JP3822212B2 - 半導体装置の故障箇所特定システム及び故障箇所特定方法 - Google Patents
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Description
図1に示すように、本発明の実施の形態に係る第1の故障箇所特定システムでは、半導体装置2に接続するテスト治具9と、半導体装置2に対向して配置され、半導体装置2の故障箇所から生じる発光現象を観察するエミッション発光観察装置11と、エミッション発光観察装置11に接続され、発光現象を半導体装置2の2次元座標に対応つけて記録する発光座標記録装置12と、記憶装置21a〜21cとテスト治具9に接続され、発光テストパラメータ7に対応するテストデータを記憶装置から読み出し、生成したエミッション観察テストプログラムを実行するエミッション制御装置8と、を備える。
図3に示すように、スキャン設計された半導体装置は、第1の故障箇所特定システムでエミッション発光観察される集積回路を含んでいる。
図8に示すように、本発明の実施の形態に係る第2の故障箇所特定システムは、観察対象を半導体装置から半導体ウエハに変更した点が第1の故障箇所特定システムと相違する。なお、第1の故障箇所特定システムと共通する構成要素については、説明を省略する。
半導体エミッションテスタ10aは、入力端末20とエミッション発光観察装置11とエミッション制御装置8aとの間に接続されたステップ制御回路26と、エミッション制御装置8aに接続された記憶装置21a〜21cを備える。
上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施形態及び運用技術が明らかとなろう。
3…集積回路スキャンテスト情報
4…不良チップ情報
5…チップテスト結果解析装置
6…エンジニアリングワークステーション
7…発光テストパラメータ
8、8a…エミッション制御装置
9…テスト治具
10、10a…半導体エミッションテスタ
11…エミッション発光観察装置
12…発光座標記録装置
15…スキャンテスト生成ツール
16a〜16c…磁気記憶装置
17…半導体テスタ
18…テスト制御回路
19…主制御装置
20、20a…入力端末
21a〜21c…記憶装置
22…ハンドラー
23…半導体ウエハ
24、24a…ウエハプローブ
26…ステップ制御回路
31、31a、31b、31c…組み合せ論理回路
60…ウエハ識別情報
Claims (5)
- 半導体装置に接続するテスト治具と、
前記半導体装置に対向して配置され、前記半導体装置の故障箇所から生じる発光現象を観察する発光観察装置と、
前記発光観察装置に接続され、前記発光現象を前記半導体装置の2次元座標に対応つけて記録する発光座標記録装置と、
テストデータを記憶する記憶装置と前記テスト治具に接続され、集積回路スキャンテスト情報と半導体テスタの不良チップ情報に基づくチップテスト結果を解析し半導体装置の発光現象が生じるテストサイクル及び半導体装置のテストデータを記述した発光テストパラメータに対応するテストデータを前記記憶装置から読み出し、生成した発光観察テストプログラムを実行するエミッション制御装置
とを備えることを特徴とする半導体装置の故障箇所特定システム。 - 半導体ウエハに接続する接続装置と、
前記半導体ウエハに対向して配置され、前記半導体ウエハの故障箇所から生じる発光現象を観察する発光観察装置と、
前記発光観察装置に接続され、前記発光現象を前記半導体ウエハの2次元座標に対応つけて記録する発光座標記録装置と、
テストデータを記憶する記憶装置と前記接続装置に接続され、集積回路スキャンテスト情報と半導体テスタの不良チップ情報に基づくチップテスト結果を解析し半導体ウエハの発光現象が生じるテストサイクル及び半導体ウエハのテストデータを記述したウエハ識別情報に対応するテストデータを前記記憶装置から読み出し、生成した発光観察テストプログラムを実行するエミッション制御装置
とを備えることを特徴とする半導体装置の故障箇所特定システム。 - 前記エミッション制御装置は、ステップ制御回路を経由して前記ウエハ識別情報を受信することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の故障箇所特定システム。
- 集積回路スキャンテスト情報と半導体テスタの不良チップ情報に基づくチップテスト結果を解析し半導体装置の発光現象が生じるテストサイクル及び半導体装置のテストデータを記述した発光テストパラメータを生成するステップと、
前記発光テストパラメータで指定された半導体装置のテストデータから発光観察テストプログラムを生成し、前記発光現象が生じるテストサイクルで前記半導体装置の機能テストを実行するステップと、
前記半導体装置の故障箇所から生じる発光現象を観察し、発光座標を前記半導体装置の2次元座標に対応つけて記憶するステップ
とを含むことを特徴とする半導体装置の故障箇所特定方法。 - 集積回路スキャンテスト情報と半導体テスタの不良チップ情報に基づくチップテスト結果を解析し半導体ウエハの発光現象が生じるテストサイクル及び半導体ウエハのテストデータを記述したウエハ識別情報を生成するステップと、
前記ウエハ識別情報で指定された半導体ウエハのテストデータから発光観察テストプログラムを生成し、発光現象が生じるテストサイクルで半導体ウエハの機能テストをするステップと、
前記半導体ウエハの故障箇所から生じる発光現象を観察し、前記半導体ウエハの2次元座標に対応つけて発光座標を記録するステップと、
前記ウエハ識別情報に次のチップ座標があると判定した場合は、半導体ウエハをステップ移動し、前記発光座標を記録するステップを繰返すステップ
とを含む半導体装置の故障箇所特定方法。
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