KR20230133783A - X선 검사 장치 및 그 조정 방법 - Google Patents

X선 검사 장치 및 그 조정 방법 Download PDF

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후토시 유루기
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Abstract

X선 검사 장치는, 물품을 반송하는 반송부, 물품에 X선을 조사하는 X선원, X선을 포톤 카운팅 방식으로 검출 가능하며, 또한 임의의 임계값에 기초하여 검출한 X선의 광자 에너지를 2 이상의 에너지 영역으로 판별하는 X선 검출부, 임의의 임계값을 설정하는 임계값 설정부, X선 검출부에 의한 X선의 검출 결과에 기초하여 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 2 이상의 X선 투과 화상을 생성하는 X선 화상 생성부, X선 검출부에 의해 검출되는 물품을 투과한 X선에 기초하여 물품의 검사를 실시하는 검사부를 포함하고, 임계값 설정부는, 2 이상의 X선 투과 화상의 농담에 기초하여 임의의 임계값을 설정한다.

Description

X선 검사 장치 및 그 조정 방법{X-RAY INSPECTION APPARATUS AND ADJUSTMENT METHOD THEREOF}
본 개시는 X선 검사 장치 및 그 조정 방법에 관한 것이다.
종래의 X선 검사 장치로서, 예를 들어 일본 특허 제6569070호 공보에 기재된 장치가 알려져 있다. 일본 특허 제6569070호 공보에 기재된 X선 검사 장치는 피측정물을 투과한 X선의 각 광자에 대하여, 광자가 가지는 에너지를 소정의 개수의 에너지 임계값과 비교하여 2 이상의 에너지 영역으로 판별하여 검출하는 X선 검출 수단과, 복수의 종류의 피측정물의 각각에 대하여, 피측정물과 에너지 임계값이 직접적 또는 간접적으로 대응되어 기억된 기억 수단과, 기억 수단을 참조하여, 입력된 정보에 의해 종류가 특정된 피측정물에 대응하는 임계값을, 소정의 임계값으로서 X선 검출 수단이 참조할 수 있도록 유지하는 임계값 설정 수단과, X선 검출 수단이 소정의 1 이상의 에너지 영역의 각각에 대하여 검출한 광자의 수 또는 광자의 수에 따른 양에 기초하여 피측정물을 검사하는 검사 수단을 구비한다.
전술한 바와 같은 X선 검사 장치에서는 기억 수단에 의해 미리 기억되며, 피측정물인 물품의 물성에 따른 에너지 임계값을 사용할 수 있다. 그러나, 물품의 검사 조건(예를 들어, 피측정물의 반송 속도 등), X선 검사 장치 자체의 성능의 변동, X선 검사 장치의 상태(예를 들어, X선원의 열화에 따른 에너지 분포의 변화) 등에 따라서는 미리 기억되는 에너지 임계값이 최적이 아닐 수 있다. 이로써, 상기 검사 조건 등에 따라서는 피측정물의 검사 정밀도가 떨어지는 경우가 있다.
본 개시의 일 측면의 목적은 물품의 검사 조건 등이 변경되더라도 물품을 정밀도 좋게 검사 가능한 X선 검사 장치와 그 조정 방법의 제공이다.
본 개시의 일 측면에 따른 X선 검사 장치는, 물품을 반송(搬送)하는 반송부, 물품에 X선을 조사하는 X선원(源), X선을 포톤 카운팅 방식으로 검출 가능하며, 또한 임의의 임계값에 기초하여 검출한 X선의 광자 에너지를 2 이상의 에너지 영역으로 판별하는 X선 검출부, 임의의 임계값을 설정하는 임계값 설정부, X선 검출부에 의한 X선의 검출 결과에 기초하여 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 2 이상의 X선 투과 화상을 생성하는 X선 화상 생성부, X선 검출부에 의해 검출되는 물품을 투과한 X선에 기초하여 물품의 검사를 실시하는 검사부를 포함하고, 임계값 설정부는 2 이상의 X선 투과 화상의 농담(濃淡)에 기초하여 임의의 임계값을 설정한다.
본 개시의 다른 일 측면에 따른 X선 검사 장치는, 물품을 반송하는 반송부, 물품에 X선을 조사하는 X선원, X선을 포톤 카운팅 방식으로 검출 가능한 X선 검출부, X선 검출부의 검출 결과가 입력되는 제어부를 포함한다. 제어부는 임의의 임계값에 기초하여, X선 검출부에 의해 검출되는 X선의 광자 에너지를 2 이상의 에너지 영역으로 판별하는 판별부, 임의의 임계값을 설정하는 임계값 설정부, X선 검출부에 의한 X선의 검출 결과에 기초하여 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 2 이상의 X선 투과 화상을 생성하는 X선 화상 생성부, X선 검출부에 의해 검출되는 물품을 투과한 X선에 기초하여 물품을 검사하는 검사부를 포함하고, 임계값 설정부는 2 이상의 X선 투과 화상의 농담에 기초하여 임의의 임계값을 설정한다.
이들의 X선 검사 장치에 의하면, 임계값 설정부는 2 이상의 X선 투과 화상의 농담에 기초하여 임의의 임계값을 설정한다. 이로써, 예를 들어 물품의 검사 조건이 변경되었을 때 등 임의의 임계값이 변경되는 경우가 있다. 즉, 임계값 설정부는 검사 조건 등의 변경에 대응하는 적절한 임계값을 설정할 수 있다. 이로써, 물품의 검사 조건 등이 변경되더라도 물품을 정밀도 좋게 검사 가능하다.
X선 검출부 또는 판별부는 광자 에너지를, 제1 에너지 영역과, 제2 에너지 영역과, 제1 에너지 영역 및 제2 에너지 영역보다 낮은 제3 에너지 영역으로 판별해도 된다. 이 경우, 예를 들어 제1 에너지 영역에서 제3 에너지 영역 중 가장 노이즈가 포함되어 있는 에너지 영역을 제외하는 것에 의해 물품의 검사 정밀도를 향상할 수 있다.
임의의 임계값은 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차가 소정의 범위 내가 되는 임계값에 기초하여 결정되어도 된다. 이 경우, 물품에 포함되는 이물의 유무 등이 발견되기 쉽다.
임의의 임계값은 임계값에 보정값을 더한 값일 수도 있다. 이 경우, 물품의 검사 정밀도를 향상 가능하다.
2 이상의 X선 투과 화상의 농담차가 소정의 범위 밖인 경우, 임계값 설정부가 임의 임계값을 변경한 후, X선 화상 생성부는 변경 후의 임계값에 기초하여 판별되는 다른 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 다른 2 이상의 X선 투과 화상을 생성하고, 임계값 설정부는 다른 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차가 소정의 범위 내인지 여부를 판단해도 된다. 이 경우, 임계값 설정부는 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차가 소정의 범위 내가 되는 임의의 임계값을 정밀도 좋게 설정할 수 있다.
X선 화상 생성부는 임의의 임계값과 상이한 다른 임계값에 기초하여 판별되는 다른 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 다른 2 이상의 X선 투과 화상을 생성하고, 임계값 설정부는 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차와, 다른 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차를 비교해도 된다. 이 경우, 임계값 설정부는 상기 차끼리 비교하는 것에 의해 임의의 임계값의 적부를 쉽게 판단할 수 있다.
본 개시의 다른 일 측면에 따른 X선 검사 장치의 조정 방법은 하우징에 설치된 검사실 내에 X선을 조사하는 X선 조사 단계, X선을 포톤 카운팅 방식으로 검출하는 X선 검출 단계, 검출되는 X선의 광자 에너지를, 임의의 임계값에 의해 2 이상의 에너지 영역으로 판별하는 판별 단계, 광자 에너지를 사용하여 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 2 이상의 X선 투과 화상을 생성하는 화상 생성 단계, 2 이상의 X선 투과 화상의 농담에 기초하여 임의의 임계값을 설정하는 임계값 설정 단계를 포함한다.
이 조정 방법에 의하면, 임계값 설정 단계에서, 2 이상의 X선 투과 화상의 농담에 기초하여 임의의 임계값을 설정한다. 이로써, 예를 들어 물품의 검사 조건이 변경되었을 때 등 임의의 임계값이 변경되는 경우가 있다. 즉, 임의의 임계값은 검사 조건 등의 변경에 대응하는 적절한 임계값으로 변경 가능하다. 이 조정 방법이 실시되는 X선 검사 장치에 의하면, 물품의 검사 조건 등이 변경되더라도 물품을 정밀도 좋게 검사 가능하다.
임계값 설정 단계에서 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차가 소정의 범위 밖인 경우, 임의의 임계값의 변경과, 판별 단계와, 화상 생성 단계와, 임계값 설정 단계를 해당 차가 소정의 범위 내가 될 때까지 실시해도 된다. 이 경우, 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차가 소정의 범위 내가 되는 임의의 임계값을 정밀도 좋게 설정할 수 있다.
판별 단계에서는 광자 에너지는 임의의 임계값과 상이한 다른 임계값에 기초하여 다른 2 이상의 에너지 영역으로 판별되고, 화상 생성 단계에서는 다른 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 다른 2 이상의 X선 투과 화상이 생성되고, 임계값 설정 단계에서는 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차와, 다른 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차가 비교되어도 된다. 이 경우, 상기 차의 비교에 의해 임의의 임계값의 적부를 쉽게 판단할 수 있다.
본 개시의 일 측면에 의하면, 물품의 검사 조건 등이 변경되더라도 물품을 정밀도 좋게 검사 가능한 X선 검사 장치와 그 조정 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 일 실시형태에 따른 X선 검사 장치의 구성도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 실드 박스 내부의 구성도이다.
도 3은 제어부의 기능 구성도이다.
도 4의 (a)는 제1 투과 화상을 나타낸 도면이며, 도 4의 (b)는 제2 투과 화상을 나타낸 도면이다.
도 5는 차분 화상을 나타낸 도면이다.
도 6은 X선 검사 장치의 조정 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 7은 X선 검사 장치의 조정 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 8은 변형예에 따른 제어부의 기능 구성도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 개시의 바람직한 실시형태에 대해 상세하게 설명한다. 또한, 도면의 설명에 있어서 동일 또는 상당 요소에는 동일 부호를 부여하고, 중복되는 설명을 생략한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, X선 검사 장치(1)는 장치 본체(2)와, 지지 다리(3)와, 실드 박스(4)와, 반송부(5)와, X선 조사부(6)와, X선 검출부(7)와, 표시 조작부(8)와, 제어부(10)를 포함한다. X선 검사 장치(1)는 물품(G)을 반송하면서 물품(G)의 X선 투과 화상을 생성하고, 해당 X선 투과 화상에 기초하여 물품(G)의 검사를 행한다. 검사 전의 물품(G)은 반입 컨베이어(51)에 의해 X선 검사 장치(1)에 반입된다. 검사 후의 물품(G)은 반출 컨베이어(52)에 의해 X선 검사 장치(1)로부터 반출된다. X선 검사 장치(1)에 의해 불량품으로 판정된 물품(G)은 반출 컨베이어(52)의 하류에 배치된 분배 장치(도시 생략)에 의해 생산 라인 외로 분배된다. X선 검사 장치(1)에 의해 양품(良品)으로 판정된 물품(G)은 해당 분배 장치를 그대로 통과한다. 본 실시형태에서는, 물품(G)은 시리얼 플레이크이다.
장치 본체(2)는 제어부(10) 등을 수용한다. 지지 다리(3)는 장치 본체(2)를 지지한다. 실드 박스(4)는 장치 본체(2)에 설치된다. 실드 박스(4)는 외부로의 X선(전자파)의 누설을 방지하는 하우징이다. 실드 박스(4)의 내부에는 X선에 의한 물품(G)의 검사가 실시되는 검사실(R)이 설치된다. 실드 박스(4)에는 반입구(4a) 및 반출구(4b)가 형성된다. 검사 전의 물품(G)은 반입 컨베이어(51)로부터 반입구(4a)를 통하여 검사실(R)에 반입된다. 검사 후의 물품(G)은 검사실(R)으로부터 반출구(4b)를 통하여 반출 컨베이어(52)에 반출된다. 반입구(4a) 및 반출구(4b)의 각각은 X선의 누설을 방지하는 X선 차폐 커튼(도시 생략)이 설치된다.
반송부(5)는 물품(G)을 반송하는 부재이며, 실드 박스(4)의 중앙을 관통하도록 배치된다. 반송부(5)는 반입구(4a)로부터 검사실(R)을 통하여 반출구(4b)까지, 반송 방향(A)을 따라 물품(G)을 반송한다. 반송부(5)는 예를 들어 반입구(4a)와 반출구(4b) 사이에 걸쳐진 벨트 컨베이어이다. 또한, 벨트 컨베이어인 반송부(5)는 반입구(4a) 및 반출구(4b)보다 외측으로 돌출되어도 된다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, X선 조사부(6)는 실드 박스(4) 내에 배치되는 전자파 조사부(X선원)이다. X선 조사부(6)는 예를 들어 X선을 출사하는 X선관과, X선관으로부터 출사된 X선을 반송 방향(A)에 수직인 면 내에 있어서 부채꼴 형상으로 펼치는 조임부를 포함한다. X선 조사부(6)로부터 조사되는 X선에는 저에너지(장파장)에서 고에너지(단파장)까지 다양한 에너지 영역의 X선이 포함되어 있다. 이로써, X선 조사부(6)는 반송부(5)에 의해 반송되는 물품(G)에 대하여, 복수의 에너지 영역의 X선을 조사한다. 또한, 전술한 저에너지 및 고에너지에 있어서 '저' 및 '고'는 X선 조사부(6)로부터 조사되는 복수의 에너지 영역 중 상대적으로 '낮은' 및 '높은' 것을 나타낸 것이며, 특정한 범위를 나타낸 것이 아니다.
X선 검출부(7)는 전자파를 검출하는 센서 부재이다. X선 검출부(7)는 실드 박스(4) 내이며, 상하 방향에 있어서 X선 조사부(6)에 대향되는 위치에 배치된다. X선 검출부(7)는 특정한 에너지 영역의 X선을 검출 가능해도 되고, 포톤 카운팅 방식으로 X선을 검출 가능해도 된다. X선 검출부(7)는 직접 변환형 검출부일 수 있고, 간접 변환형 검출부일 수도 있다. 본 실시형태에서는, X선 검출부(7)는 X선을 포톤 카운팅 방식으로 검출 가능한 직접 변환형 검출부이며, 예를 들어 물품(G)을 투과하는 복수의 에너지 영역의 각각의 X선을 검출하는 센서(멀티에너지 센서)를 포함한다. 해당 센서는 예를 들어 적어도 반송부(5)의 반송 방향 및 상하 방향에 직교하는 방향(폭 방향)으로 배열된다. 해당 소자는 상기 폭 방향뿐만 아니라 상기 반송 방향으로도 배열되어도 된다. 즉, X선 검출부(7)는 라인 센서를 포함해도 되고, 이차원적으로 배치되는 센서군을 포함해도 된다. 상기 센서는 예를 들어 CdTe 반도체 검출기 등의 광자 검출형 센서이다.
X선 검출부(7)에 포함되는 상기 소자에 있어서는, 예를 들어 X선의 광자가 도달하는 것에 의해 전자-정공대(正孔對)가 생성된다. 이 때 얻어지는 에너지(광자 에너지)에 기초하여 포톤 카운팅이 이루어진다.
X선 검출부(7)는 임의의 임계값에 기초하여 검출한 X선의 광자 에너지를 2 이상의 에너지 영역으로 판별한다. 이로써, X선 검출부(7)는 각각의 에너지 영역의 포톤 카운팅이 가능해진다. X선 검출부(7)는 X선의 검출 결과에 상당하고, 또한 분별된 신호(검출 결과 신호)를 제어부(10)에 출력한다. 본 실시형태에서는, X선 검출부(7)는 검출한 X선의 광자 에너지를, 임의의 임계값을 사용하여 적어도 제1 에너지 영역과, 해당 제1 에너지 영역보다 높은 제2 에너지 영역으로 분별한다. 임의의 임계값은 예를 들어 제어부(10)에 의해 설정되는 1개 이상의 값(단위: keV)이다. 이로써, 제1 에너지 영역과 제2 에너지 영역은 1개의 임계값에 의해 구분되어도 되고, 상이한 임계값(예를 들어, 제1 임계값과, 해당 제1 임계값과 상이한 제2 임계값)에 의해 구분되어도 된다. 후자의 경우, 제1 에너지 영역과 제2 에너지 영역 사이에는 1 또는 복수의 에너지 영역이 존재해도 된다. 예를 들어, X선 검출부(7)는 상기 광자 에너지를, 제1 에너지 영역과, 제2 에너지 영역과, 제1 에너지 영역 및 제2 에너지 영역보다 낮은 제3 에너지 영역으로 판별해도 된다. 상기 임의의 임계값 및 그 수는 물품(G)의 종류 변경, 검사 조건의 변경 등에 따라 표시 조작부(8)를 통하여 적당히 확인할 수 있다. 또한, 임의의 임계값의 설정 방법은 후술한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 표시 조작부(8)는 장치 본체(2)에 설치되어 있는 부재(표시부)이다. 표시 조작부(8)는 각종 정보를 표시함과 함께 외부로부터 각종 조건의 입력 조작을 접수한다. 표시 조작부(8)는 예를 들어 액정 디스플레이이며, 터치패널로서의 조작 화면을 표시한다. 이 경우, 오퍼레이터는 표시 조작부(8)를 통하여 각종 조건을 입력할 수 있다. 입력 조작으로서는 예를 들어 제어부(10)에 포함되는 검사부(23)(도 3 참조)에 의한 물품(G)의 검사에 사용되는 화상(상세한 것은 후술)의 선택 조작을 접수한다. 이로써, 희망하는 검사 결과를 바람직하게 입수할 수 있다.
제어부(10)는 X선 검출부(7)의 검출 결과가 입력되는 부재이며, 장치 본체(2) 내에 배치된다. 제어부(10)는 X선 검사 장치(1)의 각 부(본 실시형태에서는, 반송부(5), X선 조사부(6), X선 검출부(7) 및 표시 조작부(8), 및 X선 검사 장치(1)의 하류에 배치되는 미도시의 분배 장치)의 동작을 제어한다. 또한, 분배 장치는 X선 검사 장치(1)에 의한 화상 검사에서 불량품으로 판정된 피검사물(물품)을 반송로 상에서 배제하는 장치이다. ROM에는 X선 검사 장치(1)를 제어하기 위한 프로그램이 기록되어 있다.
도 3은, 제어부의 기능 구성도이다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 제어부(10)는 X선 화상 생성부(21)와, 임계값 설정부(22)와, 검사부(23)와, 판정부(24)와, 출력부(25)와, 기억부(26)를 포함한다.
X선 화상 생성부(21)는 X선 검출부(7)로부터 출력되는 신호(예를 들어, 상기 검출 결과 신호)를 메모리 상에서 이차원 화상으로 전개하는 부재이다. X선 화상 생성부(21)는 예를 들어 주로 GPU(Graphics Processing Unit)에 의해 구성된다. 이차원 화상이 전개되는 메모리는 예를 들어 GPU에 포함되는 메모리인데, 이에 한정되지 않는다. X선 화상 생성부(21)는 예를 들어 X선 검출부(7)에 의한 X선의 검출 결과에 기초하여 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 2 이상의 X선 투과 화상을 생성한다. 각각의 X선 투과 화상은 물품(G)의 검사에 사용되기 위한 화상(이하, 단지 '검사용 화상'이라고도 함)일 수도 있고, 상기 임의의 임계값을 설정하기 위한 화상(이하, 단지 '임계값 설정용 화상'이라고도 함)일 수도 있다. 검사용 화상은 X선 검사 장치(1)에 의한 물품(G)의 검사 중에 생성된다. 임계값 설정용 화상은 예를 들어 X선 검사 장치(1)의 설정 중, 조정 중(예를 들어, X선 검사 장치(1)의 캘리브레이션 시) 등에 생성된다. 또한, X선 화상 생성부(21)는 X선 투과 화상으로서 예를 들어 상기 검출 결과에 기초하여 상기 복수의 에너지 영역의 모든 X선에 대응하는 전체 투과 화상을 생성해도 된다.
본 실시형태에서는, X선 화상 생성부(21)는 검사용 화상으로서, 상기 제1 에너지 영역의 X선에 대응하는 제1 검사용 화상(P1)(도 4의 (a) 참조)과, 상기 제2 에너지 영역의 X선에 대응하는 제2 검사용 화상(P2)(도 4의 (b) 참조)과, 제1 검사용 화상(P1)과 제2 검사용 화상(P2)의 감산 처리에서 얻어지는 차분 화상(P3)(도 5 참조)을 생성한다. 또한, X선 화상 생성부(21)는 임계값 설정용 화상으로서, 상기 제1 에너지 영역의 X선에 대응하는 제1 설정용 화상과, 상기 제2 에너지 영역의 X선에 대응하는 제2 설정용 화상을 생성할 수 있다.
제1 검사용 화상(P1)은 예를 들어 검출 결과 신호에 포함되는 정보의 일부에 기초하여 생성된다. 제2 검사용 화상(P2)은 예를 들어 검출 결과 신호에 포함되는 정보의 다른 일부에 기초하여 생성된다. X선 화상 생성부(21)는 전체 투과 화상과 제2 검사용 화상(P2)에 기초하여 제1 검사용 화상(P1)을 생성해도 된다. 이 경우, 제1 검사용 화상(P1)은 예를 들어 전체 투과 화상의 생성에 이용되는 데이터와, 제2 검사용 화상(P2)의 생성에 이용되는 데이터와의 차분 데이터에 기초하여 생성된다. 또는, X선 화상 생성부(21)는 전체 투과 화상과 제1 검사용 화상(P1)에 기초하여 제2 검사용 화상(P2)을 생성해도 된다. 이 경우, 제2 검사용 화상(P2)은 예를 들어 전체 투과 화상의 생성에 이용되는 데이터와 제1 검사용 화상(P1)의 생성에 이용되는 데이터와의 차분 데이터에 기초하여 생성된다. 제1 검사용 화상(P1)과 제2 검사용 화상(P2)의 각각에는 물품(G)과, 해당 물품(G) 이외의 배경이 투영되어 있다. 도 4의 (a)에 나타낸 일례와 같이, 제1 검사용 화상(P1)은 제2 검사용 화상(P2)과 비교하여 전체적으로 어둡다. 한편, 도 4의 (b)에 나타낸 일례와 같이, 제2 검사용 화상(P2)은 제1 검사용 화상(P1)과 비교하여 전체적으로 밝다. 본 실시형태에서는, 제1 검사용 화상(P1)과 제2 검사용 화상(P2)의 밝기 비교는 제1 검사용 화상(P1)에 표시되는 물품(G)의 밝기와, 제2 검사용 화상(P2)에 표시되는 물품(G)의 밝기 비교에 상당한다.
차분 화상(P3)은 예를 들어 화상 처리 알고리즘을 사용하여 제1 검사용 화상(P1) 및 제2 검사용 화상(P2)의 적어도 일방에 대하여 화상 처리를 실시하는 것에 의해 생성되는 화상(에너지 분석용 화상)이다. 화상 처리 알고리즘이란, 제1 검사용 화상(P1) 및 제2 검사용 화상(P2)의 적어도 일방에 실시되는 화상 처리의 처리 순서를 나타낸 형(型)이다. 화상 처리 알고리즘은 1개의 화상 처리 필터 또는 복수의 화상 처리 필터의 조합에 의해 구성된다. 복수의 화상 처리 알고리즘은 인터넷 등의 네트워크를 통하여 외부로부터 취득할 수 있다. 또한, 복수의 화상 처리 알고리즘은 USB 메모리 또는 리무버블 하드디스크 등의 외부 기억 매체로부터 취득할 수도 있다. 복수의 화상 처리 알고리즘 중 적어도 1개 이상은 생물계에서의 유전 및 진화 메커니즘을 응용한 수법인 유전적 알고리즘(GA=Genetic Algorithms)을 채용하여, X선 검사 장치(1)의 사양 또는 검사 조건 등에 기초하여 복수의 화상 처리 필터로부터 자동 생성할 수 있다. 복수의 화상 처리 알고리즘의 적어도 일부는 작업자가 표시 조작부(8)를 통하여 적당히 설정할 수도 있다. 제1 검사용 화상(P1)에 대하여 사용되는 화상 처리 알고리즘과, 제2 검사용 화상(P2)에 대하여 사용되는 화상 처리 알고리즘은 서로 상이해도 된다. 예를 들어, 제1 검사용 화상(P1)의 밝기와, 제2 검사용 화상(P2)의 밝기를 맞추기 위해서 제1 검사용 화상(P1) 및 제2 검사용 화상(P2)의 일방에 대하여 밝기를 변경하는 처리가 행하여져도 된다. 해당 처리로서 예를 들어 일본 특원 2021-195926호에 기재된 바와 같이 휘도 분포를 이용하는 처리가 실시되어도 된다.
X선 화상 생성부(21)는 상기 화상 처리 알고리즘을 사용하는 대신에 기계 학습에 의해 자동 설정되는 프로그램을 사용해도 된다. 이러한 프로그램은 기계 학습에 의해 생성되는 예측 모델(학습 모델)이며, 기계 학습의 결과 얻어진 파라미터(학습 파라미터)를 통합하는 추론 프로그램이다. 학습 모델에 사용되는 기계 학습의 예로서는 뉴럴 네트워크, 서포트 벡터 머신, 유전적 알고리즘 등을 들 수 있다. 학습 모델은 중첩 뉴럴 네트워크를 포함해도 되고, 복수의 계층(예를 들어, 8층 이상)의 뉴럴 네트워크를 포함해도 된다. 즉, 상기 프로그램에 상당하는 학습 모델은 딥러닝에 의해 생성되어도 된다.
임계값 설정부(22)는 2 이상의 X선 투과 화상의 농담에 기초하여 임의의 임계값을 설정하는 부분이다. 임계값 설정부(22)는 상기 제1 설정용 화상과 상기 제2 설정용 화상과의 농담차가 소정의 범위 내가 되는 임계값에 기초하여 상기 임의의 임계값을 설정한다. 임계값 설정부(22)는 우선 상기 제1 설정용 화상의 배경 휘도(제1 배경 휘도= B1)와, 상기 제2 설정용 화상의 배경 휘도(제2 배경 휘도= B2)와의 차(휘도차)가 소정의 범위 내가 되는 임계값(예비 임계값)을 설정한다. 소정의 X선 투과 화상의 배경 휘도는 예를 들어 해당 화상에 포함되는 각각의 화소의 휘도의 합계를 화소수로 나눈 값에 상당한다. 본 실시형태에서의 휘도차는 제1 배경 휘도와 제2 배경 휘도와의 차분의 절대값(｜B2-B1｜)을, 제1 배경 휘도와 제2 배경 휘도와의 합계(B1+B2)로 나눈 값(｜B2-B1｜/(B1+B2))에 상당한다. 본 실시형태에서는, 휘도차가 0.05 이하인 경우, 휘도차가 소정의 범위 내가 된다고 판단되는데, 이에 한정되지 않는다. 다음에, 임계값 설정부(22)는 얻어진 예비 임계값에 대하여 보정값(단위: keV)을 더하는 것에 의해 임의의 임계값을 설정한다. 보정값은 예를 들어 표시 조작부(8) 등을 통하여 작업자에 의해 결정되는 임의의 값이다. 보정값은 예를 들어 -10keV 이상 10keV 이하이다. 또한, 보정값은 0일 수도 있다. 즉, 임의의 임계값은 상기 예비 임계값일 수도 있다.
임의의 임계값이 설정될 때까지(즉, 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차가 소정의 범위 밖인 경우), 임계값 설정부(22)는 임계값을 변경한다. 제1 배경 휘도가 제2 배경 휘도보다 큰 경우(B1>B2), 임계값 설정부(22)는 직전에 사용되는 임계값을 감소시키는 보정을 실시한다. 제1 배경 휘도가 제2 배경 휘도보다 작은 경우(B1<B2), 임계값 설정부(22)는 직전에 사용되는 임계값을 증가시키는 보정을 실시한다. 임계값의 감소값 및 증가값은 특별히 한정되지 않는다. 다음에, X선 화상 생성부(21)는 변경 후의 임계값에 기초하여 판별되는 다른 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 다른 2 이상의 X선 투과 화상(다른 제1 설정용 화상 및 다른 제2 설정용 화상)을 생성한다. 다른 제1 설정용 화상 및 다른 제2 설정용 화상은 상기 제1 설정용 화상 및 상기 제2 설정용 화상보다 후에 생성된다. 이로써 이하에서는, 상기 제1 설정용 화상 및 상기 제2 설정용 화상의 각각은 전번의 설정용 화상이라고도 할 수 있다.
다른 2 이상의 X선 투과 화상이 생성되는 경우, 임계값 설정부(22)는 다른 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차가 소정의 범위 내인지 여부를 판단한다. 본 실시형태에서는, 임계값 설정부(22)는 상기 다른 제1 설정용 화상의 배경 휘도와, 상기 다른 제2 설정용 화상의 배경 휘도와의 차(다른 휘도차)가 소정의 범위 내인지 여부를 판단한다. X선 화상 생성부(21)와 임계값 설정부(22)는 임의의 임계값이 설정될 때까지 신규로 생성하는 제1 설정용 화상과 제2 설정용 화상과의 농담차가 소정의 범위 내인지의 판단을 반복한다. 이로써, 임계값 설정부(22)는 임의의 임계값을 탐색한다. 또한, 임의의 임계값의 탐색에 있어서, 최초에 사용되는 임계값(초기 임계값)은 예를 들어 X선 검출부(7)의 관 전압에 따라 결정되는데, 이에 한정되지 않는다. 초기 임계값은 기억부(26)에 미리 기억된 값 등일 수도 있다.
임계값 설정부(22)는 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차와, 다른 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차를 비교한다. 본 실시형태에서는, 다른 제1 배경 휘도가 다른 제2 배경 휘도보다 크고, 또한 제1 배경 휘도가 제2 배경 휘도보다 작은 경우, 상기 변경 후의 임계값에 기초하여 임의의 임계값을 설정한다(즉, 임계값의 탐색을 종료한다). 그리고, 다른 제1 배경 휘도가 다른 제2 배경 휘도보다 작고, 또한 제1 배경 휘도가 제2 배경 휘도보다 큰 경우도, 상기 변경 후의 임계값을 증가시키는 보정을 실시한 값에 기초하여 임의의 임계값을 설정한다(즉, 임계값의 탐색을 종료한다).
검사부(23)는 X선 검출부(7)에 의해 검출되는 물품(G)을 투과한 X선에 기초하여 물품(G)의 검사를 실시한다. 검사부(23)는 X선 화상 생성부(21)에 의해 생성되는 복수의 화상의 적어도 일부에 기초하여 물품(G)을 검사한다. 검사부(23)는 예를 들어 차분 화상(P3)을 이용하여 물품(G)을 검사한다. 또한, 검사부(23)는 X선 화상 생성부(21)에 의해 생성되는 복수의 화상 중, 2개 이상의 화상에 기초하여 물품(G)을 검사해도 된다. 검사부(23)는 예를 들어 물품(G)에 대하여 이물의 유무, 깨진 파편의 유무 등을 검사하는데, 이에 한정되지 않는다. 물품(G)이 시트형 포장재에 의해 포장되는 경우 등에서는, 검사부(23)는 포장재의 파손이나 포장재의 실 불량(실 씹힘) 등도 검사할 수 있다. 물품(G)이 포장체에 수용되는 경우 등에 검사부(23)는 포장체 내의 이물 확인 검사, 결품 확인 검사, 수납 수 확인 검사, 공동(空洞) 확인 검사 등을 실시할 수 있다. 검사부(23)는 물품(G)의 검사 결과를 판정부(24) 및 기억부(26)에 송신한다.
판정부(24)는 검사부(23)로부터 수신한 검사 결과에 기초하여 물품(G)이 양품인지 여부를 판정한다. 예를 들어, 판정부(24)는 물품(G) 내에서의 이물의 유무, 물품(G)의 깨진 파편의 유무 등을 판정한다. 판정부(24)는 판정 결과를 출력부(25) 및 기억부(26)에 송신한다.
출력부(25)는 X선 검사 장치(1)에서의 제어부(10) 이외의 부분 및 X선 검사 장치(1)와 상이한 장치의 적어도 일방에 판정부(24)의 판정 결과를 출력한다. 이로써, X선 검사 장치(1) 및 X선 검사 장치(1)와 상이한 장치(예를 들어, X선 검사 장치(1)보다 하류에 배치된 분배 장치)의 적어도 일방은 물품(G)이 불량품일 때의 동작을 실행할 수 있다. X선 검사 장치(1)와 상이한 상기 장치의 다른 예로서는 예를 들어 반입 컨베이어(51), 반출 컨베이어(52), 통보 장치 등을 들 수 있다.
기억부(26)는 제어부(10)에서 생성되는 신호, 데이터 등을 기록한다. 예를 들어, 기억부(26)는 X선 검출부(7)로부터 송신되는 검출 결과 신호와, X선 화상 생성부(21)로부터 송신되는 화상 데이터와, 임계값 설정부(22)에서 설정되는 임의의 임계값에 연관된 데이터와, 검사부(23)로부터 송신되는 검사 결과에 연관된 데이터와, 판정부(24)로부터 송신되는 판정 결과에 연관된 데이터를 기록한다.
다음에, 도 6 및 도 7을 참조하여 본 실시형태에 따른 X선 검사 장치(1)의 조정 방법에 대해 설명한다. X선 검사 장치(1)의 조정 방법은 X선 검사 장치(1)의 검사 정밀도를 유지 또는 향상하기 위해서 실시되며, 예를 들어 X선 검사 장치(1)의 캘리브레이션 중 등에 실시된다. 이하에서 설명하는 X선 검사 장치(1)의 조정 방법에서는, 검출되는 X선의 광자 에너지를 판별하기 위해서 이용되는 임의의 임계값을 설정한다. 도 6 및 도 7의 각각은 X선 검사 장치의 조정 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 우선 검사실(R) 내에 X선을 조사한다(단계 S1, X선 조사 단계). 단계 S1에서는, 실드 박스(4) 내에 배치되는 X선 조사부(6)를 기동시킨다. 다음에, X선을 포톤 카운팅 방식으로 검출한다(단계 S2, X선 검출 단계). 단계 S2에서는, X선 검출부(7)에 의해 X선을 포톤 카운팅 방식으로 검출한다. 다음에, 검출되는 X선의 광자 에너지를, 임의의 임계값에 의해 2 이상의 에너지 영역으로 판별한다(단계 S3, 판별 단계). 단계 S3에서는, 미리 결정되는 초기 임계값을 이용하여 X선 검출부(7)가 광자 에너지를 제1 에너지 영역과 제2 에너지 영역으로 판별한다.
다음에, 광자 에너지를 이용하여 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 2 이상의 X선 투과 화상을 생성한다(단계 S4, 화상 생성 단계). 단계 S4에서는, 제1 에너지 영역에 해당하는 X선 검출 결과로부터 제1 설정용 화상을 생성하고, 제2 에너지 영역에 해당하는 X선 검출 결과로부터 제2 설정용 화상을 생성한다.
다음에, 2 이상의 X선 투과 화상의 농담에 기초하여 임의의 임계값을 설정한다(단계 S5, 임계값 설정 단계). 단계 S5에서는, 제1 설정용 화상의 배경 휘도와 제1 설정용 화상의 배경 휘도와의 차(휘도차)가 소정의 범위 내가 되는 임계값(예비 임계값)을 설정한다. 그리고, 얻어진 예비 임계값에 대하여 보정값을 더하는 것에 의해 임의의 임계값을 설정한다. 또한, 단계 S5에서 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차가 소정의 범위 밖인 경우, 임계값의 변경과, 판별 단계와, 화상 생성 단계와, 임계값 설정 단계를 상기 차가 소정의 범위 내가 될 때까지 실시한다(즉, 단계 S1∼S5을 반복하여 실시한다). 이 경우, 단계 S3에서는, 광자 에너지는 임의의 임계값과 상이한 다른 임계값에 기초하여 다른 2 이상의 에너지 영역으로 판별되고, 단계 S4에서는, 다른 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 다른 2 이상의 X선 투과 화상이 생성되고, 단계 S5에서는, 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차와, 다른 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차가 비교되어도 된다.
여기서, 도 7을 참조하여 임의의 임계값을 설정하는 방법의 상세를 설명한다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 휘도차가 소정의 범위 이하가 되고 있는지 여부를 판단한다(단계 S11). 상기 휘도차가 소정의 범위 이하인 경우(단계 S11: YES), 임계값을 보정한다(단계 S12). 이로써, 임의의 임계값이 설정된다. 또한, 보정되는 상기 임계값은 가장 최근의 단계 S3에서 사용되는 임계값(예를 들어, 초기 임계값)에 상당한다.
한편, 상기 휘도차가 소정의 범위 밖인 경우(단계 S11: NO), 제1 배경 휘도가 제2 배경 휘도보다 큰지 여부를 판단한다(단계 S13). 제1 배경 휘도가 제2 배경 휘도보다 큰 경우(단계 S13: YES), 전번의 제1 설정용 화상의 제1 배경 휘도(이하, 단지 '전번의 제1 배경 휘도'라고 함)가 전번의 제2 설정용 화상의 제2 배경 휘도(이하, 단지 '전번의 제2 배경 휘도'라고 함)보다 작은지 여부를 판단한다(단계 S14). 전번의 제1 배경 휘도가 전번의 제2 배경 휘도보다 작은 경우(단계 S14: YES), 단계 S12를 실시한다. 한편, 전번의 제1 배경 휘도가 전번의 제2 배경 휘도보다 큰 경우(단계 S14: NO), 임계값을 내리는 보정을 실시한다(단계 S15). 단계 S15에서는, 초기 임계값을 소정 값 내리는 것에 의해 다른 임계값으로 한다. 그리고, 다른 임계값으로 단계 S1로부터 다시 행한다. 또한, 전번의 제1 배경 휘도 및 전번의 제2 배경 휘도가 존재하지 않는 경우, 단계 S14를 실시하는 일없이 단계 S15을 실시한다.
제1 배경 휘도가 제2 배경 휘도보다 작은 경우(단계 S13: NO), 임계값을 올리는 보정을 실시한다(단계 S16). 단계 S16에서는, 초기 임계값을 소정 값 올리는 것에 의해 또 다른 임계값으로 한다. 다음에, 전번의 제1 배경 휘도가 전번의 제2 배경 휘도보다 큰지 여부를 판단한다(단계 S17). 전번의 제1 배경 휘도가 전번의 제2 배경 휘도보다 큰 경우(단계 S17: YES), 단계 S12를 실시한다. 한편, 전번의 제1 배경 휘도가 전번의 제2 배경 휘도보다 작은 경우(단계 S17: NO), 또 다른 임계값으로 단계 S1로부터 다시 행한다. 또한, 전번의 제1 배경 휘도 및 전번의 제2 배경 휘도가 존재하지 않는 경우, 단계 S17을 실시하는 일없이 단계 S1을 실시한다.
이상에서 설명한 본 실시형태에 따른 X선 검사 장치(1) 및 그 조정 방법에 의하면, 임계값 설정부(22)는 제1 설정용 화상과 제2 설정용 화상과의 농담차에 기초하여 임의의 임계값을 설정한다. 이로써, 예를 들어 물품(G)의 검사 조건이 변경되었을 때 등 임의의 임계값이 변경되는 경우가 있다. 즉, 임계값 설정부(22)는 검사 조건 등의 변경에 대응하는 적절한 임계값을 설정할 수 있다. 이로써, 물품(G)의 검사 조건 등이 변경되더라도 물품(G)을 정밀도 좋게 검사 가능하다.
본 실시형태에서는, X선 검출부(7)는 광자 에너지를, 제1 에너지 영역과, 제2 에너지 영역과, 제1 에너지 영역 및 제2 에너지 영역보다 낮은 제3 에너지 영역으로 판별해도 된다. 이 경우, 예를 들어 제1 에너지 영역에서 제3 에너지 영역 중 가장 노이즈가 포함되어 있는 에너지 영역을 제외하는 것에 의해 물품(G)의 검사 정밀도를 향상할 수 있다.
본 실시형태에서는, 임의의 임계값은 제1 설정용 화상과 제2 설정용 화상과의 농담차가 소정의 범위 내가 되는 예비 임계값에 기초하여 결정된다. 이로써, 물품(G)에 포함되는 이물의 유무 등이 발견되기 쉽다.
본 실시형태에서는, 임의의 임계값은 예비 임계값에 보정값을 더한 값이다. 이 경우, 물품(G)의 검사 정밀도를 향상 가능하다.
본 실시형태에서는, 제1 설정용 화상과 제2 설정용 화상과의 농담차가 소정의 범위 밖인 경우, 임계값 설정부(22)가 임의 임계값을 변경한 후, X선 화상 생성부(21)는 변경 후의 임계값에 기초하여 판별되는 다른 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 다른 제1 설정용 화상과 다른 제2 설정용 화상을 생성하고, 임계값 설정부(22)는 다른 제1 설정용 화상과 다른 제2 설정용 화상과의 농담차가 소정의 범위 내인지 여부를 판단해도 된다. 이 경우, 임계값 설정부(22)는 제1 설정용 화상과 제2 설정용 화상과의 농담차가 소정의 범위 내가 되는 임의의 임계값을 정밀도 좋게 설정할 수 있다.
X선 화상 생성부(21)는 임의의 임계값과 상이한 다른 임계값에 기초하여 판별되는 다른 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 다른 제1 설정용 화상과 다른 제2 설정용 화상을 생성하고, 임계값 설정부는 제1 설정용 화상과 제2 설정용 화상과의 농담차와, 다른 제1 설정용 화상과 다른 제2 설정용 화상과의 농담차를 비교해도 된다. 이 경우, 임계값 설정부(22)는 상기 차끼리 비교하는 것에 의해 임의의 임계값의 적부를 쉽게 판단할 수 있다.
이상에서 본 개시의 실시형태에 대해 설명하였으나, 본 개시는 반드시 전술한 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 그 요지를 벗어나지 않는 범위에서 각종 변경이 가능하다.
상기 실시형태에서는, X선 검출부는 임의의 임계값에 기초하여 검출한 X선의 광자 에너지를 2 이상의 에너지 영역으로 판별하는데, 이에 한정되지 않는다. 도 8은, 변형예에 따른 제어부의 기능 구성도이다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 제어부(10A)는 X선 화상 생성부(21)와, 임계값 설정부(22)와, 검사부(23)와, 판정부(24)와, 출력부(25)와, 기억부(26)에 더하여 판별부(27)를 가진다. 판별부(27)는 임의의 임계값에 기초하여 검출한 X선의 광자 에너지를 2 이상의 에너지 영역으로 판별하는 부분이다. 판별부(27)는 예를 들어 광자 에너지를, 제1 에너지 영역과, 제2 에너지 영역과, 제3 에너지 영역으로 판별할 수 있다. 이러한 제어부(10A)를 이용하는 것에 의해 X선 검출부가 각각의 에너지 영역의 포톤 카운팅을 실시하지 않아도 된다. 다시 말해, X선 검출부는 단지 X선의 검출 결과를 제어부(10A)에 출력하면 된다. 이로써, X선 검출부의 구성을 간략화 할 수 있다.
상기 실시형태에서는, X선 검사 장치가 화상 처리를 실시하는 제어부를 가지는데, 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제어부에 있어서 화상 처리를 실시하는 기능, 차분 화상에 기초하여 물품에 포함되는 이물의 유무를 판정하는 기능, X선 검사 결과를 표시하는 기능 등은 X선 검사 장치에 포함되지 않아도 된다. 그 대신에, 상기 X선 검사 장치에 대하여 유선 통신 또는 무선 통신 가능한 제어 장치에 실정되어도 된다. 이 경우, X선 검사 장치와, 해당 X선 검사 장치의 검사 결과가 입력되는 상기 제어 장치를 구비한 X선 검사 시스템을 구현할 수 있다. 이러한 X선 검사 시스템에 의해도 상기 실시형태와 동일한 작용 효과가 발휘된다. 그리고, X선 검사 장치가 구비한 제어부의 구성을 간이화 할 수 있다. 추가적으로, 유저가 X선 검사 장치로부터 떨어진 장소에서도 검사 결과 등을 확인할 수 있다. 또한, 상기 제어 장치는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 랩탑 PC, 타블렛 등이다. 또한, 상기 제어 장치에 이물의 유무를 판정하는 기능은 포함되지 않아도 된다.

Claims (11)

  1. 물품을 반송(搬送)하는 반송부,
    상기 물품에 X선을 조사(照射)하는 X선원(源),
    상기 X선을 포톤 카운팅 방식으로 검출 가능하며, 또한 임의의 임계값에 기초하여 검출한 상기 X선의 광자 에너지를 2 이상의 에너지 영역으로 판별하는 X선 검출부,
    상기 임의의 임계값을 설정하는 임계값 설정부,
    상기 X선 검출부에 의한 상기 X선의 검출 결과에 기초하여 상기 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 2 이상의 X선 투과 화상을 생성하는 X선 화상 생성부,
    상기 X선 검출부에 의해 검출되는 상기 물품을 투과한 상기 X선에 기초하여 상기 물품의 검사를 실시하는 검사부
    를 포함하고,
    상기 임계값 설정부는, 상기 2 이상의 X선 투과 화상의 농담(濃淡)에 기초하여 상기 임의의 임계값을 설정하는,
    X선 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 X선 검출부는, 상기 광자 에너지를, 제1 에너지 영역과, 제2 에너지 영역과, 상기 제1 에너지 영역 및 상기 제2 에너지 영역보다 낮은 제3 에너지 영역으로 판별하는, X선 검사 장치.
  3. 물품을 반송하는 반송부,
    상기 물품에 X선을 조사하는 X선원,
    상기 X선을 포톤 카운팅 방식으로 검출 가능한 X선 검출부,
    상기 X선 검출부의 검출 결과가 입력되는 제어부
    를 포함하고,
    상기 제어부는,
    임의의 임계값에 기초하여, 상기 X선 검출부에 의해 검출되는 상기 X선의 광자 에너지를 2 이상의 에너지 영역으로 판별하는 판별부,
    상기 임의의 임계값을 설정하는 임계값 설정부,
    상기 X선 검출부에 의한 상기 X선의 검출 결과에 기초하여 상기 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 2 이상의 X선 투과 화상을 생성하는 X선 화상 생성부,
    상기 X선 검출부에 의해 검출되는 상기 물품을 투과한 상기 X선에 기초하여 상기 물품을 검사하는 검사부를 포함하고,
    상기 임계값 설정부는, 상기 2 이상의 X선 투과 화상의 농담에 기초하여 상기 임의의 임계값을 설정하는,
    X선 검사 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 판별부는, 상기 광자 에너지를, 제1 에너지 영역과, 제2 에너지 영역과, 상기 제1 에너지 영역 및 상기 제2 에너지 영역보다 낮은 제3 에너지 영역으로 판별하는, X선 검사 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 임의의 임계값은, 상기 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차가 소정의 범위 내가 되는 임계값에 기초하여 결정되는, X선 검사 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 임의의 임계값은, 상기 임계값에 보정값을 더한 값인, X선 검사 장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차가 소정의 범위 밖인 경우, 상기 임계값 설정부가 상기 임의의 임계값을 변경한 후,
    상기 X선 화상 생성부는, 변경 후의 임계값에 기초하여 판별되는 다른 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 다른 2 이상의 X선 투과 화상을 생성하고,
    상기 임계값 설정부는, 상기 다른 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차가 소정의 범위 내인지 여부를 판단하는, X선 검사 장치.
  8. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 X선 화상 생성부는, 상기 임의의 임계값과 상이한 다른 임계값에 기초하여 판별되는 다른 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 다른 2 이상의 X선 투과 화상을 생성하고,
    상기 임계값 설정부는, 상기 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차와, 상기 다른 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차를 비교하는, X선 검사 장치.
  9. 하우징에 설치된 검사실 내에 X선을 조사하는 X선 조사 단계,
    상기 X선을 포톤 카운팅 방식으로 검출하는 X선 검출 단계,
    검출되는 상기 X선의 광자 에너지를, 임의의 임계값에 의해 2 이상의 에너지 영역으로 판별하는 판별 단계,
    상기 광자 에너지를 이용하여 상기 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 2 이상의 X선 투과 화상을 생성하는 화상 생성 단계,
    상기 2 이상의 X선 투과 화상의 농담에 기초하여 상기 임의의 임계값을 설정하는 임계값 설정 단계
    를 포함하는 X선 검사 장치의 조정 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 임계값 설정 단계에서 상기 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차가 소정의 범위 밖인 경우, 상기 임의의 임계값의 변경과, 상기 판별 단계와, 상기 화상 생성 단계와, 상기 임계값 설정 단계를, 상기 차이가 소정의 범위 내가 될 때까지 실시하는, 조정 방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 판별 단계에서는, 상기 광자 에너지는, 상기 임의의 임계값과 상이한 다른 임계값에 기초하여 다른 2 이상의 에너지 영역으로 판별되고,
    상기 화상 생성 단계에서는, 상기 다른 2 이상의 에너지 영역에 대응하는 다른 2 이상의 X선 투과 화상이 생성되고,
    상기 임계값 설정 단계에서는, 상기 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차와, 상기 다른 2 이상의 X선 투과 화상의 농담차가 비교되는, 조정 방법.
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