JP2021148645A - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査精度の向上が図れるＸ線検査装置を提供する。【解決手段】Ｘ線検査装置１は、搬送部５と、Ｘ線照射部６と、Ｘ線検出部７と、制御部１０と、を備え、Ｘ線検出部７は、物品Ｇを透過した第１エネルギー帯の前記Ｘ線を検出する複数の第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂと、第２エネルギー帯のＸ線を検出する複数の第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂと、を有し、制御部１０は、複数の第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂのそれぞれによって検出されたＸ線の検出結果に基づく複数のソフト画像Ｐ１１，Ｐ１２と、複数の第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂのそれぞれによって検出されたＸ線の検出結果に基づく複数のハード画像Ｐ２１，Ｐ２２と、に基づいて検査画像Ｐ３を生成する。【選択図】図２

Description

本発明は、Ｘ線検査装置に関する。

従来のＸ線検査装置として、例えば、特許文献１に記載された装置が知られている。特許文献１に記載のＸ線検査装置は、被検査物にＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線源から照射される第１エネルギー帯のＸ線を検知する第１センサ及び第２エネルギー帯のＸ線を検知する第２センサを有するセンサユニットと、第１センサにより検知されたＸ線データに基づいて被検査物の第１透過画像を生成すると共に、第２センサにより検知されたＸ線データに基づいて被検査物の第２透過画像を生成する画像生成部と、画像生成部によって生成された画像に基づいて検査を行う検査部と、を備えている。

特開２０１２−７３０５６号公報

Ｘ線検査装置では、センサユニットの出力が十分でない場合、画像生成部において生成される画像にノイズが残り得る。この場合、高い検査精度が得られない。

本発明の一側面は、検査精度の向上が図れるＸ線検査装置を提供することを目的とする。

本発明の一側面に係るＸ線検査装置は、物品を搬送する搬送部と、搬送部によって搬送される物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、Ｘ線を検出するＸ線検出部と、Ｘ線検出部によって検出されたＸ線の検出結果に基づいて検査画像を生成する画像生成部と、画像生成部によって生成された検査画像に基づいて、物品を検査する検査部と、を備え、Ｘ線検出部は、物品を透過した第１エネルギー帯のＸ線を検出する複数の第１検出部と、物品を透過した第１エネルギー帯とは異なる第２エネルギー帯のＸ線を検出する複数の第２検出部と、を有し、画像生成部は、複数の第１検出部のそれぞれによって検出されたＸ線の検出結果に基づく複数の第１画像と、複数の第２検出部のそれぞれによって検出されたＸ線の検出結果に基づく複数の第２画像と、に基づいて検査画像を生成する。

本発明の一側面に係るＸ線検査装置では、Ｘ線検出部は、物品を透過した第１エネルギー帯のＸ線を検出する複数の第１検出部と、物品を透過した第１エネルギー帯とは異なる第２エネルギー帯のＸ線を検出する複数の第２検出部と、を有している。このように、Ｘ線検査装置では、複数の第１検出部及び複数の第２検出部を有しているため、各検出部の出力を足し合わせることにより、高い出力を得ることができる。この構成において、画像生成部は、複数の第１画像及び複数の第２画像に基づいて検査画像を生成するため、ノイズの少ない検査画像を生成することができる。したがって、Ｘ線検査装置では、ノイズの少ない検査画像で物品を検査できるため、検査精度の向上が図れる。

一実施形態においては、複数の第１検出部及び複数の第２検出部のそれぞれは、搬送部における物品の搬送方向において並んで配置されていてもよい。この構成では、物品の搬送方向において複数の第１検出部及び複数の第２検出部が並列配置されているため、各検出部の出力を足し合わせることにより、高い出力を得ることができる。

一実施形態においては、複数の第２検出部のそれぞれは、複数の第１検出部のそれぞれの下方に配置されていてもよい。この構成では、複数の第１検出部のそれぞれにおいて第１エネルギー帯のＸ線を検出できると共に、複数の第２検出部のそれぞれにおいて第２エネルギー帯のＸ線を検出することができる。

一実施形態においては、複数の第１検出部のうち搬送方向において隣り合う一対の第１検出部の間隔と、複数の第２検出部のうち搬送方向において隣り合う一対の第２検出部の間隔とが異なっていてもよい。Ｘ線照射部から照射されたＸ線は、下方に向かって扇状に広がる。そのため、第１検出部と第２検出部とが上下方向において同一直線上に配置されている構成では、上方の第１検出部を透過したＸ線が下方の第２検出部を透過しない。そこで、Ｘ線検査装置では、搬送方向において隣り合う一対の第１検出部の間隔と、搬送方向において隣り合う一対の第２検出部の間隔とを異ならせている。これにより、Ｘ線検査装置では、上方の第１検出部を透過したＸ線が下方の第２検出部を透過するように構成することができる。したがって、Ｘ線検査装置では、物品を透過したＸ線を第１検出部及び第２検出部において検出することができる。

一実施形態においては、第２検出部は、第１検出部の搬送方向における中央部を透過したＸ線が当該第２検出部の搬送方向における中央部を透過する位置に配置されていてもよい。この構成では、各検出部の中央部をＸ線が透過する。そのため、Ｘ線検査装置では、第１検出部及び第２検出部において、物品の同じ箇所を透過したＸ線を検出することができる。これにより、Ｘ線検査装置では、第１画像及び第２画像に基づいて検査画像を生成する際に、第１画像と第２画像とにおいて位置の誤差が発生することを抑制できる。したがって、Ｘ線検査装置では、検査精度の向上が図れる。

一実施形態においては、画像生成部は、複数の第１画像を平均化して第１平均画像を生成すると共に複数の第２画像を平均化して第２平均画像を生成し、第１平均画像及び第２平均画像に基づいて検査画像を生成してもよい。この構成では、ノイズの少ない検査画像を生成することができる。

一実施形態においては、画像生成部は、複数の第１画像のうちの一の第１画像と複数の第２画像のうちの一の第２画像とに基づいて第１検査画像を生成すると共に、複数の第１画像のうちの他の第１画像と複数の第２画像のうちの他の第２画像とに基づいて第２検査画像を生成し、第１検査画像及び第２検査画像に基づいて検査画像を生成してもよい。この構成では、ノイズの少ない検査画像を生成することができる。

本発明の一側面によれば、検査精度の向上が図れる。

図１は、一実施形態に係るＸ線検査装置の構成図である。 図２は、図１に示されるシールドボックスの内部の構成図である。 図３は、Ｘ線照射部及びＸ線検出部を示す図である。 図４は、ソフト画像及びハード画像に基づいて検査画像を作成する工程を説明するための図である。 図５は、ソフト画像及びハード画像に基づいて検査画像を作成する工程を説明するための図である。 図６は、他の実施形態に係るＸ線照射部及びＸ線検出部を示す図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

図１に示されるように、Ｘ線検査装置１は、装置本体２と、支持脚３と、シールドボックス４と、搬送部５と、Ｘ線照射部６と、Ｘ線検出部７と、表示操作部８と、制御部（画像生成部、検査部）１０と、を備える。Ｘ線検査装置１は、物品Ｇを搬送しつつ物品ＧのＸ線透過画像を生成し、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｇの検査（例えば、収納数検査、異物検査、欠品検査、割れ欠け検査等）を行う。検査前の物品Ｇは、搬入コンベア５１によってＸ線検査装置１に搬入される。検査後の物品Ｇは、搬出コンベア５２によってＸ線検査装置１から搬出される。Ｘ線検査装置１によって不良品と判定された物品Ｇは、搬出コンベア５２の下流に配置された振分装置（図示省略）によって生産ライン外に振り分けられる。Ｘ線検査装置１によって良品と判定された物品Ｇは、当該振分装置をそのまま通過する。本実施形態では、物品Ｇは食肉である。

装置本体２は、制御部１０等を収容している。支持脚３は、装置本体２を支持している。シールドボックス４は、装置本体２に設けられている。シールドボックス４は、外部へのＸ線（電磁波）の漏洩を防止する。シールドボックス４の内部には、Ｘ線による物品Ｇの検査が実施される検査領域Ｒが設けられている。シールドボックス４には、搬入口４ａ及び搬出口４ｂが形成されている。検査前の物品Ｇは、搬入コンベア５１から搬入口４ａを介して検査領域Ｒに搬入される。検査後の物品Ｇは、検査領域Ｒから搬出口４ｂを介して搬出コンベア５２に搬出される。搬入口４ａ及び搬出口４ｂのそれぞれには、Ｘ線の漏洩を防止するＸ線遮蔽カーテン（図示省略）が設けられている。

搬送部５は、シールドボックス４の中央を貫通するように配置されている。搬送部５は、搬入口４ａから検査領域Ｒを介して搬出口４ｂまで、搬送方向Ａに沿って物品Ｇを搬送する。搬送部５は、例えば、搬入口４ａと搬出口４ｂとの間に掛け渡されたベルトコンベアである。なお、ベルトコンベアである搬送部５は、搬入口４ａ及び搬出口４ｂよりも外側に突出していてもよい。

図１及び図２に示されるように、Ｘ線照射部６は、シールドボックス４内に配置されている。Ｘ線照射部６は、搬送部５によって搬送される物品ＧにＸ線を照射する。Ｘ線照射部６は、例えば、Ｘ線を出射するＸ線管と、Ｘ線管から出射されたＸ線を搬送方向Ａに垂直な面内において扇状に広げる絞り部と、を有している。Ｘ線照射部６から照射されるＸ線には、低エネルギー（長波長）から高エネルギー（短波長）までの様々なエネルギー帯のＸ線が含まれている。なお、上述した低エネルギー帯及び高エネルギー帯における「低」及び「高」は、Ｘ線照射部６から照射される複数のエネルギー帯の中で相対的に「低い」及び「高い」ことを示すものであり、特定の範囲を示すものではない。

Ｘ線検出部７は、シールドボックス４内に配置されている。Ｘ線検出部７は、物品Ｇを透過した複数のエネルギー帯の各々のＸ線を検出する。本実施形態では、Ｘ線検出部７は、低エネルギー帯（第１エネルギー帯）のＸ線及び高エネルギー帯（第２エネルギー帯）のＸ線を検出するように構成されている。すなわち、Ｘ線検出部７は、第１ラインセンサ（複数の第１検出部）１１Ａ，１１Ｂと、第２ラインセンサ（複数の第２検出部）１２Ａ，１２Ｂと、を有している。

第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂ及び第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂは、搬送方向Ａに垂直な水平方向に沿って一次元に配列されたＸ線検出素子によって構成されている。第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂは、物品Ｇ及び搬送部５の搬送ベルトを透過した低エネルギー帯のＸ線を検出する。第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂは、物品Ｇ、搬送部５の搬送ベルト及び第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂを透過した高エネルギー帯のＸ線を検出する。

図３に示されるように、第１ラインセンサ１１Ａと第１ラインセンサ１１Ｂとは、搬送方向Ａにおいて並んで配置されている。具体的には、第１ラインセンサ１１Ａは、第１ラインセンサ１１Ｂよりも搬送方向Ａの上流側に配置されている。第２ラインセンサ１２Ａと第２ラインセンサ１２Ｂとは、搬送方向Ａにおいて並んで配置されている。具体的には、第２ラインセンサ１２Ａは、第２ラインセンサ１２Ｂよりも搬送方向Ａの上流側に配置されている。第２ラインセンサ１２Ａ及び第２ラインセンサ１２Ｂのそれぞれは、第１ラインセンサ１１Ａ及び第１ラインセンサ１１Ｂのそれぞれの下方に配置されている。すなわち、第２ラインセンサ１２Ａは、第１ラインセンサ１１Ａの下方に配置されており、第２ラインセンサ１２Ｂは、第１ラインセンサ１１Ｂの下方に配置されている。

搬送方向Ａにおいて隣り合う一対の第１ラインセンサ１１Ａと第１ラインセンサ１１Ｂとの間隔と、搬送方向Ａにおいて一対の隣り合う第２ラインセンサ１２Ａと第２ラインセンサ１２Ｂとの間隔は、異なっている。第１ラインセンサ１１Ａと第１ラインセンサ１１Ｂとの搬送方向Ａにおける間の距離Ｄ１は、第２ラインセンサ１２Ａと第２ラインセンサ１２Ｂとの搬送方向Ａにおける間の距離Ｄ１よりも短い（Ｄ１＜Ｄ２）。すなわち、第２ラインセンサ１２Ａ及び第２ラインセンサ１２Ｂとは、第１ラインセンサ１１Ａ及び第１ラインセンサ１１Ｂよりも、搬送方向Ａにおいて離間して配置されている。この構成により、第２ラインセンサ１２Ａは、第１ラインセンサ１１Ａの搬送方向Ａにおける中央部を透過したＸ線が第２ラインセンサ１２Ａの搬送方向Ａにおける中央部を透過する位置に配置されている。また、第２ラインセンサ１２Ｂは、第１ラインセンサ１１Ｂの搬送方向Ａにおける中央部を透過したＸ線が第２ラインセンサ１２Ｂの搬送方向Ａにおける中央部を透過する位置に配置されている。

図１に示されるように、表示操作部８は、装置本体２に設けられている。表示操作部８は、各種情報を表示すると共に、各種条件の入力を受け付ける。表示操作部８は、例えば、液晶ディスプレイであり、タッチパネルとしての操作画面を表示する。この場合、オペレータは、表示操作部８を介して各種条件を入力することができる。

制御部１０は、装置本体２内に配置されている。制御部１０は、Ｘ線検査装置１の各部（本実施形態では、搬送部５、Ｘ線照射部６、Ｘ線検出部７、及び表示操作部８、並びに、Ｘ線検査装置１の下流に配置される図示しない振分装置）の動作を制御する。なお、振分装置は、Ｘ線検査装置１による画像検査で不良品と判定された被検査物（物品）を搬送路上から排除する装置である。制御部１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサ、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等のメモリ、及びＳＳＤ（Solid State Drive）等のストレージを備える。ＲＯＭには、Ｘ線検査装置１を制御するためのプログラムが記録されている。制御部１０には、Ｘ線検出部７の第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂから低エネルギー帯のＸ線の検出結果が入力されると共に、Ｘ線検出部７の第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂから高エネルギー帯のＸ線の検出結果が入力される。

制御部１０は、第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂ及び第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂの検出結果に基づいて、透過画像を生成する。図４に示されるように、制御部１０は、第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂの低エネルギー帯のＸ線の検出結果に基づいて、ソフト画像（複数の第１画像）Ｐ１１，Ｐ１２を生成する。図４に示す一例のように、ソフト画像Ｐ１１，Ｐ１２は、比較的コントラストが高く、全体的に暗くなっている。制御部１０は、第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂの高エネルギー帯のＸ線の検出結果に基づいて、ハード画像（複数の第２画像）Ｐ２１，Ｐ２２を生成する。図４に示す一例のように、ハード画像Ｐ２１，Ｐ２２は、比較的コントラストが低く、全体的に明るくなっている。

制御部１０は、画像処理アルゴリズムを用い、ソフト画像Ｐ１１，Ｐ１２及びハード画像Ｐ２１，Ｐ２２の処理（画像処理）を行って処理画像を生成する。画像処理アルゴリズムとは、ソフト画像Ｐ１１，Ｐ１２及びハード画像Ｐ２１，Ｐ２２に施す画像処理の処理手順を示す型である。画像処理アルゴリズムは、１つの画像処理フィルタ、又は、複数の画像処理フィルタの組み合わせによって構成される。複数の画像処理アルゴリズムは、インターネット等のネットワークを介して外部から取得することができる。また、複数の画像処理アルゴリズムは、ＵＳＢメモリ又はリムーバブルハードディスク等の外部記憶媒体から取得することもできる。複数の画像処理アルゴリズムのうちの少なくとも１つ以上は、生物界における遺伝及び進化のメカニズムを応用した手法である遺伝的アルゴリズム（GA＝Genetic Algorithms）を採用して、Ｘ線検査装置１の仕様又は検査条件等に基づき複数の画像処理フィルタから自動生成することができる。複数の画像処理アルゴリズムの少なくとも一部は、作業者が表示操作部８を介して適宜設定することもできる。

制御部１０は、複数のソフト画像Ｐ１１，Ｐ１２を平均化して第１平均画像Ｐ１３を生成する。ソフト画像Ｐ１１，Ｐ１２を平均化して合成し、第１平均画像Ｐ１３を生成することにより、ソフト画像Ｐ１１，Ｐ１２に含まれていたノイズを除去できる。制御部１０は、複数のハード画像Ｐ２１，Ｐ２２を平均化して第２平均画像Ｐ２３を生成する。ハード画像Ｐ２１，Ｐ２２を平均化して合成し、第２平均画像Ｐ２３を生成することにより、ハード画像Ｐ２１，Ｐ２２に含まれていたノイズを除去できる。

制御部１０は、第１平均画像Ｐ１３と第２平均画像Ｐ２３との大きさ、輝度、位置等を合わせる処理を行い、当該処理を行った第１平均画像Ｐ１３の輝度値と第２平均画像Ｐ２３の輝度値とを各画素で除算することにより、第１平均画像Ｐ１３及び第２平均画像Ｐ２３の差異を抽出した検査画像Ｐ３を生成する。

制御部１０は、検査画像Ｐ３に基づいて、物品Ｇに異物Ｆが含まれているか否かを判定する。制御部１０は、検査画像Ｐ３において、輝度値が閾値を超えている場合には、物品Ｇに異物Ｆが含まれていると判定する。本実施形態では、制御部１０は、物品Ｇに１つの異物Ｆが含まれていると判定する。制御部１０は、判定結果を記憶部に記憶させる。なお、閾値は、物品Ｇの性質に応じて、試験等によって適宜設定される。具体的には、閾値は、異物が混入されたサンプルを用いて設定することができる。

以上説明したように、本実施形態に係るＸ線検査装置１では、２つの第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂ及び２つの第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂのそれぞれは、搬送部５における物品Ｇの搬送方向Ａにおいて並んで配置されている。このように、Ｘ線検査装置１では、物品Ｇの搬送方向Ａにおいて２つの第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂ及び２つの第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂが並列配置されているため、各ラインセンサの出力を足し合わせることにより、高い出力を得ることができる。この構成において、制御部１０は、複数のソフト画像Ｐ１１，Ｐ１２及び複数のハード画像Ｐ２１，Ｐ２２に基づいて検査画像Ｐ３を生成するため、ノイズの少ない検査画像Ｐ３を生成することができる。したがって、Ｘ線検査装置１では、ノイズの少ない検査画像Ｐ３で物品Ｇを検査できるため、検査精度の向上が図れる。

本実施形態に係るＸ線検査装置１では、２つの第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂのそれぞれは、２つの第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂのそれぞれの下方に配置されている。この構成では、２つの第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂのそれぞれにおいて低エネルギー帯のＸ線を検出できると共に、２つの第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂのそれぞれにおいて高エネルギー帯のＸ線を検出することができる。

本実施形態に係るＸ線検査装置１では、搬送方向Ａにおいて隣り合う２つの第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂの間隔と、搬送方向Ａにおいて隣り合う２つの第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂの間隔とが異なっている。Ｘ線照射部６から照射されたＸ線は、下方に向かって扇状に広がる。そのため、第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂと第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂとが上下方向において同一直線上に配置されている構成では、上方の第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂを透過したＸ線が下方の第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂを透過しない。そこで、Ｘ線検査装置１では、搬送方向Ａにおいて隣り合う２つの第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂの間隔と、２つの第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂの間隔とを異ならせている。これにより、Ｘ線検査装置１では、上方の第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂを透過したＸ線が下方の第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂを透過するように構成することができる。したがって、Ｘ線検査装置１では、物品Ｇを透過したＸ線を第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂ及び第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂにおいて検出することができる。

本実施形態に係るＸ線検査装置１では、第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂは、第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂの搬送方向Ａにおける中央部を透過したＸ線が当該第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂの搬送方向Ａにおける中央部を透過する位置に配置されている。この構成では、第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂ及び第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂの中央部をＸ線が透過する。そのため、Ｘ線検査装置１では、第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂ及び第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂにおいて、物品Ｇの同じ箇所を透過したＸ線を検出することができる。これにより、Ｘ線検査装置１では、ソフト画像Ｐ１１，Ｐ１２及びハード画像Ｐ２１，Ｐ２２に基づいて検査画像Ｐ３を生成する際に、ソフト画像Ｐ１１，Ｐ１２とハード画像Ｐ２１，Ｐ２２とにおいて位置の誤差が発生することを抑制できる。したがって、Ｘ線検査装置１では、検査精度の向上が図れる。

本実施形態に係るＸ線検査装置１では、制御部１０は、ソフト画像Ｐ１１，Ｐ１２を平均化して第１平均画像Ｐ１３を生成すると共にハード画像Ｐ２１，Ｐ２２を平均化して第２平均画像Ｐ２３を生成し、第１平均画像Ｐ１３及び第２平均画像Ｐ２３に基づいて検査画像Ｐ３を生成する。この構成では、ノイズの少ない検査画像Ｐ３を生成することができる。

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

上記実施形態では、複数の第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂ及び複数の第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂのそれぞれは、搬送部５における物品Ｇの搬送方向Ａにおいて並んで配置されている形態を一例に説明した。しかし、複数の第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂ及び複数の第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂのそれぞれの配置はこれに限定されない。Ｘ線検査装置１のＸ線検出部７が、複数の第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂ及び複数の第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂを有していればよい。

上記実施形態では、制御部１０が、ソフト画像Ｐ１１，Ｐ１２を平均化して第１平均画像Ｐ１３を生成すると共にハード画像Ｐ２１，Ｐ２２を平均化して第２平均画像Ｐ２３を生成し、第１平均画像Ｐ１３及び第２平均画像Ｐ２３に基づいて検査画像Ｐ３を生成する形態を一例に説明した。しかし、検査画像Ｐ３の生成方法はこれに限定されない。図５に示されるように、制御部１０は、ソフト画像（一の第１画像）Ｐ１１とハード画像（一の第２画像）Ｐ２１とに基づいて第１検査画像Ｐ３１を生成すると共に、ソフト画像（他の第２画像）Ｐ１２とハード画像（他の第２画像）Ｐ２２とに基づいて第２検査画像Ｐ３２を生成し、第１検査画像Ｐ３１及び第２検査画像Ｐ３２に基づいて、検査画像Ｐ３を生成してもよい。

制御部１０は、ソフト画像Ｐ１１とハード画像Ｐ２１の大きさ、輝度、位置等を合わせる処理を行い、当該処理を行ったソフト画像Ｐ１１の輝度値とハード画像Ｐ２１の輝度値とを各画素で除算することにより、ソフト画像Ｐ１１及びハード画像Ｐ２１の差異を抽出する処理を行う。制御部１０は、差異を抽出した画像においてノイズを除去した処理画像を生成し、当該処理画像を一定の値を閾値として２値化し、２値化画像を生成する（２値化）。制御部１０は、２値化画像とハード画像Ｐ２１とを重ね合わせて、第１検査画像Ｐ３１を生成する。制御部１０は、第２検査画像Ｐ３２も同様に生成する。制御部１０は、第１検査画像Ｐ３１及び第２検査画像Ｐ３２を合成して、検査画像Ｐ３を生成する。この構成では、ノイズの少ない検査画像Ｐ３を生成することができる。

上記実施形態では、Ｘ線検出部７が、第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂと、第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂと、を有している形態を一例に説明した。すなわち、Ｘ線検出部７が、第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂ及び第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂをそれぞれ２つずつ有している形態を一例に説明した。しかし、各ラインセンサの数はこれに限定されない。例えば、図６に示されるように、Ｘ線検査部７Ａは、第１ラインセンサ１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄと、第２ラインセンサ１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄと、を有していてもよい。

第１ラインセンサ１１Ａ、第１ラインセンサ１１Ｂ、第１ラインセンサ１１Ｃ及び第１ラインセンサ１１Ｄは、搬送方向Ａにおいて並んで配置されている。具体的には、搬送方向Ａにおいて、上流側から、第１ラインセンサ１１Ｃ、第１ラインセンサ１１Ａ、第１ラインセンサ１１Ｂ及び第１ラインセンサ１１Ｄの順番で並んでいる。第２ラインセンサ１２Ａ、第２ラインセンサ１２Ｂ、第２ラインセンサ１２Ｃ及び第２ラインセンサ１２Ｄは、搬送方向Ａにおいて並んで配置されている。具体的には、搬送方向Ａにおいて、上流側から、第２ラインセンサ１２Ｃ、第２ラインセンサ１２Ａ、第２ラインセンサ１２Ｂ及び第２ラインセンサ１２Ｄの順番で並んでいる。

第２ラインセンサ１２Ａ、第２ラインセンサ１２Ｂ、第２ラインセンサ１２Ｃ及び第２ラインセンサ１２Ｄのそれぞれは、第１ラインセンサ１１Ａ、第１ラインセンサ１１Ｂ、第１ラインセンサ１１Ｃ及び第１ラインセンサ１１Ｄのそれぞれの下方に配置されている。すなわち、第２ラインセンサ１２Ａは、第１ラインセンサ１１Ａの下方に配置されており、第２ラインセンサ１２Ｂは、第１ラインセンサ１１Ｂの下方に配置されており、第２ラインセンサ１２Ｃは、第１ラインセンサ１１Ｃの下方に配置されており、第２ラインセンサ１２Ｄは、第１ラインセンサ１１Ｄの下方に配置されている。

第２ラインセンサ１２Ａは、第１ラインセンサ１１Ａの搬送方向Ａにおける中央部を透過したＸ線が第２ラインセンサ１２Ａの搬送方向Ａにおける中央部を透過する位置に配置されている。第２ラインセンサ１２Ｂは、第１ラインセンサ１１Ｂの搬送方向Ａにおける中央部を透過したＸ線が第２ラインセンサ１２Ｂの搬送方向Ａにおける中央部を透過する位置に配置されている。第２ラインセンサ１２Ｃは、第１ラインセンサ１１Ｃの搬送方向Ａにおける中央部を透過したＸ線が第２ラインセンサ１２Ｃの搬送方向Ａにおける中央部を透過する位置に配置されている。第２ラインセンサ１２Ｄは、第１ラインセンサ１１Ｄの搬送方向Ａにおける中央部を透過したＸ線が第２ラインセンサ１２Ｄの搬送方向Ａにおける中央部を透過する位置に配置されている。

１…Ｘ線検査装置、５…搬送部、６…Ｘ線照射部、７…Ｘ線検出部、１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ…第１ラインセンサ（第１検出部）、１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ…第２ラインセンサ（第２検出部）、Ａ…搬送方向、Ｇ…物品、Ｐ３…検査画像、Ｐ１３…第１平均画像、Ｐ２３…第２平均画像、Ｐ３１…第１検査画像、Ｐ３２…第２検査画像。

Claims (7)

1. 物品を搬送する搬送部と、
   前記搬送部によって搬送される前記物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、
   前記Ｘ線を検出するＸ線検出部と、
   前記Ｘ線検出部によって検出された前記Ｘ線の検出結果に基づいて検査画像を生成する画像生成部と、
   前記画像生成部によって生成された前記検査画像に基づいて、前記物品を検査する検査部と、を備え、
   前記Ｘ線検出部は、
   前記物品を透過した第１エネルギー帯の前記Ｘ線を検出する複数の第１検出部と、
   前記物品を透過した前記第１エネルギー帯とは異なる第２エネルギー帯の前記Ｘ線を検出する複数の第２検出部と、を有し、
   前記画像生成部は、複数の前記第１検出部のそれぞれによって検出された前記Ｘ線の検出結果に基づく複数の第１画像と、複数の前記第２検出部のそれぞれによって検出された前記Ｘ線の検出結果に基づく複数の第２画像と、に基づいて前記検査画像を生成する、Ｘ線検査装置。
2. 複数の前記第１検出部及び複数の前記第２検出部のそれぞれは、前記搬送部における前記物品の搬送方向において並んで配置されている、請求項１に記載のＸ線検査装置。
3. 複数の前記第２検出部のそれぞれは、複数の前記第１検出部のそれぞれの下方に配置されている、請求項２に記載のＸ線検査装置。
4. 複数の前記第１検出部のうち前記搬送方向において隣り合う一対の前記第１検出部の間隔と、複数の前記第２検出部のうち前記搬送方向において隣り合う一対の前記第２検出部の間隔とが異なる、請求項３に記載のＸ線検査装置。
5. 前記第２検出部は、前記第１検出部の前記搬送方向における中央部を透過した前記Ｘ線が当該第２検出部の前記搬送方向における中央部を透過する位置に配置されている、請求項４に記載のＸ線検査装置。
6. 前記画像生成部は、複数の前記第１画像を平均化して第１平均画像を生成すると共に複数の前記第２画像を平均化して第２平均画像を生成し、前記第１平均画像及び前記第２平均画像に基づいて前記検査画像を生成する、請求項１〜５のいずれか一項に記載のＸ線検査装置。
7. 前記画像生成部は、複数の前記第１画像のうちの一の前記第１画像と複数の前記第２画像のうちの一の前記第２画像とに基づいて第１検査画像を生成すると共に、複数の前記第１画像のうちの他の前記第１画像と複数の前記第２画像のうちの他の前記第２画像とに基づいて第２検査画像を生成し、前記第１検査画像及び前記第２検査画像に基づいて前記検査画像を生成する、請求項１〜５のいずれか一項に記載のＸ線検査装置。

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