JP6775818B2 - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、Ｘ線検査装置に関する。

Ｘ線検査装置として、物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、物品を透過したＸ線を検出するＸ線検出部と、Ｘ線検出部から出力された信号に基づいて物品のＸ線透過画像を生成し、Ｘ線透過画像に基づいて物品の検査を行う検査部と、Ｘ線照射部及びＸ線検出部を制御する制御部と、を備えるＸ線検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１記載のＸ線検査装置では、制御部は、Ｘ線照射部及びＸ線検出部の経時変化に応じて、Ｘ線検出部の感度を補正する。

特開２００１−４５６０号公報

Ｘ線検査装置では、物品の検査の性能を重視する観点で、Ｘ線照射部の照射出力が最大値となるようにＸ線照射部を制御した上でＸ線検出部の感度を調整することが一般的である。しかしながら、Ｘ線照射部の出カが高いほど、Ｘ線照射部及びＸ線検出部の劣化が速く進行する。そのため、物品の検査の性能を確保しつつＸ線照射部及びＸ線検出部の劣化を抑制することが求められている。

本発明は、物品の検査の性能を確保しつつＸ線照射部及びＸ線検出部の劣化を抑制することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。

本発明のＸ線検査装置は、物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、物品を透過したＸ線を検出するＸ線検出部と、Ｘ線検出部から出力された信号に基づいて物品のＸ線透過画像を生成し、Ｘ線透過画像に基づいて物品の検査を行う検査部と、Ｘ線照射部及びＸ線検出部を制御する制御部と、を備え、制御部は、Ｘ線照射部の照射出力が第１照射出力となるようにＸ線照射部を制御している場合に、Ｘ線検出部の検出出力が減少したときには、照射出力が増大するようにＸ線照射部を制御する第１制御を実行する。

このＸ線検査装置では、Ｘ線照射部の照射出力が第１照射出力となるようにＸ線照射部を制御部が制御している場合に、Ｘ線検出部の検出出力が減少したときには、Ｘ線照射部又はＸ線検出部の劣化が進行している可能性がある。このとき、例えば、予めＸ線検出部の感度を比較的高く設定しＸ線照射部の第１照射出力を最大値よりも小さく設定しておけば、Ｘ線照射部の照射出力が最大の場合と比べてＸ線照射部及びＸ線検出部の劣化が抑制されると共に、制御部が第１制御を実行することでＸ線照射部の照射出力を増大させる余地が確保され、物品の検査の性能の低下を回避することができる。したがって、物品の検査の性能を確保しつつＸ線照射部及びＸ線検出部の劣化を抑制することができる。

本発明のＸ線検査装置では、制御部は、Ｘ線照射部により照射されたＸ線が物品には照射されておらず、且つ、物品に照射されていないＸ線をＸ線検出部が検出している状態で、第１制御を実行してもよい。この場合、Ｘ線検出部が物品を透過したＸ線を検出する状態と比べて、Ｘ線照射部又はＸ線検出部の劣化に起因してＸ線検出部の検出出力が減少する蓋然性が高くなる。よって、適切に制御部が第１制御を実行することが可能となる。

本発明のＸ線検査装置では、制御部は、照射出力が第１照射出力よりも大きい第２照射出力となるようにＸ線照射部を制御している場合に、検出出力が減少したときには、検出出力が増大するようにＸ線検出部を制御する第２制御を実行し、第１制御と第２制御とは、切り替え可能であってもよい。この場合、Ｘ線検査装置のオペレータは、Ｘ線照射部の照射出力を抑えた第１制御と、Ｘ線照射部の照射出力を高めた第２制御と、の何れか一方の制御を選択することができる。

本発明のＸ線検査装置では、制御部は、第２制御において、Ｘ線検出部の感度を第２感度に設定すると共にＸ線照射部への入力電流が最大値となるようにＸ線照射部を制御している場合に、検出出力が減少したときには、感度を増加させることで検出出力を増大させ、第１制御において、感度を第２感度よりも高い第１感度に設定すると共に入力電流が最大値よりも小さい第１入力電流となるようにＸ線照射部を制御している場合に、検出出力が減少したときには、入力電流を増加させることで照射出力を増大させてもよい。この場合、Ｘ線照射部への入力電流が最大値よりも小さい入力電流でＸ線照射部を制御する第１制御を制御部が実行するため、Ｘ線照射部の電力消費を低減することができる。

本発明のＸ線検査装置では、制御部が第１制御を実行している時間と、当該第１制御により制御されたＸ線照射部の照射出力に関する情報と、を表示する表示部を更に有してもよい。この場合、表示部により、Ｘ線照射部及びＸ線検出部の劣化が抑制されていることをＸ線検査装置のオペレータが確認することができる。

本発明によれば、物品の検査の性能を確保しつつＸ線照射部及びＸ線検出部の劣化を抑制することが可能となる。

図１は、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の構成図である。 図２は、図１のＸ線検査装置のキャリブレーション処理を例示するフローチャートである。 図３の（ａ）は、図１のＸ線検査装置におけるＸ線照射部及びＸ線検出部の設定例を示す表である。図３の（ｂ）は、図１のＸ線検査装置の表示部を示す概略図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

図１に示されるように、Ｘ線検査装置１は、装置本体２と、支持脚３と、シールドボックス４と、搬送コンベア５と、Ｘ線照射部６と、Ｘ線検出部７と、表示操作部（表示部）８と、制御部１０と、を備えている。Ｘ線検査装置１は、物品Ｇを搬送しつつ物品ＧのＸ線透過画像を取得し、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｇの検査（例えば、収納数検査、異物混入検査、欠品検査、割れ欠け検査等）を行う。Ｘ線検査装置１は、外部電源（不図示）に接続されている。外部電源は、物品Ｇの検査を行うための電力をＸ線検査装置１に供給する。

なお、検査前の物品Ｇは、搬入コンベア５１によってＸ線検査装置１に搬入され、検査後の物品Ｇは、搬出コンベア５２によってＸ線検査装置１から搬出される。Ｘ線検査装置１によって不良品と判定された物品Ｇは、搬出コンベア５２の下流に配置された振分装置（不図示）よって生産ライン外に振り分けられ、Ｘ線検査装置１によって良品と判定された物品Ｇは、当該振分装置をそのまま通過する。

装置本体２は、制御部１０等を収容している。支持脚３は、装置本体２を支持している。シールドボックス４は、装置本体２に設けられており、Ｘ線の漏洩を防止する。シールドボックス４には、搬入口４ａ及び搬出口４ｂが形成されている。検査前の物品Ｇは、搬入コンベア５１から搬入口４ａを介してシールドボックス４内に搬入され、検査後の物品Ｇは、シールドボックス４内から搬出口４ｂを介して搬出コンベア５２に搬出される。搬入口４ａ及び搬出口４ｂのそれぞれには、Ｘ線の漏洩を防止するＸ線遮蔽カーテン（不図示）が設けられている。

搬送コンベア５は、シールドボックス４内に配置されており、搬入口４ａから搬出口４ｂまで搬送方向Ａに沿って物品Ｇを搬送する。搬送コンベア５は、例えば、搬入口４ａと搬出口４ｂとの間に掛け渡されたベルトコンベアである。

Ｘ線照射部６は、シールドボックス４内に配置されており、搬送コンベア５によって搬送される物品ＧにＸ線を照射する。Ｘ線照射部６は、例えば、Ｘ線を照射するＸ線管（不図示）と、Ｘ線管から照射されたＸ線を搬送方向Ａに垂直な面内において扇状に広げるコリメータと、を有している。

Ｘ線照射部６のＸ線管には、外部電源から供給された電力により、所定の定格電圧（例えば５０ｋＶ）で入力電流（いわゆる管電流）が入力される。Ｘ線照射部６のＸ線管は、当該入力電流に応じた照射出力を有するＸ線を出力する。Ｘ線照射部６の照射出力は、Ｘ線照射部６のＸ線管に入力された入力電流に応じてＸ線管が出力するＸ線の強度である。入力電流の最大値は、所定の定格電流（例えば１０．０ｍＡ）である。入力電流は、当該最大値を上限として、任意に設定され得る。Ｘ線照射部６の照射出力は、入力電流が増加するほど大きくなり、入力電流が減少するほど小さくなる。

Ｘ線照射部６のＸ線管は、Ｘ線を照射した時間及び照射したＸ線の強度に応じて劣化する。一般的には、Ｘ線管が照射するＸ線の強度（すなわちＸ線照射部６の照射出力）は、入力電流が増加するほど大きくなり、入力電流が減少するほど小さくなることから、Ｘ線照射部６のＸ線管の劣化は、入力電流が増加するほど速く進行し、入力電流が減少するほど遅く進行する。

Ｘ線検出部７は、シールドボックス４内に配置されており、物品Ｇ及び搬送コンベア５を透過したＸ線を検出する。Ｘ線検出部７は、例えば、ラインセンサとして構成されている。具体的には、Ｘ線検出部７は、搬送方向Ａに垂直な水平方向に沿って一次元に配列された複数のフォトダイオードと、各フォトダイオードに対してＸ線入射側に配置されたシンチレータと、を有している。この場合、Ｘ線検出部７では、シンチレータに入射したＸ線が光に変換され、各フォトダイオードに入射した光が電気信号に変換される。

Ｘ線検出部７には、Ｘ線照射部６のＸ線管から照射されたＸ線が入射される。Ｘ線検出部７は、Ｘ線照射部６の照射出力に応じた強度を有するＸ線を、設定された感度で検出する。Ｘ線検出部７の感度は、後述の制御部１０により設定される。Ｘ線検出部７の検出出力は、当該感度でＸ線検出部７が検出したＸ線の強度である。Ｘ線検出部７の検出出力は、入射されるＸ線の強度が一定の場合、Ｘ線検出部７の感度が高くなるほど大きくなり、Ｘ線検出部７の感度が低くなるほど小さくなる。Ｘ線検出部７の検出出力は、例えばＸ線光子のカウント数（ｃｐｓ、count per second等）で表される。

Ｘ線検出部７は、Ｘ線に入射された時間及び入射されたＸ線の強度に応じて劣化する。一般的には、Ｘ線検出部７の劣化は、入射されたＸ線の強度が大きいほど速く進行し、入射されたＸ線の強度が小さいほど遅く進行する。つまり、一般的には、Ｘ線検出部７の劣化は、Ｘ線照射部６への入力電流が増加するほど速く進行し、Ｘ線照射部６への入力電流が減少するほど遅く進行する。

表示操作部８は、装置本体２に設けられており、各種情報の表示及び各種条件の入力受付等を行う。表示操作部８は、例えば、液晶ディスプレイであり、タッチパネルとしての操作画面を表示する。この場合、オペレータは、表示操作部８を介して、後述の第１モード又は第２モードの切換の選択を含む各種条件を入力することができる。また、表示操作部８は、後述するように、制御部１０が第１制御を実行している時間と、当該第１制御により制御されたＸ線照射部６の照射出力に関する情報と、を表示する。

制御部１０は、装置本体２内に配置されており、Ｘ線検査装置１の各部の動作を制御する。制御部１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等で構成されている。制御部１０には、Ｘ線検出部７から出力されてＡ／Ｄ変換された信号が入力される。制御部１０は、当該信号に基づいて物品ＧのＸ線透過画像を生成し、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｇの検査を行う検査部として機能する。

制御部１０は、Ｘ線照射部６及びＸ線検出部７を制御する。制御部１０は、物品Ｇの検査を適切に行うために、Ｘ線検出部７の検出出力の検出範囲が所定範囲（以下、検査レンジともいう）となるようにＸ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度を設定するキャリブレーション処理を実行する。このキャリブレーション処理では、制御部１０は、Ｘ線光子のカウント数の検出範囲が検査レンジ（例えば０カウント〜３０００カウント）となるように、Ｘ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度を設定する。

キャリブレーション処理は、第１モードと第２モードとを含む。第１モードは、Ｘ線照射部６の照射出力を抑えることで、Ｘ線照射部６及びＸ線検出部７の劣化の抑制及びＸ線照射部６の消費電力量の削減を図るキャリブレーション処理を行うモード（いわゆるエコノミーモード）である。第２モードは、Ｘ線照射部６の照射出力を高めることで、物品ＧのＸ線透過画像の鮮明化を図るキャリブレーション処理を行うモード（いわゆる通常モード）である。第１モードと第２モードとは、例えばオペレータによる表示操作部８を介した選択操作に基づいて切り替え可能である。

第１モードでは、制御部１０は、Ｘ線検出部７の感度を第１感度に固定した状態で、Ｘ線照射部６への入力電流を第１入力電流に設定する。第１モードでは、制御部１０は、Ｘ線照射部６の照射出力が第１照射出力となるようにＸ線照射部６を制御している場合に、Ｘ線検出部７の検出出力が減少したときには、Ｘ線照射部６の照射出力が増大するようにＸ線照射部６を制御する第１制御を実行する。第１照射出力は、Ｘ線照射部６のＸ線管に入力された入力電流が第１入力電流である状態においてＸ線管が出力するＸ線の強度である。

第２モードでは、制御部１０は、Ｘ線照射部６の照射出力を上記第１照射出力よりも大きい第２照射出力に固定した状態で、Ｘ線検出部７の感度を第２感度に設定する。第２モードでは、制御部１０は、Ｘ線照射部６の照射出力が第２照射出力となるようにＸ線照射部６を制御している場合に、Ｘ線検出部７の検出出力が減少したときには、Ｘ線検出部７の検出出力が増大するようにＸ線検出部７を制御する第２制御を実行する。第２照射出力は、Ｘ線照射部６のＸ線管に入力された入力電流が第１入力電流よりも大きい第２入力電流である状態においてＸ線管が出力するＸ線の強度である。第２入力電流は、一例として、Ｘ線管の所定の定格電流（すなわち入力電流の最大値）である。

制御部１０は、例えば、Ｘ線照射部６の照射出力及びＸ線検出部７の検出出力を変動させる要因が少ない一定の条件下において第１制御及び第２制御を実行する。一定の条件は、Ｘ線照射部６の照射出力が略一定であれば当該Ｘ線照射部６の照射出力に応じてＸ線検出部７の検出出力が略一定となるようなＸ線検査装置１の動作条件である。一定の条件は、Ｘ線照射部６により照射されたＸ線が物品Ｇには照射されておらず、且つ、物品Ｇに照射されていないＸ線をＸ線検出部７が検出している状態を含む。一例として、一定の条件は、Ｘ線検査装置１の起動後であってＸ線検査装置１による物品Ｇの検査を開始する前において、Ｘ線照射部６により照射されたＸ線をＸ線検出部７が検出している状態である。当該一定の条件下では、Ｘ線照射部６とＸ線検出部７との間に物品Ｇが介在していないため、Ｘ線検出部７が物品Ｇを透過したＸ線を検出する場合と比べて、Ｘ線照射部６又はＸ線検出部７の劣化に起因してＸ線検出部７の検出出力が減少する蓋然性が高くなる。本実施形態では、制御部１０は、当該一定の条件下でキャリブレーション処理を実行する。

次に、制御部１０におけるキャリブレーション処理について、図２及び図３を参照して、説明する。

制御部１０は、キャリブレーション処理の第１段階として、Ｘ線検出部７の検出出力が上記検査レンジの上限値（例えば３０００カウント）よりも小さいテスト検出出力となるようなＸ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度で、Ｘ線照射部６の照射出力に対するＸ線検出部７の検出出力の関係を取得する。

図２及び図３の（ａ）に示されるように、制御部１０は、Ｘ線検出部７の感度をテスト値（例えば１倍）に設定した状態で、Ｘ線照射部６への入力電流をテスト値（例えば１．０ｍＡ）に設定し、Ｘ線照射部６の照射出力がテスト照射出力となるようにＸ線照射部６を制御する（ステップＳ１０）。制御部１０は、Ｘ線検出部７のテスト検出出力を取得する（ステップＳ１１）。ここでは、Ｘ線照射部６への入力電流（テスト値）が１．０ｍＡであるとき、Ｘ線検出部７のテスト検出出力が１５０カウントであるという関係が取得されたものとする。

続いて、制御部１０は、キャリブレーション処理の第２段階として、上記第１段階で取得した上記関係を利用して、第１モード及び第２モードのいずれか一方のモードにおいてＸ線検出部７の検出出力の検出範囲が検査レンジとなるように、Ｘ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度を設定する。

制御部１０は、Ｘ線検査装置１において第１モードが選択されているか否かを判定する（ステップＳ１２）。ステップＳ１２において、Ｘ線検査装置１において第１モードが選択されていると制御部１０が判定した場合、制御部１０は、Ｘ線検出部７の感度を第１感度に設定する（ステップＳ１３）。ステップＳ１３においてＸ線検出部７の感度を第１感度に設定したことに対応させて、制御部１０は、Ｘ線照射部６への入力電流を第１入力電流に設定し、Ｘ線照射部６の照射出力が第１照射出力となるようにＸ線照射部６を制御する（ステップＳ１４）。

第１感度は、後述するように、第２感度よりも高い。第２モードにおいてＸ線照射部６への入力電流を最大値（１０．０ｍＡ）としたときの第２感度を２倍に設定する場合、一例として、第１感度は、４倍である。この第１感度で、Ｘ線検出部７の検出出力の検出範囲が検査レンジとなるためには、第１入力電流は、上記第１段階におけるＸ線照射部６への入力電流（テスト値）に対して５倍（＝２０倍÷４倍）である必要がある。したがって、第１入力電流は、ステップＳ１４において５．０ｍＡ（＝１．０ｍＡ×５倍）に設定される。

ここで、上述した一定の条件下においては、Ｘ線照射部６の照射出力が第１照射出力となるように制御部１０がＸ線照射部６を制御しているにも関わらずＸ線検出部７の検出出力が減少した場合、Ｘ線照射部６又はＸ線検出部７に劣化が進行している可能性がある。Ｘ線検出部７の感度が第２感度よりも高い第１感度に固定されている第１モードでは、Ｘ線照射部６への入力電流が最大値よりも小さい第１入力電流とされているため、Ｘ線照射部６への入力電流を増加させる余地がある。そこで、制御部１０は、Ｘ線検出部７の検出出力を取得し（ステップＳ１５）、Ｘ線検出部７の検出出力の減少の有無を判定する（ステップＳ１６）。

ステップＳ１６において、Ｘ線検出部７の検出出力の減少があると制御部１０が判定した場合、制御部１０は、Ｘ線照射部６又はＸ線検出部７の劣化の進行により減少したＸ線検出部７の検出出力を補うため、Ｘ線照射部６の照射出力が増大するようにＸ線照射部６を制御する第１制御を実行する（ステップＳ１７）。すなわち、制御部１０は、Ｘ線検出部７の感度を第２感度よりも高い第１感度に設定すると共にＸ線照射部６への入力電流が最大値よりも小さい第１入力電流となるようにＸ線照射部６を制御している場合に、Ｘ線検出部７の検出出力が減少したときには、Ｘ線照射部６への入力電流を増加させることでＸ線照射部６の照射出力を増大させる。これにより、Ｘ線照射部６への入力電流が、ステップＳ１４において設定された第１入力電流（上記の例では５．０ｍＡ）よりも大きくなり、Ｘ線検出部７に入射されるＸ線の強度が増大することから、減少していたＸ線検出部７の検出出力が増大する。よって、Ｘ線検出部７の検出出力の検出範囲を検査レンジとすることができる。ステップＳ１７の後、ステップＳ１５に移行し、制御部１０は、Ｘ線照射部６の照射出力を増大させた状態でＸ線検出部７の検出出力を再取得する。

ステップＳ１６において、Ｘ線検出部７の検出出力の減少がないと制御部１０が判定した場合、設定したＸ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度で物品Ｇの検査が可能か否かを確かめる。第１モードでは、Ｘ線照射部６への入力電流を抑えてＸ線検出部７の感度を増加させているため、制御部１０により生成されるＸ線透過画像に含まれるノイズが多くなる可能性がある。そこで、制御部１０は、例えばＸ線検出部７の検出出力のバラつき（平均、偏差など）が所定範囲内であるか否かに基づいて、物品Ｇの検査が可能か否かを判定する（ステップＳ１８）。

ステップＳ１８において、物品Ｇの検査が可能であると制御部１０が判定した場合、制御部１０は、第１モードでのキャリブレーション処理を終了する。その後、Ｘ線検査装置１では、設定したＸ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度で物品Ｇの検査が行われる。

ステップＳ１８において、物品Ｇの検査が可能ではないと制御部１０が判定した場合、制御部１０は、Ｘ線検出部７の検出出力のバラつき（平均、偏差など）が所定範囲内となるように、Ｘ線照射部６への入力電流を増加させ、Ｘ線照射部６への入力電流を再設定する（ステップＳ１９）。これにより、物品Ｇの検査の性能を担保することができる。なお、ステップＳ１９においては、Ｘ線検出部７の検出出力のバラつきが所定範囲内となるように、Ｘ線照射部６への入力電流と共にＸ線検出部７の感度を増加させ、Ｘ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度を再設定してもよい。その後、制御部１０は、第１モードでのキャリブレーション処理を終了する。Ｘ線検査装置１では、設定したＸ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度で物品Ｇの検査が行われる。

他方、ステップＳ１２において、Ｘ線検査装置１において第２モードが選択されていると制御部１０が判定した場合、制御部１０は、Ｘ線照射部６への入力電流を最大値（１０．０ｍＡ）に設定し、Ｘ線照射部６の照射出力が第２照射出力となるようにＸ線照射部６を制御する（ステップＳ２０）。ステップＳ２０においてＸ線照射部６への入力電流を最大値に設定したことに対応させて、制御部１０は、Ｘ線検出部７の感度を第２感度に設定する（ステップＳ２１）。

一例として、ステップＳ２０において設定したＸ線照射部６の入力電流（最大値：１０．０ｍＡ）は、上記キャリブレーション処理の第１段階におけるＸ線照射部６の入力電流のテスト値（１．０ｍＡ）に対して１０倍である。このことから、Ｘ線検出部７の検出出力の検出範囲が検査レンジとなるためには、第２感度は、上記第１段階におけるＸ線検出部７の感度のテスト値（１倍）に対して２倍（＝２０倍÷１０倍）に設定する必要がある。したがって、第２感度は、ステップＳ２１において２倍に設定される。

ここで、上述した一定の条件下では、Ｘ線照射部６の照射出力が第２照射出力となるように制御部１０がＸ線照射部６を制御しているにも関わらずＸ線検出部７の検出出力が減少した場合、Ｘ線照射部６又はＸ線検出部７に劣化が進行している可能性がある。そこで、制御部１０は、Ｘ線検出部７の検出出力を取得し（ステップＳ２２）、Ｘ線検出部７の検出出力の減少の有無を判定する（ステップＳ２３）。

ステップＳ２３において、Ｘ線検出部７の検出出力の減少があると制御部１０が判定した場合、制御部１０は、Ｘ線照射部６又はＸ線検出部７の劣化の進行により減少したＸ線検出部７の検出出力を補うため、Ｘ線検出部７の検出出力が増大するようにＸ線検出部７を制御する第２制御を実行する（ステップＳ２４）。すなわち、制御部１０は、Ｘ線照射部６への入力電流が最大値となるようにＸ線照射部６を制御している場合に、Ｘ線検出部７の検出出力が減少したときには、Ｘ線検出部７の感度を増加させることでＸ線検出部７の検出出力を増大させる。これにより、Ｘ線検出部７の感度が、ステップＳ２１において設定された第２感度（上記の例では２倍）よりも高くなり、Ｘ線検出部７により検出されるＸ線のカウント数が増大することから、減少していたＸ線検出部７の検出出力が増大する。よって、Ｘ線検出部７の検出出力の検出範囲を検査レンジとすることができる。ステップＳ２４の後、ステップＳ２２に移行し、制御部１０は、Ｘ線検出部７の検出出力を増大させた状態でＸ線検出部７の検出出力を再取得する。

ステップＳ２３において、Ｘ線検出部７の検出出力の減少がないと制御部１０が判定した場合、制御部１０は、第２モードでのキャリブレーション処理を終了する。その後、Ｘ線検査装置１では、設定したＸ線照射部６への入力電流及びＸ線検出部７の感度で物品Ｇの検査が行われる。

なお、Ｘ線検査装置１において第１モードが選択されている場合、制御部１０は、第１制御を実行している時間（以下、第１モード運転時間ともいう）と、第１制御により制御されたＸ線照射部６の照射出力に関する情報と、を表示操作部８に表示させる。表示操作部８に表示される「第１制御を実行している時間」とは、Ｘ線照射部６への入力電流を増加させる第１制御の処理（図２におけるステップＳ１７の処理）を実行した時間だけではなく、第１モードが選択された状態でキャリブレーション処理（図２におけるステップＳ１０〜Ｓ１９の処理）を行っている時間と、第１モードが選択された状態で行ったキャリブレーション処理により設定されたＸ線照射部６の入力電流及びＸ線検出部７の感度で物品Ｇの検査を行っている時間と、を含んでもよい。

例えば、図３の（ｂ）に示されるように、制御部１０は、第１モード運転時間における、Ｘ線照射部６への入力電流（第１入力電流）の実績値と、Ｘ線照射部６における消費電力（第１照射出力）の実績値と、第１モード運転時間の実績値と、Ｘ線照射部６における消費電力量の実績値と、を表示操作部８に表示させる。具体的には、Ｘ線照射部６への入力電流の実績値は、５．０ｍＡであり、Ｘ線照射部６における消費電力の実績値は、２５０Ｗであり、第１モード運転時間（運転時間）の実績値は、１００時間であり、Ｘ線照射部６における消費電力量の実績値は、２５ｋＷｈである。図３の（ｂ）の例では、第１モードでの入力電流及び感度として、図３の（ａ）に示される第１モードの入力電流及び感度が設定されている。

制御部１０は、第１モード運転時間において第２モードが選択されていたと仮定した場合のＸ線照射部６における消費電力量の試算値を表示操作部８に表示させる。具体的には、Ｘ線照射部６における消費電力量の試算値は、５０ｋＷｈである。図３の（ｂ）の例では、第２モードでの入力電流及び感度として、図３の（ａ）に示される第２モードの入力電流及び感度が設定されている。

制御部１０は、上記第２モードでの消費電力量の試算値と上記第１モードでの消費電力量の実績値との差の電力量を、第１モードでＸ線検査装置１を運転することにより削減されたと推定される電力量である削減電力量として表示操作部８に表示させる。図３の（ｂ）の例では、削減電力量は、２５ｋＷｈである。

以上説明したように、Ｘ線検査装置１では、Ｘ線照射部６の照射出力が第１照射出力となるようにＸ線照射部６を制御部１０が制御している場合に、Ｘ線検出部７の検出出力が減少したときには、Ｘ線照射部６又はＸ線検出部７の劣化が進行している可能性がある。このとき、予めＸ線検出部７の感度を比較的高い第１感度に設定しＸ線照射部６の第１照射出力を最大値よりも小さく設定しておけば、Ｘ線照射部６の照射出力が最大値の場合と比べてＸ線照射部６及びＸ線検出部７の劣化が抑制されると共に、制御部１０が第１制御を実行することでＸ線照射部６の照射出力を増大させる余地が確保され、物品Ｇの検査の性能の低下を回避することができる。したがって、物品Ｇの検査の性能を確保しつつＸ線照射部６及びＸ線検出部７の劣化を抑制することができる。また、この結果、Ｘ線照射部６及びＸ線検出部７の寿命時期の遅延（長寿命化）を図ることが可能となる。

Ｘ線検査装置１では、制御部は、Ｘ線照射部６により照射されたＸ線が物品Ｇには照射されておらず、且つ、物品Ｇに照射されていないＸ線をＸ線検出部７が検出している状態で、第１制御を実行する。この条件下では、Ｘ線検出部７が物品Ｇを透過したＸ線を検出する状態と比べて、Ｘ線照射部６又はＸ線検出部７の劣化に起因してＸ線検出部７の検出出力が減少する蓋然性が高くなる。よって、適切に制御部１０が第１制御を実行することが可能となる。

Ｘ線検査装置１では、制御部１０は、Ｘ線照射部６の照射出力が第１照射出力よりも大きい第２照射出力となるようにＸ線照射部６を制御している場合に、Ｘ線検出部７の検出出力が減少したときには、Ｘ線検出部７の検出出力が増大するようにＸ線検出部７を制御する第２制御を実行する。第１制御（第１モード）と第２制御（第２モード）とは、切り替え可能である。これにより、Ｘ線検査装置１のオペレータは、Ｘ線照射部６の照射出力を抑えた第１制御と、Ｘ線照射部６の照射出力を高めた第２制御と、の何れか一方の制御を選択することができる。

Ｘ線検査装置１では、制御部１０は、第２制御において、Ｘ線検出部７の感度を第２感度に設定すると共にＸ線照射部６への入力電流が最大値となるようにＸ線照射部６を制御している場合に、Ｘ線検出部７の検出出力が減少したときには、Ｘ線検出部７の感度を増加させることでＸ線検出部７の検出出力を増大させる。制御部１０は、第１制御において、Ｘ線検出部７の感度を第２感度よりも高い第１感度に設定すると共にＸ線照射部６への入力電流が最大値よりも小さい第１入力電流となるようにＸ線照射部６を制御している場合に、Ｘ線検出部７の検出出力が減少したときには、Ｘ線照射部６への入力電流を増加させることでＸ線照射部６の照射出力を増大させる。これにより、Ｘ線照射部６への入力電流が最大値よりも小さい入力電流でＸ線照射部６を制御する第１制御を制御部１０が実行するため、Ｘ線照射部６の電力消費を低減することができる。

Ｘ線検査装置１は、制御部１０が第１制御を実行している時間と、当該第１制御により制御されたＸ線照射部６の照射出力に関する情報（Ｘ線照射部６への入力電流、Ｘ線照射部６の消費電力量、第１制御により削減した電力量）と、を表示する表示操作部８を有する。この表示操作部８により、Ｘ線照射部６及びＸ線検出部７の劣化が抑制されていることをＸ線検査装置１のオペレータが確認することができる。

本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。

上記実施形態では、制御部１０は、Ｘ線照射部６の照射出力及びＸ線検出部７の検出出力を変動させる要因が少ない一定の条件下においてＸ線検出部７の検出出力が減少した場合、Ｘ線照射部６又はＸ線検出部７に劣化が進行しているとして第１制御又は第２制御を実行した。しかしながら、制御部１０は、例えば、Ｘ線照射部６の照射出力が略一定であってもＸ線検出部７の検出出力を一定の変動パターンで変動させる要因が存在するような条件下において第１制御及び第２制御を実行してもよい。このような条件下においては、制御部１０は、例えばＸ線検出部７の検出出力の基準変動パターンを記憶しておき、当該要因に起因する検出出力の変動を相殺させることでＸ線検出部７の検出出力の減少を抽出し、Ｘ線照射部６の照射出力又はＸ線検出部７の検出出力の劣化が進行したことを判定し、第１制御及び第２制御を実行してもよい。

上記実施形態では、制御部１０は、第２制御において、Ｘ線照射部６への入力電流が最大値となるようにＸ線照射部６を制御したが、第２制御におけるＸ線照射部６への入力電流は、第１制御におけるＸ線照射部６への入力電流よりも大きければ、最大値でなくてもよい。

上記実施形態では、一例として、Ｘ線検査装置１の起動後であってＸ線検査装置１による物品Ｇの検査を開始する前において、制御部１０は、キャリブレーション処理を実行したが、例えば物品Ｇの検査の合間等にキャリブレーション処理を実行してもよい。

上記実施形態では、制御部１０が検査部として機能し、制御部１０と検査部とが物理的に一体的に構成される例を示したが、制御部１０と検査部とは、物理的に別体で構成されていてもよい。

上記実施形態では、Ｘ線検査装置１の表示操作部８が表示部として機能したが、Ｘ線検査装置１とは別体で設けられたディスプレイ等が表示部として機能する形態であってもよい。

本発明は、物品を透過した光（近赤外線、その他の電磁波）を検出することで光透過画像を生成し、当該光透過画像に基づいて物品の検査を行う、Ｘ線検査装置以外の光検査装置に適用可能である。ただし、光としてＸ線を利用する場合には、物品Ｇが包装されている場合であっても、包材や、包材に施された印刷に影響されることなく、物品Ｇの欠けを検査することができる。

１…Ｘ線検査装置、６…Ｘ線照射部、７…Ｘ線検出部、１０…制御部（制御部、検査部）、Ｇ…物品。

Claims (4)

1. 物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、
   前記物品を透過した前記Ｘ線を検出するＸ線検出部と、
   前記Ｘ線検出部から出力された信号に基づいて前記物品のＸ線透過画像を生成し、前記Ｘ線透過画像に基づいて前記物品の検査を行う検査部と、
   前記Ｘ線照射部及び前記Ｘ線検出部を制御する制御部と、
   を備え、
   前記制御部は、
   前記Ｘ線照射部の照射出力が第１照射出力となるように前記Ｘ線照射部を制御している場合に、前記Ｘ線検出部の検出出力が減少したときには、前記照射出力が増大するように前記Ｘ線照射部を制御する第１制御を実行し、
   前記Ｘ線照射部により照射された前記Ｘ線が前記物品には照射されておらず、且つ、前記物品に照射されていない前記Ｘ線を前記Ｘ線検出部が検出している状態で、前記第１制御を実行する、Ｘ線検査装置。
2. 前記制御部は、前記照射出力が前記第１照射出力よりも大きい第２照射出力となるように前記Ｘ線照射部を制御している場合に、前記検出出力が減少したときには、前記検出出力が増大するように前記Ｘ線検出部を制御する第２制御を実行し、
   前記第１制御と前記第２制御とは、切り替え可能である、請求項１記載のＸ線検査装置。
3. 前記制御部は、
   前記第２制御において、前記Ｘ線検出部の感度を第２感度に設定すると共に前記Ｘ線照射部への入力電流が最大値となるように前記Ｘ線照射部を制御している場合に、前記検出出力が減少したときには、前記感度を増加させることで前記検出出力を増大させ、
   前記第１制御において、前記感度を前記第２感度よりも高い第１感度に設定すると共に前記入力電流が前記最大値よりも小さい第１入力電流となるように前記Ｘ線照射部を制御している場合に、前記検出出力が減少したときには、前記入力電流を増加させることで前記照射出力を増大させる、請求項２記載のＸ線検査装置。
4. 前記制御部が前記第１制御を実行している時間と、当該第１制御により制御された前記Ｘ線照射部の前記照射出力に関する情報と、を表示する表示部を更に有する、請求項２又は３記載のＸ線検査装置。

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