JP6054993B2 - スプリングプローブおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
従来のプローブカードは回路基板およびプローブモジュールから構成されるか、それらとスペーストランスフォーマから構成される。スペーストランスフォーマは回路基板とプローブモジュールとの間に配置される。プローブモジュールは測定対象の電気接点に対応するように配列された複数のプローブを有し、プローブによって測定対象の電気接点にプロービングを行う。
スプリングプローブ11のピン12は下方部位がスプリングスリーブ13の下端部の結合部132に固定され、かつ先端と回路基板15(スプリングスリーブ13の先端)との間に隙間18があるため、ピン12の末端が測定対象の電気接点に当接すると、ピン12は後退し、スプリングスリーブ13を圧縮する。このときスプリングプローブ11は測定対象の電気接点に確実に接触し、電気的導通を進めることができるだけでなく、スプリングスリーブ13によって緩衝機能を果たし、接触力が大き過ぎることが原因で測定対象物の電気接点またはピンを損壊させたり過度に摩損させたりすることを抑制することができる。
図3および図4に示すように、本発明の第1実施形態によるスプリングプローブ21は、導電性のあるピン30と、ピン30の外側に被さる導電性のあるスプリングスリーブ40とを備える。
本実施形態は上方非弾性部位41と下方非弾性部位42との間に複数の弾性部位43と、複数の弾性部位43の間に距離を置く非弾性部位とを増設することができる。
本実施形態において、ピン30は微小電気機械システム技術(MEMS manufacturing process)に基づいて製作され、直線板状を呈し、かつ幅の大きい前面33および背面34と、二つの幅の小さい側面35とを有する。側面35は全体の幅が一致する。前面33および背面34は全体の形および幅が一致し、そのうちストッパー322となる部位の幅が比較的大きいため、ストッパー322は二つの側面35に突出する、即ちピン本体31に突出するように二つの側面35に形成された二つの嵌合リブ322aを有する。
図5から図7に示すように、本発明の第2実施形態によるスプリングプローブ22は、第1実施形態により掲示されたスプリングプローブ21に類似する。
本実施形態において、スプリングスリーブ40の下方非弾性部位42は下端部421および二つのスロット422を有する。下端部421は開放状を呈する。スロット422は下方非弾性部位42の二つの向かい合う部位に位置付けられる。一方、ピン30は前面33および背面34に補助リブ36を別々に有する。補強リブ36はストッパー322からピン本体31の上端部312まで伸び、かつ少なくとも一部分がストッパー322に位置する。
下方非弾性部位42をストッパー322に被せる際、二つのスロット422と二つの嵌合リブ322aとは相互に対応するため、ストッパー322を二つのスロット422に嵌め込むことが簡単になる。補強リブ36は下方非弾性部位42の片状ガイド部423の位置に対応する平面362を有する。片状ガイド部423を補強リブ36の平面362に溶接することによって下方非弾性部位42をピン30に固定することができるため、作業上の利便性および安定性を有する。
図8から図10に示すように、本発明の第3実施形態によるスプリングプローブ23は、第2実施形態により提示されたスプリングプローブ22に類似する。
本実施形態において、ピン30は複数のはんだパッド37およびスプリングスリーブ40の下方非弾性部位42を溶接することによって固定される。スプリングプローブ23の製造方法は下記のステップを含む。
従来の溶接作業は外力によって下方非弾性部位42とピン30とを結合させた後、作業が進む方式であるため、ステップの順によって一本ずつしか製作できない。従って、大量製造ができなく、本実施形態と比べて製造時間が長いという欠点がある。
一方、本発明において、ピンのストッパーは二つの向かい合う位置に配置された二つの嵌合リブを有するとは限らない。スプリングスリーブの下方非弾性部位は二つの向かい合う位置に配置された二つのスロットを有するとは限らない。ピンのストッパーが少なくとも一つのピン本体に突出した嵌合リブを有し、スプリングスリーブの下方非弾性部位が少なくとも一つのストッパーの嵌合リブに対応するスロットを有すれば、スプリングスリーブをピンに据え、安定させることができる。
一方、下方非弾性部位の片状ガイド部は数がスロットの数によって決まる。ピンの補強リブは数が片状ガイド部の数に対応するため、少なくとも一つの片状ガイド部および少なくとも一つの補強リブさえあれば、位置決めおよび溶接の便をはかることができる。はんだパッドによってリフローはんだ付けを行う際、ピンのはんだパッドの数は片状ガイド部の数によって決まるため、溶接工程によって相互に固定できる少なくとも一つの片状ガイド部および少なくとも一つのはんだパッドさえあれば、溶接の便をはかり、製造時間を効果的に短縮することができる。
12 ピン
13 スプリングスリーブ
132 結合部
138 弾性部位
14 プローブカード
15 回路基板
16 プローブモジュール
17 プローブホルダー
171 上ガイドプレート
172 中ガイドプレート
173 下ガイドプレート
174 格納孔
175 先端面
18 隙間
21、22、23 スプリングプローブ
30 ピン
31 ピン本体
312 上端部
32 尖端
322 ストッパー
322a 嵌合リブ
324 点接触部位
33 前面
34 背面
35 側面
36 補強リブ
362 平面
37 はんだパッド
40 スプリングスリーブ
41 上方非弾性部位
42 下方非弾性部位
421 下端部
422 スロット
423 片状ガイド部
43 弾性部位
Claims (2)
- スプリングスリーブおよびピンを備え、
前記スプリングスリーブは、上方非弾性部位と、下方非弾性部位と、前記上方非弾性部位と前記下方非弾性部位との間に位置する少なくとも一つの弾性部位を有し、
前記ピンはピン本体、尖端およびストッパーを有し、前記ピン本体は前記スプリングスリーブ内に配置され、前記尖端は前記下方非弾性部位から突出し、前記ストッパーは前記尖端に形成され、
前記スプリングスリーブの前記下方非弾性部は、前記ストッパーに当接し、かつ固定され、
前記ピンは、直線板状を呈し、幅の大きい前面および背面と、二つの幅の小さい側面とを有し、前記ストッパーは二つの側面に突出し、前記前面および前記背面に沿って二つの補強リブを有し、
前記スプリングスリーブの前記下方非弾性部位は、下端部と、二つの前記下端部に形成された開放状のスロットとを有し、前記ピンの前記ストッパーは二つの前記スロットに嵌め込まれ、
前記スプリングスリーブの前記下方非弾性部位は、二つの前記スロットに隣接する片状ガイド部を二つ有し、前記スプリングスリーブを前記ピンに被せる際、前記二つの片状ガイド部は前記二つの補強リブに沿って相対的に移動することを特徴とする、
スプリングプローブ。 - ステップa、ステップb、ステップcおよびステップdを含み、
前記ステップaは、フォトリソグラフィ技術に基づいて金属円管を加工し、スプリングスリーブを製作すると同時にスプリングスリーブに上方非弾性部位と、下方非弾性部位と、上方非弾性部位と下方非弾性部位との間に位置する少なくとも一つの弾性部位とを形成し、前記下方非弾性部位は下端部と、少なくとも一つの前記下端部に形成された開放状のスロットと、少なくとも一つの前記スロットに隣接する片状ガイド部とを有し、
前記ステップbは、微小電気機械システム技術に基づいてピンを製作し、前記ピンはピン本体、前記ピン本体の一端に位置する尖端と、前記尖端に形成されたストッパーと、少なくとも一つのはんだパッドとを有し、前記ストッパーは少なくとも一つの前記ピン本体に突出した嵌合リブを有し、前記はんだパッドは前記ピン本体に突出するように前記ストッパーに形成され、
前記ステップcは、前記スプリングスリーブを前記ピンの外側に被せ、前記ピン本体を前記スプリングスリーブ内に収め、前記ピンの前記尖端を前記下方非弾性部位から突出させ、前記ストッパーの前記嵌合リブを前記下方非弾性部位の前記スロットに嵌め込み、前記下方非弾性部位に当接させ、
前記ステップdは、少なくとも一つの前記はんだパッドにリフローはんだ付けを行い、少なくとも一つの前記はんだパッドと前記下方非弾性部位の前記片状ガイド部とを溶接することによって前記ピンを固定することを特徴とする、
スプリングプローブの製造方法。
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