JP6254459B2 - 重合膜の耐薬品性改善方法、重合膜の成膜方法、成膜装置、および電子製品の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、この発明の一実施形態に係る重合膜の成膜方法を実施することが可能な成膜装置の一例を概略的に示す断面図である。
図2は、この発明の一実施形態に係る重合膜の成膜方法の基本的な流れを示す流れ図である。
(1)重合膜を成膜する工程
に続いて
(2)重合膜の耐薬品性を改善する処理を行う工程
を行う。そして、上記(1)工程および(2)工程を、同一成膜装置、例えば、図1に示した成膜装置100の処理室103内において連続して行う。(2)工程の具体的な一例は、熱処理である。
以下、この発明の一実施形態に係る重合膜の成膜方法を利用した電子製品の製造方法の一例を説明する。製造される電子製品の一例としては、複数のLSIチップを高さ方向に実装した三次元実装型LSIを挙げる。三次元実装型LSIに用いられるLSIチップは、その内部に、高さ方向に積層されたLSIチップどうし電気的に接続するための貫通ヴィアを備えている。そして、貫通ヴィアの側壁絶縁膜に絶縁性の重合膜を用い、この重合膜の成膜に、一実施形態に係る重合膜の成膜方法を利用する。
図5は、耐薬品性改善熱処理の時間と、膜厚減少率および膜の屈折率の変動率との関係を示す図である。図5中、左側の縦軸およびプロット点“□”は、重合膜9の成膜時の膜厚が洗浄処理後においてどの程度減少したのかを表している。また、右側の縦軸およびプロット点“●”は、重合膜9の成膜時の屈折率が洗浄処理後においてどの程度変動したのかを表している。
図5中の左側縦軸およびプロット点“□”に示すように、重合膜9に対して耐薬品性を改善するための熱処理を行わなかった場合(熱処理無し)、重合膜9に、例えば、塩基性化合物を含んだ洗浄剤を用いて洗浄処理を行うと、洗浄処理前に比較して膜厚が約23〜24%減少した。膜厚が減少する原因の一つとして、重合膜9がポリイミドであった場合、例えば、図6A〜図6Cに示すメカニズムによってポリイミドが分解してしまう、と考えられる。
また、重合膜の屈折率についても調べてみた。洗浄処理前と洗浄処理後において、屈折率の変動が大きいと、その重合膜は変質している、と考えることができる。反対に、屈折率の変動が小さいと、その重合膜は変質が抑制されている、と考えることができる。
また、この発明の一実施形態においては、このような重合膜9の耐薬品性を改善する処理を、熱処理によって行う。このような熱処理には、適切な温度がある。まず、下限の温度としては、重合膜9を成膜する際の成膜温度以上であることが好ましい。成膜された重合膜9に対して成膜温度以上の温度を印加することで、成膜された重合膜9の硬化がより促進される、と考えられるためである。熱処理の温度は、たとえ成膜温度未満であっても、熱が印加されるので重合膜9の硬化は進む、と考えられるが、硬化速度は、成膜温度以上に比較して、ゆっくりとしたものになる、と推測される。したがって、重合膜9の耐薬品性を改善する熱処理の温度の下限値は、成膜温度以上であることが好ましい。
その他、この発明はその要旨を逸脱しない範囲で様々に変形することができる。
Claims (16)
- 被処理体の被処理面上に成膜されたポリイミド膜からなる重合膜を、塩基性化合物を含む薬品によって処理するに先立って、前記重合膜に前記塩基性化合物を含む薬品に対する耐薬品性を改善する処理を施す重合膜の耐薬品性改善方法であって、
前記重合膜の耐薬品性を改善する処理を、前記重合膜を成膜した成膜装置の処理室から前記被処理体を搬出せずに、前記処理室内において前記重合膜の成膜処理に連続して行うことを特徴とする重合膜の耐薬品性改善方法。 - 前記耐薬品性を改善する処理は熱処理であり、
前記熱処理の温度は、前記重合膜の成膜温度よりも高い温度で行うことを特徴とする請求項1に記載の重合膜の耐薬品性改善方法。 - 前記熱処理は、
(1) 前記成膜装置に備えられた加熱装置の出力を、前記重合膜の成膜時における出力よりも上げ、前記処理室に収容された前記被処理体の温度を前記重合膜の成膜時における温度よりも上げる工程と、
(2) 前記加熱装置をオフし、前記成膜装置に備えられた冷却装置をオンさせ、前記処理室に収容された前記被処理体の温度の上昇を抑制する工程と、
(3) 前記成膜装置に備えられた排気装置を制御し、前記処理室の圧力を大気圧に復帰させていく工程と、
を含むことを特徴とする請求項2に記載の重合膜の耐薬品性改善方法。 - 前記(1)工程および前記(2)工程において、前記処理室内に不活性ガスの導入と、前記処理室内に導入された前記不活性ガスの排気とを繰り返すことを特徴とする請求項3に記載の重合膜の耐薬品性改善方法。
- 前記熱処理における前記被処理体の温度は、前記重合膜の成膜温度以上前記重合膜の熱分解温度未満の範囲に保持されることを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか一項に記載の重合膜の耐薬品性改善方法。
- 被処理体の被処理面上に、成膜後に塩基性化合物を含む薬品によって処理されるポリイミド膜からなる重合膜を成膜する重合膜の成膜方法であって、
(1) 前記被処理体を成膜装置の処理室内に収容する工程と、
(2) 前記処理室内において、前記被処理体の被処理面上に重合膜を成膜する工程と、
(3) 前記処理室から前記重合膜が成膜された前記被処理体を搬出せずに、前記重合膜に対して前記塩基性化合物を含む薬品に対する耐薬品性を改善する処理を前記処理室内において前記(2)工程に連続して行う工程と、
を具備することを特徴とする重合膜の成膜方法。 - 前記(3)工程は熱処理工程であり、
前記熱処理工程における温度は、前記(2)工程における前記重合膜の成膜温度よりも高い温度で行うことを特徴とする請求項6に記載の重合膜の成膜方法。 - 前記熱処理工程は、
(4) 前記成膜装置に備えられた加熱装置の出力を、前記(2)工程における出力よりも上げ、前記処理室に収容された前記被処理体の温度を前記重合膜の成膜時における温度よりも上げる工程と、
(5) 前記加熱装置をオフし、前記成膜装置に備えられた冷却装置をオンさせ、前記処理室に収容された前記被処理体の温度の上昇を抑制する工程と、
(6) 前記成膜装置に備えられた排気装置を制御し、前記処理室の圧力を大気圧に復帰させていく工程と、
を含むことを特徴とする請求項7に記載の重合膜の成膜方法。 - 前記(4)工程および前記(5)工程において、前記処理室内に不活性ガスの導入と、前記処理室内に導入された前記不活性ガスの排気とを繰り返すことを特徴とする請求項8に記載の重合膜の成膜方法。
- 前記熱処理における前記被処理体の温度は、前記重合膜の成膜温度以上前記重合膜の熱分解温度未満に保持されることを特徴とする請求項7から請求項9のいずれか一項に記載の重合膜の成膜方法。
- 内部に電気的素子を含んだ被処理体を用いて形成される電子製品を製造する電子製品の製造方法であって、
(1) 前記被処理体の被処理面上にポリイミド膜からなる重合膜を成膜する工程と、
(2) 前記重合膜に対して前記重合膜の塩基性化合物を含む洗浄剤に対する耐薬品性を改善する処理を行う工程と、
(3) 前記耐薬品性が改善された前記重合膜に対してエッチング処理を行う工程と、
(4) 前記エッチング処理が行われた前記重合膜に対して前記塩基性化合物を含む洗浄剤を用いた洗浄処理を行う工程と、を具備し、
前記(2)工程を、前記(1)工程が行われた処理室から前記重合膜が成膜された前記被処理体を搬出せずに、前記処理室内において前記(1)工程に連続して行うことを特徴とする電子製品の製造方法。 - 前記(2)工程は熱処理工程であり、
前記熱処理工程における温度は、前記(1)工程における前記重合膜の成膜温度よりも高い温度で行うことを特徴とする請求項11に記載の電子製品の成膜方法。 - 前記熱処理工程は、
(5) 前記成膜装置に備えられた加熱装置の出力を、前記(1)工程における出力よりも上げ、前記処理室に収容された前記被処理体の温度を前記重合膜の成膜時における温度よりも上げる工程と、
(6) 前記加熱装置をオフし、前記成膜装置に備えられた冷却装置をオンさせ、前記処理室に収容された前記被処理体の温度の上昇を抑制する工程と、
(7) 前記成膜装置に備えられた排気装置を制御し、前記処理室の圧力を大気圧に復帰させていく工程と、
を含むことを特徴とする請求項12に記載の電子製品の製造方法。 - 前記(5)工程および前記(6)工程において、前記処理室内に不活性ガスの導入と、前記処理室内に導入された前記不活性ガスの排気とを繰り返すことを特徴とする請求項13に記載の電子製品の製造方法。
- 前記熱処理における前記被処理体の温度は、前記重合膜の成膜温度以上前記重合膜の熱分解温度未満の範囲に保持されることを特徴とする請求項12から請求項14のいずれか一項に記載の電子製品の製造方法。
- 第1のモノマーを含む第1の原料ガスと、前記第1のモノマーとは異なる第2のモノマーを含む第2の原料ガスとを用いて、被処理体の被処理面上に、成膜後に塩基性化合物を含む薬品によって処理されるポリイミド膜からなる重合膜を成膜する成膜装置であって、
前記被処理体を収容する処理室と、
前記処理室内に、前記第1の原料ガス、および前記第2の原料ガスを供給する成膜処理ガス供給機構と、
前記処理室内に、不活性ガスを供給する不活性ガス供給機構と、
前記被処理体を加熱する加熱装置と、
前記被処理体の加熱を抑制する冷却装置と、
前記処理室内を排気する排気装置と、
前記成膜処理ガス供給機構、前記不活性ガス供給機構、前記加熱装置、前記冷却装置、および前記排気装置を制御するコントローラと、を備え、
前記コントローラは、請求項6から請求項10のいずれか一項に記載された重合膜の成膜方法が行われるように、前記成膜処理ガス供給機構、前記不活性ガス供給機構、前記加熱装置、前記冷却装置、および前記排気装置を制御することを特徴とする成膜装置。
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