JP5562608B2 - プローブ装置、測定装置および検査装置 - Google Patents
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Description
12 プローブ装置
12a,12b プローブ装置
14 測定部
21 プローブピン
22 電極
22a 基端部側電極
22b 先端部側電極
23 筒状体
24 スプリング
25 プローブ移動機構
31 基端部
32 先端部
33 中間部
51 基端部
52 先端部
100 回路基板
101 導体パターン
Cm 静電容量
It 測定用電流
Vm 電圧
Claims (3)
- プロービング対象体に接触させられるプローブピンと、前記プロービング対象体に蓄積されている電荷を前記プローブピンを介して放電する放電処理を行う放電部と、前記プローブピンを移動させるプローブ移動機構とを備えたプローブ装置であって、
前記放電部は、前記プローブピンの基端部に配設されて当該プローブピンに電気的に接続されると共に当該プローブピンよりも大径に形成された基端部側電極と、前記プローブピンにおける前記基端部および先端部の間の中間部を取り囲んで前記基端部側電極に基端部の端面が対向する状態で当該プローブピンの軸線に沿って移動可能に配設されると共に当該中間部に対して絶縁され、かつ基準電位に接続される導電性を有する筒状体と、初期状態において前記筒状体の前記基端部の前記端面が前記基端部側電極に接触するように当該筒状体を付勢し、かつ当該筒状体、前記プローブピンおよび当該基端部側電極に対して絶縁された付勢部材と、前記初期状態において前記筒状体の先端部から離間して前記筒状体の先端部の端面に対向するように前記プローブピンの前記先端部に配設されて当該プローブピンに電気的に接続される先端部側電極とを備えて構成され、
前記プローブ移動機構は、前記初期状態の前記筒状体を前記プロービング対象体に向けて移動させて当該プロービング対象体に前記プローブピンを接触させるプロービング処理と、前記プロービング対象体に前記プローブピンを接触させている状態において前記付勢部材の付勢力に抗して前記筒状体を当該プロービング対象体に向けてさらに移動させて当該筒状体の前記基端部を前記基端部側電極から離反させる離反処理と、当該離反処理に続いて、前記付勢部材の付勢力に抗して前記筒状体を前記プロービング対象体に向けてさらに移動させて前記先端部側電極に当該筒状体における前記先端部の前記端面を接触させる接触処理とを一挙動で実行可能に構成されているプローブ装置。 - 請求項1記載のプローブ装置と、前記プローブピンを介して入力した電気信号に基づいて前記プロービング対象体についての電気的物理量を測定する測定部とを備え、
前記測定部は、前記プローブピンが前記筒状体を介して前記基準電位に接続されていない状態において前記電気的物理量を測定する測定装置。 - 請求項2記載の測定装置と、当該測定装置によって測定された前記電気的物理量に基づいて前記プロービング対象体を検査する検査部とを備えている検査装置。
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