JP2001349912A - インピーダンス測定方法及びインピーダンス測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大量の回路板について精度よく短時間にイン
ピーダンスの測定を行うことができるインピーダンス測
定方法を提供する。 【解決手段】 回路板３の端面６１を所定の位置にセッ
トする。回路板３の端面６１と対向するようにプローブ
Ａを移動した後、回路板３の端面６１に露出したテスト
パターン６２にプローブＡを接触させる。プローブＡと
接続される計測器でテストパターン６２のインピーダン
スを測定する。回路板３の端面６１に露出した非常に小
さなテストパターン６２へのプローブＡの接触を容易に
し、インピーダンス測定を容易に行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、多層プリント配線
板に用いられる内層回路入り銅張積層板等の回路板のイ
ンピーダンス測定方法、及び多層プリント配線板等の回
路板のインピーダンスを測定する際に用いられるインピ
ーダンス測定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】電子機器などに用いられる回路板では、
回路板に設けた回路とその回路を伝送する信号とのイン
ピーダンス整合を取ることが行なわれており、特に、高
周波信号（高速信号）を伝送するための回路である場合
はこのインピーダンス整合が重要である。従って、回路
板の回路はこれを伝送する信号とインピーダンス整合が
取れるように設計されていると共に回路板は回路のイン
ピーダンス（値）が設計値から許容範囲内に収っている
か否かチェックされて製品化されており、回路のインピ
ーダンスが一定の許容範囲から外れるものは不良品とし
て破棄するようにしている。

【０００３】従来より、回路板の回路のインピーダンス
を測定するにあたっては、主にＴＤＲ(Time Domain Ref
rectometry)法が用いられている。この方法は、信号回
路と電気的な基準のグランド回路とからなるテストパタ
ーンに、パルスあるいはステップ信号などの入射信号を
伝送し、テストパターン（信号回路）内での反射信号を
検知すると共に反射信号から求められる反射係数を用い
てテストパターン（信号回路）のインピーダンス値を得
るようにするものである。

【０００４】上記のインピーダンス測定に必要なものと
しては、ＴＤＲ用の計測器、信号伝送用のケーブル、プ
ローブ等がある。プローブは計測器及びこれと接続され
ているケーブルをテストパターンに電気的に接続するた
めの仲介役として用いられるものであり、できるだけ低
損失で入射信号や反射信号などの電気信号が流れるよう
に、ケーブルやテストパターンとのインピーダンス整合
等がとられて電気的設計がなされているものである。ま
た、ケーブルとしてはＴＤＲ測定における入射信号中に
含まれる周波数帯において、充分低損失なものを選択す
るようにしている。

【０００５】このような測定器とケーブルとプローブを
用いてインピーダンスを測定するにあたっては、まず、
コンタクト面として形成されたテストパターンの端面に
プローブを接触させ、計測器を操作して測定波形を得、
次に、測定波形の中でプローブとテストパターンとの間
の反射ノイズによる測定誤差ができるだけ少なくなるよ
うな測定領域を選択し、その領域内でのテストパターン
のインピーダンス値を測定波形から読みとるようにする
のである。

【０００６】このようにしてインピーダンスの測定が行
われる回路板については、テストパターンの端面がコン
タクト面として回路板の表面に露出しているものと回路
板の端面に露出しているものとを用いる必要がある。こ
のうち、テストパターンの端面が回路板の表面に露出し
ているものについては一般的であるが、回路板の端面に
露出しているものについては、あまり一般的でなくて試
みられておらず、また、そのインピーダンスを測定する
ためのシステムも作られていない。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】近年の電子機器の高周
波化、大容量化の流れから見れば、プリント基板や内層
回路入り銅張積層板等の回路板はそのすべてについて回
路（テストパターン）のインピーダンスを測定し、その
値がある設計範囲内に保証された状態で商品化されるの
が望ましい。

【０００８】しかし、回路板が内層回路入り銅張積層板
である場合、内層回路のインピーダンスについては非破
壊で測定するために、回路板の端面ヘテストパターンを
露出させてインピーダンスを測定する必要があるが、従
来の技術ではインピーダンスの測定をすべて手動で行う
必要があり、インピーダンスの測定に時間と労力がかか
るため、少量の回路板をサンプリングしてインピーダン
スの測定を行いがちであった。また、テストパターンの
露出面は通常ミクロンオーダー程度で非常に小さく、プ
ローブの接触を行うのは非常に困難であった。

【０００９】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、大量の回路板について精度よく短時間にインピー
ダンスの測定を行うことができるインピーダンス測定方
法及びインピーダンス測定装置を提供することを目的と
するものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
インピーダンス測定方法は、回路板３の端面６１を所定
の位置にセットし、回路板３の端面６１と対向するよう
にプローブＡを移動した後、回路板３の端面６１に露出
したテストパターン６２にプローブＡを接触させ、プロ
ーブＡと接続される計測器６３でテストパターン６２の
インピーダンスを測定することを特徴とするものであ
る。

【００１１】本発明の請求項２に係るインピーダンス測
定方法は、請求項１の構成に加えて、端面カメラ６４で
回路板３の端面に露出したテストパターン６２の位置を
撮像してテストパターン６２の位置座標を検出し、この
検出結果に基づいてプローブＡを移動することを特徴と
するものである。

【００１２】本発明の請求項３に係るインピーダンス測
定方法は、請求項２の構成に加えて、プローブＡと端面
カメラ６４の相関位置ずれを検出し、検出された相関位
置ずれの値をテストパターン６２の位置座標に付与した
後、付与後の値に基づいてプローブＡを移動することを
特徴とするものである。

【００１３】本発明の請求項４に係るインピーダンス測
定方法は、請求項１乃至３のいずれかの構成に加えて、
テストパターン６２にプローブＡを接触させた後、接触
状況を補間カメラ６５にて観察してテストパターン６２
とプローブＡの接触の位置ずれを確認することを特徴と
するものである。

【００１４】本発明の請求項５に係るインピーダンス測
定方法は、請求項１乃至４のいずれかの構成に加えて、
テストパターン６２とプローブＡの接触の位置ずれを値
として検出し、その値に基づいてプローブＡの再移動及
び再接触を行うことを特徴とするものである。

【００１５】本発明の請求項６に係るインピーダンス測
定方法は、請求項１乃至４のいずれかの構成に加えて、
テストパターン６２に接触させるためのコンタクトピン
６を有してプローブＡを形成し、テストパターン６２に
接触させる直前までコンタクトピン６が振れないように
振れ防止爪６６で挟持することを特徴とするものであ
る。

【００１６】本発明の請求項７に係るインピーダンス測
定方法は、請求項６の構成に加えて、振れ防止爪６６で
テストパターン６２の除電を行った後、テストパターン
６２のインピーダンスを測定することを特徴とするもの
である。

【００１７】本発明の請求項８に係るインピーダンス測
定方法は、請求項６又は７の構成に加えて、テストパタ
ーン６２にコンタクトピン６を接触させると共にプロー
ブＡと計測器６３の間でコンタクトピン６につながる信
号入出力ライン６７をグランドに接続することによって
テストパターン６２の除電を行った後、テストパターン
６２のインピーダンスを測定することを特徴とするもの
である。

【００１８】本発明の請求項９に係るインピーダンス測
定装置は、回路板３のテストパターン６２のインピーダ
ンスを測定するための計測器６３と、回路板３の端面６
１に露出したテストパターン６２に接触させるためのプ
ローブＡと、計測器６３とプローブＡを接続するケーブ
ル６９と、所定の位置にセットされた回路板３の端面６
１と対向するようにプローブＡを移動するためのプロー
ブ移動手段７０を備えて成ることを特徴とするものであ
る。

【００１９】本発明の請求項１０に係るインピーダンス
測定装置は、請求項９の構成に加えて、回路板３の端面
６１に露出したテストパターン６２の位置を撮像してテ
ストパターン６２の位置座標を検出するための端面カメ
ラ６４を具備し、端面カメラ６４の検出結果に基づいて
プローブ移動手段７０によりプローブＡを移動自在に形
成して成ることを特徴とするものである。

【００２０】本発明の請求項１１に係るインピーダンス
測定装置は、請求項９又は１０の構成に加えて、プロー
ブＡと端面カメラ６４の相関位置ずれを検出するための
位置ずれ検出カメラ７１を備えて成ることを特徴とする
ものである。

【００２１】本発明の請求項１２に係るインピーダンス
測定装置は、請求項９乃至１１のいずれかの構成に加え
て、テストパターン６２にプローブＡを接触させた後、
接触状況を観察してテストパターン６２とプローブＡの
接触の位置ずれを確認するための補間カメラ６５を備え
て成ることを特徴とするものである。

【００２２】本発明の請求項１３に係るインピーダンス
測定装置は、請求項９乃至１２のいずれかの構成に加え
て、テストパターン６２に接触させるためのコンタクト
ピン６を有してプローブＡを形成し、テストパターン６
２に接触させる直前までコンタクトピン６が振れないよ
うに挟持するための振れ防止爪６６を備えて成ることを
特徴とするものである。

【００２３】本発明の請求項１４に係るインピーダンス
測定装置は、請求項１３の構成に加えて、振れ防止爪６
６を導電性材料で形成すると共に振れ防止爪６６をグラ
ンドに接続して成ることを特徴とするものである。

【００２４】本発明の請求項１５に係るインピーダンス
測定装置は、請求項１３又は１４の構成に加えて、コン
タクトピン６と計測器６３を接続するケーブル６９の信
号入出力ライン６７をグランドに切り替えて接続するた
めの切り替え手段７２を備えて成ることを特徴とするも
のである。

【００２５】本発明の請求項１６に係るインピーダンス
測定装置は、請求項９乃至１５のいずれかの構成に加え
て、回路板３をほぼ水平方向に移動させるＸＹテーブル
７３を備えて成ることを特徴とするものである。

【００２６】本発明の請求項１７に係るインピーダンス
測定装置は、請求項９乃至１６のいずれかの構成に加え
て、プローブ移動手段７０によりプローブＡをほぼ鉛直
に移動自在に形成して成ることを特徴とするものであ
る。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。

【００２８】本発明のインピーダンス測定方法は、図１
に示すように、プローブＡを矢印アの方向に移動させる
と共に、回路板３を矢印イの方向に移動させることによ
って、回路板３の端面６１に露出したテストパターン６
２のインピーダンスを測定するものである。テストパタ
ーン６２は回路板３の内部に設けた信号回路４と回路板
３の表面や内部に設けたグランド層７から形成されるも
のである。回路板３の表面に設けたグランド層７は銅箔
等の金属べた面で形成されている。また、インピーダン
スを測定するために専用に設けられたテスト用回路を信
号回路４の代わりに用いても良い。

【００２９】回路板３の端面６１におけるテストパター
ン６２の露出部分は通常ミクロンオーダーの非常に小さ
い領域であるために、予め、回路板３及びその端面６１
の位置を固定してその位置にプローブＡを移動させてイ
ンピーダンスの測定を行なうようにするものである。こ
のことにより、テストパターン６２へのプローブＡの接
触を容易に行なうことができるものである。

【００３０】図２に上記のようなインピーダンスの測定
を行なうためのインピーダンス測定装置を示す。このイ
ンピーダンス測定装置には、パーソナルコンピュータ
（ＰＣ）７５、プローブ移動手段７０、計測器６３、端
面カメラ６４、補間カメラ６５、位置ずれ検出カメラ７
１、ＸＹテーブル７３、振れ防止爪６６などを備えて形
成されている。パーソナルコンピュータ７５はモニター
８０やキーボード８１、マウス８２などを備えたもので
あって、計測器６３を動作させてインピーダンスの測定
の波形を得たり、この波形からのインピーダンス（値）
の読み取り、データ処理など、インピーダンス測定装置
の全体の制御を行なうものである。従って、インピーダ
ンスの測定に係る一連の動作を通常ＰＣによる制御を用
いて行なうことができ、自動インピーダンス測定システ
ムの構築が可能である。

【００３１】プローブ移動手段７０はプローブＡの位置
を微調整するサーボ機構を備えて形成されるものであっ
て、プローブＡ及び端面カメラ６４を鉛直方向（Ｚ方
向）に移動させるためのものである。プローブ移動手段
７０は図３に示すように、昇降ベース２５に上下一対の
取付板２６を設けると共に取付板２６の間に一対のガイ
ド柱２７を設け、このガイド柱２７にシリンダ等で上下
駆動される昇降ブロック２８を設け、昇降ブロック２８
にプローブＡの外側導体１を前後駆動させる外側導体駆
動機２９を設けると共に外側導体駆動機２９の下側にお
いて昇降ブロック２８に端面カメラ６４を設け、外側導
体駆動機２９とほぼ同じ高さ位置において昇降ブロック
２８の前面に振れ防止機３５を設けることによって構成
されている。

【００３２】外側導体駆動機２９はシリンダ等で前後方
向に駆動される上下一対の係着片３７が設けられてい
る。また、図４に示すように、振れ防止機３５には上下
に長い溝部３８が設けられており、この溝部３８に上下
一対の振れ防止爪６６が摺動自在に設けられている。各
振れ防止爪６６は振れ防止機３５に内蔵されているシリ
ンダなどで溝部３８に沿って上下駆動自在に形成されて
いる。また、振れ防止爪６６はステンレス鋼等の導電性
材料で略Ｌ字状に形成されていると共に振れ防止爪６６
はグランドに電気的に接続（アース）されている。ま
た、上下の係着片３７の間において昇降ブロック２８に
は取付コネクタ３９が設けられており、取付コネクタ３
９の後側には同軸ケーブルなどのケーブル６９の一端が
接続されている。また、ケーブル６９の他端は計測器６
３に接続されている。計測器６３はオシロスコープや測
定用の信号を発生する入力信号発生器を備えたものであ
る。

【００３３】図５に示すように、ケーブル６９の途中に
は切り替え手段（除電装置）７２が設けられている。切
り替え手段７２は、ケーブル６９の芯線により計測器６
３と電気的に接続される計測器側端子５２と、グランド
と電気的に接続されるグランド端子４９と、計測器側端
子５２とグランド端子４９のいずれか一方に接続される
スイッチ部４８とを備えて形成されており、スイッチ部
４８はケーブル６９の芯線によりプローブＡのコンタク
トピン６に電気的に接続されている。そして、スイッチ
部４８が計測器側端子５２と接続されることにより信号
入出力ライン６７が形成されてインピーダンスの測定可
能状態となり、スイッチ部４８がグランド端子４９と接
続されることにより、コンタクトピン６がアースされた
状態となるものである。スイッチ部４８の切り替えは、
パーソナルコンピュータ７５により自動的に切り替えて
も良いし、手動により切り替えても良い。

【００３４】端面カメラ６４、補間カメラ６５、位置ず
れ検出カメラ７１は全てテストパターン６２へのプロー
ブＡの接触をより確実に行うために設けられているもの
であって、例えば、ＣＣＤカメラなどを用いることがで
きる。端面カメラ６４は上記のように外側導体駆動機２
９の下側において昇降ブロック２８に設けられているも
のであり、回路板３の端面６１におけるテストパターン
６２の露出面を撮像してテストパターン６２の重心の位
置座標を検出するために設けられている。位置ずれ検出
カメラ７１は外側導体駆動機２９の前側に配設されるも
のであって、プローブＡと端面カメラ６４の相関位置ず
れを検出するために設けられている。この位置ずれ検出
カメラ７１の前側（外側導体駆動機２９側）には照明具
９０が設けられており、この照明具９０には基準スケー
ル９１が描かれたガラス板等で形成されるスケール板９
６が設けられている。

【００３５】補間カメラ６５は昇降ブロック２８の下側
に配設されるものであって、テストパターン６２にプロ
ーブＡを接触させた後、その接触状況を観察してテスト
パターン６２とプローブＡの接触の位置ずれを確認する
ために設けられている。端面カメラ６４と補間カメラ６
５と位置ずれ検出カメラ７１で撮像された画像はＣＲＴ
を備えたモニター８４に映し出されるものである。

【００３６】図６に示すように、ＸＹテーブル７３は回
路板３を載せて固定すると共に載せられた回路板３を水
平方向に移動させて回路板３の端面６１を所定の位置に
セットするために設けられており、プローブ移動手段７
０の前側で位置ずれ検出カメラ７１の下側に配設されて
いる。また、ＸＹテーブル７３は、インピーダンス測定
装置の幅方向（Ｘ方向）に平行に配設される一対のＸ軸
レール８５と、各Ｘ軸レール８５に二個ずつ取り付けら
れたＸ軸レールガイド８６と、前側のＸ軸レール８５に
設けたＸ軸レールガイド８６の上面と後側のＸ軸レール
８５に設けたＸ軸レールガイド８６の上面とに亘って取
り付けられる一対のＹ軸レール８７と、各Ｙ軸レール８
７に二個ずつ取り付けられたＹ軸レールガイド８８と、
全てのＹ軸レールガイド８８の上面に亘って取り付けら
れる吸着テーブル８９とで構成されている。Ｙ軸レール
８７は前後方向（Ｙ方向）に平行に配設されるものであ
って、このことで、ＸＹテーブル７３の吸着テーブル８
９をプローブ移動手段７０に取り付けられたプローブＡ
に対して近接離間駆動することができるものである。ま
た、吸着テーブル８９はその略半分が吸引作用を有する
ものであって、この吸引作用により吸着テーブル８９に
載置された回路板３を固定してＸＹテーブル７３が動作
しても回路板３が載置した所定の位置からずれないよう
にすることができるものである。

【００３７】本発明で用いるプローブＡは図７、８に示
すように、外側導体１と内側導体２とプローブ本体４０
を具備して形成されており、上記のケーブル６９と同じ
インピーダンス（例えば、１０ＧＨｚの通過特性Ｚｏ＝
５０Ω±１Ω）となるように設計されてインピーダンス
整合がとられている。図８（ａ）に示すように、外側導
体１は前部を構成する前部材４２と後部を構成する後部
材４３及び前部材４２と後部材４３の間に設けられる連
結部材４４とで形成されている。前部材４２は銅やステ
ンレス鋼やニッケルなど、一般的に電気部品に用いられ
ているあらゆる導電性を有する金属材料、あるいは金属
材料と同程度の導電率で同程度の形状安定性を有するあ
らゆる材料で形成することができる。前部材４２はその
略中央部に前後方向に貫通する前側挿着孔５６が設けら
れて略円筒状に形成されている。また、前部材４２の後
部は連結部５３として形成されており、連結部５３の外
周面には複数本の断面略三角形状の突条５４が全周に亘
って突設されている。

【００３８】後部材４３は上記の導電性を有する金属材
料などで形成されるものであって、その略中央部に前後
方向に貫通する後側挿着孔５７が設けられて略円筒状に
形成されている。また、後部材４３の前部は結合部５８
として形成されており、結合部５８の外周面には複数本
の断面略三角形状の突条５９が全周に亘って突設されて
いる。さらに、後部材４３の外周面には、本発明を他の
部材（例えば、後述のシリンダなど）に取り付けるため
の取付片１８が全周に亘って突設されている。連結部材
４４は上記の導電性を有する金属材料などで形成され、
且つクッション性（弾性）を有するものであって、コイ
ル状のバネを連結部材４４として用いることができる。

【００３９】そして、連結部材４４の前端の内側に前部
材４２の連結部５３を差し込んで嵌合すると共に連結部
材４４の後端の内側に後部材４３の結合部５８を差し込
んで嵌合し、連結部材４４の前端に前部材４２を、連結
部材４４の後端に後部材４３をそれぞれ設けることによ
って、前部材４２と後部材４３が連結部材４４で連結さ
れた外側導体１を形成することができる。この時、突条
５４、５９は連結部材４４に食い込んでおり、このこと
で、前部材４２と連結部材４４及び後部材４３と連結部
材４４を強固に係合することができる。また、前側挿着
孔５６と後側挿着孔５７と連結部材４４の内側の空間が
連通することによって、外側導体１の内側には前後方向
に貫通する挿着孔６０が形成されている。さらに、前部
材４２と後部材４３は連結部材４４により電気的に接続
されている。

【００４０】上記の外側導体１の前面にはコンタクト部
８が突設されている。コンタクト部８は導電性ゴムを用
いて略円枠状（略円筒状）に形成されており、挿着孔６
０の前側開口を囲うようにして外側導体１の前面に凹設
された溝部５５にコンタクト部８の後部を挿着すること
によって、挿着孔６０の前側開口を囲うようにコンタク
ト部８が外側導体１の前部材４２に取り付けられてい
る。従って、コンタクト部８は外側導体１の周方向に連
続する略円枠状に形成されている。導電性ゴムは圧力な
どによる歪みが無い状態であっても通常のゴムよりも低
い抵抗値を有して導電性金属と同程度の導電性を有する
ものであり、圧縮による抵抗値の変化が小さいものであ
る。具体的には、信越化学工業（株）製の「ＥＣ−Ａ」
などを用いることができる。また、導電性ゴムの代わり
に加圧導電ゴムを用いてコンタクト部８を形成すること
ができる。加圧導電ゴムは通常では一般のゴムと同程度
の導電性質を有しているものであるが、圧縮することに
より抵抗値が下がり、導電性金属と同程度の導電率を持
つに至るものである。具体的には、日本合成ゴム（株）
製の「ＰＣＲ」などを用いることができる。コンタクト
部８を加圧導電ゴムで形成すると、高い測定精度が得る
ためにコンタクト部８の抵抗値が充分小さな値まで低下
するように、コンタクト部８をグランド層７に充分な圧
力（コンタクト圧）で押しつける必要がある。

【００４１】プローブ本体４０は上記の導電性を有する
金属材料などで形成される。図８（ｂ）に示すように、
プローブ本体４０はその前部が前後方向に長い外側導体
取付部５０として形成されていると共にプローブ本体４
０の後部は外側導体取付部５０よりも外径の大きいケー
ブル接続部５１として形成されている。プローブ本体４
０には外側導体取付部５０とケーブル接続部５１を貫く
ように貫通孔１１が形成されており、プローブ本体４０
の外側導体取付部５０の前端面における貫通孔１１の開
口はピン突出口１５として形成されていると共にプロー
ブ本体４０のケーブル接続部５１の後端面における貫通
孔１１の開口はケーブル挿入口１６として形成されてい
る。また、プローブ本体４０の後部の外周面にはネジ山
１７が形成されており、後述する同軸ケーブルの端部に
設けたコネクタをこのネジ山１７に螺合させることがで
きるものであり、同軸ケーブルとの接続を容易に行なう
ことができるものである。

【００４２】内側導体２はコンタクトピン６と接続導体
３０と固定ソケット２２で構成されている。コンタクト
ピン６は銅やニッケルなどの導体金属で形成されるもの
であって、図９に示すように、針状のピン本体２１と、
前面が開口し後面が閉塞された筒形状の支持ソケット２
４と、コイルバネなどのバネ２３とを備え、これらを一
体化して形成されている。ピン本体２１はその先端が支
持ソケット２４の前面開口から突出した状態で支持ソケ
ット２４に差し込まれており、ピン本体２１の先端部以
外に支持ソケット２４が被さった状態に形成されてい
る。また、バネ２３はピン本体２１の後端と支持ソケッ
ト２４の底面の間に設けられている。さらに、ピン本体
２１は支持ソケット２４に対して前後方向にスライド移
動自在に形成されている。加えて、ピン本体２１の外周
面と支持ソケット２４の内周面が接触することにより、
ピン本体２１と支持ソケット２４は電気的に接続されて
いる。尚、ピン本体２１の先端は鋭利に尖らせてあって
も良い。また、ピン本体２１としては、例えば、図１０
に示すように、テストパターン６２の信号回路４の厚み
が１８μｍの場合、ピン本体２１の先端の径が１００μ
ｍ、ピン本体２１の先端以外の径が３００μｍ、ピン本
体２１の先端角が３０°に形成することができる。

【００４３】上記のコンタクトピン６は、ピン本体２１
が支持ソケット２４に対して前後方向にスライド移動自
在に形成されているので、支持ソケット２４からピン本
体２１が大きく突出する状態と、ピン本体２１がバネ２
３の弾性力に抗して支持ソケット２４に深く差し込まれ
る状態との間で伸縮自在に形成されている。また、上記
のコンタクトピン６は、バネ２３がピン本体２１の後端
と支持ソケット２４の底面の間に設けられているので、
クッション性を有することになり、ピン本体２１を回路
板３の被測定回路４に弾接させることができるものであ
る。本発明におけるクッション性とは、回路板３の被測
定回路４のインピーダンスの測定時に、ピン本体２１の
先端やコンタクト部８の先端あるいは被測定回路４のコ
ンタクトピン６の接触部分への過加重を防ぐために、あ
る閾値以上の加重を吸収する性質を指す。そして、上記
のコンタクトピン６ではバネ２３が収縮することにより
このクッション性が発揮されることになり、ピン本体２
１及び被測定回路４へのダメージの低減及びピン本体２
１の被測定回路４への接触性を向上させることができる
ものである。

【００４４】接続導体３０と固定ソケット２２はコンタ
クトピン６とケーブル挿入口１６から貫通孔１１に差し
込まれた同軸ケーブルの芯線とを電気的に接続するため
のものであって、コンタクトピン６や外側導体１と同種
の材料で形成することができる。接続導体３０にはその
前面に開口してソケット接続穴３１が設けられており、
このソケット接続穴３１に固定ソケット２２の後部が差
し込まれて接続導体３０の前側に固定ソケット２２が取
り付けられている。固定ソケット２２は前面が開口し後
面が閉塞された筒形状であって、コンタンクトピン６の
支持ソケット２４の外径よりもやや大きめの内径を有
し、支持ソケット２４とほぼ同じ長さを有して形成され
ている。また、接続導体３０には芯線接続穴３２が設け
られており、芯線接続穴３２は接続導体３０の後面に開
口して形成されている。そして、固定ソケット２２の内
側にコンタクトピン６の後部（支持ソケット２４の部
分）を差し込むことによって、コンタクトピン６が固定
ソケット２２に抜き差し可能に取り付けられていると共
にコンタクトピン６と固定ソケット２２と接続導体３０
とが電気的に接続されて内側導体２が形成されることに
なる。

【００４５】そして、プローブＡは上記の外側導体１と
内側導体２をプローブ本体４０に取り付けることによっ
て図１１に示すように形成されている。外側導体１はそ
の挿着孔６０にプローブ本体４０の外側導体取付部５０
を後側から差し込むことによって、プローブ本体４０の
外側導体取付部５０の外側に取り付けられている。この
時、外側導体取付部５０の外周面と前部材４２の内周面
が密着すると共に外側導体取付部５０の外周面と後部材
４３の内周面が密着するものであり、このことで、プロ
ーブ本体４０と外側導体１が電気的に接続されることに
なる。また、外側導体１は外側導体取付部５０に沿って
前後方向にスライド移動するようにプローブ本体４０に
取り付けられている。

【００４６】一方、図８（ｂ）に示すように、内側導体
２はコンタクトピン６のピン本体２１の先部をピン突出
口１５からプローブ本体４０の外側（前側）に突出させ
た状態で、すなわち、固定ソケット２２と接続導体３０
を貫通孔１１内に配置した状態でプローブ本体４０の貫
通孔１１内に保持されている。この内側導体２は貫通孔
１１内を通るプローブ本体４０の中心線に沿って配設さ
れており、このことで、内側導体２と外側導体１とプロ
ーブ本体４０は同軸線路形状（同芯軸状）に配置されて
いる。また、コンタクトピン６のピン本体２１の先部は
プローブ本体４０の前面よりも約３ｍｍ程度前側に突出
させるようにするが、コンタクトピン６のピン本体２１
の突出寸法は任意に設定することができる。また、コン
タクトピン６は伸縮自在に形成されているので、前側か
ら加重を受けるとピン本体２１が外側導体１のプローブ
本体４０に対して前後方向に移動することになる。ま
た、接続導体３０の芯線接続穴３２は貫通孔１１のケー
ブル挿入口１６の方に向いてケーブル挿入口１６と連通
した状態になっている。

【００４７】上記のようにして配置された内側導体２の
固定ソケット２２と接続導体３０の外周面とプローブ本
体４０の内周面（貫通孔１１の壁面）の間には誘電体層
９が形成されている。誘電体層９はこれを挟んで隣接す
る外側導体１及びプローブ本体４０と内側導体２との絶
縁を確保すると共に内側導体２の固定ソケット２２と接
続導体３０を貫通孔１１内に保持するためのものであ
る。誘電体層９は高周波での特性の向上を図るために低
誘電率で低誘電正接の材料で形成することが好ましく、
例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）など
のフッ素樹脂やＰＰＯ（ポリフェニレンオキサイド）、
ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）等の樹脂を用いるこ
とができるが、フッ素樹脂と同程度の低誘電率で低誘電
正接を有し、しかもフッ素樹脂と同程度の形状安定性を
有するあらゆる材料を用いることができる。上記のよう
にして内側導体２を誘電体層９で保持すると、固定ソケ
ット２２と接続導体３０は貫通孔１１内に固定される
が、コンタクトピン６は固定ソケット２２に対して抜き
差し可能に形成されているので、コンタクトピン６をプ
ローブ本体４０から抜き差しすることができる。従っ
て、被測定回路４への接触によりピン本体２１が摩耗す
るなどして寿命となったコンタクトピン６を固定ソケッ
ト２２から抜き出し、新しいコンタクトピン６を固定ソ
ケット２２に差し込むようにしてコンタクトピン６のみ
を交換することができる。つまり、インピーダンスの測
定の際にはコンタクトピン６（のピン本体２１）の先端
が回路板３の被測定回路４との接触を繰り返すために、
コンタクトピン６の劣化が避けられず、従来のプローブ
ではプローブごと交換しなければならず、無駄が多くな
るという問題があったが、本発明ではコンタクトピン６
のみを交換することができるので、ランニングコストの
低下を図ることができるものである。

【００４８】上記のように形成されるプローブＡは、取
付コネクタ３９にネジ山１７を螺合することによって取
付コネクタ３９に取り付けられてプローブ移動手段７０
に設けられるものである。プローブＡを取付コネクタ３
９に取り付けると、ケーブル６９の一端がケーブル挿入
口１６から貫通孔１１に差し込まれ、差し込まれたケー
ブル６９の一端の芯線（中心導体）が内側導体２の接続
導体３０の芯線接続穴３２に差し込まれて接触すると共
に貫通孔１１に差し込まれたケーブル６９の一端の被覆
導体（外側導体）が貫通孔１１の壁面に接触する。そし
て、このようにケーブル６９の端部をプローブＡに接続
することによって、ケーブル６９の芯線をコンタクトピ
ン６のピン本体２１に電気的に接続することができると
共にプローブ本体４０を介してケーブル６９の被覆導体
を外側導体１に電気的に接続することができるものであ
り、さらに、ケーブル６９を介して計測器６３とプロー
ブＡが電気的に接続されることになる。また、プローブ
Ａの外側導体１の取付片１８には外側導体駆動機２９の
係着片３７の先端を係合するようにし、一対の係着片３
７で取付片１８を上下から挟んでプローブＡを保持する
ようにする。さらに、プローブＡの前側に突出するコン
タクトピン６のピン本体２１は一対の振れ防止爪６６の
間に配置された状態となっている。

【００４９】次に、上記のインピーダンス測定装置を用
いた回路板３のテストパターン６２（信号回路４）のイ
ンピーダンスを測定するにあたっては、図１２のフロー
チャートに従って、次のようにして行う。まず、回路板
３の種類など、どのようなインピーダンス測定を行うか
を測定タイプとしてパーソナルコンピュータ７５に入力
する。次に、基準抵抗の測定を行って装置全体を初期化
する。次に、ＸＹテーブル７３の吸着テーブル８９の上
に回路板３を載置して吸着により固定する。この時、イ
ンピーダンスを測定するテストパターン６２がプローブ
Ａ側に向くようにする。また、吸着テーブル８９の外側
にはガイドピン（ストッパーピン）１００が吸着テーブ
ル８９の上側に突出するように設けられており、このガ
イドピン１００に回路板３の端面６１を当接させて位置
決めする。

【００５０】次に、回路板３へのプローブＡの接続位置
を決定する補正を行う。この補正は、端面カメラ６４と
プローブＡの間の補正量（距離）を求め、次に、回路板
３のテストパターン６２の信号回路４の位置補正量を求
め、次に、テストパターン６２にプローブＡを接続する
ための誤差を求め、最後に、Ｚ方向における微量の誤差
を求め、これらを総合して回路板３へのプローブＡの接
続位置を決定する補正を行う。

【００５１】まず、端面カメラ６４とプローブＡの間の
補正量は、昇降ブロック２８を上動させて基準スケール
９１を挟んで端面カメラ６４と位置ずれ検出カメラ７１
を対向させて配置し、この後、図１４（ａ）に示すよう
に、基準スケール９１を原点にして、Ｚ方向における端
面カメラ６４の位置と位置ずれ検出カメラ７１の位置の
差△Ｚ１と、Ｘ方向における端面カメラ６４の位置と位
置ずれ検出カメラ７１の位置の差△Ｘ１を求める。次
に、図１３に示すように、昇降ブロック２８を下動させ
て基準スケール９１を挟んでプローブＡと位置ずれ検出
カメラ７１を対向させて配置し、この後、図１４（ｂ）
に示すように、位置ずれ検出カメラ７１でプローブＡを
撮像することによって、基準スケール９１を原点にし
て、Ｚ方向におけるプローブＡの位置と位置ずれ検出カ
メラ７１の位置の差△Ｚ２と、Ｘ方向におけるプローブ
Ａの位置と位置ずれ検出カメラ７１の位置の差△Ｘ２を
求める。そして、図１４（ｃ）に示すように、このよう
にして求めた△Ｚ１と△Ｚ２からＺ方向における端面カ
メラ６４とプローブＡの位置の誤差△Ｚ３を算出すると
共に△Ｘ１と△Ｘ２からＸ方向における端面カメラ６４
とプローブＡの位置の誤差△Ｘ３を算出することによっ
て、プローブＡと端面カメラ６４の相関位置ずれを検出
する。

【００５２】次に、ガイドピン１００を下動させて回路
板３の端面６１の当接状態から逃がす。次に、端面カメ
ラ６４で回路板３の端面６１の撮像を行う。この撮像は
図１５の矢印ウで示すように、ＸＹテーブル７３の吸着
テーブル８９をＸ方向に移動させることによって、回路
板３を端面カメラ６４に対してＸ方向の一端から他端の
方に向かって移動させて行う。そして、認識範囲（図１
６に点々模様の枠で示す）内に予めパーソナルコンピュ
ータ７５に登録したテストパターン６２の断面形状と同
じ断面形状を発見すると、そのテストパターン６２の信
号回路４の重心の位置座標を信号回路４の位置補正量
（△Ｘ４，△Ｚ４）として求める。この△Ｘ４はＸ方向
における端部カメラ６４の視野１０１と信号回路４の重
心位置の距離であり、また、△Ｚ４はＺ方向における端
部カメラ６４の視野１０１と信号回路４の重心位置の距
離である。そしてこの信号回路４の位置補正量をパーソ
ナルコンピュータ７５に送って保存する。このような信
号回路４の位置補正量は、Ｘ方向においてインピーダン
スを測定する回路板３の全ポイントについて行う。

【００５３】次に、上記のようにして求めた端面カメラ
６４とプローブＡの補正量（△Ｘ３，△Ｚ３）と信号回
路４の位置補正量（△Ｘ４，△Ｚ４）とを足し算（付
与）することによって、テストパターン６２にプローブ
Ａを接続するための誤差を求める。そして、次に、テス
トパターン６２にプローブＡを接続するための誤差に基
づいて昇降ブロック２８を下動させてプローブＡと回路
板３の端面６１を対向させて配置する。次に、一対の振
れ防止爪６６を互いに近づけてプローブＡのコンタクト
ピン６のピン本体２１を振れ防止爪６６で上下から挟持
する。このようにしてピン本体２１の振れを振れ防止爪
６６で防止することができ、回路板３の端面６１に露出
した信号回路４にピン本体２１の先端を接触させやすく
なるものである。

【００５４】次に、ＸＹテーブル７３の吸着テーブル８
９をＹ方向のプローブＡ側に移動させることによって、
図１７（ａ）に示すように、プローブＡのコンタクトピ
ン６のピン本体２１の先端を回路板３の端面６１に露出
したテストパターン６２の信号回路４の露出面に接触さ
せる。この時、外側導体駆動機２９の係着片３７は後退
させた状態であり、このことで外側導体１はプローブ本
体４０に対して後退した状態である。従って、コンタク
トピン６のピン本体２１の先端が外側導体１で覆われ
ず、コンタクトピン６のピン本体２１の先端と回路板３
の端面６１に露出した信号回路４との接触状態を容易に
確認することができる。

【００５５】また、上記のようにピン本体２１の先端が
信号回路４の露出面に接触する直前あるいは接触の瞬間
に、一対の振れ防止爪６６を互いに離れる方向に移動さ
せることによって、振れ防止爪６６によるピン本体２１
の振れ防止を解除する。また、ピン本体２１の先端が信
号回路４の露出面に接触した瞬間に振れ防止を解除する
と、導電性材料であるピン本体２１及び振れ防止爪６６
を通じてテストパターン６２の信号回路４に帯電した静
電気を除去（除電）することができるものである。ま
た、ピン本体２１の先端が信号回路４の露出面に接触す
る時には、切り替え手段７２のスイッチ部４８がグラン
ド端子４９と接続された状態であって、信号入出力ライ
ン６７が途中でグランドと接続された状態である。従っ
て、ピン本体２１を通じてテストパターン６２の信号回
路４に帯電した静電気を除去（除電）することができる
ものである。このように本発明では振れ防止爪６６によ
る除電と切り替え手段７２による除電の二重の保護によ
り計測器６３に静電気が流れ込まないようにすることが
でき、計測器６３の静電気による破壊を防止することが
できる。

【００５６】また、上記のように、テストパターン６２
にプローブＡを接続するための誤差を求めてからプロー
ブＡを移動させているので、ほぼ正確な位置にプローブ
Ａを移動させてピン本体２１の先端と信号回路４の露出
面とを接触させることができるが、プローブ移動手段７
０のピッチングやヨーイング等でプローブＡの位置がず
れ、ピン本体２１の先端と信号回路４の露出面とを接触
させることができない場合がある。そこで、ピン本体２
１の先端と信号回路４の露出面とが接触していない場合
は、補間カメラ６５でその接触状況を観察してテストパ
ターン６２とプローブＡの接触の位置ずれを確認してＺ
方向における微量の誤差を求め、これに基づいてプロー
ブＡをプローブ移動手段７０のサーボ機構で移動（再移
動）させてプローブＡの位置を補正する。そして、この
補正によりピン本体２１の先端と信号回路４の露出面と
を確実に接触（再接触）させることができる。

【００５７】次に、切り替え手段７２のスイッチ部４８
を計測器側端部５２と接続すると共に、外側導体駆動機
２９の係着片３７を前進させてプローブ本体４０に対し
て外側導体１を前進（回路板３側に移動）させ、図１７
（ｂ）に示すように、コンタクト部８の先端をテストパ
ターン６２のグランド層７の端部の表面に接触させる。
次に、計測器６３からケーブル６９、信号入出力ライン
６７及び内側導体２を通じてパルスあるいはステップ信
号などの入射信号を伝送し、テストパターン６２（信号
回路４）内での反射信号を検知すると共にケーブル６
９、信号入出力ライン６７及び内側導体２を通じて反射
信号を計測器６３に導入し、この反射信号から求められ
る反射係数を用いてテストパターン６２（信号回路４）
のインピーダンス（値）を計測器６３で測定する。次
に、この測定結果を判定して良好な結果が得られれば、
外側導体駆動機２９の係着片３７を後退させて外側導体
１を後退させてグランド層７からコンタクト部８を離す
と共にＸＹテーブル７３の吸着テーブル８９をＹ方向の
プローブＡと反対側に移動させることによって、ピン本
体２１の先端と信号回路４の接触を解除する。次に、Ｘ
Ｙテーブル７３の吸着テーブル８９をＸ方向（図１５に
矢印エで示す）に移動させて次の測定ポイントとプロー
ブＡを対向させて配置する。この後、上記と同様の工程
で一枚の回路板３の全測定ポイントのインピーダンスを
順次測定してパーソナルコンピュータ７５に保存して一
枚の回路板３のインピーダンス測定を終える。尚、一カ
所の測定ポイントで判定結果が不良な場合は３回の再測
定を行う。このようにして回路板３の全測定ポイントの
インピーダンスを測定した後、ＸＹテーブル（基板セッ
トテーブル）７３を回路板３の取り出し位置に移動して
回路板３を取り出すようにする。

【００５８】本発明では上記のように、回路板３の端面
６１に露出したテストパターン６２のインピーダンスの
測定において、端面カメラ６４、補間カメラ６５、位置
ずれ検出カメラ７１、振れ防止爪６６、切り替え手段７
２、ＸＹテーブル７３、プローブ移動手段７０などを用
いたインピーダンスの測定がパーソナルコンピュータ７
５やシーケンサ等により制御可能にシステム化されてい
るものであり、これら全てを統合することにより、端面
６１にテストパターン６２が露出した任意の回路板３の
インピーダンスの測定をに対応したインピーダンス自動
計測システムの構築が可能である。

【００５９】

【発明の効果】上記のように本発明の請求項１の発明
は、回路板の端面を所定の位置にセットし、回路板の端
面と対向するようにプローブを移動した後、回路板の端
面に露出したテストパターンにプローブを接触させ、プ
ローブと接続される計測器でテストパターンのインピー
ダンスを測定するので、回路板の端面に露出した非常に
小さなテストパターンへのプローブの接触を容易にし、
インピーダンス測定を容易に行うことができ、大量の回
路板について精度よく短時間にインピーダンスの測定を
行うことができるものである。

【００６０】本発明の請求項２の発明は、端面カメラで
回路板の端面に露出したテストパターンの位置を撮像し
てテストパターンの位置座標を検出し、この検出結果に
基づいてプローブを移動するので、回路板の端面と対向
するようにプローブを正確に移動することができ、プロ
ーブのテストパターンへの接触を正確に行うことができ
るものである。

【００６１】本発明の請求項３の発明は、プローブと端
面カメラの相関位置ずれを検出し、検出された相関位置
ずれの値をテストパターンの位置座標に付与した後、付
与後の値に基づいてプローブを移動するので、回路板の
端面と対向するようにプローブをより正確に移動するこ
とができ、プローブのテストパターンへの接触をより正
確に行うことができるものである。

【００６２】本発明の請求項４の発明は、テストパター
ンにプローブを接触させた後、接触状況を補間カメラに
て観察してテストパターンとプローブの接触の位置ずれ
を確認するので、テストパターンとプローブの接触の位
置ずれが確認しやすくなり、テストパターンとプローブ
の位置ずれを容易に修正して接触させることができるも
のである。

【００６３】本発明の請求項５の発明は、テストパター
ンとプローブの接触の位置ずれを値として検出し、その
値に基づいてプローブＡの再移動及び再接触を行うの
で、プローブをテストパターンに確実に接触させること
ができ、テストパターンのインピーダンスの測定を確実
に行うことができるものである。

【００６４】本発明の請求項６の発明は、テストパター
ンに接触させるためのコンタクトピンを有してプローブ
を形成し、テストパターンに接触させる直前までコンタ
クトピンが振れないように振れ防止爪で挟持するので、
コンタクトピンの振れを防止することができ、テストパ
ターンへのコンタクトピンの接触を安定して行うことが
できるものである。

【００６５】本発明の請求項７の発明は、振れ防止爪で
テストパターンの除電を行った後、テストパターンのイ
ンピーダンスを測定するので、インピーダンスの測定以
前にテストパターンの除電を行うことができ、計測器を
静電気から保護することができるものである。

【００６６】本発明の請求項８の発明は、テストパター
ンにコンタクトピンを接触させると共にプローブと計測
器の間でコンタクトピンにつながる信号入出力ラインを
グランドに接続することによってテストパターンの除電
を行った後、テストパターンのインピーダンスを測定す
るので、インピーダンスの測定以前にテストパターンの
除電を行うことができ、計測器を静電気から保護するこ
とができるものである。

【００６７】本発明の請求項９の発明は、回路板のテス
トパターンのインピーダンスを測定するための計測器
と、回路板の端面に露出したテストパターンに接触させ
るためのプローブと、計測器とプローブを接続するケー
ブルと、所定の位置にセットされた回路板の端面と対向
するようにプローブを移動するためのプローブ移動手段
を備えるので、プローブ移動手段でプローブを移動する
ことによって、回路板の端面に露出した非常に小さなテ
ストパターンへのプローブの接触を容易にし、インピー
ダンス測定を容易に行うことができ、大量の回路板につ
いて精度よく短時間にインピーダンスの測定を行うこと
ができるものである。

【００６８】本発明の請求項１０の発明は、回路板の端
面に露出したテストパターンの位置を撮像してテストパ
ターンの位置座標を検出するための端面カメラを具備
し、端面カメラの検出結果に基づいてプローブ移動手段
によりプローブを移動自在に形成するので、端面カメラ
でテストパターンの位置座標を検出することによって、
この検出結果を用いて回路板の端面と対向するようにプ
ローブを正確に移動することができ、プローブのテスト
パターンへの接触を正確に行うことができるものであ
る。

【００６９】本発明の請求項１１の発明は、プローブと
端面カメラの相関位置ずれを検出するための位置ずれ検
出カメラを備えるので、位置ずれ検出カメラでプローブ
と端面カメラの相関位置ずれを検出することによって、
この検出結果を用いて回路板の端面と対向するようにプ
ローブをより正確に移動することができ、プローブのテ
ストパターンへの接触をより正確に行うことができるも
のである。

【００７０】本発明の請求項１２の発明は、テストパタ
ーンにプローブを接触させた後、接触状況を観察してテ
ストパターンとプローブの接触の位置ずれを確認するた
めの補間カメラを備えるので、補間カメラによりテスト
パターンとプローブの接触の位置ずれが確認しやすくな
り、テストパターンとプローブの位置ずれを容易に修正
して接触させることができるものである。

【００７１】本発明の請求項１３の発明は、テストパタ
ーンに接触させるためのコンタクトピンを有してプロー
ブを形成し、テストパターンに接触させる直前までコン
タクトピンが振れないように挟持するための振れ防止爪
を備えるので、振れ防止爪でコンタクトピンを挟持する
ことによって、コンタクトピンの振れを防止することが
でき、テストパターンへのコンタクトピンの接触を安定
して行うことができるものである。

【００７２】本発明の請求項１４の発明は、振れ防止爪
を導電性材料で形成すると共に振れ防止爪をグランドに
接続するので、振れ防止爪を用いてインピーダンスの測
定以前にテストパターンの除電を行うことができ、計測
器を静電気から保護することができるものである。

【００７３】本発明の請求項１５の発明は、コンタクト
ピンと計測器を接続するケーブルの信号入出力ラインを
グランドに切り替えて接続するための切り替え手段を備
えるので、切り替え手段で信号入出力ラインをグランド
に切り替えて接続してからコンタクトピンをテストパタ
ーンに接触することによって、インピーダンスの測定以
前にテストパターンの除電を行うことができ、計測器を
静電気から保護することができるものである。

【００７４】本発明の請求項１６の発明は、回路板をほ
ぼ水平方向に移動させるＸＹテーブルを備えるので、回
路板をＸＹテーブルに載せてほぼ水平に移動させること
によって、一つの回路板のほぼ水平方向に形成された複
数のテストパターンに対応して順次プローブとの接触位
置まで移動させることができ、複数のテストパターンに
ついてインピーダンスの測定を連続して行うことができ
るものである。

【００７５】本発明の請求項１７の発明は、プローブ移
動手段によりプローブをほぼ鉛直に移動自在に形成する
ので、一つの回路板のほぼ鉛直方向に形成された複数の
テストパターンに対応して順次プローブを接触位置まで
移動させることができ、また、積載された複数の回路板
に形成されたテストパターンに対応して順次プローブを
接触位置まで移動させることができ、複数のテストパタ
ーンについてインピーダンスの測定を連続して行うこと
ができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の一例を示す断面図であ
る。

【図２】同上のインピーダンス測定装置を示す斜視図で
ある。

【図３】同上の一部を示す斜視図である。

【図４】同上の一部を示す斜視図である。

【図５】同上の一部を示す概略図である。

【図６】同上の一部を示す断面図である。

【図７】同上のプローブを示す断面図である。

【図８】（ａ）は同上の外側導体を示す斜視図、（ｂ）
はプローブ本体と内側導体を示す斜視図である。

【図９】同上のコンタクトピンを示す断面図である。

【図１０】同上の一部を示す拡大図である。

【図１１】同上のプローブを示す斜視図である。

【図１２】同上の工程を示すフローチャートである。

【図１３】同上の一部の概略図である。

【図１４】（ａ）〜（ｃ）はプローブの位置の補正の手
順を示す説明図である。

【図１５】同上の回路板の端面を示す正面図である。

【図１６】同上の一部を示す拡大図である。

【図１７】（ａ）（ｂ）は同上のプローブと回路板の接
触状態を示す断面図である。

【符号の説明】

３ 回路板 ６ コンタクトピン ６１ 端面 ６２ テストパターン ６３ 計測器 ６４ 端面カメラ ６５ 補間カメラ ６６ 振れ防止爪 ６７ 信号入出力ライン ６９ ケーブル ７０ プローブ移動手段 ７１ 位置ずれ検出カメラ ７２ 切り替え手段 ７３ ＸＹテーブル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｒ 31/28 Ｈ (72)発明者 岩石 辰巳 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 武富 正伸 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 長曽 満英 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 赤松 資幸 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 Ｆターム(参考） 2G011 AA09 AB01 AB05 AC06 AC14 AC31 AD01 AE01 AF06 2G014 AA02 AA03 AB59 AC06 AC09 AC10 AC12 2G028 AA04 BB00 BC01 CG08 HN01 2G032 AA00 AB00 AD03 AE08 AF04 AG07 AK03 AL03 5E346 GG32 GG34

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回路板の端面を所定の位置にセットし、
   回路板の端面と対向するようにプローブを移動した後、
   回路板の端面に露出したテストパターンにプローブを接
   触させ、プローブと接続される計測器でテストパターン
   のインピーダンスを測定することを特徴とするインピー
   ダンス測定方法。
2. 【請求項２】 端面カメラで回路板の端面に露出したテ
   ストパターンの位置を撮像してテストパターンの位置座
   標を検出し、この検出結果に基づいてプローブを移動す
   ることを特徴とする請求項１に記載のインピーダンス測
   定方法。
3. 【請求項３】 プローブと端面カメラの相関位置ずれを
   検出し、検出された相関位置ずれの値をテストパターン
   の位置座標に付与した後、付与後の値に基づいてプロー
   ブを移動することを特徴とする請求項２に記載のインピ
   ーダンス測定方法。
4. 【請求項４】 テストパターンにプローブを接触させた
   後、接触状況を補間カメラにて観察してテストパターン
   とプローブの接触の位置ずれを確認することを特徴とす
   る請求項１乃至３のいずれかに記載のインピーダンス測
   定方法。
5. 【請求項５】 テストパターンとプローブの接触の位置
   ずれを値として検出し、その値に基づいてプローブの再
   移動及び再接触を行うことを特徴とする請求項１乃至４
   のいずれかに記載のインピーダンス測定方法。
6. 【請求項６】 テストパターンに接触させるためのコン
   タクトピンを有してプローブを形成し、テストパターン
   に接触させる直前までコンタクトピンが振れないように
   振れ防止爪で挟持することを特徴とする請求項１乃至５
   のいずれかに記載のインピーダンス測定方法。
7. 【請求項７】 振れ防止爪でテストパターンの除電を行
   った後、テストパターンのインピーダンスを測定するこ
   とを特徴とする請求項６に記載のインピーダンス測定方
   法。
8. 【請求項８】 テストパターンにコンタクトピンを接触
   させると共にプローブと計測器の間でコンタクトピンに
   つながる信号入出力ラインをグランドに接続することに
   よってテストパターンの除電を行った後、テストパター
   ンのインピーダンスを測定することを特徴とする請求項
   ６又は７のいずれかに記載のインピーダンス測定方法。
9. 【請求項９】 回路板のテストパターンのインピーダン
   スを測定するための計測器と、回路板の端面に露出した
   テストパターンに接触させるためのプローブと、計測器
   とプローブを接続するケーブルと、所定の位置にセット
   された回路板の端面と対向するようにプローブを移動す
   るためのプローブ移動手段を備えて成ることを特徴とす
   るインピーダンス測定装置。
10. 【請求項１０】 回路板の端面に露出したテストパター
    ンの位置を撮像してテストパターンの位置座標を検出す
    るための端面カメラを具備し、端面カメラの検出結果に
    基づいてプローブ移動手段によりプローブを移動自在に
    形成して成ることを特徴とする請求項９に記載のインピ
    ーダンス測定装置。
11. 【請求項１１】 プローブと端面カメラの相関位置ずれ
    を検出するための位置ずれ検出カメラを備えて成ること
    を特徴とする請求項９又は１０に記載のインピーダンス
    測定装置。
12. 【請求項１２】 テストパターンにプローブを接触させ
    た後、接触状況を観察してテストパターンとプローブの
    接触の位置ずれを確認するための補間カメラを備えて成
    ることを特徴とする請求項９乃至１１のいずれかに記載
    のインピーダンス測定装置。
13. 【請求項１３】 テストパターンに接触させるためのコ
    ンタクトピンを有してプローブを形成し、テストパター
    ンに接触させる直前までコンタクトピンが振れないよう
    に挟持するための振れ防止爪を備えて成ることを特徴と
    する請求項９乃至１２のいずれかに記載のインピーダン
    ス測定装置。
14. 【請求項１４】 振れ防止爪を導電性材料で形成すると
    共に振れ防止爪をグランドに接続して成ることを特徴と
    する請求項１３に記載のインピーダンス測定装置。
15. 【請求項１５】 コンタクトピンと計測器を接続するケ
    ーブルの信号入出力ラインをグランドに切り替えて接続
    するための切り替え手段を備えて成ることを特徴とする
    請求項１３又は１４のいずれかに記載のインピーダンス
    測定装置。
16. 【請求項１６】 回路板をほぼ水平方向に移動させるＸ
    Ｙテーブルを備えて成ることを特徴とする請求項９乃至
    １５のいずれかに記載のインピーダンス測定装置。
17. 【請求項１７】 プローブ移動手段によりプローブをほ
    ぼ鉛直に移動自在に形成して成ることを特徴とする請求
    項１０乃至１６のいずれかに記載のインピーダンス測定
    装置。