JP6466897B2 - 炭素ドープケイ素含有膜を堆積するための組成物及び方法 - Google Patents
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Description
(a)以下の群より選択される、少なくとも1種を含む第1の前駆体:
(i) R5Si(NR3R4)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アミノアルキルシラン;
(ii) R6Si(OR7)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アルコキシアルキルシラン;
(iii)R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する有機アミノシラン;
(iv) R8N(SiR9LH)2の式を有する有機アミノシラン;及び
これらの組合せ
(ここで、R3、R4及びR7は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R5及びR6は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基、並びにハロゲン原子(halide atom)からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつ
R10及びR11は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され、またLは、Cl、Br又はIであり;
R3及びR4は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;かつR10及びR11は、環又はアルキル置換した環を形成することができる)、
(b)次の式を有する有機アミノシランを含む第2の前駆体:Si(NR1R2)H3(R1及びR2は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC3〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつR1及びR2は、環又はアルキル置換した環を形成することができる)。
以下の群より選択される、少なくとも1種を含む第1の前駆体:
R5Si(NR3R4)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アミノアルキルシラン;
R6Si(OR7)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アルコキシアルキルシラン;
R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する有機アミノシラン;
R8N(SiR9LH)2の式を有する有機アミノシラン;及び
これらの組合せ
(ここで、R3、R4及びR7は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R5及びR6は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基、並びにハロゲン原子からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつ
R10及びR11は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され、またLは、Cl、Br又はIであり;
R3及びR4は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;かつR10及びR11は、環又はアルキル置換した環を形成することができる)、
次の式を有する有機アミノシランを含む第2の前駆体:R12Si(NR13R14)xH3−x(ここで、x=1、2、3、4であり;R12、R13及びR14は、H、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつR13及びR14は、環又はアルキル置換した環を形成することができる)。
次の式を有する有機アミノアルキルシランを含む第1の前駆体:R5Si(NR3R4)xH3−x(ここで、x=1、2、3;R3及びR4は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;R5は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基、並びにハロゲン原子からなる群より選択され;かつR3及びR4は、環又はアルキル置換した環を形成することができる)。
この実施態様又は他の実施態様において、この組成物は、次の式を有する有機アミノシランを含む第二の前駆体をさらに含有する:Si(NR1R2)H3(R1及びR2は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC3〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつR1及びR2は、環又はアルキル置換した環を形成することができる)。
次の式を有する有機アルコキシアルキルシランを含む第1の前駆体:R6Si(OR7)xH3−x(ここで、x=1、2、3;R7は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群より独立して選択され;かつR6は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基、並びにハロゲン原子からなる群より独立して選択され;R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択される)。
この実施態様又は他の実施態様において、この組成物は、次の式を有する有機アミノシランを含む第二の前駆体をさらに含有する:Si(NR1R2)H3(R1及びR2は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつR1及びR2は、環又はアルキル置換した環を形成することができる)。
次の式を有する有機アルコキシアルキルシランを含む第1の前駆体:R8N(SiR9(NR10R11)H)2(R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;R10及びR11は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつR10及びR11は、環又はアルキル置換した環を形成することができる)。
この実施態様又は他の実施態様において、この組成物は、次の式を有する有機アミノシランを含む第二の前駆体をさらに含有する:Si(NR1R2)H3(R1及びR2は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつR1及びR2は、環又はアルキル置換した環を形成することができる)。
a.基材を反応器に与える工程;
b.上記反応器に、以下の群より選択される、少なくとも1種の化合物を含む第1の前駆体を導入する工程:
(i) R5Si(NR3R4)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アミノアルキルシラン、
(ii) R6Si(OR7)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アルコキシアルキルシラン、
(iii)R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する有機アミノシラン、
(iv) R8N(SiR9LH)2の式を有する有機アミノシラン、及び
これらの組合せ
(ここで、R3、R4及びR7は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R5及びR6は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC3〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基、並びにハロゲン原子からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつ
R10及びR11は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され、またLは、Cl、Br又はIであり;
R3及びR4は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;かつR10及びR11は、環又はアルキル置換した環を形成することができる);
c.上記反応器を、パージガスでパージする工程;
d.上記反応器に、酸素源を導入する工程;
e.上記反応器に、次の式を有する第二の前駆体を導入する工程:Si(NR1R2)H3(R1及びR2は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつR1及びR2は、環又はアルキル置換した環を形成することができる);
f.上記反応器を、パージガスでパージする工程;
g.上記反応器に、酸素源を導入する工程;
h.上記反応器を、パージガスでパージする工程;
i.上記膜の所望の厚みが得られるまで、b〜hの工程を繰り返す工程。
ここに記載した方法の特定の実施態様では、工程bでの前駆体は、(i)としてここに記載した有機アミノアルキルシランを含む。より特定的には、工程bでの前駆体は、2,6−ジメチルピペリジノメチルシランである有機アミノアルキルシランを含む。
a.基材を反応器に与える工程;
b.上記反応器に、以下の群より選択される、少なくとも1種の化合物を含む第1の前駆体を導入する工程:
(i) R5Si(NR3R4)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アミノアルキルシラン、
(ii) R6Si(OR7)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アルコキシアルキルシラン、
(iii)R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する有機アミノシラン、
(iv) R8N(SiR9LH)2の式を有する有機アミノシラン、及び
これらの組合せ
(ここで、R3、R4及びR7は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R5及びR6は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC3〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基、並びにハロゲン原子からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつ
R10及びR11は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され、またLは、Cl、Br又はIであり;
R3及びR4は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;かつR10及びR11は、環又はアルキル置換した環を形成することができる);
c.上記反応器を、パージガスでパージする工程;
d.上記反応器に、窒素源を導入する工程;
e.上記反応器に、次の式を有する第二の前駆体を導入する工程:Si(NR1R2)H3(R1及びR2は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつR1及びR2は、環又はアルキル置換した環を形成することができる);
f.上記反応器を、パージガスでパージする工程;
g.上記反応器に、窒素源を導入する工程;
h.上記反応器を、パージガスでパージする工程;
i.上記膜の所望の厚みが得られるまで、b〜hの工程を繰り返す工程。
ここに記載した方法の特定の実施態様では、工程bでの前駆体は、(i)としてここに記載した有機アミノアルキルシランを含む。より特定的には、工程bでの前駆体は、2,6−ジメチルピペリジノメチルシランである有機アミノアルキルシランを含む。
a.基材を反応器に与える工程;
b.上記反応器に、以下の群より選択される、少なくとも1種の化合物を含む第1の前駆体を導入する工程:
(i) R5Si(NR3R4)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アミノアルキルシラン、
(ii) R6Si(OR7)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アルコキシアルキルシラン、
(iii)R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する有機アミノシラン、
(iv) R8N(SiR9LH)2の式を有する有機アミノシラン、及び
これらの組合せ
(ここで、R3、R4及びR7は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R5及びR6は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC3〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基、並びにハロゲン原子からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつ
R10及びR11は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され、またLは、Cl、Br又はIであり;
R3及びR4は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;かつR10及びR11は、環又はアルキル置換した環を形成することができる);
c.上記反応器を、パージガスでパージする工程;
d.上記反応器に、酸素源を導入する工程;
e.上記反応器に、次の式を有する第二の前駆体を導入する工程:R12Si(NR13R14)xH3−x(ここで、x=1、2、3、4であり;R12、R13及びR14は、H、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつR13及びR14は、環又はアルキル置換した環を形成することができる);
f.上記反応器を、パージガスでパージする工程;
g.上記反応器に、酸素源を導入する工程;
h.上記反応器を、パージガスでパージする工程;
i.上記膜の所望の厚みが得られるまで、b〜hの工程を繰り返す工程。
ここに記載した方法の特定の実施態様では、工程bでの前駆体は、(i)としてここに記載した有機アミノアルキルシランを含む。より特定的には、工程bでの前駆体は、2,6−ジメチルピペリジノメチルシランである有機アミノアルキルシランを含む。
a.基材を反応器に与える工程;
b.上記反応器に、以下の群より選択される、少なくとも1種の化合物を含む第1の前駆体を導入する工程:
(i) R5Si(NR3R4)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アミノアルキルシラン、
(ii) R6Si(OR7)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アルコキシアルキルシラン、
(iii)R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する有機アミノシラン、
(iv) R8N(SiR9LH)2の式を有する有機アミノシラン、及び
これらの組合せ
(ここで、R3、R4及びR7は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R5及びR6は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC3〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基、並びにハロゲン原子からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつ
R10及びR11は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され、またLは、Cl、Br又はIであり;
R3及びR4は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;かつR10及びR11は、環又はアルキル置換した環を形成することができる);
c.上記反応器を、パージガスでパージする工程;
d.上記反応器に、窒素源を導入する工程;
e.上記反応器に、次の式を有する第二の前駆体を導入する工程:R12Si(NR13R14)xH3−x(ここで、x=1、2、3、4であり;R12、R13及びR14は、H、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつR13及びR14は、環又はアルキル置換した環を形成することができる);
f.上記反応器を、パージガスでパージする工程;
g.上記反応器に、窒素源を導入する工程;
h.上記反応器を、パージガスでパージする工程;
i.上記膜の所望の厚みが得られるまで、b〜hの工程を繰り返す工程。
ここに記載した方法の特定の実施態様では、工程bでの前駆体は、(i)としてここに記載した有機アミノアルキルシランを含む。より特定的には、工程bでの前駆体は、2,6−ジメチルピペリジノメチルシランである有機アミノアルキルシランを含む。
この実施態様又は他の実施態様において、この組成物は、次の式を有する有機アミノシランを含む第二の前駆体をさらに含有する:Si(NR1R2)H3(R1及びR2は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC3〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつR1及びR2は、環又はアルキル置換した環を形成することができる)。
R5Si(NR3R4)xH3−xの式を有するこの有機アミノアルキルシランの特定の実施態様では、R3及びR4は結合して環状基を形成できる。これらの実施態様では、この環状基は、炭素環基又は複素環基となることができる。この環状基は、飽和していてもよく、また不飽和であってもよい。R5Si(NR3R4)xH3−xの式を有するこの有機アミノアルキルシランの他の実施態様では、R3及びR4は、環状基を形成するための結合をしていない。
R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有するこの有機アミノシランの特定の実施態様では、R10及びR11は結合して環状基を形成できる。これらの実施態様では、この環状基は、炭素環基又は複素環基となることができる。この環状基は、飽和していてもよく、また不飽和であってもよい。R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有するこの有機アミノシランの他の実施態様では、R10及びR11は、環状基を形成するための結合をしていない。
Si(NR1R2)H3の式を有するこの有機アミノシランの特定の実施態様では、R1及びR2は結合して環状基を形成できる。これらの実施態様では、この環は、複素環基を含む。この環又は複素環は、飽和していてもよく、また不飽和であってもよい。Si(NR1R2)H3の式を有するこの有機アミノシランの他の実施態様では、R1及びR2は、環状基を形成するための結合をしていない。
この式を有する有機アミノシランの特定の実施態様では、R13及びR14は結合して環状基を形成できる。これらの実施態様では、この環は、複素環基を含む。この環又は複素環は、飽和していてもよく、また不飽和であってもよい。この式を有するこの有機アミノシランの他の実施態様では、R13及びR14は、環状基を形成するための結合をしていない。
工程1.有機アルコキシアルキルシランを含む第1の前駆体を含有し、かつ有機アミノシランを含む第2の前駆体を随意に含有する組成物からの蒸気を、基材と接触させて、加熱した基材上に前駆体を化学吸着させる工程;
工程2.あらゆる未反応の前駆体をパージする工程;
工程3.酸素源を加熱した基材に導入して、吸着した前駆体と反応させる工程;及び
工程4.未反応の酸素源をパージする工程。
工程1〜4を所望の厚みが得られるまで繰り返す。
工程1.第1の前駆体から生成した蒸気を、基材と接触させて、加熱した基材上に前駆体を化学吸着させる工程、ここでその第1の前駆体は、次の式を有する化合物から選択される少なくとも1種の化合物である:
(a) R5Si(NR3R4)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アミノアルキルシラン;
(b) R6Si(OR7)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アルコキシアルキルシラン;
(c) R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する有機アミノシラン;
(ここで、R3、R4及びR7は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R5及びR6は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基、並びにハロゲン原子(halide atom)からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつ
R10及びR11は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R3及びR4は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;かつR10及びR11は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;Lは、Cl、Br又はIである);
工程2.あらゆる未反応の前駆体をパージする工程;
工程3.酸素源を加熱した基材に導入して、吸着したケイ素前駆体と反応させる工程;及び
工程4.未反応の酸素源をパージする工程;
工程5.随意の第2の前駆体から生成した蒸気を、基材と接触させて、加熱した基材上に第2の前駆体を化学吸着させる随意の工程、ここでその第2の前駆体は、次の式を有する:Si(NR1R2)H3(R1及びR2は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつR1及びR2は、環又はアルキル置換した環を形成することができる)。
工程6.あらゆる未反応の前駆体をパージする工程;
工程7.酸素源を加熱した基材に導入して、吸着したケイ素前駆体と反応させる工程;及び
工程8.未反応の酸素源をパージする工程。
所望の厚みが達成されるまで工程1〜8を繰り返す。
2,6−ジメチルピペリジノ(クロロ)シランを、6Lの撹拌反応器中で、窒素雰囲気下、−20℃で、0.052Nm3のジクロロシランを、4.36Lのヘキサンに溶解することによって調製した。−20℃を維持しながら、この溶液に、244gのトリエチルアミンを加え、そして撹拌しながら260gのシス−2,6−ジメチルピペリジンをゆっくりと添加した。この添加が完了したら、混合物を20℃に温めて、16時間撹拌した。多量の白い沈殿物が形成し、これをろ過により除去した。この沈殿物をヘキサンでリンスした。リンスしたろ過物は、2,6−ジメチルピペリジノ(クロロ)シランを含んでおり、これを減圧でストリッピングしてヘキサンを除去することで単離した。さらに、減圧下で100℃で残渣を単蒸留することによって、精製物を得た。2,6−ジメチルピペリジノ(クロロ)シランの同定は、質量分光法によって決定され、これは2,6−ジメチルピペリジノ(クロロ)シランの分子量(177.75)と一致する、177(M+)、162(M−CH3)でピークを示した。
ケイ素含有膜の原子層堆積を、次の前駆体を用いて行った:2,6−ジメチルピペリジノ(メチル)シラン、及び2,6−ジメチルピペリジノ(メチル)シラン。堆積を、実験室スケールのALDプロセスツールで行った。全てのガス(例えば、パージガス、反応ガス又は前駆体及び酸素源)を、堆積ゾーンに入る前に100℃に余熱した。ガス及び前駆体の流量を、高速作動するALDダイアフラムバルブで制御した。堆積に用いた基材は、基材の温度を確認するためにサンプルホルダーに取り付けた熱電対を有する12インチの長さのシリコンストリップであった。酸素源ガスとしてオゾンを用いて、400サイクルを基準として用いて、堆積を行った。また、堆積のプロセスパラメーターを表2に与える。
工程1:2,6−ジメチルピペリジノシランの蒸気を接触させる工程;
工程2:あらゆる未吸着の2,6−ジメチルピペリジノシランをパージする工程;
工程3:オゾンを導入して、吸着した2,6−ジメチルピペリジノシランと反応させる工程;
工程4:未反応のオゾンをパージする工程。
方法(a)に関する上記の工程を500回繰り返した。堆積した膜を、FTIRで確認したところ、2800〜2960cm−1でのあらゆる有意なC−Hサイン、又は約1250cm−1でのあらゆる有意なSi−CH3ピークを示さなかった。
工程1:2,6−ジメチルピペリジノメチルシランの蒸気を接触させる工程;
工程2:あらゆる未吸着の2,6−ジメチルピペリジノメチルシランをパージする工程;
工程3:オゾンを導入して、吸着した2,6−ジメチルピペリジノメチルシランと反応させる工程;
工程4:未反応のオゾンをパージする工程。
これらの工程を500回繰り返した。300℃で堆積した膜は、方法(a)の2,6−ジメチルピペリジノシランと非常に類似したIRの特徴を示した(例えば、2800〜2960cm−1でのC−Hサインの不存在、及び約1250cm−1でのSi−CH3サインの不存在)。C−HとSi−CH3との両方の吸収ピークが、150℃で堆積させた膜に現れ、100℃で堆積させた膜ではより強まった。
工程1:2,6−ジメチルピペリジノシランの蒸気を接触させる工程;
工程2:あらゆる未吸着の2,6−ジメチルピペリジノシランをパージする工程;
工程3:オゾンを導入して、吸着した2,6−ジメチルピペリジノシランと反応させる工程;
工程4:未反応のオゾンをパージする工程;
工程5:2,6−ジメチルピペリジノメチルシランの蒸気を接触させる工程;
工程6:あらゆる未吸着の2,6−ジメチルピペリジノメチルシランをパージする工程;
工程7:オゾンを導入して、吸着した2,6−ジメチルピペリジノメチルシランと反応させる工程;
工程8:未反応のオゾンをパージする工程。
これらの工程を250回繰り返した。
本発明の態様としては、以下の態様を挙げることができる:
《態様1》
以下の群から選択される少なくとも1種の化合物を含む第1の前駆体を含有する、炭素ドープケイ素含有膜を堆積するための組成物:
(i) R5Si(NR3R4)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アミノアルキルシラン;
(ii) R6Si(OR7)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アルコキシアルキルシラン;
(iii)R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する有機アミノシラン;
(iv) R8N(SiR9LH)2の式を有する有機アミノシラン;及び
これらの組合せ
(ここで、R3、R4及びR7は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R5及びR6は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基、並びにハロゲン原子からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつ
R10及びR11は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され、;
R3及びR4は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;かつR10及びR11は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;かつLは、Cl、Br又はIである)。
《態様2》
次の式を有する有機アミノシランを含む第2の前駆体をさらに含有する、態様1に記載の組成物:Si(NR1R2)H3(ここで、R1及びR2は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつR1及びR2は、環又はアルキル置換した環を形成することができる)。
《態様3》
以下を含有する態様2に記載の組成物:
(iPr2N)R5SiH2(ここで、R5は、Me、Et、nPr、iPr、nBu、iBu、sBu、tBu、ペンチルの異性体、フェニル、ビニル、並びにアルキル置換フェニルからなる群より選択される)の式を有する第1の前駆体;及び
(iPr2N)SiH3を含む第2の前駆体。
《態様4》
以下を含有する態様2に記載の組成物:
(sBu2N)R5SiH2(ここで、R5は、Me、Et、nPr、iPr、nBu、iBu、sBu、tBu、ペンチルの異性体、フェニル、ビニル、及びアルキル置換フェニルからなる群より選択される)の式を有する第1の前駆体;及び
(sBu2N)SiH3を含む第2の前駆体。
《態様5》
以下を含有する態様2に記載の組成物:
(2,6−ジメチルピペリジノ)R5SiH2(ここで、R5は、Me、Et、nPr、iPr、nBu、iBu、sBu、tBu、ペンチルの異性体、フェニル、ビニル、及びアルキル置換フェニルからなる群より選択される)の式を有する第1の前駆体;及び
(2,6−ジメチルピペリジノ)SiH3を含む第2の前駆体。
《態様6》
以下を含有する態様2に記載の組成物:
(フェニルメチルアミノ)R5SiH2(ここで、R5は、Me、Et、nPr、iPr、nBu、iBu、sBu、tBu、ペンチルの異性体、フェニル、ビニル、及びアルキル置換フェニルからなる群より選択される)の式を有する第1の前駆体;及び
(フェニルメチルアミノ)SiH3を含む第2の前駆体。
《態様7》
次の工程を含む、原子層堆積プロセスによって炭素ドープ酸化ケイ素膜を形成する方法:
a.反応器に基材を与える工程;
b.前記反応器に、以下の群より選択される少なくとも1種の化合物を含む第1の前駆体を導入する工程:
(i) R5Si(NR3R4)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アミノアルキルシラン、
(ii) R6Si(OR7)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アルコキシアルキルシラン、
(iii)R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する有機アミノシラン、
(iv) R8N(SiR9LH)2の式を有する有機アミノシラン、及び
これらの組合せ
(ここで、R3、R4及びR7は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R5及びR6は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基、並びにハロゲン原子からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつ
R10及びR11は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され、;
R3及びR4は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;R10及びR11は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;かつLは、Cl、Br又はIである);
c.前記反応器を、パージガスでパージする工程;
d.前記反応器に、酸素源を導入する工程;
e.前記反応器に、次の式を有する第二の前駆体を導入する工程:Si(NR1R2)H3(R1及びR2は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつR1及びR2は、環又はアルキル置換した環を形成することができる);
f.前記反応器を、パージガスでパージする工程;
g.前記反応器に、酸素源を導入する工程;
h.前記反応器を、パージガスでパージする工程;
ここで、前記b〜hの工程は、前記膜の所望の厚みが得られるまで繰り返される。
《態様8》
前記第1の前駆体が、2,6−ジメチルピペリジノメチルシランを含む、態様7に記載の方法。
《態様9》
前記第2の前駆体が、2,6−ジメチルピペリジノシランを含む、態様8に記載の方法。
《態様10》
前記炭素ドープ酸化ケイ素膜の炭素量を、前記第1の前駆体の前記第2の前駆体に対する比を調節することによって、調節する、態様7に記載の方法。
《態様11》
次の工程を含む、炭素ドープ窒化ケイ素膜を形成する方法:
a.反応器に基材を与える工程;
b.前記反応器に、以下の群より選択される少なくとも1種の化合物を含む第1の前駆体を導入する工程:
(i) R5Si(NR3R4)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アミノアルキルシラン、
(ii) R6Si(OR7)xH3−x(ここで、x=1、2、3)の式を有する有機アルコキシアルキルシラン、
(iii)R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する有機アミノシラン、
(iv) R8N(SiR9LH)2の式を有する有機アミノシラン、及び
これらの組合せ
(ここで、R3、R4及びR7は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R5及びR6は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基、並びにハロゲン原子からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC3〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつ
R10及びR11は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され、;
R3及びR4は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;R10及びR11は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;かつLは、Cl、Br又はIである);
c.前記反応器を、パージガスでパージする工程;
d.前記反応器に、窒素源を導入する工程;
e.前記反応器に、次の式を有する第二の前駆体を導入する工程:Si(NR1R2)H3(R1及びR2は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつR1及びR2は、環又はアルキル置換した環を形成することができる);
f.前記反応器を、パージガスでパージする工程;
g.前記反応器に、窒素源を導入する工程;
h.前記反応器を、パージガスでパージする工程;
ここで、前記b〜hの工程は、前記膜の所望の厚みが得られるまで繰り返される。
《態様12》
前記第1の前駆体が、2,6−ジメチルピペリジノメチルシランを含む、態様11に記載の方法。
《態様13》
前記第2の前駆体が、2,6−ジメチルピペリジノシランを含む、態様12に記載の方法。
《態様14》
前記炭素ドープ窒化ケイ素膜の炭素量を、前記第1の前駆体の前記第2の前駆体に対する比を調節することによって調節する、態様11に記載の方法。
《態様15》
以下を含有する、炭素ドープケイ素含有膜を堆積するための組成物:
R5Si(NR3R4)xH3−xの式を有する第1の前駆体(ここで、x=1、2、3;R3及びR4は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;R5は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基、並びにハロゲン原子からなる群より選択され;かつR3及びR4は、環又はアルキル置換した環を形成することができる)。
《態様16》
ステンレス鋼容器に与えられている、態様15に記載の組成物。
《態様17》
以下を含有する、炭素ドープケイ素含有膜を堆積するための組成物:
R6Si(OR7)xH3−xの式を有する第1の前駆体(ここで、x=1、2、3;R7は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群より独立して選択され;かつR6は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基、並びにハロゲン原子からなる群より独立して選択され;R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC3〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択される)。
《態様18》
ステンレス鋼容器に与えられている、態様17に記載の組成物。
《態様19》
以下を含有する、炭素ドープケイ素含有膜を堆積するための組成物:
R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する第1の前駆体(ここで、R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC3〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;R10及びR11は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC3〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつR10及びR11は、環又はアルキル置換した環を形成することができる)。
《態様20》
ステンレス鋼容器に与えられている、態様19に記載の組成物。
《態様21》
以下を含有する、炭素ドープケイ素含有膜を堆積するための組成物:
R8N(SiR9LH)2の式を有する第1の前駆体(ここで、R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC3〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;かつL=Cl、Br、Iからなる群より選択されるハロゲンである)。
《態様22》
ステンレス鋼容器に与えられている、態様21に記載の組成物。
Claims (9)
- 集積回路デバイスの製造に用いる半導体ウェハー上に炭素ドープケイ素含有膜を堆積するための組成物であって、以下の群から選択される少なくとも1種の化合物を含む前駆体を含有する、組成物:
(iii)R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する有機アミノシラン;
(iv) R8N(SiR9LH)2の式を有する有機アミノシラン;及び
これらの組合せ
(ここで、
R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R10及びR11は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;R10及びR11は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;かつ
Lは、Cl、Br又はIである)。 - 前記(iii)R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する有機アミノシランを含み、R8が、Me、Et、nPr、iPr、nBu、iBu、sBu、tBu、ペンチルの異性体、フェニル、ビニル、及びアルキル置換フェニルからなる群より選択される、請求項1に記載の組成物。
- 前記(iii)R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する有機アミノシランを含み、R9が、水素、Me、Et、nPr、iPr、nBu、iBu、sBu、tBu、ペンチルの異性体、フェニル、ビニル、及びアルキル置換フェニルからなる群より選択される、請求項1又は2に記載の組成物。
- 前記(iii)R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する有機アミノシランを含み、R10及びR11が、水素、Me、Et、nPr、iPr、nBu、iBu、sBu、tBu、ペンチルの異性体、フェニル、ビニル、及びアルキル置換フェニルからなる群より選択される、請求項1〜3のいずれか一項に記載の組成物。
- 前記(iv)R8N(SiR9LH)2の式を有する有機アミノシランを含み、R8が、Me、Et、nPr、iPr、nBu、iBu、sBu、tBu、ペンチルの異性体、フェニル、ビニル、及びアルキル置換フェニルからなる群より選択される、請求項1に記載の組成物。
- 前記(iv)R8N(SiR9LH)2の式を有する有機アミノシランを含み、R9が、水素、Me、Et、nPr、iPr、nBu、iBu、sBu、tBu、ペンチルの異性体、フェニル、ビニル、及びアルキル置換フェニルからなる群より選択される、請求項1又は5に記載の組成物。
- 前記(iv)R8N(SiR9LH)2の式を有する有機アミノシランを含み、Lが、Cl、Br又はIである、請求項1、5又は6に記載の組成物。
- 次の工程を含む、集積回路デバイスの製造に用いる半導体ウェハー上に炭素ドープ窒化ケイ素膜を原子層堆積によって形成する方法:
a.反応器に基材を与える工程;
b.前記反応器に、以下の群より選択される少なくとも1種の化合物を含む第1の前駆体を導入する工程:
(iii)R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する有機アミノシラン、
(iv) R8N(SiR9LH)2の式を有する有機アミノシラン、及び
これらの組合せ
(ここで、
R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R10及びR11は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;R10及びR11は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;かつ
Lは、Cl、Br又はIである);
c.前記反応器を、パージガスでパージする工程;
d.前記反応器に、窒素源を導入する工程;
e.前記反応器を、パージガスでパージする工程;
ここで、前記b〜eの工程は、前記膜の所望の厚みが得られるまで繰り返される。 - 次の工程を含む、集積回路デバイスの製造に用いる半導体ウェハー上に炭素ドープ酸化ケイ素膜を原子層堆積によって形成する方法:
a.反応器に基材を与える工程;
b.前記反応器に、以下の群より選択される少なくとも1種の化合物を含む第1の前駆体を導入する工程:
(iii)R8N(SiR9(NR10R11)H)2の式を有する有機アミノシラン、
(iv) R8N(SiR9LH)2の式を有する有機アミノシラン、及び
これらの組合せ
(ここで、
R8及びR9は、水素、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R10及びR11は、C1〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキル基、C3〜C10の環状アルキル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルケニル基、直鎖又は分岐鎖のC2〜C10のアルキニル基、C5〜C10の芳香族基、及びC3〜C10の飽和又は不飽和の複素環基からなる群よりそれぞれ独立して選択され;
R10及びR11は、環又はアルキル置換した環を形成することができ;かつ
Lは、Cl、Br又はIである);
c.前記反応器を、パージガスでパージする工程;
d.前記反応器に、酸素源を導入する工程;
e.前記反応器を、パージガスでパージする工程;
ここで、前記b〜eの工程は、前記膜の所望の厚みが得られるまで繰り返される。
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US20150275355A1 (en) * | 2014-03-26 | 2015-10-01 | Air Products And Chemicals, Inc. | Compositions and methods for the deposition of silicon oxide films |
CN104157567A (zh) * | 2014-08-20 | 2014-11-19 | 上海华力微电子有限公司 | 一种氧化硅膜的制备方法 |
US9576792B2 (en) | 2014-09-17 | 2017-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of SiN |
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US10566187B2 (en) * | 2015-03-20 | 2020-02-18 | Lam Research Corporation | Ultrathin atomic layer deposition film accuracy thickness control |
US9777025B2 (en) * | 2015-03-30 | 2017-10-03 | L'Air Liquide, Société pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Si-containing film forming precursors and methods of using the same |
US10458018B2 (en) | 2015-06-26 | 2019-10-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same |
EP3329032B1 (en) * | 2015-07-31 | 2022-09-21 | Versum Materials US, LLC | Compositions and methods for depositing silicon nitride films |
US10410857B2 (en) | 2015-08-24 | 2019-09-10 | Asm Ip Holding B.V. | Formation of SiN thin films |
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CN114016001A (zh) * | 2015-12-21 | 2022-02-08 | 弗萨姆材料美国有限责任公司 | 用于沉积含硅膜的组合物及使用其的方法 |
KR102458309B1 (ko) | 2015-12-28 | 2022-10-24 | 삼성전자주식회사 | SiOCN 물질막의 형성 방법 및 반도체 소자의 제조 방법 |
US11139308B2 (en) | 2015-12-29 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices |
US9777373B2 (en) | 2015-12-30 | 2017-10-03 | American Air Liquide, Inc. | Amino(iodo)silane precursors for ALD/CVD silicon-containing film applications and methods of using the same |
US10053775B2 (en) | 2015-12-30 | 2018-08-21 | L'air Liquide, Societé Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procédés Georges Claude | Methods of using amino(bromo)silane precursors for ALD/CVD silicon-containing film applications |
US9701695B1 (en) | 2015-12-30 | 2017-07-11 | American Air Liquide, Inc. | Synthesis methods for amino(halo)silanes |
US10529554B2 (en) | 2016-02-19 | 2020-01-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches |
KR102255727B1 (ko) * | 2016-02-26 | 2021-05-26 | 버슘머트리얼즈 유에스, 엘엘씨 | 규소 함유 막의 증착을 위한 조성물, 및 이를 이용한 방법 |
US10367080B2 (en) | 2016-05-02 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a germanium oxynitride film |
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US9859151B1 (en) | 2016-07-08 | 2018-01-02 | Asm Ip Holding B.V. | Selective film deposition method to form air gaps |
US9812320B1 (en) | 2016-07-28 | 2017-11-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
KR102532607B1 (ko) | 2016-07-28 | 2023-05-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 가공 장치 및 그 동작 방법 |
US9887082B1 (en) | 2016-07-28 | 2018-02-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
TWI746624B (zh) * | 2016-09-01 | 2021-11-21 | 美商Asm Ip控股公司 | 形成碳氫基底極薄膜之保護層的方法 |
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US10464953B2 (en) * | 2016-10-14 | 2019-11-05 | Versum Materials Us, Llc | Carbon bridged aminosilane compounds for high growth rate silicon-containing films |
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US10748760B2 (en) * | 2017-11-30 | 2020-08-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Varying temperature anneal for film and structures formed thereby |
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KR102646467B1 (ko) | 2018-03-27 | 2024-03-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조 |
US11230766B2 (en) | 2018-03-29 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
US10580645B2 (en) | 2018-04-30 | 2020-03-03 | Asm Ip Holding B.V. | Plasma enhanced atomic layer deposition (PEALD) of SiN using silicon-hydrohalide precursors |
TWI811348B (zh) | 2018-05-08 | 2023-08-11 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 藉由循環沉積製程於基板上沉積氧化物膜之方法及相關裝置結構 |
KR102596988B1 (ko) | 2018-05-28 | 2023-10-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
US11718913B2 (en) | 2018-06-04 | 2023-08-08 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system and reactor system including same |
US11270899B2 (en) | 2018-06-04 | 2022-03-08 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer handling chamber with moisture reduction |
US11286562B2 (en) | 2018-06-08 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase chemical reactor and method of using same |
US10797133B2 (en) | 2018-06-21 | 2020-10-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures |
KR102568797B1 (ko) | 2018-06-21 | 2023-08-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 시스템 |
CN112292478A (zh) | 2018-06-27 | 2021-01-29 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于形成含金属的材料的循环沉积方法及包含含金属的材料的膜和结构 |
TWI815915B (zh) | 2018-06-27 | 2023-09-21 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於形成含金屬材料及包含含金屬材料的膜及結構之循環沉積方法 |
US10612136B2 (en) | 2018-06-29 | 2020-04-07 | ASM IP Holding, B.V. | Temperature-controlled flange and reactor system including same |
US10388513B1 (en) | 2018-07-03 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10755922B2 (en) | 2018-07-03 | 2020-08-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US11430674B2 (en) | 2018-08-22 | 2022-08-30 | Asm Ip Holding B.V. | Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
US10985010B2 (en) * | 2018-08-29 | 2021-04-20 | Versum Materials Us, Llc | Methods for making silicon and nitrogen containing films |
US11024523B2 (en) | 2018-09-11 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
KR20200030162A (ko) | 2018-09-11 | 2020-03-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 |
CN110970344A (zh) | 2018-10-01 | 2020-04-07 | Asm Ip控股有限公司 | 衬底保持设备、包含所述设备的系统及其使用方法 |
US11232963B2 (en) | 2018-10-03 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
US20210363639A1 (en) * | 2018-10-04 | 2021-11-25 | Versum Materials Us, Llc | Composition for high temperature atomic layer deposition of high quality silicon oxide thin films |
KR102592699B1 (ko) | 2018-10-08 | 2023-10-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치 |
KR102605121B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR102546322B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
US11087997B2 (en) | 2018-10-31 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus for processing substrates |
KR20200051105A (ko) | 2018-11-02 | 2020-05-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US11572620B2 (en) | 2018-11-06 | 2023-02-07 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate |
US10818758B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures |
US10847366B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process |
US11217444B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-01-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film |
KR102157137B1 (ko) * | 2018-11-30 | 2020-09-17 | 주식회사 한솔케미칼 | 실리콘 전구체 및 이를 이용한 실리콘 함유 박막의 제조방법 |
WO2020111405A1 (ko) * | 2018-11-30 | 2020-06-04 | 주식회사 한솔케미칼 | 실리콘 전구체 및 이를 이용한 실리콘 함유 박막의 제조방법 |
KR102636428B1 (ko) | 2018-12-04 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치를 세정하는 방법 |
US11158513B2 (en) | 2018-12-13 | 2021-10-26 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
TW202037745A (zh) | 2018-12-14 | 2020-10-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成裝置結構之方法、其所形成之結構及施行其之系統 |
TW202405220A (zh) | 2019-01-17 | 2024-02-01 | 荷蘭商Asm Ip 私人控股有限公司 | 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法 |
KR20200091543A (ko) | 2019-01-22 | 2020-07-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
KR102274412B1 (ko) | 2019-01-24 | 2021-07-07 | 주식회사 엘지에너지솔루션 | 배터리 특성 측정 장치 |
SG11202107377VA (en) | 2019-01-24 | 2021-08-30 | Applied Materials Inc | Methods for depositing silicon nitride |
JP7178918B2 (ja) * | 2019-01-30 | 2022-11-28 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法、プラズマ処理装置、及び処理システム |
CN111524788B (zh) | 2019-02-01 | 2023-11-24 | Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法 |
EP3902939A4 (en) * | 2019-02-05 | 2022-09-28 | Versum Materials US, LLC | CARBON DOPED SILICON OXIDE DEPOSIT |
KR20200102357A (ko) | 2019-02-20 | 2020-08-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 3-d nand 응용의 플러그 충진체 증착용 장치 및 방법 |
KR102626263B1 (ko) | 2019-02-20 | 2024-01-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치 |
JP2020136678A (ja) | 2019-02-20 | 2020-08-31 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材表面内に形成された凹部を充填するための方法および装置 |
CN111593319B (zh) | 2019-02-20 | 2023-05-30 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于填充在衬底表面内形成的凹部的循环沉积方法和设备 |
JP2020133004A (ja) | 2019-02-22 | 2020-08-31 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材を処理するための基材処理装置および方法 |
US11742198B2 (en) | 2019-03-08 | 2023-08-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structure including SiOCN layer and method of forming same |
KR20200108243A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | SiOC 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법 |
KR20200108242A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체 |
JP2020167398A (ja) | 2019-03-28 | 2020-10-08 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | ドアオープナーおよびドアオープナーが提供される基材処理装置 |
KR20200116855A (ko) | 2019-04-01 | 2020-10-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자를 제조하는 방법 |
US11447864B2 (en) | 2019-04-19 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method and apparatus |
KR20200125453A (ko) | 2019-04-24 | 2020-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법 |
KR20200130118A (ko) | 2019-05-07 | 2020-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 비정질 탄소 중합체 막을 개질하는 방법 |
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KR20200130652A (ko) | 2019-05-10 | 2020-11-19 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조 |
JP2020188254A (ja) | 2019-05-16 | 2020-11-19 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 |
JP2020188255A (ja) | 2019-05-16 | 2020-11-19 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 |
USD947913S1 (en) | 2019-05-17 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD975665S1 (en) | 2019-05-17 | 2023-01-17 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD935572S1 (en) | 2019-05-24 | 2021-11-09 | Asm Ip Holding B.V. | Gas channel plate |
KR20200141002A (ko) | 2019-06-06 | 2020-12-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 배기 가스 분석을 포함한 기상 반응기 시스템을 사용하는 방법 |
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USD944946S1 (en) | 2019-06-14 | 2022-03-01 | Asm Ip Holding B.V. | Shower plate |
USD931978S1 (en) | 2019-06-27 | 2021-09-28 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead vacuum transport |
KR20210005515A (ko) | 2019-07-03 | 2021-01-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법 |
JP7499079B2 (ja) | 2019-07-09 | 2024-06-13 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法 |
CN112216646A (zh) | 2019-07-10 | 2021-01-12 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板支撑组件及包括其的基板处理装置 |
KR20210010307A (ko) | 2019-07-16 | 2021-01-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
KR20210010816A (ko) | 2019-07-17 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법 |
KR20210010820A (ko) | 2019-07-17 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법 |
US11643724B2 (en) | 2019-07-18 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming structures using a neutral beam |
CN112242296A (zh) | 2019-07-19 | 2021-01-19 | Asm Ip私人控股有限公司 | 形成拓扑受控的无定形碳聚合物膜的方法 |
TW202113936A (zh) | 2019-07-29 | 2021-04-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法 |
CN112309899A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112309900A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
US11587814B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11227782B2 (en) | 2019-07-31 | 2022-01-18 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11587815B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
CN112323048B (zh) | 2019-08-05 | 2024-02-09 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于化学源容器的液位传感器 |
USD965524S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-10-04 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor support |
USD965044S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
JP2021031769A (ja) | 2019-08-21 | 2021-03-01 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置 |
USD949319S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Exhaust duct |
USD930782S1 (en) | 2019-08-22 | 2021-09-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor |
KR20210024423A (ko) | 2019-08-22 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법 |
USD979506S1 (en) | 2019-08-22 | 2023-02-28 | Asm Ip Holding B.V. | Insulator |
USD940837S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-01-11 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode |
US11286558B2 (en) | 2019-08-23 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film |
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KR20210029090A (ko) | 2019-09-04 | 2021-03-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법 |
KR20210029663A (ko) | 2019-09-05 | 2021-03-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
TWI761939B (zh) * | 2019-09-10 | 2022-04-21 | 美商慧盛材料美國責任有限公司 | 用於非共形沉積含矽膜的組合物及使用其的非共形沉積含矽膜的方法 |
US11562901B2 (en) | 2019-09-25 | 2023-01-24 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing method |
CN112593212B (zh) | 2019-10-02 | 2023-12-22 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法 |
CN112635282A (zh) | 2019-10-08 | 2021-04-09 | Asm Ip私人控股有限公司 | 具有连接板的基板处理装置、基板处理方法 |
KR20210042810A (ko) | 2019-10-08 | 2021-04-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법 |
KR20210043460A (ko) | 2019-10-10 | 2021-04-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 포토레지스트 하부층을 형성하기 위한 방법 및 이를 포함한 구조체 |
US12009241B2 (en) | 2019-10-14 | 2024-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette |
TWI834919B (zh) | 2019-10-16 | 2024-03-11 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化矽之拓撲選擇性膜形成之方法 |
US11637014B2 (en) | 2019-10-17 | 2023-04-25 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selective deposition of doped semiconductor material |
KR20210047808A (ko) | 2019-10-21 | 2021-04-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법 |
KR20210050453A (ko) | 2019-10-25 | 2021-05-07 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조 |
US11646205B2 (en) | 2019-10-29 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same |
KR20210054983A (ko) | 2019-11-05 | 2021-05-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템 |
US11501968B2 (en) | 2019-11-15 | 2022-11-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps |
KR20210062561A (ko) | 2019-11-20 | 2021-05-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템 |
US11450529B2 (en) | 2019-11-26 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively forming a target film on a substrate comprising a first dielectric surface and a second metallic surface |
CN112951697A (zh) | 2019-11-26 | 2021-06-11 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112885692A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112885693A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
JP2021090042A (ja) | 2019-12-02 | 2021-06-10 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 基板処理装置、基板処理方法 |
KR20210070898A (ko) | 2019-12-04 | 2021-06-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11885013B2 (en) | 2019-12-17 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming vanadium nitride layer and structure including the vanadium nitride layer |
KR20210080214A (ko) | 2019-12-19 | 2021-06-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조 |
TW202140135A (zh) | 2020-01-06 | 2021-11-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 氣體供應總成以及閥板總成 |
US11993847B2 (en) | 2020-01-08 | 2024-05-28 | Asm Ip Holding B.V. | Injector |
TW202129068A (zh) | 2020-01-20 | 2021-08-01 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 形成薄膜之方法及修飾薄膜表面之方法 |
TW202130846A (zh) | 2020-02-03 | 2021-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成包括釩或銦層的結構之方法 |
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TW202204662A (zh) | 2020-07-20 | 2022-02-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於沉積鉬層之方法及系統 |
US11725280B2 (en) | 2020-08-26 | 2023-08-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming metal silicon oxide and metal silicon oxynitride layers |
USD990534S1 (en) | 2020-09-11 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Weighted lift pin |
USD1012873S1 (en) | 2020-09-24 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for semiconductor processing apparatus |
US12009224B2 (en) | 2020-09-29 | 2024-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and method for etching metal nitrides |
TW202229613A (zh) | 2020-10-14 | 2022-08-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 於階梯式結構上沉積材料的方法 |
TW202217037A (zh) | 2020-10-22 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 沉積釩金屬的方法、結構、裝置及沉積總成 |
TW202223136A (zh) | 2020-10-28 | 2022-06-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統 |
KR20220076343A (ko) | 2020-11-30 | 2022-06-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치의 반응 챔버 내에 배열되도록 구성된 인젝터 |
KR20220081905A (ko) | 2020-12-09 | 2022-06-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 질화물 증착용 실리콘 전구체 |
US11946137B2 (en) | 2020-12-16 | 2024-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Runout and wobble measurement fixtures |
TW202231903A (zh) | 2020-12-22 | 2022-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成 |
USD981973S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor wall for substrate processing apparatus |
USD980813S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate for substrate processing apparatus |
USD980814S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor for substrate processing apparatus |
USD1023959S1 (en) | 2021-05-11 | 2024-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for substrate processing apparatus |
USD990441S1 (en) | 2021-09-07 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate |
WO2023042386A1 (ja) * | 2021-09-17 | 2023-03-23 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラム及びコーティング方法 |
Family Cites Families (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IL22431A (en) | 1964-11-12 | 1968-11-27 | Fuchs J | Process for the production of disilazanes and the products obtained by this method |
FR2599037B1 (fr) | 1986-05-26 | 1990-05-04 | Europ Propulsion | Dihydrogeno-1,3 disilazanes fonctionnels et procede pour leur preparation |
US4988573A (en) * | 1988-07-14 | 1991-01-29 | Tdk Corporation | Medium related members |
JPH0812845B2 (ja) | 1989-04-06 | 1996-02-07 | 松下電子工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US4950950A (en) * | 1989-05-18 | 1990-08-21 | Eastman Kodak Company | Electroluminescent device with silazane-containing luminescent zone |
US5424095A (en) * | 1994-03-07 | 1995-06-13 | Eniricerche S.P.A. | Ceramic vapor deposited coating using a steam-containing carrier gas and non-alkoxy silane precursors |
JP3396791B2 (ja) * | 1994-08-30 | 2003-04-14 | 富士通株式会社 | 絶縁膜の形成方法 |
TW285753B (ja) | 1995-01-04 | 1996-09-11 | Air Prod & Chem | |
US5888662A (en) | 1996-11-26 | 1999-03-30 | Motorola, Inc. | Modified electrodes for display devices |
JP2000080476A (ja) * | 1998-06-26 | 2000-03-21 | Toshiba Corp | 気相成長方法および気相成長装置およびハロゲン化アンモニウム除去装置 |
US7005392B2 (en) * | 2001-03-30 | 2006-02-28 | Advanced Technology Materials, Inc. | Source reagent compositions for CVD formation of gate dielectric thin films using amide precursors and method of using same |
JP4049214B2 (ja) * | 2001-08-30 | 2008-02-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 絶縁膜の形成方法及び絶縁膜の形成装置 |
JP3585917B2 (ja) * | 2002-07-11 | 2004-11-10 | Tdk株式会社 | 薄膜磁気ヘッド、その製造方法及びそれを用いた磁気ディスク装置 |
US6995948B2 (en) | 2002-07-11 | 2006-02-07 | Tdk Corporation | Thin-film magnetic head, method for producing the same and magnetic disk device using the same |
JP4032889B2 (ja) * | 2002-09-06 | 2008-01-16 | ソニー株式会社 | 絶縁膜の形成方法 |
US7365029B2 (en) * | 2002-12-20 | 2008-04-29 | Applied Materials, Inc. | Method for silicon nitride chemical vapor deposition |
US7553769B2 (en) * | 2003-10-10 | 2009-06-30 | Tokyo Electron Limited | Method for treating a dielectric film |
US20050287747A1 (en) | 2004-06-29 | 2005-12-29 | International Business Machines Corporation | Doped nitride film, doped oxide film and other doped films |
US7488690B2 (en) * | 2004-07-06 | 2009-02-10 | Applied Materials, Inc. | Silicon nitride film with stress control |
JP4334425B2 (ja) * | 2004-07-09 | 2009-09-30 | 富士通株式会社 | ホームエージェント |
US20060045986A1 (en) * | 2004-08-30 | 2006-03-02 | Hochberg Arthur K | Silicon nitride from aminosilane using PECVD |
WO2006025356A1 (ja) | 2004-09-01 | 2006-03-09 | Konica Minolta Holdings, Inc. | ガスバリア積層体及びその製造方法 |
JP4894153B2 (ja) * | 2005-03-23 | 2012-03-14 | 株式会社アルバック | 多孔質膜の前駆体組成物及びその調製方法、多孔質膜及びその作製方法、並びに半導体装置 |
US20060228903A1 (en) | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Mcswiney Michael L | Precursors for the deposition of carbon-doped silicon nitride or silicon oxynitride films |
US7875556B2 (en) | 2005-05-16 | 2011-01-25 | Air Products And Chemicals, Inc. | Precursors for CVD silicon carbo-nitride and silicon nitride films |
CN1834288A (zh) * | 2006-04-07 | 2006-09-20 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种低温化学气相沉积制备氮化硅薄膜的方法 |
US7875312B2 (en) | 2006-05-23 | 2011-01-25 | Air Products And Chemicals, Inc. | Process for producing silicon oxide films for organoaminosilane precursors |
US20080124946A1 (en) | 2006-11-28 | 2008-05-29 | Air Products And Chemicals, Inc. | Organosilane compounds for modifying dielectrical properties of silicon oxide and silicon nitride films |
US20080207007A1 (en) | 2007-02-27 | 2008-08-28 | Air Products And Chemicals, Inc. | Plasma Enhanced Cyclic Chemical Vapor Deposition of Silicon-Containing Films |
US7651961B2 (en) | 2007-03-30 | 2010-01-26 | Tokyo Electron Limited | Method for forming strained silicon nitride films and a device containing such films |
US20090075490A1 (en) * | 2007-09-18 | 2009-03-19 | L'air Liquite Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Method of forming silicon-containing films |
US7999355B2 (en) * | 2008-07-11 | 2011-08-16 | Air Products And Chemicals, Inc. | Aminosilanes for shallow trench isolation films |
DE102008037896A1 (de) | 2008-08-15 | 2010-02-18 | Ksb Aktiengesellschaft | Energierückgewinnungseinrichtung und Verfahren zur Auslegung |
JP4982457B2 (ja) * | 2008-09-11 | 2012-07-25 | 信越化学工業株式会社 | パターン形成方法 |
EP2373830B1 (en) | 2008-10-20 | 2014-04-30 | Dow Corning Corporation | Cvd precursors |
US8580993B2 (en) * | 2008-11-12 | 2013-11-12 | Air Products And Chemicals, Inc. | Amino vinylsilane precursors for stressed SiN films |
JP2010183069A (ja) | 2009-01-07 | 2010-08-19 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 |
JP5547418B2 (ja) * | 2009-03-19 | 2014-07-16 | 株式会社Adeka | 化学気相成長用原料及びこれを用いたシリコン含有薄膜形成方法 |
US8889235B2 (en) * | 2009-05-13 | 2014-11-18 | Air Products And Chemicals, Inc. | Dielectric barrier deposition using nitrogen containing precursor |
JP2010275602A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Adeka Corp | 化学気相成長用原料とこれを用いたシリコン含有薄膜形成方法 |
JP5467007B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2014-04-09 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法および基板処理装置 |
US8329599B2 (en) * | 2011-02-18 | 2012-12-11 | Asm Japan K.K. | Method of depositing dielectric film by ALD using precursor containing silicon, hydrocarbon, and halogen |
-
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