率が低い。
(1)全体構成
図1に、本発明の一実施形態による樹脂基板切断用のレーザ加工装置1の全体構成を示す。図1は、本発明の第1実施形態のレーザ加工装置の模式図である。
レーザ加工装置1は、樹脂基板Pをハーフカット加工するための装置である。樹脂基板とは、樹脂シート、樹脂フィルムともいわれるものである。
レーザ装置3は、レーザ光を後述する機械駆動系に伝送する伝送光学系11を有している。伝送光学系11は、例えば、図示しないが、集光レンズ、複数のミラー、プリズム、ビームエキスパンダ等を有する。また、伝送光学系11は、例えば、レーザ発振器9及び他の光学系が組み込まれたレーザ照射ヘッド(図示せず)をX軸方向に移動させるためのX軸方向移動機構(図示せず)を有している。
制御部7は、単一のプロセッサで構成されていてもよいが、各制御のために独立した複数のプロセッサから構成されていてもよい。
この実施形態では、制御部7は、レーザ発振器9を制御できる。また、制御部7は、移動装置17を制御できる。さらに、制御部7は、伝送光学系11を制御できる。
樹脂基板Pは、図2に示すように、複層の樹脂からなる複層樹脂基板である。具体的には、樹脂基板Pは、三層構造であり、表側から、第1樹脂層L1と、第2樹脂層L2と、第3樹脂層L3とを有している。
一例として、第1樹脂層L1は、PETを含む。第2樹脂層L2は、PIを含む。第3樹脂層L3は、PETを含む。
一例として、各樹脂層は第1接着層A1、第2接着層A2により互いに接着されている。第1接着層A1は、第1樹脂層L1と第2樹脂層L2との間に配置されている。第2接着層A2は、第2樹脂層L2と第3樹脂層L3との間に配置されている。
一例として、第2樹脂層L2の上面には、回路(図示せず)が形成されている。
図2及び図3を用いて、レーザ光による樹脂基板Pの加工動作を説明する。図3は、樹脂基板の加工状態を示す模式的断面図である。
制御部7が、レーザ発振器9を駆動して、樹脂基板Pの切断を実行する。レーザ発振器9は、レーザ光を切断ラインCに沿って移動させることで、樹脂基板Pをハーフカットする。レーザ光の走査回数は1回でもよいし、複数回でもよい。
この装置では、レーザ光Rによって第1樹脂層L1が切断されるときに、第1樹脂層L1のみが加工され、第2樹脂層L2には損傷が生じない。なぜなら、レーザ光Rは第1樹脂層L1に対して吸収率が高いが、第2樹脂層L2に対しては吸収率が低いからである。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
前記基板は全て樹脂層で構成されていたが、2層の樹脂層の下に他の層(例えば、金属層)が設けられていてもよい。
レーザ装置、機械駆動系の具体的な構成は、前記実施形態に限定されない。
樹脂基板の形状、切断ラインの形状は特に限定されない。
3 :レーザ装置
5 :機械駆動系
7 :制御部
9 :レーザ発振器
11 :伝送光学系
13 :ベッド
15 :加工テーブル
17 :移動装置
A1 :第1接着層
A2 :第2接着層
C :切断ライン
L1 :第1樹脂層
L2 :第2樹脂層
L3 :第3樹脂層
P :樹脂基板
Claims (1)
- 表面側から第1樹脂層と接着層と第2樹脂層とを有する複層樹脂基板を切断するレーザ加工方法であって、
前記第1樹脂層はPETを含み、
前記第2樹脂層はPIを含み、
前記第1樹脂層及び前記接着層を切断するためのレーザ光を発生するレーザ装置はCO 2 レーザであり、
前記レーザ光は、前記第1樹脂層に対する吸収率が80%以上であり、かつ、前記第2樹脂層に対する吸収率が40%以下であり、
前記複層樹脂基板の表面側からレーザ光を照射し、第2樹脂層に損傷を生じさせることなく、第1樹脂層及び接着層を切断する、レーザ加工方法。
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