JP6064886B2 - 熱伝導性応力緩和構造体 - Google Patents
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Description
(1)本発明の熱伝導性応力緩和構造体は、高温体と低温体の間にあり該高温体から該低温体へ向かう伝熱方向へ熱を伝導すると共に該高温体と該低温体の間で発生し得る熱応力を緩和する熱伝導性応力緩和構造体であって、熱伝導材が非接合状態で集合した集成体からなり、該熱伝導材は、前記伝熱方向に沿って連続的に延在する熱伝導シート材であり、該集成体は、該熱伝導シート材が巻回された巻回体からなることを特徴とする。
(1)本発明は、上述した熱伝導性応力緩和構造体の製造方法としても把握できる。例えば、熱伝導材である熱伝導シート材を重層して重層体を得る重層工程、その熱伝導シート材を巻回して巻回体を得る巻回工程、その熱伝導シート材を折り重ねて重折体を得る重折工程、または熱伝導線材を束ねて結束体を得る結束工程等を備える熱伝導性応力緩和構造体の製造方法として本発明を把握することができる。さらに本発明の製造方法は、それら熱伝導材の集合状態を保持する保持部を外周側の少なくとも一部に形成する保持工程、高温体側または低温体側の保持端部を形成する端部形成工程等を有すると好適である。
(1)本発明でいう「非接合状態」とは、集成体の端部または外周部等で接合または結合等される一部を除く大部分で、熱伝導材が化学的または機械的に接合または結合等をしておらず、隣接相互間で滑りが生じ得る状態をいう。化学的結合とは、例えば熱伝導材間で成分が反応し、相互に固溶したり、新しい生成物を形成する場合を指す。機械的結合とは、例えば、故意に凹凸を付けてかしめる場合等を指す。
熱伝導材は、面方向(法線方向)の熱伝導性に優れ、連続体であることが好ましい。その種類(材質や形態等)や特性を問わない。装置や器機等の仕様に応じて、適切な熱伝導性、低熱膨張性、剛性、強度さらには摩擦特性等を有する熱伝導材が適宜用いられる。また、熱伝導材は一種のみでもよいし、材質または特性の異なる二種以上を組み合わせてもよい。例えば、高熱伝導性の炭素系熱伝導材と、剛性、強度、加工性、コスト等に優れる金属系熱伝導材を組み合わせて用いてもよい。
集成体は、熱伝導材の集合形式、配置等を変更することにより種々の形態をとり得る。例えば、集成体は、伝熱方向に延在する熱伝導シート材を重ねた重層体とすることができる。この重層体は、熱伝導シート材を非接合状態で巻回した巻回体でも、熱伝導シート材を非接合状態で積層した積層体でも、熱伝導シート材を非接合状態でつづら折りした重折体等でもよい。さらに重層体は、それら巻回体、積層体、重折体等の一種以上を複数寄せ集めた集合重層体でもよい。これらの一例を図1A〜図1Kおよび図1Mに示した。なお、特に断らない限り、断面図または平面図で示した場合はいずれも紙面に垂直な方向が伝熱方向であり、その方向に熱伝導シート材が延在している。この場合、巻回方向、積層方向または重折方向は、その伝熱方向(熱伝導材の延在方向)にほぼ直交する方向となる。
本発明の熱伝導性応力緩和構造体は、その用途を問わないが、例えば、パワーモジュールの絶縁基板と冷却器の間に設けられると好ましい。その他、パワーモジュール、電子機器のCPU、LED照明等の発熱機器用のヒートスプレッダ、ヒートシンクまたはそれらの一部等としても用いることもできる。
《試料の製造》
本発明に係る集成体の一実施例である試料(巻回体)を次のように製造した。先ず、アルミニウム製芯棒(φ4mm/芯材)に、幅60mm×厚さ20μmのアルミニウム箔(日本製箔株式会社製)と幅60mm×厚さ40μmのグラファイトシート(株式会社カネカ製)を、巻回機によりφ20mmまたはφ38mmとなるまで交互に密に巻き付けた。その後、アルミニウム箔の終端部を幅方向(縦方向)にレーザー溶接して結合した。
得られたφ20mm×60mmの試料を所定の長さ(厚み)で切断した試験片の断面を観察した写真を図2Aに、その一部を拡大した写真を図2Bにそれぞれ示した。写真中の黒色部分がグラファイトシートであり、灰色部分がアルミニウム箔である。
(1)熱伝導率
上記のように作製したφ20mm×60mmの試料2本から長さ17mm、28mmおよび47mmに切断した3種の試験片を用意した。これら試験片を用いて、断面の法線方向(各シートの延在方向)を伝熱方向としたときの熱伝導率を定常法により測定した。具体的には、その伝熱方向の定常熱流下における界面の熱抵抗を算出し、その熱抵抗分を差し引くことにより、各試験片の熱伝導率を求めた。こうして得られた熱伝導率の平均値は837W/mKで、熱伝導性は良好であった。
試料の製造に用いたアルミニウム箔(Alシート)とグラファイトシート(Grシート)を用いて、各シート間の摩擦係数をリングオンプレート試験(面圧:0.1MPa)により測定した。
≪試験片の製造≫
上記のように作製したφ38×60mmの試料(巻回体)から、厚さ2mmの試験片(盤状の巻回体)を切り出し、その両切断面を#600の研磨紙で研磨した。この後、試験片の上面に24mm×24mm×厚さ1.5mmのDBA(Direct Brazed Aluminum)基板(三菱マテリアル株式会社製)を、その下面に24mm×24mm×厚さ9mmのAl合金板(JIS A3003)を、それぞれ中心を揃えて同時にろう付け接合した。ろう付け接合は、Alろう箔(JIS BA4004)を界面に介装して真空中で加熱することにより行なった。この際、DBA基板、試験片およびAl合金板を0.2MPa(接合圧力)で加圧しつつ600℃(ろう付け温度)に加熱した。ろう付け後、DBA基板およびAl合金板からはみ出た試験片部分は切断し、全体として24mm×24mm×厚さ12.5mmの接合体(熱伝導性応力緩和構造体)を得た。
(1)得られた接合体の外観写真を図3Aに示した。また、その接合体の切断面の拡大写真を図3Bに示した。図3Bからわかるように、ろう付け接合後の試験片(巻回体)は変形した状態となっていた。これは、ろう付け工程中の冷却過程で熱膨張率の大きいAl合金板と熱膨張率の小さいDBA基板との間に生じる収縮量差を、試験片が変形して吸収したためである。この試験片の変形により、ろう付け接合時にDBA基板とAl合金板の間で生じ得る熱応力が大幅に緩和され、残留応力の少ない接合体が得られる。
上述した厚さ2mmの試験片を別途用意した。この断面の径方向の熱膨張率を画像相関法により測定した。具体的には、画像相関解析用のマーカーを塗布した試験片を、ホットプレート上で25〜180℃まで加熱し、その様子を撮影した。そして25℃のときの画像を基準として、試験片の熱膨張ひずみの分布を計測した。加熱温度は、試験片上に取り付けた熱電対により計測した。こうして得られた試験片の熱膨張ひずみの温度依存性から算出したところ、その温度範囲(25〜180℃)における試験片の熱膨張率は13ppm/Kであった。この熱膨張率は、冷却器として用いられるアルミニウムや銅よりも低い値であり、試験片が熱応力緩和部材として好ましいことがわかった。
上述した試験片を接合した接合体(適宜、これを単に実施例という。)と、その試験片に替えて純Al板(JIS A1050)を同様の条件で接合した接合体(適宜、これを単に比較例という。)をそれぞれ用意した。それぞれの接合体を、冷熱衝撃試験装置(TSV−40ht、現エスペック(株)製(旧タバイ・エスペック(株)製))内の棚に設置し、加熱と冷却を繰り返す気相冷熱サイクル試験を行なった。この試験は、図4に示す温度履歴のように、大気雰囲気中で−40℃と+200℃の間で温度上昇と温度下降をそれぞれ20分間隔で繰り返して行った。この冷熱サイクルを100回行った後、各接合体を取出して、各接合体の形状、ひずみ、DBA基板中のAlNにおける残留応力をそれぞれ測定した。そして、各接合体について、冷熱サイクル試験前後におけるそれらの変化を比較した。
冷熱サイクル試験前後の各接合体について、DBA基板の最表面(接合界面の反対側にあるAl層)の対角線に沿って、Z方向高さの変化(プロファイル)を画像相関法により測定した。なお、Z方向は図3Aに示した通りである。
100サイクルの冷熱サイクル試験後の各接合体について、上述した最表面の150℃における最大主ひずみを、室温を基準にして画像相関法により測定した。この結果、比較例に係る最大主ひずみは0.0011であったが、実施例に係る最大主ひずみは0.0007であった。これらから実施例の場合、比較例の場合よりも冷熱サイクル試験後のひずみが約40%低減することがわかった。
接合体を構成するDBA基板のAlN層に、冷熱サイクル試験前後で生じている残留応力をX線回折により測定した。測定は、DBA基板の最表面側のAl層の中央部を矩形状に除去し、AlN層の一部を露出させた試料について、X線応力測定法標準(日本材料学会X線材料強度部門委員会(1997))に規定された手法に基づいて行なった。具体的には、試料水平型強力X線回折装置(株式会社リガク製RINT−TTR)を用いて、平行ビーム法および並傾法により行った。この際、X線源:Cu−Kα 、出力:50kV−300mAとした。
L2 積層体
L3 重折体
L4 集合巻回体
11、21、31、41 炭素系シート材
12、22 金属系シート材
23、33、43 金属系シート材(囲繞)
121、231、331、431 結合部(保持部)
4 単位巻回体
Claims (15)
- 高温体と低温体の間にあり該高温体から該低温体へ向かう伝熱方向へ熱を伝導すると共に該高温体と該低温体の間で発生し得る熱応力を緩和する熱伝導性応力緩和構造体であって、
熱伝導材が非接合状態で集合した集成体からなり、
該熱伝導材は、前記伝熱方向に沿って連続的に延在する熱伝導シート材であり、
該集成体は、該熱伝導シート材が巻回された巻回体からなることを特徴とする熱伝導性応力緩和構造体。 - 前記熱伝導材は、材質または特性の異なる二種以上からなる請求項1に記載の熱伝導性応力緩和構造体。
- 前記巻回体は、さらに、前記熱伝導シート材が外周囲に巻回される芯材を有する請求項1または2に記載の熱伝導性応力緩和構造体。
- 前記芯材は、板状である請求項3に記載の熱伝導性応力緩和構造体。
- 前記熱伝導シート材は、同種材からなるときよりも接触時の摩擦係数が低減する異種材からなる請求項1〜4のいずれかに記載の熱伝導性応力緩和構造体。
- 前記熱伝導シート材は、金属系シート材と炭素系シート材が非接合状態で隣接している請求項1〜5のいずれかに記載の熱伝導性応力緩和構造体。
- 前記金属系シート材は、アルミニウム系シート材である請求項6に記載の熱伝導性応力緩和構造体。
- 前記巻回体は、前記高温体側または前記低温体側の端部にある前記熱伝導シート材の少なくとも一部を接合状態で保持する保持端部を有する請求項1〜7のいずれかに記載の熱伝導性応力緩和構造体。
- 前記熱伝導シート材は金属系シート材と炭素系シート材からなり、
前記保持端部は金属からなり、
該金属系シート材の端部は該保持端部と接合状態にあり、
該炭素系シート材の端部は該保持端部と非接合で密接した状態にある請求項8に記載の熱伝導性応力緩和構造体。 - 高温体と低温体の間にあり該高温体から該低温体へ向かう伝熱方向へ熱を伝導すると共に該高温体と該低温体の間で発生し得る熱応力を緩和する熱伝導性応力緩和構造体であって、
熱伝導材が非接合状態で集合した集成体からなり、
該集成体は、前記高温体側または前記低温体側の端部にある該熱伝導材の少なくとも一部を接合状態で保持する保持端部を有し、
該熱伝導材は金属系熱伝導材と炭素系熱伝導材からなり、
該保持端部は金属からなり、
該金属系熱伝導材の端部は該保持端部と接合状態にあり、
該炭素系熱伝導材の端部は該保持端部と非接合で密接した状態にあることを特徴とする熱伝導性応力緩和構造体。 - 前記集成体は、前記伝熱方向に延在する熱伝導線材を束ねた結束体である請求項10に記載の熱伝導性応力緩和構造体。
- 前記熱伝導材の少なくとも一部は、隣接間の摩擦係数を低減させる低摩擦層を表面に有する請求項1〜11のいずれかに記載の熱伝導性応力緩和構造体。
- 前記集成体は、前記熱伝導材の隣接間に空隙が形成されている請求項1〜12のいずれかに記載の熱伝導性応力緩和構造体。
- さらに、前記熱伝導材の集合状態を保持する保持部を外周側の少なくとも一部に有する請求項1〜13のいずれかに記載の熱伝導性応力緩和構造体。
- 前記熱伝導材は少なくとも金属系熱伝導材を含み、
該熱伝導材と有機系材とを集合させた予備集成体を得る予備集成工程と、
該予備集成体から該有機系材を焼失または溶解させて消失させる消失工程とを備え、
請求項13に記載の集成体が得られることを特徴とする熱伝導性応力緩和構造体の製造方法。
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