JP6100296B2 - デバイス保持器、インナーユニット、アウターユニット、およびトレイ - Google Patents

Description

本発明は、デバイス保持器、インナーユニット、アウターユニット、およびトレイに関する。

従来、被試験デバイスを試験する試験装置に接続されたハンドラ装置は、被試験デバイスを保持したデバイス保持器を試験装置のソケットに嵌合させることで、被試験デバイスと当該試験装置とを電気的に接続していた（例えば、特許文献１〜５参照）。
特許文献１ 特開２０００−１４７０５５号公報
特許文献２ 特開２０００−４６９０２号公報
特許文献３ 特開２００９−２８６０号公報
特許文献４ 特開２０１１−３９０５９号公報
特許文献５ 特開２０１１−４０７５８号公報

しかしながら、被試験デバイスの電極と試験用ソケットの電極の相対的な位置がずれていると、デバイス保持器を試験用ソケットに嵌合させても、被試験デバイスと試験用ソケットとを電気的に接続できない場合が生じていた。また、デバイス保持器において、被試験デバイスの位置を調整し、調整した位置のまま保持することは困難であった。

本発明の第１の態様においては、被試験デバイスを試験用ソケットに搬送するハンドラ装置であって、被試験デバイスを保持するデバイス保持器を試験用ソケットに嵌合するのに先立ってデバイス保持器に嵌合され、デバイス保持器上における被試験デバイスの位置を調整するアクチュエータと、被試験デバイスの位置が調整されたデバイス保持器を搬送して試験用ソケットに嵌合させる搬送部と、を備え、デバイス保持器は、被試験デバイスを搭載するインナーユニットと、インナーユニットを移動可能に保持するアウターユニットと、被試験デバイスを搭載する側から押されたことに応じて、インナーユニットの移動のロックを解除する解除ボタンと、を有し、アクチュエータは、解除ボタンを押してインナーユニットを移動可能にし、インナーユニットの位置を調整するハンドラ装置を提供する。

本発明の第２の態様においては、第１の態様のハンドラ装置において、被試験デバイスを搭載し、搬送部に搬送されて試験用ソケットに嵌合するデバイス保持器を提供する。

本発明の第３の態様においては、被試験デバイスを試験用ソケットに搬送する第１の態様のハンドラ装置を備え、被試験デバイスを試験する試験装置であって、試験用ソケットを介して被試験デバイスと電気的に接続されるテストヘッドと、テストヘッドを介して被試験デバイスを試験する試験モジュールと、を更に備える試験装置を提供する。

本発明の第４の態様においては、デバイスを保持するデバイス保持器であって、デバイスを搭載するインナーユニットと、インナーユニットを相対的に移動可能に保持するアウターユニットと、を備え、インナーユニットは、アウターユニットをインナーユニットに対してロックするかまたはロックを解除するかを切り替えるデバイス保持器、当該デバイス保持器のインナーユニットおよびアウターユニットを提供する。

本発明の第５の態様においては、複数のデバイスを載置するトレイであって、複数のデバイスのそれぞれに対応して、第４の態様のデバイス保持器を備えるトレイを提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

本実施形態に係るハンドラ装置１００の構成例を、テストヘッド１１０、試験モジュール１３０、デバイストレイ１０、および調整用トレイ２０と共に示す。 本実施形態に係るハンドラ装置１００が、被試験デバイス１２を試験用ソケット１２２に搬送した構成例を示す。 本実施形態に係るアクチュエータユニット３２０を、デバイストレイ１０と共に示す。 本実施形態に係るアクチュエータユニット３２０を、調整用トレイ２０と共に示す。 図４に示したアクチュエータユニット３２０および調整用トレイ２０のＸ方向の断面図を制御部３４０と共に示す。 図４に示したアクチュエータユニット３２０および調整用トレイ２０のＹ方向の断面図を示す。 本実施形態に係るハンドラ装置１００の動作フローを示す。 本実施形態に係るソケット嵌合ユニット４２０が、試験用ソケット１２２に嵌合した第１の構成例を示す。 本実施形態に係る試験用ソケット撮像部３１０が、嵌合した試験用ソケット１２２およびソケット嵌合ユニット４２０を撮像する構成例を示す。 本実施形態に係るソケット嵌合ユニット４２０が、試験用ソケット１２２に嵌合した第２の構成例を示す。 本実施形態に係るソケット嵌合ユニット４２０が、試験用ソケット１２２に嵌合した第３の構成例を示す。 本実施形態に係るソケット嵌合ユニット４２０が、調整用ソケット４３０に嵌合した構成例を示す。 本実施形態に係る調整用ソケット撮像部３２２が、嵌合した調整用ソケット４３０およびソケット嵌合ユニット４２０を撮像する構成例を示す。 本実施形態に係る調整用ソケット４３０が、アクチュエータ嵌合ユニット４１０に嵌合した構成例を示す。 本実施形態に係る調整用ソケット撮像部３２２が、嵌合した調整用ソケット４３０およびアクチュエータ嵌合ユニット４１０を撮像する構成例を示す。 本実施形態に係るアクチュエータ嵌合ユニット４１０が、アクチュエータ３３０に嵌合した構成例を示す。 本実施形態に係るアクチュエータ撮像部３２６が、嵌合したアクチュエータ嵌合ユニット４１０およびアクチュエータ３３０を撮像する構成例を示す。 本実施形態に係る調整用ソケット撮像部３２２が、嵌合した調整用ソケット４３０およびデバイス保持器３０を撮像する構成例を示す。 本実施形態に係るアクチュエータ３３０がデバイス保持器３０に嵌合した構成例を示す。 本実施形態に係るアクチュエータ３３０およびロック機構を有するデバイス保持器３０の第１の例を示す。 図２０に示したアクチュエータ３３０およびデバイス保持器３０が嵌合する過程の構成の一例を示す。 図２０に示したアクチュエータ３３０およびデバイス保持器３０が嵌合した構成例を示す。 本実施形態に係るロック機構を有するデバイス保持器３０の第２の例を示す。 図２３に示したデバイス保持器３０のアウターユニット３４を取り除いた構成例を示す。 本実施形態に係るロック機構を有するデバイス保持器３０の第２の例を示す。 図２３に示したデバイス保持器３０のアウターユニット３４を取り除いた構成例を示す。 本実施形態に係るアウターユニット３４を、被試験デバイス１２を搭載する側から見た構成例を示す。 本実施形態に係るインナーユニット３２が有するデバイスラッチ５２２の一例を示す。 本実施形態に係るインナーユニット３２のデバイスラッチ５２２が、被試験デバイス１２を保持しない場合の一例を示す。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態に係るハンドラ装置１００の構成例を、テストヘッド１１０、試験モジュール１３０、デバイストレイ１０、および調整用トレイ２０と共に示す。ここで、テストヘッド１１０および試験モジュール１３０は、被試験デバイス１２を試験する試験装置の一部である。ハンドラ装置１００は、テストヘッド１１０と接続される。ハンドラ装置１００は、複数の被試験デバイス１２をテストヘッド１１０に設けられた試験用ソケット１２２に搬送して電気的に接続する。

テストヘッド１１０は、ソケットボード１２０を備える。ソケットボード１２０は、複数の試験用ソケット１２２を有する。テストヘッド１１０は、当該複数の試験用ソケット１２２を介して複数の被試験デバイス１２のそれぞれと電気的に接続される。テストヘッド１１０は、複数の試験用ソケット１２２に接続された複数の被試験デバイス１２と、試験モジュール１３０とを電気的に接続する。

試験モジュール１３０は、テストヘッド１１０を介して被試験デバイス１２を試験する。試験モジュール１３０は、複数の被試験デバイス１２を試験するための試験パターンに基づく試験信号を複数の被試験デバイス１２のそれぞれに入力する。試験モジュール１３０は、試験信号に応じてそれぞれの被試験デバイス１２が出力する出力信号に基づいて複数の被試験デバイス１２の良否を判定する。

試験装置は、アナログ回路、デジタル回路、アナログ／デジタル混載回路、メモリ、およびシステム・オン・チップ（ＳＯＣ）等の複数の被試験デバイス１２を試験する。ここで、被試験デバイス１２を、ＤＵＴ（Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ）または単にデバイスと表現する場合があるが、特に断りの無い限り、これらの表現が示す内容は略同一である。複数の被試験デバイス１２のそれぞれは、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）またはＬＧＡ（Ｌａｎｄ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）等の電極を有してよい。

これに代えて、被試験デバイス１２は、ＳＯＪ（Ｓｍａｌｌ Ｏｕｔｌｉｎｅ Ｊ−ｌｅａｄｅｄ）、ＰＬＣＣ（Ｐｌａｓｔｉｃ Ｌｅａｄｅｄ Ｃｈｉｐ Ｃａｒｒｉｅｒ）、ＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅ）、またはＳＯＰ（Ｓｍａｌｌ Ｏｕｔｌｉｎｅ Ｐａｃｋａｇｅ）等の端子を有してよい。ソケットボード１２０は、試験すべき被試験デバイス１２が有する電極または端子等と電気的に接続できる試験用ソケット１２２を有する。

ハンドラ装置１００は、デバイストレイ１０および調整用トレイ２０を内部にそれぞれ搬入する。ハンドラ装置１００は、搬入されたデバイストレイ１０に搭載された被試験デバイス１２の位置を調整しつつ、当該被試験デバイス１２を対応する試験用ソケット１２２に接続するように搬送する。また、ハンドラ装置１００は、搬送した被試験デバイス１２を試験装置が試験した後、当該被試験デバイス１２をハンドラ装置１００の外部へと搬出する。

ここで、デバイストレイ１０は、被試験デバイス１２を保持するデバイス保持器３０を載置する。デバイス保持器３０は、移動可能な状態でデバイストレイ１０に設けられてよい。例えば、デバイス保持器３０は、ユーザが用いるユーザトレイに収容され、被試験デバイス１２を試験装置で試験する場合に、当該デバイス保持器３０をユーザトレイからデバイストレイ１０に載せ替える。これに代えて、ユーザトレイに直接収容された被試験デバイス１２を試験装置で試験してもよく、この場合、当該被試験デバイス１２をユーザトレイからデバイストレイ１０のデバイス保持器３０に搭載する。

ここで、デバイストレイ１０は、複数の被試験デバイスのそれぞれに対応して、デバイス保持器３０を備えてよい。１つのデバイス保持器３０は、一例として、１つの被試験デバイス１２に対応して設けられ、デバイストレイ１０に複数載置される。ハンドラ装置１００は、デバイス保持器３０ごと当該被試験デバイス１２を試験用ソケット１２２に搬送する。

デバイストレイ１０およびデバイス保持器３０は、一例として、試験装置が実行する高温または低温試験の温度条件におかれても、割れ、欠け、または変形等による被試験デバイス１２へのストレスを生じさせない材質で形成される。また、調整用トレイ２０は、被試験デバイス１２の位置調整に用いるソケット嵌合ユニット４２０等が格納される。デバイストレイ１０および調整用トレイ２０については、後に説明する。

ハンドラ装置１００は、熱印加部２１０と、テスト部２２０と、除熱部２３０と、搬送部２４０と、試験用ソケット撮像部３１０と、アクチュエータユニット３２０と、制御部３４０とを備える。

熱印加部２１０は、搬入ローダを有する。当該搬入ローダは、デバイス保持器３０を載置したデバイストレイ１０を熱印加部２１０内にロードする。熱印加部２１０は、テスト部２２０における試験に先立って被試験デバイス１２の温度を予め定められた試験温度へと制御する。また、ハンドラ装置１００は、熱印加部２１０内において、それぞれのデバイス保持器３０上の被試験デバイス１２の位置を調整する。熱印加部２１０は、温度および気圧等を制御できる密閉した空間を有するチャンバを構成してよい。熱印加部２１０は、温度制御部２１２を有する。

温度制御部２１２は、熱印加部２１０に搬入されたデバイストレイ１０を搭載する。温度制御部２１２は、搭載したデバイストレイ１０に保持された複数の被試験デバイス１２の温度を制御する。温度制御部２１２は、デバイストレイ１０の被試験デバイス１２を搭載する面とは反対面側からデバイストレイ１０に向かうＺ方向に移動して、デバイストレイ１０を搭載してよい。温度制御部２１２は、例えば、複数の被試験デバイス１２の温度を、試験装置が試験プログラムに応じて実行する試験の温度条件と略同一の温度となるように制御する。ここで、温度制御部２１２は、複数の温度制御ユニット２１４を含んでよい。

本例の温度制御ユニット２１４は、デバイストレイ１０が搭載可能な最大数の複数の被試験デバイス１２に対応して複数設けられる。それぞれの温度制御ユニット２１４は、対応する被試験デバイス１２をデバイス保持器３０ごと、裏面側から個別に加熱または冷却する。被試験デバイス１２の裏面とは、試験用ソケット１２２へと接続される被試験デバイス１２の電極面または端子面とは反対の面を指す。温度制御ユニット２１４は、ペルチエ素子等の熱電素子でよく、これに代えて、冷媒または熱媒を循環させるクーラーまたはヒータであってよい。

それぞれの温度制御ユニット２１４が、被試験デバイス１２の裏面側から、それぞれの被試験デバイス１２の温度を直接制御する場合、熱印加部２１０は、チャンバ全体の温度を精密に制御することなく、高速かつ低消費電力で複数の被試験デバイス１２の温度を制御することができる。また、これに代えて、温度制御部２１２は、熱印加部２１０のチャンバ全体の温度を試験の温度条件と略同一の温度となるように制御することで、それぞれの被試験デバイス１２の温度を制御してもよい。

テスト部２２０は、複数の被試験デバイス１２を試験するための空間を有する。テスト部２２０には、熱印加部２１０内のデバイストレイ１０および調整用トレイ２０が搬送される。テスト部２２０は、温度および気圧等を制御できる密閉した空間を有するチャンバを構成してよい。テスト部２２０は、試験装置と接続される。テスト部２２０のチャンバ内には、当該試験装置のテストヘッド１１０に搭載されるソケットボード１２０が配置される。

テスト部２２０内において、デバイストレイ１０は、ソケットボード１２０へと搬送され、複数の被試験デバイス１２は、対応する試験用ソケット１２２と電気的に接続される。また、テスト部２２０内において、調整用トレイ２０は、ソケットボード１２０へと搬送され、複数のソケット嵌合ユニット４２０は、対応する試験用ソケット１２２と嵌合される。

除熱部２３０は、テスト部２２０からデバイストレイ１０および調整用トレイ２０が搬入される空間を有する。除熱部２３０は、搬入されたデバイストレイ１０および調整用トレイ２０を、当該除熱部２３０の外部へと搬出する。除熱部２３０は、搬出ローダを有する。当該搬出ローダは、除熱部２３０において温度を制御した後の複数の被試験デバイス１２を保持したデバイストレイ１０を、除熱部２３０の外部にアンロードする。除熱部２３０は、チャンバを構成してよい。除熱部２３０は、温度制御部２３２を有する。

温度制御部２３２は、除熱部２３０内において、デバイストレイ１０の温度を制御する。温度制御部２３２は、デバイストレイ１０の温度を制御することで、テスト部２２０から搬入された複数の被試験デバイス１２を、試験温度程度から、室温と同程度にまで加熱または冷却する。温度制御部２３２は、ペルチエ素子等の熱電素子を含んでよく、これに代えて、冷媒または熱媒を循環させるクーラーまたはヒータを含んでよい。

搬送部２４０は、デバイストレイ１０を、熱印加部２１０からテスト部２２０へと搬送する。搬送部２４０は、テスト部２２０において、被試験デバイス１２を保持したデバイス保持器３０を試験用ソケット１２２に嵌合させる。また、搬送部２４０は、被試験デバイス１２の試験後に、デバイストレイ１０をテスト部２２０から除熱部２３０へと搬送する。搬送部２４０は、熱印加部２１０が有する搬入ローダから搬入されるデバイストレイ１０を受け取ってよい。また、搬送部２４０は、除熱部２３０が有する搬出ローダにデバイストレイ１０を受け渡してよい。搬送部２４０は、デバイス装着部２４２と、駆動部２４６とを有する。

デバイス装着部２４２は、テスト部２２０に設けられる。デバイス装着部２４２は、デバイス保持器３０に保持された被試験デバイス１２をソケットボード１２０の対応する試験用ソケット１２２に装着する。デバイス装着部２４２は、複数の押付部２４４を含む。押付部２４４は、複数の被試験デバイス１２に対応して複数設けられる。押付部２４４は、デバイス保持器３０の被試験デバイス１２を保持する面とは反対側の面を、ソケットボード１２０の方向へと押して、被試験デバイス１２を対応する試験用ソケット１２２にそれぞれ装着する。

デバイス装着部２４２または押付部２４４は、デバイス保持器３０に対向する面において、デバイス保持器３０を吸着する吸着部を含んでよい。この場合、デバイス装着部２４２または押付部２４４は、被試験デバイス１２を吸着して、ソケットボード１２０から離間する方向に移動することにより、試験用ソケット１２２に装着されたデバイス保持器３０を脱着する。

また、デバイス装着部２４２は、デバイストレイ１０上の複数の被試験デバイス１２の温度を制御してよい。デバイス装着部２４２は、一例として、複数の被試験デバイス１２の温度を、試験装置が実行する試験の温度条件となるように制御する。デバイス装着部２４２は、複数の押付部２４４が接触する被試験デバイス１２の温度をそれぞれ制御させてよい。ここで、複数の押付部２４４は、それぞれの温度をそれぞれ個別に制御してよく、これに代えて、２以上の押付部２４４の温度を一括して制御してよい。

この場合、押付部２４４は、それぞれの被試験デバイス１２の電極面または端子面とは反対の面側から個別に加熱または冷却する。押付部２４４は、ペルチエ素子等の熱電素子を含んでよく、これに代えて、冷媒または熱媒を循環させるクーラーまたはヒータを含んでもよい。押付部２４４が、被試験デバイス１２毎に、被試験デバイス１２の裏面から温度を直接制御する場合、ハンドラ装置１００は、テスト部２２０のチャンバ全体の温度を精密に制御することなく、高速かつ低消費電力で複数の被試験デバイス１２の温度を制御することができる。また、これに代えて、テスト部２２０は、テスト部２２０のチャンバ全体の温度を、試験の温度条件と略同一の温度に制御する温度制御部を備えてもよい。

駆動部２４６は、デバイス装着部２４２を駆動する。駆動部２４６は、デバイス装着部２４２の移動を制御して、デバイストレイ１０をソケットボード１２０へと搬送し、複数の被試験デバイス１２と対応する試験用ソケット１２２とを電気的に接続させる。

試験用ソケット撮像部３１０は、ソケットボード１２０が有する複数の試験用ソケット１２２を撮像する。試験用ソケット撮像部３１０は、それぞれの試験用ソケット１２２における電極の位置を示す情報を含む領域を撮像する。本例の試験用ソケット撮像部３１０は、ソケット嵌合ユニット４２０と嵌合した試験用ソケット１２２を撮像する。試験用ソケット撮像部３１０は、ソケット嵌合ユニット４２０に設けられたマーク等と、試験用ソケット１２２における電極とを含む領域を撮像する。これにより、ソケット嵌合ユニット４２０に設けられたマーク等に対する、試験用ソケット１２２における電極の相対位置を取得する。試験用ソケット撮像部３１０は、試験用ソケット１２２毎にそれぞれ撮像してよく、これに代えて、複数の試験用ソケット１２２毎に撮像してもよい。試験用ソケット撮像部３１０は、撮像カメラと当該撮像カメラを移動させる移動部を有し、撮像すべき試験用ソケット１２２の近傍に当該撮像カメラを移動させて当該試験用ソケット１２２を撮像してよい。

これに代えて、試験用ソケット撮像部３１０は、撮像カメラとミラーを有し、当該ミラーを介して試験用ソケット１２２を撮像カメラで撮像してよい。この場合、試験用ソケット撮像部３１０は、ミラーを移動させる移動部等で移動させ、撮像すべき試験用ソケット１２２の像を当該撮像カメラに入射させて、試験用ソケット１２２を撮像してよい。

アクチュエータユニット３２０は、複数の被試験デバイス１２が載置されたデバイストレイ１０上において、被試験デバイス１２が接続される試験用ソケット１２２の電極に対応する位置へと当該被試験デバイス１２の位置をそれぞれ調整する。アクチュエータユニット３２０は、熱印加部２１０内において、被試験デバイス１２の電極の位置をそれぞれ検出し、被試験デバイス１２の電極が、対応する試験用ソケット１２２の電極に接続できるように被試験デバイス１２の位置を調整する。また、アクチュエータユニット３２０は、自身が有するアクチュエータの原点位置および駆動距離等を検出して調整する。

制御部３４０は、試験用ソケット撮像部３１０およびアクチュエータユニット３２０に接続され、被試験デバイス１２の位置調整を制御する。制御部３４０は、試験用ソケット撮像部３１０の撮像結果、アクチュエータユニット３２０の検出結果等に基づき、被試験デバイス１２の調整量をアクチュエータユニット３２０に指定して、当該被試験デバイス１２の位置を調整させる。また、制御部３４０は、駆動部２４６、搬送部２４０、搬入ローダ、搬出ローダ等に接続され、デバイストレイ１０および調整用トレイ２０のロード／アンロード／搬送、デバイス装着部２４２の駆動等を制御してよい。

また、制御部３４０は、温度制御部２１２、デバイス装着部２４２、および温度制御部２３２と接続されて、複数の被試験デバイス１２の温度を制御してよい。また、制御部３４０は、複数の被試験デバイス１２を対応する試験用ソケット１２２にそれぞれ装着した後に、複数の被試験デバイス１２の装着完了を試験装置に通知してよい。この場合、試験装置は、装着完了の通知に応じて被試験デバイス１２の試験を実行し、試験の終了または停止を制御部３４０に通知してもよい。制御部３４０は、試験の終了の通知に応じて、被試験デバイス１２をデバイストレイ１０に載置し、デバイストレイ１０を搬出する。

図２は、本実施形態に係るハンドラ装置１００が、被試験デバイス１２を試験用ソケット１２２に搬送した構成例を示す。図２は、デバイス装着部２４２がデバイストレイ１０を載置してソケットボード１２０の近傍まで搬送し、押付部２４４が被試験デバイス１２をソケットボード１２０の方向へと押し付けて対応する試験用ソケット１２２に装着した例を示す。本実施例において、被試験デバイス１２が複数のＢＧＡ型の電極１８を有する例を説明する。

試験用ソケット１２２は、被試験デバイス１２と電気的に接続され、試験装置から供給される試験信号を被試験デバイス１２に伝達する。また、試験用ソケット１２２は、試験信号に応じて被試験デバイス１２が出力する応答信号を試験装置に伝達する。試験用ソケット１２２は、ソケットボード１２０に複数備わり、ソケットボード１２０のテストヘッド１１０とは反対の面に行方向および列方向に配列されて実装されてよい。試験用ソケット１２２は、ソケットピン１２４と、複数の電極１２６とを含む。試験用ソケット１２２の複数の電極１２６は、被試験デバイス１２が有する複数の電極１８と電気的に接続する。

ソケットピン１２４は、デバイス保持器３０と嵌合する。ソケットピン１２４は、１つの試験用ソケット１２２に対して２以上備わってよい。ソケットピン１２４は、試験用ソケット１２２の四隅の近傍にそれぞれ備わることが望ましい。

デバイス保持器３０は、インナーユニット３２と、アウターユニット３４と、ピン挿入部３６とを有する。インナーユニット３２は、被試験デバイス１２をそれぞれ搭載する。インナーユニット３２は、一例として、弾性力等により被試験デバイス１２を押圧する弾性部材を有し、被試験デバイス１２をそれぞれ固定する。インナーユニット３２は、当該被試験デバイス１２がハンドラ装置１００に搬入して搬出されるまでの間、被試験デバイス１２を搭載して固定した状態を保つ。

アウターユニット３４は、インナーユニット３２を移動可能に保持する。インナーユニット３２およびアウターユニット３４は、押付部２４４を貫通させる貫通孔を有する。この場合、押付部２４４は、インナーユニット３２およびアウターユニット３４を貫通して、被試験デバイス１２の電極１８が形成された面とは反対側の面を押す。

これに代えて、アウターユニット３４は、インナーユニット３２を保持する面とは反対側の面に、デバイス装着部２４２の押付部２４４が押し付けられてもよい。この場合、アウターユニット３４は、押付部２４４が押し付けられる凹部が形成されてもよい。これに代えて、アウターユニット３４は、押付部２４４を貫通させる貫通孔を有し、押付部２４４は、インナーユニット３２の被試験デバイス１２を保持する面とは反対側の面を押してもよい。

アウターユニット３４は、インナーユニット３２をアウターユニット３４に対して移動可能な状態にするか、アウターユニット３４に固定した状態にするかをメカニカルに切り換えるロック機構を含んでよい。これに代えて、インナーユニット３２は、インナーユニット３２自身をアウターユニット３４に対して移動可能な状態にするか、アウターユニット３４に固定した状態にするかをメカニカルに切り換えるロック機構を含んでもよい。

ピン挿入部３６は、ソケットピン１２４に対応して形成され、ソケットピン１２４と嵌合する。即ち、押付部２４４がデバイス保持器３０を試験用ソケット１２２に押し付けたことに応じて、ピン挿入部３６は、ソケットピン１２４と嵌合し、被試験デバイス１２の電極１８と試験用ソケット１２２の電極１２６とが電気的に接続される。

ここで、被試験デバイス１２の電極１８のサイズおよびピッチ等が微細化することにより、試験装置およびハンドラ装置１００等の製造精度等と被試験デバイス１２の位置精度等が略同程度となると、ソケットピン１２４をピン挿入部３６に嵌合させても、被試験デバイス１２および試験用ソケット１２２が電気的に接続できない場合が生じる。そこで、本実施形態のハンドラ装置１００は、試験用ソケット撮像部３１０およびアクチュエータユニット３２０等を備え、調整用トレイ２０等を用いて、デバイス保持器３０に搭載される被試験デバイス１２の位置を予め調整し、ソケットピン１２４をピン挿入部３６に嵌合させることにより、被試験デバイス１２および試験用ソケット１２２を電気的に接続させる。

図３は、本実施形態のアクチュエータユニット３２０を、デバイストレイ１０と共に示す。図３は、デバイストレイ１０が搬入ローダによって熱印加部２１０内部に搬入され、搬送部２４０上に載置された例を示す。

デバイストレイ１０は、一例として、複数のデバイス保持器３０を行方向および列方向に配列して載置する。デバイストレイ１０は、試験装置の試験用ソケット１２２の配列に対応させて、複数のデバイス保持器３０を載置する。

本実施例において、デバイストレイ１０が、デバイス保持器３０を１６行１６列に配列して載置する例を説明する。この場合、デバイストレイ１０は、最大で２５６の被試験デバイス１２を保持して搬送することになる。ここで、デバイストレイ１０の行方向をＸ軸、列方向をＹ軸とする。この場合、搬送部２４０は、デバイストレイ１０をＸ軸方向に移動させて、熱印加部２１０、テスト部２２０、および除熱部２３０の間を搬送する。

デバイストレイ１０は、テスト部２２０においてソケットボード１２０と対向する一方の面に、デバイス保持器３０を格納する格納部１４を備える。格納部１４は、複数のデバイス保持器３０に対応してそれぞれ形成される凹部でよい。また、それぞれの格納部１４は、デバイストレイ１０の一方の面から他方の面を貫通する貫通孔１６を有する。これによって、デバイス装着部２４２が有する押付部２４４は、当該貫通孔１６を貫通して、デバイス保持器３０を試験用ソケット１２２に押し付けることができる。

アクチュエータユニット３２０は、デバイストレイ１０の上に配置される。アクチュエータユニット３２０は、アクチュエータ３３０を有する。アクチュエータ３３０は、被試験デバイス１２を保持するデバイス保持器３０を試験用ソケット１２２に嵌合するのに先立ってデバイス保持器３０に嵌合され、デバイス保持器３０上における被試験デバイス１２の位置を調整する。本例のアクチュエータ３３０は、被試験デバイス１２を保持するインナーユニット３２を、アウターユニット３４に対して移動させることで、デバイス保持器３０上における被試験デバイス１２の位置を調整する。アクチュエータ３３０は、後述する調整用ソケット４３０に対する被試験デバイス１２の相対位置に基づいて、デバイス保持器３０上における被試験デバイス１２の位置を調整する。

アクチュエータ３３０は、アクチュエータユニット３２０に複数設けられてよい。この場合、それぞれのアクチュエータ３３０は、対応する被試験デバイス１２の位置をそれぞれ調整する。例えば、アクチュエータ３３０は、被試験デバイス１２の列方向の配置に対応して複数設けられ、列方向に並ぶ複数の被試験デバイス１２をそれぞれ調整する。この場合、列方向（即ち、本例の場合Ｙ方向）に１６のアクチュエータ３３０が設けられてよい。そして、アクチュエータユニット３２０は、被試験デバイス１２の１列の配置に対応する距離ずつ、Ｘ方向に１６回移動することで、最大２５６の被試験デバイス１２を列毎に調整してよい。これに代えて、搬送部２４０は、被試験デバイス１２の１列の配置に対応する距離ずつ、デバイストレイ１０をＸ方向に１６回移動させることで、最大２５６の被試験デバイス１２を列毎に調整してもよい。

これに代えて、アクチュエータ３３０は、Ｙ方向に１６未満のアクチュエータ３３０が設けられてもよい。この場合、アクチュエータユニット３２０は、熱印加部２１０内においてＹ方向に移動し、列方向に並ぶ複数の被試験デバイス１２を順次調整してよい。一例として、８のアクチュエータ３３０が１つおきに列方向に並ぶ場合、当該８のアクチュエータ３３０は、列方向に並ぶ複数の被試験デバイス１２のうち奇数行または偶数行の８の被試験デバイス１２をそれぞれ調整する。

これによって、アクチュエータユニット３２０は、被試験デバイス１２の１行の配置に対応する距離だけＹ方向に移動することで、列方向に並ぶ合計１６の被試験デバイス１２を調整することができる。そして、アクチュエータユニット３２０は、１列の調整が終了する毎に、被試験デバイス１２の１列の配置に対応する距離ずつ、Ｘ方向に移動することで、最大２５６の被試験デバイス１２をそれぞれ調整することができる。これに代えて、搬送部２４０は、１列の調整が終了する毎に、被試験デバイス１２の１列の配置に対応する距離ずつ、デバイストレイ１０をＸ方向に移動させることで、最大２５６の被試験デバイス１２をそれぞれ調整してもよい。

このように、アクチュエータユニット３２０は、列方向に移動することで、列方向に設けられるアクチュエータ３３０の数を最小で１つまで低減することができる。本実施例において、アクチュエータユニット３２０が１つおきに列方向に並ぶ８のアクチュエータ３３０を有する例を説明する。

図４は、本実施形態に係るアクチュエータユニット３２０を、調整用トレイ２０と共に示す。図４は、調整用トレイ２０が搬入ローダによって熱印加部２１０内部に搬入され、搬送部２４０上に載置された例を示す。

調整用トレイ２０は、デバイス保持器３０を搭載するデバイストレイ１０とほぼ同一形状に形成される。調整用トレイ２０は、例えば、デバイストレイ１０と外径寸法が同一に形成される。調整用トレイ２０は、格納部２２と、貫通スリット２６とを備える。

格納部２２は、例えば、デバイストレイ１０の格納部１４と同一形状で同一配列に形成される。また、それぞれの格納部２２は、調整用トレイ２０の一方の面から他方の面を貫通する貫通孔２４を有する。

調整用トレイ２０は、複数のアクチュエータ嵌合ユニット４１０および複数のソケット嵌合ユニット４２０を搭載する。調整用トレイ２０は、アクチュエータ嵌合ユニット４１０およびソケット嵌合ユニット４２０を、予め定められた配置で格納部２２にそれぞれ格納する。

例えば、複数のアクチュエータ嵌合ユニット４１０を格納する複数の格納部２２は、列状に配列される。図４は、複数のアクチュエータ嵌合ユニット４１０を格納する複数の格納部２２が、調整用トレイ２０において、テスト部２２０に搬入される場合に先頭となる側とは反対側の第１列に配列される例を示す。

また、例えば、複数のソケット嵌合ユニット４２０を格納する複数の格納部２２は、１または複数の列に配列される。即ち、複数のソケット嵌合ユニット４２０は、複数のアクチュエータ嵌合ユニット４１０を格納する複数の格納部２２の列以外の予め定められた列に配列される。

貫通スリット２６は、調整用トレイ２０の表面から裏面まで貫通し、複数のアクチュエータ嵌合ユニット４１０を格納する複数の格納部２２に沿って形成される。図４は、貫通スリット２６が、上述した第１列に隣接する第２列の位置に形成された例を示す。調整用トレイ２０における貫通スリット２６の位置は、デバイストレイ１０において、テスト部２２０に搬入される場合に先頭となる側とは反対側の第２列の位置に対応する。即ち、調整用トレイ２０は、第２列の格納部２２に代えて、貫通スリット２６を有する点でデバイストレイ１０と形状が異なってよい。

アクチュエータ嵌合ユニット４１０は、アクチュエータユニット３２０が有するアクチュエータ３３０と嵌合する。アクチュエータ嵌合ユニット４１０は、アクチュエータユニット３２０および調整用トレイ２０の相対位置が近接することにより、アクチュエータ３３０と嵌合する。アクチュエータ嵌合ユニット４１０は、デバイス保持器３０の少なくとも被試験デバイス１２を保持する部分の形状とほぼ同一形状である。

ソケット嵌合ユニット４２０は、試験用ソケット１２２に嵌合される。ソケット嵌合ユニット４２０は、搬送部２４０が当該ソケット嵌合ユニット４２０をテスト部２２０の試験用ソケット１２２に搬送することにより、試験用ソケット１２２に嵌合される。

図５は、図４に示したアクチュエータユニット３２０および調整用トレイ２０のＸ方向の断面図を制御部３４０と共に示す。アクチュエータユニット３２０は、図４に示した構成に加え、調整用ソケット撮像部３２２と、貫通孔３２４と、アクチュエータ撮像部３２６と、連結部３２８と、調整用ソケット４３０とを更に有する。即ち、調整用ソケット撮像部３２２、アクチュエータ３３０、および調整用ソケット４３０は、アクチュエータユニット３２０に一体化されて設けられる例を説明する。

調整用ソケット４３０は、デバイス保持器３０、アクチュエータ嵌合ユニット４１０およびソケット嵌合ユニット４２０に順次嵌合される。調整用ソケット４３０に嵌合させた状態で、調整用ソケット４３０に対するデバイス保持器３０上の被試験デバイス１２およびソケット嵌合ユニット４２０の相対位置を検出することで、被試験デバイス１２およびソケット嵌合ユニット４２０の位置ずれを検出することができる。また、ソケット嵌合ユニット４２０は、試験用ソケット１２２にも嵌合される。そして、ソケット嵌合ユニット４２０に嵌合させた状態で、ソケット嵌合ユニット４２０に対する試験用ソケット１２２の相対位置を検出する。これにより、被試験デバイス１２および試験用ソケット１２２の位置ずれを間接的に検出することができる。従って、被試験デバイス１２を試験用ソケット１２２に接続する前に、被試験デバイス１２および試験用ソケット１２２の位置ずれを検出することができ、被試験デバイス１２の位置を予め調整することができる。

調整用ソケット４３０は、一例として、アクチュエータユニット３２０のデバイストレイ１０および調整用トレイ２０に対向する一方の面に形成される。調整用ソケット４３０は、例えば、アクチュエータユニット３２０およびデバイストレイ１０の相対位置が近接することにより、デバイス保持器３０と嵌合する。また、調整用ソケット４３０は、アクチュエータユニット３２０および調整用トレイ２０の相対位置が近接することにより、アクチュエータ嵌合ユニット４１０またはソケット嵌合ユニット４２０と嵌合する。

ここで、搬送部２４０がデバイストレイ１０および調整用トレイ２０をＺ方向に搬送することで、デバイストレイ１０および調整用トレイ２０とアクチュエータユニット３２０とのそれぞれの相対位置を変更して近接させてよい。これに代えて、アクチュエータユニット３２０がＺ方向に移動することで、デバイストレイ１０および調整用トレイ２０とアクチュエータユニット３２０とのそれぞれの相対位置を変更してもよい。

調整用ソケット撮像部３２２は、デバイストレイ１０のデバイス保持器３０が格納される側から、嵌合した調整用ソケット４３０およびデバイス保持器３０を撮像する。また、調整用ソケット撮像部３２２は、調整用トレイ２０のアクチュエータ嵌合ユニット４１０が格納される側から、嵌合した調整用ソケット４３０およびアクチュエータ嵌合ユニット４１０を撮像する。調整用ソケット撮像部３２２は、１組の調整用ソケット４３０およびデバイス保持器３０と、１組の調整用ソケット４３０およびアクチュエータ嵌合ユニット４１０をそれぞれ撮像してよい。これに代えて、調整用ソケット撮像部３２２は、複数の組の調整用ソケット４３０およびデバイス保持器３０等をそれぞれ撮像してもよい。

貫通孔３２４は、当該アクチュエータユニット３２０のデバイストレイ１０および調整用トレイ２０に対向する一方の面から、当該一方の面の反対側の他方の面までを貫通する。貫通孔３２４は、アクチュエータユニット３２０における調整用ソケット４３０が搭載される領域の少なくとも一部に形成される。調整用ソケット撮像部３２２は、貫通孔３２４を介して、アクチュエータユニット３２０の他方の面から、嵌合した調整用ソケット４３０およびデバイス保持器３０と、嵌合した調整用ソケット４３０およびアクチュエータ嵌合ユニット４１０とを撮像する。

アクチュエータ撮像部３２６は、１または複数のアクチュエータ３３０を撮像する。アクチュエータ撮像部３２６は、アクチュエータ３３０をアクチュエータ嵌合ユニット４１０に嵌合した状態で、アクチュエータ嵌合ユニット４１０におけるアクチュエータ３３０とは反対側からアクチュエータ３３０およびアクチュエータ嵌合ユニット４１０を撮像する。即ち、アクチュエータ撮像部３２６は、調整用トレイ２０のアクチュエータユニット３２０に対向する面とは反対側の面に対向して設けられ、調整用トレイ２０の貫通孔２４を介して、嵌合したアクチュエータ３３０およびアクチュエータ嵌合ユニット４１０を撮像する。

アクチュエータ撮像部３２６は、例えば、熱印加部２１０におけるテスト部２２０とは反対側の搬送部２４０の端部近傍に、アクチュエータ３３０に対応して列状に設けられる。これに代えて、アクチュエータ撮像部３２６は、調整用トレイ２０のアクチュエータユニット３２０が配置する側とは反対側において、列状に設けられてもよい。

本実施例において、１つおきに８のアクチュエータ３３０が列方向に並ぶので、アクチュエータ撮像部３２６も対応して１つおきに列方向に８個並んでよい。搬送部２４０は、アクチュエータ撮像部３２６がアクチュエータ３３０を撮像する場合、搬送部２４０の端部近傍の予め定められた位置に調整用トレイ２０を搬送する。図４および５は、搬送部２４０が当該予め定められた位置に調整用トレイ２０を搬送した例を示す。

連結部３２８は、貫通スリット２６を通過して調整用ソケット撮像部３２２が設けられたアクチュエータユニット３２０にアクチュエータ撮像部３２６を連結する。連結部３２８は、アクチュエータ撮像部３２６がアクチュエータ３３０を撮像する場合に、調整用ソケット撮像部３２２とアクチュエータ撮像部３２６とを連結する。

これによって、アクチュエータ撮像部３２６が列方向に移動して列方向に並ぶ複数のアクチュエータ３３０を撮像する場合に、当該アクチュエータ撮像部３２６は、アクチュエータユニット３２０と共に移動することができる。ここで、アクチュエータ撮像部３２６が、アクチュエータ３３０と別個独立に移動する機構を備える場合、連結部３２８はなくてもよい。また、アクチュエータ撮像部３２６がアクチュエータ３３０を撮像しない状態において、連結部３２８は、搬送部２４０および調整用トレイ２０とは接触しない位置に収納される。

制御部３４０は、調整用ソケット位置検出部３４２と、アクチュエータ位置検出部３４４と、アクチュエータ調整部３４８とを有する。

調整用ソケット位置検出部３４２は、調整用ソケット４３０にアクチュエータ嵌合ユニット４１０が嵌合された状態で、調整用ソケット４３０とアクチュエータ３３０の基準位置との相対位置を検出する。また、調整用ソケット位置検出部３４２は、調整用ソケット４３０にソケット嵌合ユニット４２０が嵌合された状態で、調整用ソケット４３０とソケット嵌合ユニット４２０との相対位置を検出する。また、調整用ソケット位置検出部３４２は、調整用ソケット４３０にデバイス保持器３０が嵌合された状態で、調整用ソケット４３０とデバイス保持器３０の基準位置との相対位置を検出する。

調整用ソケット位置検出部３４２は、調整用ソケット撮像部３２２に接続され、調整用ソケット撮像部３２２の撮像結果に基づき、相対位置を検出する。調整用ソケット位置検出部３４２は、検出した相対位置をアクチュエータ調整部３４８に供給する。

アクチュエータ位置検出部３４４は、アクチュエータ撮像部３２６に接続され、アクチュエータ撮像部３２６によるアクチュエータ３３０の撮像結果に基づき、アクチュエータ３３０が移動する距離および方向を検出する。また、アクチュエータ位置検出部３４４は、嵌合したアクチュエータ３３０およびアクチュエータ嵌合ユニット４１０の撮像結果に基づきアクチュエータ３３０およびアクチュエータ嵌合ユニット４１０の相対位置を検出する。アクチュエータ位置検出部３４４は、検出した相対位置をアクチュエータ調整部３４８に供給する。

アクチュエータ調整部３４８は、アクチュエータ３３０に接続され、当該アクチュエータ３３０をアクチュエータ嵌合ユニット４１０に嵌合させてアクチュエータ３３０の駆動量を調整する。アクチュエータ調整部３４８は、例えば、アクチュエータ３３０をアクチュエータ嵌合ユニット４１０に嵌合した状態で駆動させ、アクチュエータ３３０が実際に移動した距離および方向に基づき、駆動量を調整する。

また、アクチュエータ調整部３４８は、アクチュエータ３３０を駆動して、被試験デバイス１２の位置を調整する。アクチュエータ調整部３４８は、被試験デバイス１２の調整すべき位置を算出し、アクチュエータ３３０を駆動して当該位置に被試験デバイス１２を移動させる。アクチュエータ調整部３４８は、調整用ソケット位置検出部３４２およびアクチュエータ位置検出部３４４から供給される検出結果に基づき、被試験デバイス１２の位置を調整する。

図６は、図４に示したアクチュエータユニット３２０および調整用トレイ２０のＹ方向の断面図を示す。調整用ソケット撮像部３２２および調整用ソケット４３０は、ソケット嵌合ユニット４２０に対応してアクチュエータユニット３２０に設けられる。調整用ソケット撮像部３２２および調整用ソケット４３０は、ソケット嵌合ユニット４２０の列方向の配置に対応して複数設けられてよく、例えば、列方向に１６組の調整用ソケット撮像部３２２および調整用ソケット４３０が設けられる。

これに代えて、アクチュエータユニット３２０は、列方向に１６組未満の調整用ソケット撮像部３２２および調整用ソケット４３０が設けられてもよい。この場合、調整用ソケット４３０は、アクチュエータ３３０と同様に、熱印加部２１０内においてＹ方向に移動し、列方向に並ぶ複数のソケット嵌合ユニット４２０とそれぞれ嵌合して撮像される。

図６は、調整用ソケット撮像部３２２および調整用ソケット４３０が、アクチュエータ３３０と同様に、複数のソケット嵌合ユニット４２０のうち列方向に１つ置きに並ぶソケット嵌合ユニット４２０に対応して設けられる例を示す。この場合、８組の調整用ソケット撮像部３２２および調整用ソケット４３０が１つおきに列方向に並び、列方向に並ぶ複数のソケット嵌合ユニット４２０のうち奇数行または偶数行の８のソケット嵌合ユニット４２０とそれぞれ嵌合して撮像する。

調整用トレイ２０において、アクチュエータ嵌合ユニット４１０は、ソケット嵌合ユニット４２０が並ぶ行方向に配列されるので、ソケット嵌合ユニット４２０と同様に、列方向に並ぶ調整用ソケット４３０に嵌合することができる。また、列方向に並ぶ調整用ソケット撮像部３２２は、嵌合した調整用ソケット４３０およびアクチュエータ嵌合ユニット４１０を撮像することができる。

また、調整用トレイ２０において、アクチュエータ嵌合ユニット４１０を第１列に、ソケット嵌合ユニット４２０を第３列にそれぞれ格納する場合、アクチュエータユニット３２０を調整用トレイ２０に近接させてアクチュエータ３３０を第１列のアクチュエータ嵌合ユニット４１０に嵌合すると、調整用ソケット４３０を第３列のソケット嵌合ユニット４２０に嵌合することもできる。これによって、アクチュエータ撮像部３２６がアクチュエータ３３０を撮像すると共に、調整用ソケット撮像部３２２が調整用ソケット４３０を撮像することもできる。

以上の本実施形態に係るハンドラ装置１００は、デバイストレイ１０を搬入するのに先立って、調整用トレイ２０を搬入し、装置内の各部の相対位置を検出してから、デバイストレイ１０に保持された被試験デバイス１２の位置を調整する。ハンドラ装置１００の動作については、図７を用いて説明する。

図７は、本実施形態に係るハンドラ装置１００の動作フローを示す。また、図８から図１９は、ハンドラ装置１００がデバイストレイ１０および調整用トレイ２０を搬送する過程におけるハンドラ装置１００の構成例を示す。

まず、ハンドラ装置１００は、調整用トレイ２０を搬入する（Ｓ７００）。制御部３４０は、調整用トレイ２０を搬入ローダによって熱印加部２１０に搬入させ、搬送部２４０によってテスト部２２０の試験用ソケット１２２まで搬送する。そして制御部３４０は、デバイス装着部２４２によって調整用トレイ２０に格納されたソケット嵌合ユニット４２０を試験用ソケット１２２に嵌合させる。即ち、ソケット嵌合ユニット４２０は、被試験デバイス１２を保持するデバイス保持器３０を試験用ソケット１２２に嵌合するのに先立って、試験用ソケット１２２が嵌合される。

図８は、本実施形態に係るソケット嵌合ユニット４２０が、試験用ソケット１２２に嵌合した第１の構成例を示す。本実施例において、複数のソケット嵌合ユニット４２０は、調整用トレイ２０における熱印加部２１０側から第３、４、６、８、１０、１２、１６列の格納部２２に格納される例を説明する。ここで、図８の調整用トレイ２０における第２列は、貫通スリット２６が形成される例を示す。

次に、試験用ソケット撮像部３１０は、試験用ソケット１２２にソケット嵌合ユニット４２０が嵌合した状態において、試験用ソケット１２２およびソケット嵌合ユニット４２０を撮像し、試験用ソケット１２２に対するソケット嵌合ユニット４２０の相対位置であるソケット座標を取得する（Ｓ７１０）。試験用ソケット撮像部３１０は、ソケットボード１２０の熱印加部２１０側から第３、４、６、８、１０、１２、１６列の試験用ソケット１２２および嵌合するソケット嵌合ユニット４２０を撮像する。

ここで、制御部３４０は、試験用ソケット撮像部３１０に接続される試験用ソケット位置検出部３４６を更に有する。試験用ソケット位置検出部３４６は、試験用ソケット１２２がソケット嵌合ユニット４２０に嵌合した状態における試験用ソケット１２２に対するソケット嵌合ユニット４２０の相対位置を検出する。

図９は、本実施形態に係る試験用ソケット撮像部３１０が、嵌合した試験用ソケット１２２およびソケット嵌合ユニット４２０を撮像する構成例を示す。ここで、ソケット嵌合ユニット４２０は、ピン挿入部４２２と、基準マーク４２４と、開口部４２６とを有する。ピン挿入部４２２は、ソケットピン１２４と嵌合する。即ち、ソケット嵌合ユニット４２０は、デバイス保持器３０の少なくともソケットピン１２４と嵌合する部分の形状と同一形状となる。

基準マーク４２４は、凸部、凹部、色または反射率の異なる物質、および貫通孔等でよく、図９においては、貫通孔が形成された例を示す。開口部４２６は、試験用ソケット１２２と嵌合した状態で試験用ソケット１２２の少なくとも一部の電極１２６を含む領域を、試験用ソケット１２２と嵌合される面とは反対面側から観察可能にする貫通孔である。

試験用ソケット撮像部３１０は、試験用ソケット１２２にソケット嵌合ユニット４２０が嵌合した状態において、ソケット嵌合ユニット４２０側から、ソケット嵌合ユニット４２０の基準マークおよび試験用ソケット１２２の少なくとも一部を含む領域を撮像する。試験用ソケット撮像部３１０が撮像する領域には、試験用ソケット１２２の電極１２６の位置を示す情報が含まれる。本例において、電極１２６の位置を示す情報は、開口部４２６に露出する電極１２６そのものである。他の例においては、電極１２６の位置を示す情報は、試験用ソケット１２２に設けられた基準マーク等であってよい。開口部４２６は、ソケット嵌合ユニット４２０で囲まれた領域でなくともよい。試験用ソケット位置検出部３４６は、試験用ソケット撮像部３１０における撮像結果に基づき、試験用ソケット１２２の電極１２６と、ソケット嵌合ユニット４２０の基準マークとの相対位置をそれぞれ検出する。即ち、試験用ソケット位置検出部３４６は、ソケット嵌合ユニット４２０の基準マーク４２４に対する試験用ソケット１２２の電極１２６の相対位置を検出する。試験用ソケット１２２の電極１２６の相対位置に対応して、被試験デバイス１２の位置を調整することで、試験用ソケット１２２と、被試験デバイス１２とを精度よく接続することができる。

次に、搬送部２４０は、ソケット嵌合ユニット４２０を２以上の試験用ソケット１２２に順次嵌合させるべく、調整用トレイ２０を搬送する。例えば、搬送部２４０は、調整用トレイ２０を行方向（Ｘ方向）の熱印加部２１０側に、試験用ソケット１２２の１列に相当する距離だけ搬送する。これによって、第３、４、６、８、１０、１２、１６列の格納部２２に格納されたソケット嵌合ユニット４２０は、ソケットボード１２０の熱印加部２１０側から第２、３、５、７、９、１１、１３、１５列の試験用ソケット１２２と嵌合することができる。

試験用ソケット撮像部３１０は、嵌合した試験用ソケット１２２およびソケット嵌合ユニット４２０を、ソケット嵌合ユニット４２０側から撮像する。このため、基準マーク４２４は、ソケット嵌合ユニット４２０において、試験用ソケット１２２と嵌合される面とは反対面において観察可能に設けられる。

また、ソケット嵌合ユニット４２０は、調整用ソケット４３０とも嵌合する。後述するように、嵌合したソケット嵌合ユニット４２０および調整用ソケット４３０は、調整用ソケット４３０側から撮像される。このため、ソケット嵌合ユニット４２０の基準マーク４２４は、調整用ソケット４３０と嵌合される面においても観察可能に設けられる。つまり、基準マーク４２４は、試験用ソケット１２２および調整用ソケット４３０と嵌合される面、および、当該面とは反対面の双方において観察可能なマークである。また、ソケット嵌合ユニット４２０の基準マーク４２４は、ソケット嵌合ユニット４２０と調整用ソケット４３０とが嵌合した状態で調整用ソケット４３０に覆われない位置に設けられる。

図１０は、複数のソケット嵌合ユニット４２０が、複数の試験用ソケット１２２に嵌合した第２の構成例を示す。図１０に示す状態では、試験用ソケット撮像部３１０は、ソケットボード１２０の第２、５、７、９、１１、１３、１５列の試験用ソケット１２２および嵌合するソケット嵌合ユニット４２０を撮像する。ソケットボード１２０においては、Ｘ軸負方向における端の列から順に第１列、第２列、・・・第１６列とする。また、試験用ソケット位置検出部３４６は、試験用ソケット撮像部３１０の撮像結果に基づいて、対象列における試験用ソケット１２２の電極１２６と、ソケット嵌合ユニット４２０の基準マークとの相対位置をそれぞれ検出する。

同様に、搬送部２４０は、調整用トレイ２０を行方向の熱印加部２１０側に、１列ずらすように搬送する。これによって、ソケット嵌合ユニット４２０は、ソケットボード１２０の第１、２、４、６、８、１０、１２、１４列の試験用ソケット１２２と嵌合することができる。

図１１は、本実施形態に係るソケット嵌合ユニット４２０が、試験用ソケット１２２に嵌合した第３の構成例を示す。これによって、試験用ソケット撮像部３１０は、ソケットボード１２０の第１列の試験用ソケット１２２および嵌合するソケット嵌合ユニット４２０を撮像する。また、試験用ソケット位置検出部３４６は、試験用ソケット撮像部３１０の撮像結果に基づいて、試験用ソケット１２２の電極１２６と、ソケット嵌合ユニット４２０の基準マークとの相対位置をそれぞれ検出し、全ての試験用ソケット１２２のソケット座標を取得する。

次に、ハンドラ装置１００は、調整用ソケット４３０にソケット嵌合ユニット４２０を嵌合して、調整用ソケット４３０および試験用ソケット１２２の間の第１相関を取得する（Ｓ７２０）。第１相関とは、例えばソケット嵌合ユニット４２０に嵌合させた場合の、ソケット嵌合ユニット４２０に対する調整用ソケット４３０の相対位置と、ソケット嵌合ユニット４２０に対する試験用ソケット１２２の相対位置とのずれを示す情報を含む。このように、ソケット嵌合ユニット４２０は、試験用ソケット１２２および調整用ソケット４３０に順次嵌合される。また、搬送部２４０は、調整用ソケット４３０を２以上のソケット嵌合ユニット４２０に順次嵌合させるべく、調整用トレイ２０を搬送する。搬送部２４０は、調整用トレイ２０に格納された全てのソケット嵌合ユニット４２０と調整用ソケット４３０とが嵌合するように、調整用トレイ２０を搬送してよい。

図１２は、本実施形態に係るソケット嵌合ユニット４２０が、調整用ソケット４３０に嵌合した構成例を示す。図１２は、調整用トレイ２０における第３列のソケット嵌合ユニット４２０と、調整用ソケット４３０とが嵌合した例を示す。制御部３４０は、調整用トレイ２０における他の列のソケット嵌合ユニット４２０と、調整用ソケット４３０とが嵌合するように、搬送部２４０および／またはアクチュエータユニット３２０を順次移動させるように制御してよい。

調整用ソケット撮像部３２２は、調整用ソケット４３０にソケット嵌合ユニット４２０が嵌合した状態において、調整用ソケット４３０およびソケット嵌合ユニット４２０を撮像する。図１３は、本実施形態に係る調整用ソケット撮像部３２２が、嵌合した調整用ソケット４３０およびソケット嵌合ユニット４２０を撮像する構成例を示す。

ここで、調整用ソケット４３０は、ソケットピン４３２と、基準マーク４３４と、開口部４３６とを含む。ソケットピン４３２は、ピン挿入部４２２と嵌合する。即ち、調整用ソケット４３０は、試験用ソケット１２２の少なくともデバイス保持器３０と嵌合する部分の形状と同一形状となる。

基準マーク４３４は、調整用ソケット４３０において、デバイス保持器３０およびソケット嵌合ユニット４２０と嵌合される面とは反対面側の面において観察可能なマークである。基準マーク４３４は、凸部、凹部、色または反射率の異なる物質、および貫通孔等でよく、図１３においては、凹部が形成された例を示す。開口部４３６は、ソケット嵌合ユニット４２０と嵌合される面とは反対面側から、ソケット嵌合ユニット４２０の少なくとも一部の領域を観察する貫通孔である。本例では、当該一部の領域に基準マーク４２４が含まれる。また、調整用ソケット４３０は、デバイス保持器３０とも嵌合する。開口部４３６は、デバイス保持器３０と嵌合した状態で被試験デバイス１２の少なくとも一部の電極１８を反対面側から観察可能にする。

調整用ソケット撮像部３２２は、調整用ソケット４３０にソケット嵌合ユニット４２０が嵌合した状態において、調整用ソケット４３０側から、貫通孔３２４、および開口部４３６を介して、ソケット嵌合ユニット４２０の基準マーク４２４および調整用ソケット４３０の少なくとも一部を含む領域を撮像する。ここで、調整用ソケット撮像部３２２は、調整用ソケット４３０の基準マーク４３４を含むように撮像してよい。

調整用ソケット位置検出部３４２は、調整用ソケット撮像部３２２の撮像結果に基づき、調整用ソケット４３０がソケット嵌合ユニット４２０に嵌合した状態における調整用ソケット４３０に対するソケット嵌合ユニット４２０の相対位置を検出する。調整用ソケット位置検出部３４２は、一例として、ソケット嵌合ユニット４２０の基準マーク４２４と、調整用ソケット４３０の基準マーク４３４との距離および方向を相対位置としてそれぞれ検出する。

制御部３４０は、検出したソケット嵌合ユニット４２０に対する調整用ソケット４３０の相対位置と、ソケット嵌合ユニット４２０に対する試験用ソケット１２２の相対位置とに基づき、調整用ソケット４３０および試験用ソケット１２２の間の第１相関を取得する。例えば、調整用ソケット位置検出部３４２は、検出した相対位置を試験用ソケット位置検出部３４６に供給する。試験用ソケット位置検出部３４６は、試験用ソケット１２２およびソケット嵌合ユニット４２０の相対位置と、ソケット嵌合ユニット４２０および調整用ソケット４３０の相対位置とのずれを、試験用ソケット１２２および調整用ソケット４３０との間の位置ずれ量として検出し、第１相関とする。試験用ソケット位置検出部３４６は、検出した第１相関を調整用ソケット位置検出部３４２に供給してよい。

次に、ハンドラ装置１００は、調整用ソケット４３０にアクチュエータ嵌合ユニット４１０を嵌合して、試験用ソケット１２２およびアクチュエータ嵌合ユニット４１０の間の第２相関を取得する（Ｓ７３０）。ここで、ハンドラ装置１００は、調整用ソケット４３０および試験用ソケット１２２の間の第１相関を取得しているので、調整用ソケット４３０とアクチュエータ嵌合ユニット４１０との相対位置を検出することで、アクチュエータ嵌合ユニット４１０および試験用ソケット１２２の間の相関を取得することができる。

図１４は、本実施形態に係る調整用ソケット４３０が、アクチュエータ嵌合ユニット４１０に嵌合した構成例を示す。調整用ソケット撮像部３２２は、調整用ソケット４３０がアクチュエータ嵌合ユニット４１０に嵌合した状態で、調整用ソケット４３０側から調整用ソケット４３０およびアクチュエータ嵌合ユニット４１０を撮像する。ここで、調整用ソケット撮像部３２２は、調整用ソケット４３０に嵌合した複数のアクチュエータ嵌合ユニット４１０を調整用トレイ２０の表面側から順番に撮像してよい。図１５は、本実施形態に係る調整用ソケット撮像部３２２が、嵌合した調整用ソケット４３０およびアクチュエータ嵌合ユニット４１０を撮像する構成例を示す。

ここで、アクチュエータ嵌合ユニット４１０は、インナーユニット４４０と、アウターユニット４５０とを備える。インナーユニット４４０は、デバイス保持器３０のインナーユニット３２と外形形状がほぼ一致して形成される。即ち、第２相関を取得することにより、デバイス保持器３０のインナーユニット３２と、試験用ソケット１２２の間の相関を取得できる程度に、インナーユニット４４０は、デバイス保持器３０のインナーユニット３２の形状と一致する。

インナーユニット４４０は、開口部４４２と、基準マーク４４４とを有する。開口部４４２は、当該インナーユニット４４０を保持するアウターユニット４５０の少なくとも一部の領域を、当該インナーユニット４４０が保持される面とは反対側の面から観察する貫通孔である。基準マーク４４４は、調整用ソケット４３０と嵌合される側の面、および、当該面とは反対面の双方において観察可能なマークである。基準マーク４２４は、凸部、凹部、色または反射率の異なる物質、および貫通孔等でよく、図１５においては、貫通孔が形成された例を示す。

アウターユニット４５０は、インナーユニット４４０を移動可能に保持する。アウターユニット４５０は、インナーユニット４４０を移動可能に保持するか否かをメカニカルに切り換えるロック機構を含んでよい。アウターユニット４５０は、ピン挿入部４５２、基準マーク４５４、開口部４５６を有する。ピン挿入部４５２は、ソケットピン４３２と嵌合する。即ち、アウターユニット４５０は、デバイス保持器３０の少なくともソケットピン１２４と嵌合する部分の形状と同一形状となる。

基準マーク４５４は、調整用ソケット４３０およびアクチュエータ３３０と嵌合される面、および、当該面とは反対面の双方において観察可能なマークである。基準マーク４５４は、凸部、凹部、色または反射率の異なる物質、および貫通孔等でよく、図１５においては、貫通孔が形成された例を示す。基準マーク４５４は、インナーユニット４４０を保持する一方の面において、当該一方の面側からインナーユニット４４０の開口部４４２を介して観測できる位置に形成される。開口部４５６は、調整用ソケット４３０と嵌合される面とは反対側から、インナーユニット４４０の少なくとも基準マーク４２４が形成された領域を観察する貫通孔である。

ここで、調整用ソケット４３０は、アウターユニット４５０と嵌合してアウターユニット４５０の位置を固定すると共に、開口部４３６の内壁でインナーユニット４４０の位置を固定する。アウターユニット４５０がインナーユニット４４０を保持するロック機構を含む場合、調整用ソケット４３０は、アウターユニット４５０と嵌合すると共に当該ロック機構を解除してインナーユニット４４０を移動可能にしてから、開口部４３６の内壁でインナーユニット４４０の位置を固定する。

調整用ソケット撮像部３２２は、嵌合した調整用ソケット４３０およびアクチュエータ嵌合ユニット４１０を調整用トレイ２０の表面側から貫通孔３２４を介して撮像する。調整用ソケット位置検出部３４２は、調整用ソケット撮像部３２２の撮像結果に基づき、調整用ソケット４３０およびアクチュエータ嵌合ユニット４１０の相対位置を検出する。

調整用ソケット４３０がインナーユニット４４０およびアウターユニット４５０の位置を固定するので、調整用ソケット位置検出部３４２は、調整用ソケット４３０とアウターユニット４５０との相対位置に加えて、インナーユニット４４０との相対位置も検出することができる。即ち、調整用ソケット位置検出部３４２は、アウターユニット４５０の基準マーク４５４の位置と、インナーユニット４４０の基準マーク４４４の位置をそれぞれ検出し、基準マーク４５４および基準マーク４４４の相対位置を検出する。

また、調整用ソケット位置検出部３４２は、試験用ソケット１２２との間の第１相関が取れているので、アウターユニット４５０の基準マーク４５４の位置を検出することで、試験用ソケットの１２２における基準マーク４５４の位置を決定することもできる。この場合、調整用ソケット位置検出部３４２は、調整用ソケット４３０の基準マーク４３４からアウターユニット４５０の基準マーク４５４の位置の相対位置に応じて、試験用ソケットの１２２における基準マーク４５４の位置を決定してよい。

次に、ハンドラ装置１００は、アクチュエータ嵌合ユニット４１０にアクチュエータ３３０を嵌合して、アクチュエータ３３０の初期位置であるアクチュエータ座標を取得する（Ｓ７４０）。図１６は、本実施形態に係るアクチュエータ嵌合ユニット４１０が、アクチュエータ３３０に嵌合した構成例を示す。

アクチュエータ撮像部３２６は、アクチュエータ３３０をアクチュエータ嵌合ユニット４１０に嵌合した状態で、アクチュエータ嵌合ユニット４１０側からアクチュエータ３３０およびアクチュエータ嵌合ユニット４１０を撮像する。ここで、アクチュエータ撮像部３２６は、アクチュエータ３３０に嵌合した複数のアクチュエータ嵌合ユニット４１０を調整用トレイ２０の裏面側から順番に撮像してよい。アクチュエータ調整部３４８は、アクチュエータ撮像部３２６および調整用ソケット撮像部３２２における撮像結果に基づいて、アクチュエータ３３０の駆動量を調整する。

図１７は、本実施形態に係るアクチュエータ撮像部３２６が、嵌合したアクチュエータ嵌合ユニット４１０およびアクチュエータ３３０を撮像する構成例を示す。ここで、アクチュエータ３３０は、アウターキャッチ部３３２と、インナーキャッチ部３３４と、アクチュエータ駆動部３３６とを含む。

アウターキャッチ部３３２は、アクチュエータ嵌合ユニット４１０のアウターユニット４５０を把持する。アウターキャッチ部３３２は、ソケットピン１２４と同一の形状を有し、アウターユニット４５０のピン挿入部４５２と嵌合してアウターユニット４５０を把持する。

インナーキャッチ部３３４は、インナーユニット４４０を把持する。アウターユニット４５０がインナーユニット４４０を保持するロック機構を含む場合、インナーキャッチ部３３４は、インナーユニット４４０を把持した状態でインナーユニット４４０に設けられたロックを解除してインナーユニット４４０をアウターユニット４５０に対して相対的に移動可能としてからインナーユニット４４０を把持する。インナーキャッチ部３３４は、調整用ソケット４３０の開口部４３６の内壁と同一の形状を有してよく、アウターキャッチ部３３２がアウターユニット４５０を把持することに応じて、インナーユニット４４０を把持する。

アクチュエータ駆動部３３６は、アウターキャッチ部３３２に固定され、インナーキャッチ部３３４を移動させる。アクチュエータ駆動部３３６は、アクチュエータ調整部３４８から指示される調整量に応じて、インナーキャッチ部３３４を移動させる。まず、アクチュエータ調整部３４８は、インナーユニット４４０を把持したインナーキャッチ部３３４を初期位置としてよい。ここで、インナーキャッチ部３３４の初期位置は、一例として、アウターユニット４５０上における中央部にインナーユニット４４０を位置させるように定められる。

アクチュエータ調整部３４８は、アウターユニット４５０の基準マーク４５４と、インナーユニット４４０の基準マーク４４４との相対位置を検出することで、アウターキャッチ部３３２に対するインナーキャッチ部３３４の初期位置のずれ量を検出することができる。また、アクチュエータ調整部３４８は、アクチュエータ３３０をアクチュエータ嵌合ユニット４１０に嵌合した状態で駆動させ、アクチュエータ３３０が実際に移動した距離および方向に基づき、デバイス保持器３０上における被試験デバイス１２の位置を調整する場合のアクチュエータ３３０の駆動量を調整する。

即ち、アクチュエータ調整部３４８は、インナーキャッチ部３３４を駆動させ、インナーキャッチ部３３４が実際に移動した距離および方向に基づき、駆動量を調整する。ここで、アクチュエータ調整部３４８は、インナーキャッチ部３３４の初期位置からの移動量に応じて、インナーキャッチ部３３４が実際に移動した距離および方向を検出してもよい。

また、アクチュエータ調整部３４８は、アクチュエータ撮像部３２６および調整用ソケット撮像部３２２における撮像結果を比較することで、インナーキャッチ部３３４が実際に移動した距離および方向を検出してもよい。すなわち、アクチュエータ調整部３４８は、調整用ソケット４３０にアクチュエータ嵌合ユニット４１０を嵌合させた場合と、アクチュエータ３３０にアクチュエータ嵌合ユニット４１０を嵌合させた場合とで生じるアクチュエータ嵌合ユニット４１０の位置ずれ量に基づいて、アクチュエータ３３０の駆動量を調整する。

制御部３４０は、ハンドラ装置１００内の第１相関および第２相関を取得した上で、アクチュエータ３３０の初期位置、移動距離、および方向等を検出するので、試験用ソケット１２２に対するアクチュエータ３３０の相対位置のバラツキおよび誤差等を低減させ、精度よくアクチュエータ３３０を駆動することができる。制御部３４０は、複数のアクチュエータ３３０に対して、初期位置、移動距離、および方向等をそれぞれ検出して、それぞれのアクチュエータ３３０を別個独立に調整してよい。

ハンドラ装置１００は、第１相関、第２相関、およびアクチュエータ３３０の座標を取得したことに応じて、調整用トレイ２０による調整を完了し、当該調整用トレイ２０を搬出する（Ｓ７５０）。そして、ハンドラ装置１００は、被試験デバイス１２を搭載したデバイストレイ１０を搬入する（Ｓ７６０）。制御部３４０は、デバイストレイ１０を搬入ローダによって熱印加部２１０に搬入させる。

次に、ハンドラ装置１００は、調整用ソケット４３０にデバイス保持器３０を嵌合して、被試験デバイス１２と試験用ソケット１２２との相対位置であるデバイス座標を取得する（Ｓ７７０）。即ち、調整用ソケット４３０は、被試験デバイス１２を保持するデバイス保持器３０を試験用ソケット１２２に嵌合するのに先立って、デバイス保持器３０が嵌合される。

調整用ソケット撮像部３２２は、調整用ソケット４３０にデバイス保持器３０が嵌合した状態において、調整用ソケット４３０および被試験デバイス１２を撮像する。調整用ソケット位置検出部３４２は、調整用ソケット撮像部３２２における撮像結果に基づいて、調整用ソケット４３０に対する被試験デバイス１２の相対位置を検出する。

図１８は、本実施形態に係る調整用ソケット撮像部３２２が、嵌合した調整用ソケット４３０およびデバイス保持器３０を撮像する構成例を示す。ソケットピン４３２がアウターユニット３４のピン挿入部３６に嵌合すると共に、調整用ソケット４３０の開口部４３６の内壁は、インナーユニット３２を固定する。アウターユニット３４がインナーユニット３２を保持するロック機構を含む場合、調整用ソケット４３０は、アウターユニット３４と嵌合すると共に当該ロック機構を解除してインナーユニット３２を移動可能にしてから、開口部４３６の内壁でインナーユニット３２を固定する。

調整用ソケット撮像部３２２は、調整用ソケット４３０のデバイス保持器３０と嵌合される面とは反対面側から、調整用ソケット４３０の基準マーク４３４および被試験デバイス１２の少なくとも一部の電極１８を含む領域を撮像する。調整用ソケット位置検出部３４２は、調整用ソケット４３０に対する被試験デバイス１２の電極１８の相対位置を検出する。これに代えて、調整用ソケット位置検出部３４２は、調整用ソケット４３０の基準マーク４３４に対する被試験デバイス１２の電極１８の相対位置を検出してもよい。

また、調整用ソケット位置検出部３４２は、調整用ソケット４３０にアクチュエータ嵌合ユニット４１０を嵌合させた場合と、調整用ソケット４３０にデバイス保持器３０を嵌合させた場合とで生じる、アクチュエータ嵌合ユニット４１０のインナーユニット４４０とデバイス保持器３０のインナーユニット３２との位置ずれ量に基づいて、インナーユニット３２と試験用ソケット１２２との相対位置を検出する。調整用ソケット位置検出部３４２は、インナーユニット３２および電極１８の相対位置と、インナーユニット３２および試験用ソケット１２２の相対位置から、被試験デバイス１２の電極１８と試験用ソケット１２２との相対位置を検出することができる。

即ち、調整用ソケット位置検出部３４２は、デバイス保持器３０が試験用ソケット１２２に嵌合した場合の、被試験デバイス１２の電極１８と試験用ソケット１２２の電極１２６の相対位置であるデバイス座標を取得することができる。当該デバイス座標により、制御部３４０は、デバイス保持器３０が試験用ソケット１２２に嵌合した場合に、電極１８と電極１２６が電気的に接続されるように、被試験デバイス１２がデバイス保持器３０上において配置されるべき位置を決定することができる。

搬送部２４０および／またはアクチュエータユニット３２０は、調整用ソケット位置検出部３４２が、少なくとも一のアクチュエータ嵌合ユニット４１０と、複数のデバイス保持器３０との間のそれぞれの相対位置を検出するように、デバイストレイ１０を移動させる。例えば、制御部３４０は、調整用ソケット４３０と、デバイストレイ１０上の全てのデバイス保持器３０とを順次嵌合させるように搬送部２４０および／またはアクチュエータユニット３２０を制御し、全ての被試験デバイス１２が配置されるべき位置をそれぞれ決定する。

次に、ハンドラ装置１００は、アクチュエータ３３０にデバイス保持器３０を嵌合して、デバイス保持器３０上の被試験デバイス１２の位置を調整する（Ｓ７８０）。制御部３４０は、デバイストレイ１０の予め定められた列に配列されたデバイス保持器３０と、アクチュエータユニット３２０のアクチュエータ３３０とが嵌合するように、搬送部２４０および／またはアクチュエータユニット３２０を制御する。

アクチュエータ調整部３４８は、調整用ソケット位置検出部３４２の検出結果からデバイス保持器３０およびアクチュエータ嵌合ユニット４１０の間の位置の相関を取得し、デバイス座標に応じたインナーユニット３２（即ち、被試験デバイス１２）の調整位置を定める。即ち、アクチュエータ３３０は、調整用ソケット４３０がデバイス保持器３０に嵌合した状態における調整用ソケット４３０に対するデバイス保持器３０の相対位置と、調整用ソケット４３０がソケット嵌合ユニット４２０に嵌合した状態における調整用ソケット４３０に対するソケット嵌合ユニット４２０の相対位置とに基づいて、デバイス保持器３０上における被試験デバイス１２の位置を調整する。

図１９は、本実施形態に係るアクチュエータ３３０がデバイス保持器３０に嵌合した構成例を示す。アウターキャッチ部３３２がデバイス保持器３０のピン挿入部３６を把持すると共に、インナーキャッチ部３３４は、インナーユニット３２を把持する。アウターユニット３４がインナーユニット３２を保持するロック機構を含む場合、アウターキャッチ部３３２は、アウターユニット３４を把持すると共に当該ロック機構を解除してインナーユニット３２を移動可能にしてから、インナーキャッチ部３３４がインナーユニット３２を把持する。

インナーキャッチ部３３４は、アクチュエータ駆動部３３６に駆動されて、アクチュエータ調整部３４８が定めた調整位置にインナーユニット３２を移動させる。このように、アクチュエータ３３０は、試験用ソケット１２２にデバイス保持器３０を嵌合させた場合と、調整用ソケット４３０にデバイス保持器３０を嵌合させた場合とで生じるべきデバイス保持器３０の位置ずれ量（即ち、デバイス座標）に基づいて、デバイス保持器３０上における被試験デバイス１２の位置を調整することができる。

制御部３４０は、デバイストレイ１０の予め定められた列に配列された全てのデバイス保持器３０上における被試験デバイス１２が、アクチュエータ３３０によって調整されるように、アクチュエータユニット３２０を制御する。また、制御部３４０は、デバイストレイ１０の他の列に配列されたデバイス保持器３０上における被試験デバイス１２が、アクチュエータ３３０によって調整されるように、搬送部２４０および／またはアクチュエータユニット３２０を制御する。

即ち、制御部３４０は、複数のデバイス保持器３０のそれぞれに対応するそれぞれの予め定められた位置にアクチュエータ３３０が配置されるようにアクチュエータユニット３２０を順次移動させる。アクチュエータユニット３２０は、デバイストレイ１０上の予め定められた位置に移動する毎に、当該予め定められた位置に対応する列に配列されたデバイス保持器３０とアクチュエータ３３０とが嵌合するように順次移動し、アクチュエータ３３０は、複数のデバイス保持器３０に保持された複数の被試験デバイス１２の位置をそれぞれ調整する。

次に、ハンドラ装置１００は、被試験デバイス１２をテスト部２２０に搬送する（Ｓ７９０）。ここで、ハンドラ装置１００は、温度制御部２１２によって、被試験デバイス１２を加熱してから搬送してもよい。これに代えて、ハンドラ装置１００は、デバイストレイ１０が熱印加部２１０に搬入されてから被試験デバイス１２を加熱してもよい。

搬送部２４０は、被試験デバイス１２の位置が調整されたデバイス保持器３０を搬送して試験用ソケット１２２に嵌合させる。アクチュエータ３３０によって、被試験デバイス１２の位置が調整されているので、図２に示すように、被試験デバイス１２の電極１８と試験用ソケット１２２の電極１２６は、電気的に接続することができる。

次に、ハンドラ装置１００に接続された試験装置は、被試験デバイス１２の試験を実行する（Ｓ８００）。ハンドラ装置１００は、試験が終了したことに応じて、デバイストレイ１０を搬出する（Ｓ８１０）。

以上の本実施形態のハンドラ装置１００によれば、被試験デバイス１２を保持するデバイス保持器３０を試験用ソケット１２２に嵌合するのに先立って、被試験デバイス１２および試験用ソケット１２２の相対位置を検出して調整するので、試験装置と被試験デバイス１２との電気的な接続をより確実なものにすることができる。また、アクチュエータ３３０とデバイス保持器３０とを嵌合するのに先立って、アクチュエータ３３０の相対位置、駆動方向、および駆動量を調整するので、アクチュエータの位置精度および駆動精度を向上させ、被試験デバイス１２の位置を精度よく調整することができる。

以上の本実施形態のハンドラ装置１００は、ソケット嵌合ユニット４２０を試験用ソケット１２２に嵌合させてソケット座標を取得し、ソケット嵌合ユニット４２０を調整用ソケット４３０に嵌合させて第１相関を取得し、調整用ソケット４３０をアクチュエータ嵌合ユニット４１０に嵌合させて第２相関を取得し、アクチュエータ嵌合ユニット４１０をアクチュエータ３３０に嵌合させてアクチュエータ３３０を調整する順序で、調整用トレイ２０による調整を実行することを説明した。これに代えて、ハンドラ装置１００は、調整用トレイ２０を熱印加部２１０からテスト部２２０へと、搬入から搬送する順序で調整を実行してもよい。

即ち、ハンドラ装置１００は、調整用トレイ２０を熱印加部２１０に搬入してから、調整用ソケット４３０をアクチュエータ嵌合ユニット４１０に嵌合させ、次に、アクチュエータ嵌合ユニット４１０をアクチュエータ３３０に嵌合させて、アクチュエータ嵌合ユニット４１０およびアクチュエータ３３０の相対位置からアクチュエータを調整する。そして、ソケット嵌合ユニット４２０を調整用ソケット４３０に嵌合させて、アクチュエータ嵌合ユニット４１０およびソケット嵌合ユニット４２０の相対位置を検出する。

次に、調整用トレイ２０をテスト部２２０へと搬送し、ソケット嵌合ユニット４２０を試験用ソケット１２２に嵌合させ、第１相関および第２相関を取得する。これによって、ハンドラ装置１００は、調整用トレイ２０による調整を実行できるので、当該調整用トレイ２０を除熱部２３０を介してハンドラ装置１００の外部へと搬出する。以上のように、ハンドラ装置１００は、各部の相対位置の検出の順序を変更しても、適切に調整用トレイ２０による調整を実行することができる。

本実施形態のハンドラ装置１００においては、被試験デバイス１２および試験用ソケット１２２とのずれ量を検出すべく、調整用ソケット４３０に対する被試験デバイス１２の相対位置と、ソケット嵌合ユニット４２０に対する試験用ソケット１２２の相対位置との両方を検出した。上述した相対位置の一方が既知の場合、ハンドラ装置１００は、上述した相対位置の検出の一方を省略してもよい。例えば、ハンドラ装置１００は、一度検出した試験用ソケット１２２の相対位置を、次以降のデバイストレイ１０についての試験に用いることで、次以降の試験における試験用ソケット１２２の相対位置の検出を省略してよい。また、使用者等により入力される相対位置の情報を用いることで、上述した相対位置の検出の一方を省略してもよい。

以上の本実施形態におけるアウターユニット３４は、インナーユニット３２を保持するロック機構を有することを説明した。そこで、図２０から図２４を用いて、当該ロック機構の詳細について説明する。

図２０は、本実施形態に係るアクチュエータ３３０およびロック機構を有するデバイス保持器３０の第１の例を示す。図２０には、互いに直交するＸＹＺ軸を示す。図１９において、アクチュエータ３３０は、インナーキャッチ部３３４がインナーユニット３２を把持して移動させる例を説明したが、図２０においては、アウターキャッチ部３３２がアウターユニット３４を把持して移動させる例を説明する。第１の例のアウターユニット３４は、解除ボタン５１０と、インサートラッチ５１２とを有する。

解除ボタン５１０は、被試験デバイス１２を搭載する側から押されたことに応じて、インナーユニット３２の移動のロックを解除する。解除ボタン５１０は、一例として、−Ｚ方向に押し下げられたことに応じて、ロックを解除する。この場合、解除ボタン５１０は、−Ｚ方向の押し下げが解除されて初期位置に戻ることに応じて、インナーユニット３２の移動をロックする。解除ボタン５１０は、アウターユニット３４に複数設けられてよい。

インサートラッチ５１２は、解除ボタン５１０に接続され、インナーユニット３２の一部を把持し、解除ボタン５１０が押されたことに応じてインナーユニット３２の一部の把持を解放する。インサートラッチ５１２は、一例として、アウターユニット３４が有するバネ等の弾性部材によって＋Ｚ方向に付勢され、解除ボタン５１０が押されずに初期位置に位置する場合において、インナーユニット３２の一部を＋Ｚ方向に押して把持する（即ち、ロックする）。この場合、解除ボタン５１０が−Ｚ方向に押し下げられたことに応じて、インナーユニット３２の把持を解除する（即ち、ロックが解除される）。

第１の例のアクチュエータ３３０は、インナーキャッチ部３３４がインナーユニット３２を把持した状態でインナーユニット３２に設定されたロックを解除し、当該インナーユニット３２をアウターユニット３４に対して相対的に移動可能とする。アクチュエータ３３０は、台座部６００を更に有する。

台座部６００は、アクチュエータユニット３２０に接続され、アクチュエータ３３０を固定する。台座部６００は、一例として、被試験デバイス１２を向く面にインナーキャッチ部３３４を固定する。また、台座部６００は、アクチュエータ駆動部３３６を介してアウターキャッチ部３３２を固定する。即ち、アクチュエータ３３０は、アクチュエータ駆動部３３６を駆動することで、固定したインナーキャッチ部３３４に対して相対的にアウターキャッチ部３３２を移動させる。第１の例のインナーキャッチ部３３４は、押付部６０２と、ラッチ部６０４とを有する。

押付部６０２は、アウターユニット３４の解除ボタン５１０と対向し、アクチュエータ３３０とデバイス保持器３０が嵌合することによって当該解除ボタン５１０を押し付ける。押付部６０２は、複数の解除ボタン５１０に対応して複数設けられてよく、アクチュエータ３３０とデバイス保持器３０が嵌合することに応じて、インナーユニット３２のロックを解除する。

ラッチ部６０４は、インナーユニット３２を把持する。ラッチ部６０４は、インナーユニット３２を把持するように付勢するバネ等の弾性部材を有する。ラッチ部６０４は、アクチュエータ３３０とデバイス保持器３０が嵌合することによって、インナーユニット３２をインナーキャッチ部３３４の予め定められた位置に把持する。即ち、ラッチ部６０４は、ロックが解除されて移動可能となったインナーユニット３２を把持する。

ラッチ部６０４およびインナーキャッチ部３３４は、一例として、インナーユニット３２に向く角部を除去して斜面を形成するように面取りされる。また、インナーユニット３２も、インナーキャッチ部３３４に向く対応する角部が除去されて対応する斜面５４０が形成されてよい。これによって、ラッチ部６０４は、アクチュエータ３３０とデバイス保持器３０が接近して嵌合する過程において、当該斜面がインナーユニット３２の対応する斜面５４０に接触し、インナーキャッチ部３３４の予め定められた位置に当該インナーユニット３２を誘い込むように移動させる。

図２０のラッチ部６０４は、−Ｘ方向に付勢するバネを有し、インナーユニット３２のＸ方向に垂直な側面を把持する例を示す。ラッチ部６０４は、インナーキャッチ部３３４に複数設けられよい。ラッチ部６０４は、例えば、インナーユニット３２がＸＹ平面と平行な面において４辺を有する四角形の形状を有する場合、当該４辺のうち２辺に対応して２つ設けられる。

また、アウターキャッチ部３３２は、嵌合ピン６０６を有し、アウターユニット３４のピン挿入部３６と嵌合することで、当該アウターユニット３４を把持する。嵌合ピン６０６は、ソケットピン１２４と略同一の形状を有する。

図２１は、図２０に示したアクチュエータ３３０およびデバイス保持器３０が嵌合する過程の構成の一例を示す。即ち、図２１は、アクチュエータユニット３２０がデバイス保持器３０側の−Ｚ方向に移動して、アクチュエータ３３０およびデバイス保持器３０が接近した構成例を示す。図２１において、インナーキャッチ部３３４はインナーユニット３２を把持するように誘い込み、アウターキャッチ部３３２はアウターユニット３４を把持するように誘い込む。

例えば、デバイス保持器３０は、デバイストレイ１０上において、ＸＹ平面においてアクチュエータ３３０に把持される程度に移動可能に搭載される。これに代えて、または、これに加えて、アクチュエータ駆動部３３６は、アウターキャッチ部３３２の駆動を停止して、アウターキャッチ部３３２がＸＹ平面において移動可能としてもよい。このように、嵌合ピン６０６の先端がアウターユニット３４のピン挿入部３６へ挿入されると、嵌合ピン６０６およびピン挿入部３６が嵌合するようにアウターユニット３４および／またはアウターキャッチ部３３２が移動する。

また、インナーキャッチ部３３４は、一例として、インナーユニット３２に向く角部を除去して形成された斜面がインナーユニット３２に接して、インナーユニット３２を誘い込む。この場合、ラッチ部６０４は、インナーユニット３２を接して把持するようにＸ方向に移動する。

アクチュエータ３３０およびデバイス保持器３０が嵌合する過程において、温度制御部２１２は、デバイストレイ１０のアクチュエータ３３０とは反対側の裏面に接してよい。この場合、温度制御部２１２の温度制御ユニット２１４が、被試験デバイス１２のアクチュエータ３３０とは反対側の裏面に接してもよい。これによって、温度制御部２１２は、デバイス保持器３０を搭載するデバイストレイ１０を安定に保持することができる。また、温度制御ユニット２１４は、被試験デバイス１２の温度制御を速やかに開始することができる。

また、温度制御部２１２は、機械的にデバイス保持器３０のＺ方向の位置を予め定められた位置に配置させてよい。一例として、温度制御部２１２は、ストッパ等と組み合わせて、当該ストッパの位置を基準として予め定められたＺ方向の位置にデバイス保持器３０を移動させてよい。また、温度制御部２１２は、デバイス保持器３０に対向する面において、デバイス保持器３０または被試験デバイス１２を吸着する吸着部を含んでもよい。この場合、温度制御部２１２は、デバイス保持器３０または被試験デバイス１２を吸着して、アクチュエータユニット３２０がデバイス保持器３０と離間する方向（即ち、Ｚ方向）に移動することにより、アクチュエータ３３０に嵌合されたデバイス保持器３０が脱着される。

図２２は、図２０に示したアクチュエータ３３０およびデバイス保持器３０が嵌合した構成例を示す。即ち、図２１は、アクチュエータユニット３２０がデバイス保持器３０側の−Ｚ方向に更に移動して、アクチュエータ３３０およびデバイス保持器３０が接した構成例を示す。図２２において、インナーキャッチ部３３４はインナーユニット３２を把持し、アウターキャッチ部３３２はアウターユニット３４を把持する。

即ち、アウターキャッチ部３３２の嵌合ピン６０６は、アウターユニット３４のピン挿入部３６と嵌合する。インナーキャッチ部３３４の押付部６０２は、解除ボタン５１０を押し付けてインナーユニット３２のロックを解除する。ラッチ部６０４は、ロックが解除されて移動可能となったインナーユニット３２を把持する。

以上のように、本実施形態のアクチュエータ３３０およびデバイス保持器３０が嵌合することにより、インナーキャッチ部３３４はロックが解除されたインナーユニット３２を把持し、アウターキャッチ部３３２は、アウターユニット３４を把持する。そして、アクチュエータ３３０は、アクチュエータ駆動部３３６を駆動することで、インナーユニット３２を把持して固定したまま、アウターキャッチ部３３２を移動させて、デバイス保持器３０上におけるインナーユニット３２の相対位置を調整する。即ち、アクチュエータ３３０は、デバイス保持器３０上における被試験デバイス１２の位置を調整することができる。

また、アクチュエータ３３０およびデバイス保持器３０が離間することにより、アウターキャッチ部３３２は、インナーキャッチ部３３４の移動をロックし、アクチュエータ３３０が調整したデバイス保持器３０上における配置にインナーユニット３２を固定する。これにより、被試験デバイス１２は、デバイス保持器３０上において調整された配置に固定され、搬送部２４０が当該デバイス保持器３０を搬送して試験用ソケット１２２に嵌合させることで、試験装置と電気的に接続することができる。

図２３は、本実施形態に係るロック機構を有するデバイス保持器３０の第２の例を示す。本実施形態の第２の例のデバイス保持器３０は、アウターユニット３４の一部を把持する。

図２３のアウターユニット３４は、インナーユニット３２を囲む４辺のうち３辺にアウターキャッチ部３３２により把持されるピン挿入部３６を有する。これに代えて、アウターユニット３４は、インナーユニット３２を囲む４辺にピン挿入部３６を有してもよい。これに代えて、アウターユニット３４は、インナーユニット３２を囲む４辺のうち２辺にピン挿入部３６を有してもよい。

ピン挿入部３６は、ＸＹ平面の平行な断面形状が四角形を有してよく、これに代えて、円形または楕円形であってもよい。また、ピン挿入部３６は、予め定められた深さの穴部（底部を有するザグリ穴）であってよく、これに代えて、貫通孔であってもよい。

図２３のインナーユニット３２は、被試験デバイス１２の２辺において、被試験デバイス１２をそれぞれ把持するデバイスラッチ５２２を有する。例えば、デバイスラッチ５２２は、被試験デバイス１２の側面を押し付けて当該被試験デバイス１２を固定する。これに代えて、または、これに加えて、デバイスラッチ５２２は、試験用ソケット１２２側である被試験デバイス１２の上面を押し付けて当該被試験デバイス１２を固定してもよい。デバイスラッチ５２２は、被試験デバイス１２を把持する部分にシリコンカバー５２４が設けられてもよい。

図２３において、デバイスラッチ５２２は、Ｘ軸またはＹ軸と略平行な回転軸を有し、Ｙ方向またはＸ方向に回転するように付勢する付勢部５２６を有する例を示す。即ち、図２３のデバイス保持器３０は、付勢部５２６がＺ軸方向に付勢し、デバイスラッチ５２２を回転させるようにして被試験デバイス１２の側面および上面を押し付けて固定するので、インナーユニット３２のＸＹ平面と平行な表面積を小さくすることができる。付勢部５２６は、弾性を有する材料でよく、例えば、１または複数のバネである。

また、デバイス保持器３０は、インナーユニット３２を囲む４辺のうち少なくとも１辺に、解除ボタン５１０およびインサートラッチ５１２を有する。図２３のデバイス保持器３０は、インナーユニット３２を囲む４辺のうち３辺に、解除ボタン５１０およびインサートラッチ５１２を有する例を示す。次に、第２の例のデバイス保持器３０がアウターユニット３４の一部を把持する構成を、図２４を用いて説明する。

図２４は、図２３に示したデバイス保持器３０のアウターユニット３４を取り除いた構成例を示す。デバイス保持器３０は、レバー部５３０を有する。レバー部５３０は、解除ボタン５１０と、インサートラッチ５１２と、シリコンカバー５１４と、レバー５１６と、支点５１８と、付勢部５２０とを含む。

インサートラッチ５１２は、アウターユニット３４の一部を把持する。インサートラッチ５１２は、被試験デバイス１２を搭載する側から（即ち、−Ｚ方向に向けて）、アウターユニット３４の一部を把持する。インサートラッチ５１２は、アウターユニット３４を把持する部分にシリコンカバー５１４が設けられてもよい。

レバー５１６は、解除ボタン５１０が押された場合に、押された力をインサートラッチ５１２に伝達する。即ち、レバー５１６は、−Ｚ方向に押された力を、支点５１８を介してインサートラッチ５１２を＋Ｚ方向に移動させる力として伝達する。したがって、レバー５１６は、解除ボタン５１０が押されたことに応じて、インサートラッチ５１２が＋Ｚ方向に移動してアウターユニット３４の一部の把持を解放する。

付勢部５２０は、レバー５１６を付勢する。付勢部５２０は、弾性を有する材料でよく、例えば、１または複数のバネである。付勢部５２０は、解除ボタン５１０を＋Ｚ方向に移動させるように、レバー５１６を付勢する。即ち、解除ボタン５１０が押されない場合、当該解除ボタン５１０は、予め定められた初期位置に配置される。また、解除ボタン５１０は、アクチュエータ３３０およびデバイス保持器３０が離間したことに応じて、当該初期位置に戻る。

以上の第２の例のデバイス保持器３０がアクチュエータ３３０と嵌合することにより、インナーキャッチ部３３４はインナーユニット３２を把持し、アウターキャッチ部３３２は、ロックが解除されたアウターユニット３４を把持する。そして、アクチュエータ３３０は、アクチュエータ駆動部３３６を駆動することで、インナーユニット３２を把持して固定したまま、アウターキャッチ部３３２を移動させて、デバイス保持器３０上におけるインナーユニット３２の相対位置を調整する。即ち、アクチュエータ３３０は、デバイス保持器３０上における被試験デバイス１２の位置を調整することができる。

図２５は、本実施形態に係るロック機構を有するデバイス保持器３０の第３の例を示す。本実施形態の第３の例のデバイス保持器３０は、インナーユニット３２と、アウターユニット３４と、解除ボタン５１０と、インサートラッチ５１２とを備える。インナーユニット３２は、被試験デバイス１２を保持し、当該被試験デバイス１２を搭載する。アウターユニット３４は、インナーユニット３２を相対的に移動可能に保持する。

インナーユニット３２は、アウターユニット３４をインナーユニット３２に対してロックするかまたはロックを解除するかを切り替える。インナーユニット３２は、例えば、アウターユニット３４の一部を把持する。即ち、インナーユニット３２は、アウターユニット３４を把持するか、または把持を解放するかを切り替える。インナーユニット３２は、デバイスラッチ５２２と、斜面５４０を有する。

デバイスラッチ５２２は、被試験デバイス１２の辺部を把持する。図２５のインナーユニット３２は、被試験デバイス１２の隣り合う２辺において、被試験デバイス１２をそれぞれ把持するデバイスラッチ５２２を有する例を示す。デバイスラッチ５２２は、試験用ソケット１２２側である被試験デバイス１２の上面を押し付けて当該被試験デバイス１２を固定してよい。

デバイスラッチ５２２は、例えば、被試験デバイス１２のインナーユニット３２とは反対側の第１面の辺部を押さえて被試験デバイス１２を固定する。デバイスラッチ５２２は、被試験デバイス１２の辺部を、当該被試験デバイス１２の第１面に対して斜め上方から押さえ、当該被試験デバイス１２を固定してよい。デバイスラッチ５２２は、一例として、被試験デバイス１２のＹ方向と略平行な２つの辺部のうち＋Ｘ方向側の辺部を、−Ｘ方向成分および−Ｚ方向成分を有する向きに押さえ、当該被試験デバイス１２を固定する。

これに代えて、または、これに加えて、デバイスラッチ５２２は、被試験デバイス１２の側面を押し付けて当該被試験デバイス１２を固定してもよい。デバイスラッチ５２２は、被試験デバイス１２の４つの側面のうち向かい合う２つの側面の一方を押し、他方の側面をインナーユニット３２に押し付けて当該被試験デバイス１２を固定してよい。デバイスラッチ５２２は、被試験デバイス１２を把持する部分にシリコンカバーが設けられてもよい。デバイスラッチ５２２については、後述する。

インナーユニット３２は、当該インナーユニット３２を把持するインナーキャッチ部３３４に向かう角部が除去された斜面５４０を有する。インナーユニット３２は、当該斜面５４０において、インナーキャッチ部３３４の対応する斜面と接してよい。斜面５４０は、インナーユニット３２の＋Ｚ方向を向く角部のうち、少なくとも１つの角部が除去されて設けられる。図２５は、インナーユニット３２の＋Ｚ方向を向く４つの角部が除去され、４つの斜面５４０が設けられた例を示す。

アウターユニット３４は、当該アウターユニット３４を把持するアウターキャッチ部３３２が有するピンが挿入されるピン挿入部３６を有する。図２５のアウターユニット３４は、インナーユニット３２を囲む４辺のうち３辺にアウターキャッチ部３３２により把持されるピン挿入部３６を有する例を示す。これに代えて、アウターユニット３４は、インナーユニット３２を囲む４辺にピン挿入部３６を有してもよい。これに代えて、アウターユニット３４は、インナーユニット３２を囲む４辺のうち２辺にピン挿入部３６を有してもよい。この場合、アウターユニット３４は、インナーユニット３２を囲む４辺のうち向かい合う１組の辺（対辺）にピン挿入部３６を有することが望ましい。

ピン挿入部３６は、ＸＹ平面の平行な断面形状が四角形を有してよく、これに代えて、円形または楕円形であってもよい。また、ピン挿入部３６は、予め定められた深さの穴部（底部を有するザグリ穴）であってよく、これに代えて、貫通孔であってもよい。

また、アウターユニット３４は、当該アウターユニット３４のフレームの隅部であるアウターキャッチ部３３２に向かう角部に、切欠き部５５０を有する。切欠き部５５０は、アウターユニット３４の＋Ｚ方向を向く角部のうち、少なくとも１つの角部が加工されて設けられる。図２５は、アウターユニット３４の＋Ｚ方向を向く４つの角部が加工され、４つの切欠き部５５０が設けられた例を示す。

切欠き部５５０は、被試験デバイス１２を搭載する側からデバイストレイ１０によって支持される。デバイス保持器３０は、当該切欠き部５５０がデバイストレイ１０に支持されることで、デバイストレイ１０に固定されてよい。また、デバイストレイ１０は、当該切欠き部５５０がデバイストレイ１０に支持された状態において、当該デバイス保持器３０を固定するか否かを切り換えるロック機構を有してもよい。

また、デバイス保持器３０は、インナーユニット３２を囲む４辺のうち少なくとも１辺に、解除ボタン５１０およびインサートラッチ５１２を有する。図２５のデバイス保持器３０は、インナーユニット３２を囲む４辺のうち３辺に、解除ボタン５１０およびインサートラッチ５１２を有する例を示す。解除ボタン５１０およびインサートラッチ５１２は、アウターユニット３４を把持するレバー部５３０の一部である。当該レバー部５３０がアウターユニット３４を把持する構成を、図２６を用いて説明する。

図２６は、図２５に示したデバイス保持器３０のアウターユニット３４を取り除いた構成例を示す。図２６において、図２５に示された本実施形態に係るデバイス保持器３０と対応する要素には同一の符号を付け、説明を省略する。インナーユニット３２は、レバー部５３０を有する。レバー部５３０は、解除ボタン５１０と、インサートラッチ５１２と、シリコンカバー５１４と、レバー５１６と、支点５１８と、付勢部５２０とを含む。

インサートラッチ５１２は、アウターユニット３４を把持する。即ち、インサートラッチ５１２は、被試験デバイス１２を搭載する側から、−Ｚ方向に向けて、アウターユニット３４を把持する。インサートラッチ５１２は、アウターユニット３４を把持する部分にシリコンカバー５１４が設けられてもよい。また、インサートラッチ５１２は、解除ボタン５１０が押されたことに応じてアウターユニット３４の把持を解放する。

レバー５１６は、解除ボタン５１０が押された場合に、押された力をインサートラッチ５１２に伝達する。例えば、解除ボタン５１０が被試験デバイス１２を搭載する側から押された場合に、インサートラッチ５１２は、押された方向とは反対方向に移動する。この場合、レバー５１６は、一例として、−Ｚ方向に押された力を、支点５１８を介してインサートラッチ５１２を＋Ｚ方向に移動させる力として伝達する。なお、インサートラッチ５１２は、アウターユニット３４に押し付けられるラッチ本体５１３および延伸部５１５を有し、レバー５１６は、当該延伸部５１５に接続される。

このように、解除ボタン５１０が押されたことに応じて、インサートラッチ５１２が＋Ｚ方向に移動してアウターユニット３４の把持を解放する。即ち、アクチュエータ３３０およびデバイス保持器３０が解除ボタン５１０を押した場合、インサートラッチ５１２がアウターユニット３４の把持を解放する。

付勢部５２０は、レバー５１６を付勢する。付勢部５２０は、弾性を有する材料でよく、例えば、１または複数のバネである。付勢部５２０は、解除ボタン５１０が押されない場合に、インサートラッチ５１２がアウターユニット３４を把持するようにレバー５１６を付勢する。付勢部５２０は、例えば、解除ボタン５１０を＋Ｚ方向に移動させるように、レバー５１６を付勢する。例えば、解除ボタン５１０が押されない場合、当該解除ボタン５１０は、予め定められた初期位置に配置され、インサートラッチ５１２はアウターユニット３４を把持した状態を維持する。即ち、解除ボタン５１０は、アクチュエータ３３０およびデバイス保持器３０が離間して押されない場合、当該初期位置の状態を維持する。

図２７は、本実施形態に係るアウターユニット３４を、被試験デバイス１２を搭載する側から見た構成例を示す。図２７において、図２５に示された本実施形態に係るアウターユニット３４と対応する要素には同一の符号を付け、説明を省略する。アウターユニット３４は、開口部５５２と、第１被固定部材５５４と、第２被固定部材５５６とを更に有する。開口部５５２の内部には、インナーユニット３２が配置される。図２７において、開口部５５２を四角形の形状に単純化して示したが、当該開口部５５２は、インナーユニット３２の形状に対応した形状に形成されてよい。

第１被固定部材５５４および第２被固定部材５５６は、インサートラッチ５１２によって固定される。第１被固定部材５５４および第２被固定部材５５６は、開口部５５２に突出するように形成されてよい。この場合、インサートラッチ５１２の延伸部５１５は、レバー５１６から第１被固定部材５５４および第２被固定部材５５６の間を通ってラッチ本体５１３へと延伸する。即ち、ラッチ本体５１３およびレバー５１６の間に、第１被固定部材５５４および第２被固定部材５５６が配置されることになる。

このように、ラッチ本体５１３は、第１被固定部材５５４および第２被固定部材５５６に対してレバー５１６と反対側に設けられる。そして、ラッチ本体５１３は、アウターユニット３４をインナーユニット３２に対してロックする場合に、レバー５１６側に移動し、第１被固定部材５５４および第２被固定部材５５６に押し付けられる。本実施形態のアウターユニット３４は、１つのインサートラッチ５１２に対して複数の固定部材を有し、ラッチ本体５１３の複数箇所にそれぞれ押し付けられるので、ラッチ本体５１３がラッチする場合に加わる力を複数箇所に分散することができる。これによりインサートラッチ５１２は、安定にアウターユニット３４をロックすることができる。

図２８は、本実施形態に係るインナーユニット３２が有するデバイスラッチ５２２の一例を示す。図２８において、図２６に示された本実施形態に係るインナーユニット３２と対応する要素には同一の符号を付け、説明を省略する。図２８は、図２６の本実施形態に係るインナーユニット３２における、点線Ａ−Ａ'を通りＸＺ平面と平行な面の断面図を示す。即ち、デバイスラッチ５２２は、被試験デバイス１２の＋Ｚ方向を向く第１面の、Ｙ方向と平行な２つの辺部のうち＋Ｘ方向側の辺部を把持する。デバイスラッチ５２２は、先端部５２５と、付勢部５２６と、回転軸５４２と、カバー部５４４とを含む。

先端部５２５は、デバイスラッチ５２２の被試験デバイス１２側の端部であり、被試験デバイス１２との接触部を含む。即ち、先端部５２５は、当該被試験デバイス１２を把持する。先端部５２５は、爪状、鉤状、および段差状のいずれかを含むように形成されてよい。付勢部５２６は、デバイスラッチ５２２を付勢し、先端部５２５が被試験デバイス１２を把持した状態を保持する。付勢部５２６は、弾性を有する材料でよく、例えば、１または複数のバネである。

回転軸５４２は、被試験デバイス１２の当該第１面の辺と平行な軸である。即ち、回転軸５４２は、Ｘ軸またはＹ軸と略平行な軸である。図２８は、デバイスラッチ５２２がＹ軸と略平行な回転軸５４２を有する例を示す。そして、付勢部５２６がデバイスラッチ５２２をＺ軸方向に付勢し、当該デバイスラッチ５２２は回転軸５４２を中心に反時計回りに回転し、先端部５２５が被試験デバイス１２の第１面の辺部を押さえる。また、デバイスラッチ５２２は、被試験デバイス１２とは反対側の端部５２８が−Ｚ方向に押されることにより、時計回りに回転し、先端部５２５が被試験デバイス１２から離間する。このように、デバイス保持器３０は、デバイスラッチ５２２を回転させて被試験デバイス１２を把持するか否かを切り換えることができる。また、デバイス保持器３０は、このような回転機構により、インナーユニット３２のＸＹ平面と平行な表面積を小さくすることができる。

カバー部５４４は、回転軸５４２およびデバイスラッチ５２２の一部を覆う。カバー部５４４は、回転軸５４２の軸受けと機能してよい。また、カバー部５４４は、デバイスラッチ５２２の動作ガイドとして機能してもよく、更に、デバイスラッチ５２２の可動範囲を制限するガイドとして機能してもよい。カバー部５４４は、インナーユニット３２の一部であってもよい。

また、カバー部５４４における被試験デバイス１２側の端部５４６は、当該被試験デバイス１２を載置してもよい。即ち、カバー部５４４の当該端部５４６は、デバイスラッチ５２２が被試験デバイス１２を固定した状態において、被試験デバイス１２の第１面とは反対側の第２面を支持する。

ここで、デバイスラッチ５２２の先端部５２５は、被試験デバイス１２を保持しない場合において、カバー部５４４におけるデバイスラッチ５２２側の面に嵌合する。カバー部５４４の端部５４６は、例えば、Ｚ方向の高さが異なる複数の面を形成するように段差を含む。デバイスラッチ５２２が被試験デバイス１２を保持する場合、当該端部５４６の複数の面のうち、＋Ｚ方向の高さが最も高い第１の面は、被試験デバイス１２を支持する。

デバイスラッチ５２２が被試験デバイス１２を保持しない場合、当該端部５４６の第１の面は、デバイスラッチ５２２の先端部５２５を支持する。また、当該端部５４６の複数の面のうち、第１の面とは異なる面は、デバイスラッチ５２２の先端部５２５とは異なる一部を支持してよい。図２９は、本実施形態に係るインナーユニット３２のデバイスラッチ５２２が、被試験デバイス１２を保持しない場合の一例を示す。図２９において、図２８に示された本実施形態に係るインナーユニット３２と対応する要素には同一の符号を付け、説明を省略する。図２９に示すように、デバイスラッチ５２２の先端部５２５はカバー部５４４と嵌合するので、被試験デバイス１２を保持しない場合において、当該先端部５２５を保護することができる。

以上の第３の例のデバイス保持器３０がアクチュエータ３３０と嵌合することにより、インナーキャッチ部３３４はインナーユニット３２を把持し、アウターキャッチ部３３２は、ロックが解除されたアウターユニット３４を把持する。そして、アクチュエータ３３０は、アクチュエータ駆動部３３６を駆動することで、インナーユニット３２を把持して固定したまま、アウターキャッチ部３３２を移動させて、デバイス保持器３０上におけるインナーユニット３２の相対位置を調整する。即ち、アクチュエータ３３０は、デバイス保持器３０上における被試験デバイス１２の位置を調整することができる。

以上の本実施形態に係るデバイス保持器３０は、被試験デバイス１２を保持するインナーユニット３２および当該インナーユニット３２を保持するアウターユニット３４を備え、アウターユニット３４によるインナーユニット３２の保持をロックするかまたはロックを解除するかを切り替える。これにより、ハンドラ装置１００は、デバイス保持器３０上の被試験デバイス１２の位置を調整することができ、デバイス保持器３０は、調整した位置のまま被試験デバイス１２を保持することができる。したがって、被試験デバイス１２の電極１８と試験用ソケット１２２の電極１２６の相対的な位置がずれたとしても、デバイス保持器３０上において被試験デバイス１２の電極位置を調整することができるので、調整後の被試験デバイス１２を試験用ソケット１２２に嵌合させることで、当該被試験デバイス１２と試験用ソケット１２２とを電気的に接続することができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

１０ デバイストレイ、１２ 被試験デバイス、１４ 格納部、１６ 貫通孔、１８ 電極、２０ 調整用トレイ、２２ 格納部、２４ 貫通孔、２６ 貫通スリット、３０ デバイス保持器、３２ インナーユニット、３４ アウターユニット、３６ ピン挿入部、１００ ハンドラ装置、１１０ テストヘッド、１２０ ソケットボード、１２２ 試験用ソケット、１２４ ソケットピン、１２６ 電極、１３０ 試験モジュール、２１０ 熱印加部、２１２ 温度制御部、２１４ 温度制御ユニット、２２０ テスト部、２３０ 除熱部、２３２ 温度制御部、２４０ 搬送部、２４２ デバイス装着部、２４４ 押付部、２４６ 駆動部、３１０ 試験用ソケット撮像部、３２０ アクチュエータユニット、３２２ 調整用ソケット撮像部、３２４ 貫通孔、３２６ アクチュエータ撮像部、３２８ 連結部、３３０ アクチュエータ、３３２ アウターキャッチ部、３３４ インナーキャッチ部、３３６ アクチュエータ駆動部、３４８ アクチュエータ調整部、３４０ 制御部、３４２ 調整用ソケット位置検出部、３４４ アクチュエータ位置検出部、３４６ 試験用ソケット位置検出部、３４８ アクチュエータ調整部、４１０ アクチュエータ嵌合ユニット、４２０ ソケット嵌合ユニット、４２２ ピン挿入部、４２４ 基準マーク、４２６ 開口部、４３０ 調整用ソケット、４３２ ソケットピン、４３４ 基準マーク、４３６ 開口部、４４０ インナーユニット、４４２ 開口部、４４４ 基準マーク、４５０ アウターユニット、４５２ ピン挿入部、４５４ 基準マーク、４５６ 開口部、５１０ 解除ボタン、５１２ インサートラッチ、５１３ ラッチ本体、５１４ シリコンカバー、５１５ 延伸部、５１６ レバー、５１８ 支点、５２０ 付勢部、５２２ デバイスラッチ、５２４ シリコンカバー、５２５ 先端部、５２６ 付勢部、５２８ 端部、５３０ レバー部、５４０ 斜面、５４２ 回転軸、５４４ カバー部、５４６ 端部、５５０ 切欠き部、５５２ 開口部、５５４ 第１被固定部材、５５６ 第２被固定部材、６００ 台座部、６０２ 押付部、６０４ ラッチ部、６０６ 嵌合ピン

Claims (18)

1. デバイスを保持するデバイス保持器であって、
   前記デバイスを搭載するインナーユニットと、
   前記インナーユニットを相対的に移動可能に保持するアウターユニットと、
   を備え、
   前記インナーユニットは、
   解除ボタンと、
   前記解除ボタンが押されたことに応じて前記アウターユニットの把持を解放するインサートラッチと、
   前記解除ボタンが押された場合に、押された力を前記インサートラッチに伝達するレバーと、
   を有し、
   前記アウターユニットを把持するか、または把持を解放するかを切り替えて、前記アウターユニットを前記インナーユニットに対してロックするかまたはロックを解除するかを切り替え、
   前記解除ボタン、前記インサートラッチ、および前記レバーは、前記インナーユニットを囲む４辺のうち少なくとも１辺に、当該１辺と平行に配置される
   デバイス保持器。
2. 前記インナーユニットは、前記解除ボタンが押されない場合に前記アウターユニットを把持するように前記レバーを付勢する付勢部を有する請求項１に記載のデバイス保持器。
3. 前記解除ボタンが前記デバイスを搭載する側から押された場合に、前記インサートラッチは、押された方向とは反対方向に移動する請求項１または２に記載のデバイス保持器。
4. 前記アウターユニットは、前記インサートラッチによって固定される第１被固定部材および第２被固定部材を有し、
   前記インサートラッチは、
   前記レバーから前記第１被固定部材および前記第２被固定部材の間を通って延伸する延伸部と、
   前記第１被固定部材および前記第２被固定部材に対して前記レバーと反対側に設けられ、前記アウターユニットを前記インナーユニットに対してロックする場合に前記第１被固定部材および前記第２被固定部材に押し付けられるラッチ本体と、
   を有する請求項１から３のいずれか一項に記載のデバイス保持器。
5. 前記アウターユニットは、前記インナーユニットを配置する開口部を有し、
   前記第１被固定部材および前記第２被固定部材は、前記開口部に突出し、
   前記インサートラッチの前記延伸部は、前記レバーから前記第１被固定部材および前記第２被固定部材の間を通って前記ラッチ本体へと延伸する
   請求項４に記載のデバイス保持器。
6. 前記インナーユニットは、前記デバイスの辺部を把持するデバイスラッチを有する請求項１から５のいずれか一項に記載のデバイス保持器。
7. 前記デバイスラッチは、前記デバイスの前記インナーユニットとは反対側の第１面の辺部を押さえて前記デバイスを固定する請求項６に記載のデバイス保持器。
8. 前記デバイスラッチは、
   前記デバイスの前記第１面の辺と平行な回転軸を有し、
   前記回転軸を中心に回転して前記第１面の辺部を押さえる
   請求項７に記載のデバイス保持器。
9. 前記デバイスラッチは、前記回転軸および前記デバイスラッチの一部を覆うカバー部を有する請求項８に記載のデバイス保持器。
10. 前記デバイスとの接触部を含む前記デバイスラッチの先端部は、前記デバイスを保持しない場合において、前記カバー部における前記デバイスラッチ側の面に嵌合する請求項９に記載のデバイス保持器。
11. デバイスを保持するデバイス保持器であって、
    前記デバイスを搭載するインナーユニットと、
    前記インナーユニットを相対的に移動可能に保持するアウターユニットと、
    を備え、
    前記インナーユニットは、
    解除ボタンと、
    前記解除ボタンが押されたことに応じて前記アウターユニットの把持を解放するインサートラッチと、
    前記デバイスの辺部を把持するデバイスラッチと、
    を有し、
    前記アウターユニットを把持するか、または把持を解放するかを切り替えて、前記アウターユニットを前記インナーユニットに対してロックするかまたはロックを解除するかを切り替え、
    前記デバイスラッチは、
    前記デバイスの前記インナーユニットとは反対側の第１面の辺と平行な回転軸と、
    前記回転軸および前記デバイスラッチの一部を覆うカバー部と、
    を有し、
    前記回転軸を中心に回転して、前記デバイスの前記第１面の辺部を押さえて前記デバイスを固定し、
    前記デバイスとの接触部を含む前記デバイスラッチの先端部は、前記デバイスを保持しない場合において、前記カバー部における前記デバイスラッチ側の面に嵌合する
    デバイス保持器。
12. 前記カバー部における前記デバイス側の端部は、前記デバイスラッチが前記デバイスを固定した状態において、前記デバイスの前記第１面とは反対側の第２面を支持する請求項９から１１のいずれか一項に記載のデバイス保持器。
13. 前記インナーユニットは、前記インナーユニットを把持するインナーキャッチ部に向かう角部が除去された斜面を有し、当該斜面において前記インナーキャッチ部と接する請求項１から１２のいずれか一項に記載のデバイス保持器。
14. 前記アウターユニットは、前記アウターユニットを把持するアウターキャッチ部が有するピンが挿入されるピン挿入部を有する請求項１から１３のいずれか一項に記載のデバイス保持器。
15. 当該デバイス保持器は、移動可能な状態でトレイに設けられ、
    前記アウターユニットは、フレームの隅部に前記デバイスを搭載する側から前記トレイによって支持される切欠き部を有する請求項１から１４のいずれか一項に記載のデバイス保持器。
16. 請求項１から１５のいずれか一項に記載のデバイス保持器におけるインナーユニット。
17. 請求項１から１５のいずれか一項に記載のデバイス保持器におけるアウターユニット。
18. 複数のデバイスを載置するトレイであって、
    前記複数のデバイスのそれぞれに対応して、請求項１から１５のいずれか一項に記載のデバイス保持器を備えるトレイ。

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