JP6384239B2 - 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 - Google Patents

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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6201484B2 (ja) * 2013-07-26 2017-09-27 セイコーエプソン株式会社 光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びｍｅｍｓデバイス
JP6390117B2 (ja) * 2014-02-26 2018-09-19 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール、及び電子機器
JP6384239B2 (ja) * 2014-09-29 2018-09-05 セイコーエプソン株式会社 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP6926527B2 (ja) * 2017-02-28 2021-08-25 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター及び光学モジュール
CN107132626A (zh) * 2017-05-18 2017-09-05 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 一种光模块
JP2019027872A (ja) * 2017-07-28 2019-02-21 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール、及び電子機器
CN107515503A (zh) * 2017-09-30 2017-12-26 广东欧珀移动通信有限公司 滤光片、镜头模组和成像模组
JP6484779B1 (ja) * 2018-07-30 2019-03-20 サンテック株式会社 波長可変フィルタ及び光通信機器
TWI694300B (zh) * 2019-03-05 2020-05-21 英屬開曼群島商康而富控股股份有限公司 用於鏡頭模組內的濾光組件
CN112015023A (zh) * 2019-05-30 2020-12-01 昆山康龙电子科技有限公司 用于镜头模组内的滤光组件
DE102019215209A1 (de) * 2019-10-02 2021-04-08 Robert Bosch Gmbh Fabry-Pérot-Interferometer
US11595577B2 (en) 2020-08-28 2023-02-28 Micron Technology, Inc. Sensor block
JP7517139B2 (ja) * 2020-12-24 2024-07-17 セイコーエプソン株式会社 波長可変光学フィルター

Family Cites Families (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3040583A (en) 1959-12-10 1962-06-26 United Aircraft Corp Optical pressure transducer
JPH0617928B2 (ja) * 1987-02-27 1994-03-09 日本碍子株式会社 光学素子複合体
JPH0766982B2 (ja) * 1989-03-29 1995-07-19 シャープ株式会社 波長選択性受光素子
JP2987455B2 (ja) 1991-10-17 1999-12-06 オリンパス光学工業株式会社 固体撮像装置
JPH06241898A (ja) 1993-01-29 1994-09-02 Shimadzu Corp エタロン駆動機構
JPH07142803A (ja) 1993-11-12 1995-06-02 Fuji Photo Film Co Ltd レーザーダイオードポンピング固体レーザー
US5405476A (en) 1993-11-24 1995-04-11 Motorola, Inc. Method of mounting a piezoelectric element to a substrate using compliant conductive materials
US5798677A (en) 1996-11-25 1998-08-25 Motorola, Inc. Tunable Quasi-stripline filter and method therefor
IL133453A0 (en) 1999-12-10 2001-04-30 Shellcase Ltd Methods for producing packaged integrated circuit devices and packaged integrated circuit devices produced thereby
US7002697B2 (en) 2001-08-02 2006-02-21 Aegis Semiconductor, Inc. Tunable optical instruments
EP1456702A1 (en) 2001-11-28 2004-09-15 Aegis Semiconductor, Inc. Package for electro-optical components
JP2003214958A (ja) 2002-01-21 2003-07-30 Gigaphoton Inc 波長検出装置、レーザ装置及び波長検出方法
US6822798B2 (en) 2002-08-09 2004-11-23 Optron Systems, Inc. Tunable optical filter
US7420738B2 (en) 2003-12-22 2008-09-02 Axsun Technologies, Inc. Dual membrane single cavity Fabry-Perot MEMS filter
JP2006042005A (ja) 2004-07-28 2006-02-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電気機械共振器
US7408250B2 (en) 2005-04-05 2008-08-05 Texas Instruments Incorporated Micromirror array device with compliant adhesive
JP5048939B2 (ja) * 2005-11-01 2012-10-17 オリンパス株式会社 エタロン装置及びその組立調整方法
JP4857744B2 (ja) 2005-12-06 2012-01-18 セイコーエプソン株式会社 Ｍｅｍｓ振動子の製造方法
US20070242358A1 (en) * 2006-04-18 2007-10-18 Xerox Corporation Fabry-perot tunable filter
US7734131B2 (en) 2006-04-18 2010-06-08 Xerox Corporation Fabry-Perot tunable filter using a bonded pair of transparent substrates
CN101484776A (zh) 2006-06-30 2009-07-15 索尼株式会社 振动型陀螺仪传感器
JP4432947B2 (ja) 2006-09-12 2010-03-17 株式会社デンソー 赤外線式ガス検出器
JP4851555B2 (ja) * 2008-05-13 2012-01-11 株式会社デンソー 力学量センサおよびその製造方法
US7800190B2 (en) 2008-06-16 2010-09-21 Honeywell International Inc. Getter on die in an upper sense plate designed system
US7746539B2 (en) * 2008-06-25 2010-06-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method for packing a display device and the device obtained thereof
JP4840451B2 (ja) 2009-01-22 2011-12-21 住友電気工業株式会社 近赤外イメージセンサ
JP2011066350A (ja) 2009-09-18 2011-03-31 Olympus Corp 封止パッケージ
WO2011102121A1 (ja) * 2010-02-18 2011-08-25 パナソニック株式会社 角速度センサおよび角速度および加速度検出用複合センサ
JP2011191474A (ja) * 2010-03-15 2011-09-29 Seiko Epson Corp 波長可変干渉フィルター、測色センサー、測色モジュール、および波長可変干渉フィルターの製造方法
JP5641220B2 (ja) * 2010-11-12 2014-12-17 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
US20120154915A1 (en) 2010-12-21 2012-06-21 Seiko Epson Corporation Variable wavelength interference filter, optical filter device, optical module, and electronic apparatus
JP5682332B2 (ja) 2011-01-27 2015-03-11 セイコーエプソン株式会社 光モジュール、及び光分析装置
JP5703813B2 (ja) * 2011-02-16 2015-04-22 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
JP5914972B2 (ja) 2011-03-08 2016-05-11 セイコーエプソン株式会社 光モジュールおよび光分析装置
JP5732286B2 (ja) * 2011-03-16 2015-06-10 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の製造方法
JP5102889B2 (ja) 2011-03-29 2012-12-19 昭和電工パッケージング株式会社 内容物付着防止蓋材
JP6119090B2 (ja) 2011-09-27 2017-04-26 セイコーエプソン株式会社 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP2013153345A (ja) 2012-01-25 2013-08-08 Toshiba Corp 画像表示装置及び画像表示方法
JP5966405B2 (ja) 2012-02-14 2016-08-10 セイコーエプソン株式会社 光学フィルターデバイス、及び光学フィルターデバイスの製造方法
JP2013238755A (ja) 2012-05-16 2013-11-28 Seiko Epson Corp 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法
JP6107120B2 (ja) 2012-12-20 2017-04-05 セイコーエプソン株式会社 光学フィルターデバイス、及び電子機器
JP6255685B2 (ja) 2013-03-25 2018-01-10 セイコーエプソン株式会社 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP6201484B2 (ja) 2013-07-26 2017-09-27 セイコーエプソン株式会社 光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びｍｅｍｓデバイス
JP2015068887A (ja) * 2013-09-27 2015-04-13 セイコーエプソン株式会社 光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びｍｅｍｓデバイス
JP2016012097A (ja) 2014-06-30 2016-01-21 セイコーエプソン株式会社 光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びｍｅｍｓデバイス
JP6384239B2 (ja) * 2014-09-29 2018-09-05 セイコーエプソン株式会社 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器

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