JP7201658B2 - 冷却装置 - Google Patents
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Description
互いに積層状に接合一体化された複数の冷却装置構成部材を備え、
前記複数の構成部材として、絶縁層と、前記絶縁層の上側に配置される上熱伝導部材と、前記絶縁層の下側に配置される下熱伝導部材とを含み、
前記上熱伝導部材は、厚さ方向の熱伝導率と平面に沿う第1方向の熱伝導率とが前記厚さ方向及び前記第1方向に垂直な第2方向の熱伝導率よりも高いものであり、
前記下熱伝導部材は、厚さ方向の熱伝導率と平面に沿う第1方向の熱伝導率とが前記厚さ方向及び前記第1方向に垂直な第2方向の熱伝導率よりも高いものであり、
前記上熱伝導部材と前記下熱伝導部材は、前記上熱伝導部材の前記第1方向と前記下熱伝導部材の前記第1方向とが平面視において交差するように配置されている、冷却装置。
前記上熱伝導部材と前記下熱伝導部材のうち少なくとも厚い方の熱伝導部材は長手方向及び短手方向を有するとともに、前記厚い方の熱伝導部材の前記第1方向が前記厚い方の熱伝導部材の前記長手方向に向いている前項1記載の冷却装置。
前記異方性粒子は鱗片状黒鉛粒子及び炭素繊維の両方を含んでいる前項1~4のいずれかに記載の冷却装置。
前記上熱伝導部材の平面方向の線膨張係数のうち最小の線膨張係数よりも、前記上緩衝層における、前記上熱伝導部材の前記最小線膨張係数の方向と同じ方向の線膨張係数の方が小さい前項1~5のいずれかに記載の冷却装置。
次に、本発明に係る冷却装置の冷却性能を評価するため、冷却装置の上配線層の搭載面に搭載された発熱性素子の最高温度を様々な条件でシミュレーションにより調べた。
冷却装置501の複数の熱伝導部材(即ち上配線層502、下配線層504、緩衝層505及び冷却部材506)のうち材料及び厚さを変更する熱伝導部材を上配線層502だけに設定し、更に、下配線層504の厚さを0.6mm、下配線層504の材料を純アルミニウム(純Al)、緩衝層505の厚さを1.2mm及び緩衝層505の材料を純アルミニウム(純Al)に設定した。また、熱伝導部材の材料が純アルミニウムである場合、当該熱伝導部材は熱伝導性に異方性を有していないものと設定した。そして、上配線層502の材料として純アルミニウムと異方性材を用いた場合の発熱性素子508の最高温度をシミュレーションにより調べた。その結果(発熱性素子508の最高温度)を表2に示す。
上配線層502の厚さを0.6mm、下配線層504の厚さを0.6mm、緩衝層505の厚さを1.2mm及び緩衝層505の材料を純アルミニウムに設定し、上配線層502及び下配線層504の材料として純アルミニウムと異方性材を用いた場合の発熱性素子508の最高温度をシミュレーションにより調べた。その結果を表3に示す。
上配線層502の厚さを0.6mm、上配線層502の材料を純アルミニウム、下配線層504の厚さを0.6mm及び緩衝層505の厚さを1.2mmに設定し、下配線層504及び緩衝層505の材料として純アルミニウムと異方性材を用いた場合の発熱性素子508の最高温度をシミュレーションにより調べた。その結果を表4に示す。
上配線層502の厚さを0.6mm、下配線層504の厚さを0.6mm、下配線層504の材料を純アルミニウム及び緩衝層505の厚さを1.2mmに設定し、上配線層502及び緩衝層505の材料として純アルミニウムと異方性材を用いた場合の発熱性素子508の最高温度をシミュレーションにより調べた。その結果を表5に示す。
2、102、202、302:上配線層
3、103、203、303:絶縁層
4、104、204、304:下配線層
5、105、205、305:緩衝層
6、106、206、306:冷却部材
307:上緩衝層
8、108、208、308:発熱性素子
11、111、211、311:上熱伝導部材
12、112、212、312:下熱伝導部材
Claims (4)
- 発熱性素子を冷却する冷却装置であって、
互いに積層状に接合一体化された複数の冷却装置構成部材を備え、
前記複数の構成部材として、絶縁層と、前記絶縁層の上側に配置される上熱伝導部材と、前記絶縁層の下側に配置される下熱伝導部材とを含み、
前記上熱伝導部材は、厚さ方向の熱伝導率と平面に沿う第1方向の熱伝導率とが前記厚さ方向及び前記第1方向に垂直な第2方向の熱伝導率よりも高いものであり、
前記下熱伝導部材は、厚さ方向の熱伝導率と平面に沿う第1方向の熱伝導率とが前記厚さ方向及び前記第1方向に垂直な第2方向の熱伝導率よりも高いものであり、
前記上熱伝導部材と前記下熱伝導部材は、前記上熱伝導部材の前記第1方向と前記下熱伝導部材の前記第1方向とが平面視において交差するように配置されており、
前記上熱伝導部材の厚さと前記下熱伝導部材の厚さが相異しており、
前記上熱伝導部材と前記下熱伝導部材のうち少なくとも厚い方の熱伝導部材は長手方向及び短手方向を有するとともに、前記厚い方の熱伝導部材の前記第1方向が前記厚い方の熱伝導部材の前記長手方向に向いている冷却装置。 - 前記厚い方の熱伝導部材は前記下熱伝導部材である請求項1記載の冷却装置。
- 前記上熱伝導部材及び前記下熱伝導部材のうち少なくとも一つは、金属マトリックスと金属マトリックス中に分散した異方性粒子とを含む金属-異方性粒子複合材で形成されており、
前記異方性粒子は鱗片状黒鉛粒子及び炭素繊維の両方を含んでいる請求項1又は2記載の冷却装置。 - 前記複数の構成部材として、前記上熱伝導部材の上側に配置される上緩衝層を更に含み、
前記上熱伝導部材の平面方向の線膨張係数のうち最小の線膨張係数よりも、前記上緩衝層における、前記上熱伝導部材の前記最小の線膨張係数の方向と同じ方向の線膨張係数の方が小さい請求項1~3のいずれかに記載の冷却装置。
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