JP5937696B2 - 改良型発光デバイス及び発光方法 - Google Patents

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Description

発明の詳細な説明
[関連出願についての相互参照]
本願は2011年12月23日に出願された米国特許出願第13/336,540号に基づく優先権を主張し、同出願の開示は、その全体が引用により本明細書に援用される。
[技術分野]
本明細書にて開示される発明主題は、広くは発光デバイス及び発光方法に関する。より詳細には、本明細書に開示される発明主題は、デバイス内において、反射率を高め、熱性能を向上させ、かつ、接着性を向上させることによって、輝度を高めた発光デバイス及び発光方法に関する。
[背景技術]
発光ダイオード(LED)等の発光デバイスは、白色光(例えば,白色又は近白色として知覚される)を提供するパッケージで利用可能であり、また、白熱灯、蛍光灯、及びメタルハライド高輝度放電(HID)灯製品の代替品として開発されている。LEDデバイスの代表例は、少なくとも1つのLEDチップを有するデバイスを備え、LEDチップの一部は、例えばイットリウム・アルミニウム・ガーネット(YAG)等の蛍光物質で被覆することが可能である。蛍光物質の被覆によって、1つ以上のLEDチップから放出された光を白色光に変換することができる。例えば、LEDチップは所望の波長の光を放出可能であるが、蛍光物質はピーク波長が約550nmの黄色の蛍光を発することが可能である。観察者は、複数の光放出の混合を白色光として知覚する。蛍光物質によって変換された白色光の代わりとして、それぞれが赤色、緑色、及び青色(RGB)の波長の複数の発光デバイスを1つのデバイス又はパッケージ内で組み合わせて、白色として知覚される光を生成することができる。
種々のLEDデバイス及び方法が市場で入手可能であるにもかかわらず、より高輝度のデバイスが依然として要求されている。また、デバイス内での反射層の追加、及び/又は、このようなデバイスのサブマウント内部の1つ以上の層間の接着性の向上によって、光学的性能及び/又は熱的性能を効果的に高めることができるデバイス及び方法も要求されている。
[概要]
本開示に従って、産業用及び商業用の照明製品を含む様々な用途に十分に適した、新規な発光デバイス及び発光方法が提供される。したがって、本明細書の開示の目的は、デバイス内の反射率を高めることに一部起因して、改良されたより高輝度の発光デバイスを提供することにある。本開示の別の目的は、デバイスのサブマウントの1つ以上の層間の接着性を向上させたデバイスを提供することにある。
本明細書に記載された開示から明らかになるように、本開示のこれらの目的及び他の目的は、少なくとも全部又は一部が、ここに開示される発明主題によって実現される。
ベストモードを含む本発明主題の、当業者への全面的かつ実施可能な程度の開示を、添付図面の参照を含む、明細書の以下の記述においてより詳細に行う。
本明細書の開示に係る発光デバイスの一実施形態の上面斜視図である。 本明細書の開示に係る発光デバイスの一実施形態の側面図である。 本明細書の開示に係る発光ダイオード(LED)の1つ以上のパターンを有する発光デバイスの一実施形態の平面図である。 本明細書の開示に係る発光ダイオード(LED)の1つ以上のパターンを有する発光デバイスの一実施形態の平面図である。 本明細書の開示に係るLEDの1つ以上のパターンを有する発光デバイスの一実施形態の上面斜視図である。 本明細書の開示に係る発光デバイスの一実施形態の平面図である。 本明細書の開示に係る発光デバイスの発光領域の第1断面図である。 本明細書の開示に係る発光デバイスの発光領域の第2断面図である。 本明細書の開示に係る発光デバイスの平面図である。 本明細書の開示に係る発光デバイスの間隙領域の断面図である。 本明細書の開示に係る発光デバイスの平面図である。 本明細書の開示に係る、LEDの1つ以上のパターンを有する発光デバイスの一実施形態の平面図である。 本明細書の開示に係るLEDの1つ以上のパターンを有する発光デバイスの一実施形態の平面図である。 本明細書の開示に係るLEDの1つ以上のパターンを有する発光デバイスの一実施形態の平面図である。 本明細書の開示に係るLEDの1つ以上のパターンを有する発光デバイスの一実施形態の平面図である。 本明細書の開示に係るLEDの1つ以上のパターンを有する発光デバイスの一実施形態の平面図である。 本明細書の開示に係るLEDの1つ以上のパターンを有する発光デバイスの一実施形態の平面図である。 本明細書の開示に係るLEDデバイスに用いられているダイアタッチ技術を示す図である。 本明細書の開示に係るLEDデバイスに用いられているダイアタッチ技術を示す図である。 本明細書の開示の一実施形態に係る発光デバイスの平面図である。 図16に係る発光デバイスの断面図である。 図16に係る発光デバイスの断面図である。 本明細書の開示に係る、駆動回路を備えた発光デバイスの平面図である。 本明細書の開示に係る発光デバイスの断面図である。 本明細書の開示に係る発光デバイスの断面図である。 ソルダーレジスト層の下方に配置される1つ以上の材料層を示す、図20の細部の分解図である。 本明細書の開示に係る発光デバイスの断面図である。 ソルダーレジスト層の下方に配置される1つ以上の材料層を示す、図20の細部の分解図である。 本明細書の開示に係る発光デバイスの断面図である。
[詳細な説明]
ここで、本明細書の発明主題の実施可能な態様又は実施形態を詳細に述べるとともに、このうち1つ以上の例を各図に示す。各例は本発明主題を説明するために示されるものであり、本発明をこれらに限定するものではない。実際、一実施形態の一部として図示又は記述される特徴は、別の実施形態で使用することにより、さらに別の実施形態を生じさせることが可能である。本明細書にて開示及び説明された本発明主題はこのような改変や変形を包含することが意図されている。
各図に示されているように、構造体や部分の寸法の中には、例示目的で他の構造体や部分に対して誇張されて示されているものがあり、よってこれらは本発明主題の概略構造を示すために提供される。さらに、本発明主題の種々の態様は、ある構造体又は部分が他の構造体、部分、もしくはその両方の上に形成されていることを参照して説明されている。当業者には理解されるように、ある構造体が別の構造体又は部分の「上に(on)」又は「上方に(above)」形成されているという説明は、付加的な構造体、部分、もしくはその両方が介在してもよいことを意味する。介在する構造体又は部分がなく、ある構造体又は部分が別の構造又は部分の「上に(on)」形成されているという場合には、本明細書では構造又は部分の「上に直接(directly on)」形成されていると説明される。同様に、ある要素が別の要素に「接続される(connected)」、「取り付けられる(attached)」、又は「結合される(coupled)」と説明されている場合には、一方の要素が他方の要素に直接に接続され、取り付けられ、又は結合されていてもよく、あるいは介在する要素が存在していてもよいことは理解されよう。一方、ある要素が別の要素に「直接接続される(directly connected)」、「直接取り付けられる(directly attached)」、又は「直接結合される(directly coupled)」と説明されている場合には、介在する要素が存在しない。
さらに、本明細書では、「上に(on)」、「上方に(above)」、「上側の(upper)」、「上面(top)」、「下側の(lower)」、又は「底面(bottom)」といった相対的な語は、各図に示されているように、ある構造体又は部分と別の構造体又は部分との関係を説明するために用いられている。「上に(on)」、「上方に(above)」、「上側の(upper)」、「上面(top)」、「下側の(lower)」、又は「底面(bottom)」といった位置関係を表す語は、各図に示されているデバイスの向きに加えて、これとは異なるデバイスの向きも含むことを意図していることは理解されよう。例えば、図中のデバイスの上下を反対にした場合、他の構造又は部分の「上方に(above)」あると述べられていた構造体又は部分が、今度はその構造体又は部分の「下方に(below)」あるような向きになる。同様に、図中のデバイスを軸を中心に回転させた場合、他の構造体又は部分の「上方に(above)」あると述べられている構造体又は部分が、今度はその構造体又は部分の「隣に(next to)」もしくは「左側に(left of)」あるような向きになる。明細書全体を通じて、同様の符号は同様の要素を表している。
本明細書で説明される各実施形態に係る発光デバイスは、炭化ケイ素基板等の成長基板上に作製されたIII−V族窒化物(例えば窒化ガリウム)系発光ダイオード(LED)又はレーザ、例えば米国ノースカロライナ州ダーハム(Durham)に所在するクリー社(Cree,Inc.)によって製造販売されているデバイス等を含んでいてもよい。例えば、本明細書に記載されている炭化ケイ素(SiC)基板/層は、4Hポリタイプ炭化ケイ素基板/層であってもよい。しかしながら、3C,6H,及び15Rポリタイプ等の他のポリタイプの炭化ケイ素を使用してもよい。適切なSiC基板は、本発明主題の譲受人である米国ノースカロライナ州ダーハムに所在するクリー社から入手可能であり、このような基板の製造方法は科学文献や同一譲受人による多数の米国特許に記載されている。その中には米国再発行特許第Re.34,861号、米国特許第4,946,547号、及び同第5,200,022号も含まれているが、これらに限定されるものではなく、これらの開示はその全体が参照により本明細書に援用される。本明細書では他の任意の好適な成長基板も想定される。例えば、本明細書で述べられているようなLEDやレーザを作製する成長基板として、サファイア及びガリウムヒ素を用いることもできる。
本明細書において用いられている場合、「III族窒化物」という語は、周期表のIII族、通常はアルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)、及びインジウム(In)の中の1つ以上の元素と窒素との間で生成された半導体化合物を指す。この語はまた、GaN,AlGaN,及びAlInGaN等の2元化合物、3元化合物及び4元化合物も指す。III族元素は窒素と結合することによって、2元化合物(例えばGaN),3元化合物(例えばAlGaN),及び4元化合物(例えばAlInGaN)を生成する。これらの化合物は、1モルの窒素が合計で1モルのIII族元素と結合している実験式を有していてもよい。したがって、多くの場合AlGa1−xN(ただし1>x>0)といった式を用いてこれらの化合物を記述する。III族窒化物のエピタキシャル成長を行う技術は、まずまずの開発がなされ、適切な科学文献中で報告されてきた。
本明細書で開示されているLEDの様々な実施形態は成長基板を備えているが、LEDを構成するエピタキシャル層を成長させるエピタキシャル結晶成長基板は除去してもよく、代替のキャリア基板上に、あるいは元の基板とは異なる熱的、電気的、構造的、及び/又は光学的特性を有し得る基板上に、独立したエピタキシャル層を取り付けてもよいことが当業者には理解されよう。本明細書にて説明されている発明主題は、エピタキシャル結晶成長基板を有する構造に限定されるものではなく、エピタキシャル層を元の成長基板から除去した後に代替のキャリア基板に接合した構造に関連して用いられてもよい。
例えば、本発明主題のいくつかの実施形態に係るIII族窒化物系LEDを、成長基板(炭化ケイ素基板等)上に作製することによって、横型構造デバイス(両方の電気接点がLEDの同一面側にある)又は縦型構造デバイス(電気接点がLEDの対向面にある)を提供してもよい。さらに、成長基板は、作製後にLED上に保持されてもよく、あるいは、(例えばエッチング、研削、研磨等で)除去されてもよい。成長基板を除去することによって、例えば、得られるLEDを薄くしたり、かつ/又は、縦型LEDにかかる順方向電圧を低下させたりしてもよい。例えば、横型構造デバイス(成長基板はあってもなくてもよい)は、キャリア基板又はプリント回路基板(PCB)にフリップチップ接続(例えばはんだを用いて)してもよく、ワイヤボンディングしてもよい。縦型構造デバイス(成長基板はあってもなくてもよい)は、キャリア基板、実装パッド、又はPCBにはんだ接合される第1端子と、キャリア基板、電気素子、又はPCBにワイヤボンディングされる第2端子とを有していてもよい。縦型及び横型LEDチップ構造の例は、例えば、バーグマン(Bergmann)他による米国特許出願公開第2008/0258130号明細書及びエドモンド(Edmond)他による米国特許出願公開第2006/0186418号明細書に説明されており、これらの開示はその全体が参照により本明細書に援用される。
さらに説明するように、1つ以上のLEDを1種以上の蛍光物質で少なくとも部分的に被覆することも可能である。この蛍光物質は、LEDがLEDからの光と蛍光物質からの光の組み合わせを放出するように、LED光の少なくとも一部を吸収して異なる波長の光を放出する。一実施形態において、LEDは、LEDチップからの光の放出と蛍光物質からの光の放出との組み合わせである白色光を放出する。1つ以上のLEDは、種々の方法を用いて被覆及び作製が可能であるが、好適な方法の1つが、発明の名称が共に「ウエハレベル蛍光物質被覆方法及び同方法を用いて作製されたデバイス(Wafer Level Phosphor Coating Method and Devices Fabricated Utilizing Method)」である、米国特許出願第11/656,759号明細書及び同第11/899,790号明細書に説明されており、両出願とも、参照によりその全体が本明細書に援用される。1つ以上のLEDを被覆するための他の好適な方法は、発明の名称が「蛍光物質被覆システムならびに、蛍光物質被覆を含む発光構造及びパッケージ化された発光ダイオードのための方法(Phosphor Coating Systems and Methods for Light Emitting Structures and Packaged Light Emitting Diodes Including Phosphor Coating)」である米国特許出願第12/014,404号明細書、及び発明の名称が「光学材料を光学素子に適用するためのシステム及び方法(Systems and Methods for Application of Optical Materials to Optical Elements)」である、一部継続出願である米国特許出願第12/717,048号明細書で説明されており、これら出願の開示は、参照によりその全体が本明細書に援用される。また、LEDの被覆は、電気泳動堆積(EPD)等の他の方法を用いて行うことも可能であり、好適なEPD法は、発明の名称が「半導体デバイスの閉ループ電気泳動堆積(Close Loop Electrophoretic Deposition of Semiconductor Devices)」である米国特許出願第11/473,089号明細書に記載されており、同出願は、参照によりその全体が本明細書に援用される。本発明主題に係るLEDデバイス、システム、及び方法は、異なる色の複数のLEDを有することも可能であり、そのうちの1つ以上が白色光を放出してもよいことが理解されよう。
次に、図1〜24について参照する。図1は、全体が符号10にて示される発光デバイス又はLEDデバイスの平面図を示す。LEDデバイス10は、1つ以上のLEDを支持するサブマウント12を備えることができる。一態様において、全体が符号16にて示される発光領域は、サブマウント12の上方に配置することができる。一態様において、発光領域16は、LEDデバイス10に対して略中央に配置することができる。別の態様では、発光領域16は、LEDデバイス10上方の任意の位置、例えば角部や端縁部近傍に配置可能である。一態様において、発光領域16は略円形であってもよい。他の態様では、発光領域16は、略正方形、略楕円形、略矩形等の他の任意の好適な形状を有することができる。LEDデバイス10は単一の発光領域16又は2つ以上の発光領域16を備え得る。特に、LEDデバイス10は、一様な光源を発光領域の形態で備えることができ、これにより、単一の構成要素が要求される光学製品の製造者にとって製造工程を簡素化することが可能になる。LEDデバイス10はさらに、発光領域16の周囲に少なくとも部分的に配置された保持材料14を備えることができ、保持材料14はダムと呼ぶこともできる。保持材料14はまた、ツェナーダイオード44(図9)等の少なくとも1つの静電放電(ESD)保護デバイスの上方に配置することもできる(図9)。いくつかの態様では、保持材料を、2つの電気素子(図8)の間に直列接続された2つのツェナーダイオード44の上方に配置してもよい。
サブマウント12は、任意の好適な実装サブマウント又は基板、例えばプリント回路基板(PCB)、メタルコアプリント回路基板(MCPCB)、外部回路、又はLED等の照明デバイスを実装及び/又は取り付け可能な他の任意の好適なサブマウント又は基板を備えることができる。発光領域16は、サブマウント12と電気的かつ/又は熱的に接続状態にあってもよい。発光領域16とサブマウント12との間に1つ以上の介在層を配置することで、発光領域16がサブマウント12の上方に間接的に配置されて、これによりサブマウント12と間接的に電気的かつ/又は熱的に接続されるようにしてもよい。別例では、発光領域16がサブマウント12上に直接実装されることによって、サブマウント12と直接的に電気的かつ/又は熱的に接続され、あるいは連結されることができる。例として示すのみで本発明を限定するものではないが、一態様において、サブマウント12は、設置面積が22ミリメートル(mm)x22mmの正方形という小さな寸法を有し得る。別の態様では、サブマウント12は、任意の好適な寸法及び/又は形状、例えば円形や矩形を有し得る。
発光領域16は、例えば図7に示されているように、充填材料40の内部及び/又は下方に配置された複数のLEDチップ、すなわちLED25を備えることができる。LED25は、任意の好適な寸法及び/又は形状を有することができる。例えば、LED25は矩形、正方形、又は他の任意の好適な形状を有し得る。一態様において、充填材料40は、所定量の、又は選択的な量の蛍光物質及び/又はルミファー(lumiphor)を、所望の発光に適した量、例えば白色光変換に適した量で有する封止材料を含んでいてもよい。充填材料40は、白色と知覚される光、又は任意の好適な、かつ/もしくは所望の波長の光を観察できるように、複数のLED25から放出された光と相互作用することができる。封止材料及び/又は蛍光物質の任意の好適な組み合わせを用いることができ、所望の発光を生じさせるために様々な蛍光物質の組み合わせを用いることができる。別の態様では、充填材料40は成形されたレンズ材料を含んでいてもよい。例えば使用する蛍光物質の量や種類に応じて、充填材料40は、発光領域16が(図1に示しているように)ほぼ不透明となり得るようにほぼ不透明であってもよく、あるいは透明であってもよく、あるいは半透明であってもよい。保持材料14は、発光領域16の少なくとも一部分の周囲に分注、つまり配置されるように構成することができる。保持材料14の配置後、充填材料40が、保持材料14の1つ以上の内壁の間にある空間内に、任意の好適な高さまで選択的に充填されてもよい。例えば、充填材料40は、保持材料14の高さと同一の高さまで、又は保持材料よりも高いもしくは低い任意の高さまで充填することができる。充填材料40の上面は平面状であってもよく、凹状や凸状といった任意の好適な形状で湾曲していてもよい。
さらに図1を参照すると、LEDデバイス10はまた、全体が符号20にて示される少なくとも1つの開口又は穴を備えることができ、該開口又は穴は、LEDデバイス10を外部基板又は外部表面に取り付けやすくするために、サブマウント12を貫通するように、又はサブマウント12を少なくとも途中まで貫くように配置可能である。例えば、デバイス10を別の部材、構造体、又は基板に固定するために、1つ以上のねじを少なくとも1つの穴20に挿入してもよい。LEDデバイス10は、1つ以上の電気的装着面18も備えることができる。一態様において、装着面18は、はんだ接点等の電気接点を含む。装着面18は、任意の好適な構成、寸法、形状、及び/又は位置を有することができ、外部電源に接続されると電流や電気信号が流れ得る正極端子及び負極端子を備えることができる。溶接、はんだ付け、又は他の任意の好適な既知の取付方法を行って、1つ以上の導線(図示せず)が装着面18に取り付けられ、電気的に接続されてもよい。電流や電気信号は、装着面18に電気的に接続される外部導線からLEDデバイス10へ流れることができ、そしてさらに、光出力を促進するために発光領域16へと流れることができる。装着面18は、1つ以上のLED25を備える発光領域16に電気的に接続することができる。装着面18は、第1伝導性配線33及び第2伝導性配線34(図8参照)と、したがって電気コネクタを用いて電気的に接続され得るLED25と、電気的に接続されることが可能である。電気コネクタは、LED25を第1伝導性配線34及び第2伝導性配線33に電気的に接続するための、ワイヤボンドや他の好適な部材を含むことができる。
LEDデバイス10はさらに、LEDデバイス10の所与の側の電気的極性を示す指示標識又は記号を備えることができる。例えば、第1記号22は、LEDデバイス10の正極端子を備える側を示す「+」の標識を含むことができる。第2記号23は、LEDデバイス10の負極端子を備えている側を示す「−」の標識を含むことができる。LEDデバイス10の電気的特性及び/又は熱的特性を試験するために、1つ以上のテストポイント15を、デバイスの正極側又は負極側のいずれかに近接して配置することができる。一態様において、テストポイント15を負極側、つまりLEDデバイス10の端子に近接して配置することができる。
図2はLEDデバイス10の側面図を示す。図1及び図2に示されているように、保持材料14は、発光領域16の少なくとも一部の周囲であって、かつ、サブマウント12の上方に配置された略円形のダムを備えることができる。保持材料14はサブマウント12の上方に分注、位置決め、もしくはその他の方法で配置可能であり、任意の好適な寸法及び/又は形状を有することができる。保持材料14は任意の好適な反射材料を含むことができ、例えばシリコーンやエポキシ材料等の透明又は不透明の白色材料を含むことができる。不透明材料を得るために、例えば二酸化チタン(TiO)等のフィラー粒子を保持材料14に使用して添加することができる。保持材料14は、任意の好適な寸法及び/又は形状のダムを形成可能な自動分注機を用いて、所定の位置に分注もしくは堆積可能である。一態様においては、図示されるように円形状に分注可能であるが、例えば、矩形構成、湾曲構成、及び/又は所望の構成や断面形状を任意に組み合わせたものなど、他の任意の構成を提供することも可能である。図2がLEDデバイス10の側面図で示すように、保持材料14は、保持材料14のサブマウント12とは反対側の上面が丸みを帯びるように、丸みを帯びた外壁24を備えることができる。保持材料14の外壁24が丸みを帯び、又は湾曲していることにより、LEDデバイス10により反射される光の量をさらに向上させる可能性がある。
保持材料14は当技術分野で既知の任意の材料、例えば7%のヒュームドシリカと3%のTiOとメチルシリコーンを含むシリコーン材料を含むことができる。一態様において、保持材料14は光を反射するように構成されており、反射材料を含んでいてもよく、かつ/又は、反射材料で被覆されていてもよい。図3A及び図3Bに示されているように、保持材料14は、保持材料14がワイヤボンド26上方に配置されて少なくとも部分的にワイヤボンド26を被覆して、ワイヤボンド26の各々の一端といった少なくとも一部分を保持材料14内部に封入するように、1つ以上のLED25のワイヤボンディング後に分注されてもよい。図3A及び図3Bでは、LED25等のLEDの所与の組について、先頭と最後、すなわち最外端にあるLED25A用のワイヤボンド26を保持材料14内部に配置することができる。一態様において、保持材料14は、体積及び/又は高さを正確に制御するために、室温での分配中に「平坦化(planed)」することができる。TiOを添加すると、発光領域16の周囲で反射をさらに増大させることができ、これにより、LEDデバイス10の発光がさらに最適化される。チキソトロープ剤としてヒュームドシリカを添加することができる。保持材料14を分配することによって、基板面積を増大させることが可能になり、よって耐電圧をより高くすることができる。いくつかの態様では、LEDデバイス10は42ボルト(V)以上で動作可能とすることができる。
図3A、図3B及び図4は充填材料40の層がない発光領域16を示す。図3A及び図3Bは、LEDデバイス10と、LEDの少なくとも1つのパターン、つまり配列を備えた発光領域16とを示している。LED25は伝導性パッド30の上方に配列、配置、又は実装可能である。LED25は、LEDの組となるように配列され、又は配置することができ、該LEDの組は、1つ以上のストリング又はLEDを含むことができ、LEDの所与の組は、例えば、直列に、もしくは他の任意の好適な構成で電気的に接続された、LEDからなる1つ以上のストリングであってもよい。LEDの組を2つ以上設けることも可能であり、LEDの各組はLEDの他の1つ以上の組と平行に配列することも可能である。本明細書にさらに説明されているように、LEDの所与の組又はストリングの中のLEDは、任意の好適なパターン又は構成で配列可能であり、また、LEDの所与の組又はストリングの中のLEDであっても、1つ以上の異なるパターン又は構成で配列又は配置可能である。例えば、図3Aは、少なくとも3組のLEDの組が3つのパターン、例えば第1パターンP1、第2パターンP2、及び第3パターンP3の3パターンで配列された状態を示している。パターンP1、P2、P3の各々は、発光領域16をわたるばらつきのないパターン設計を含むことができる。パターンP1、P2、及び/又はP3のうちの2つ以上を使用することができる。パターンP1、P2、及び/又はP3の各々は、交互に配置されてもよく、あるいは任意の好適な構成に配列してもよい。例示目的で、3パターンのみを図示している。任意の数のパターン又は配列が想定され、各パターンは任意の好適な設計、例えば市松模様又は格子模様の設計又は配列を含むことができ、LEDは少なくとも2方向に、少なくともほぼ整列し得る。図3Bは、少なくとも3組のLEDの組がパターンをなすように、例えば図3Aに示されたパターンP1、P2、P3のうちの1つ以上を組み合わせた第1パターンP1A、第2パターンP2、及び第3パターンP3Aのパターンで配列された状態を示している。例えば、パターンP1A及びP3Aは、2つ以上のパターンの組み合わせを含むことができる。一態様において、パターンP1Aは格子配列又はパターンと直線配列又はパターンとを含むことができる。一態様において、パターンP3Aは市松模様パターン設計と直線パターン設計とを含むことができる。パターンP1A及びP3Aの各々は14個のLED25を備えることができ、各パターン設計は7個のLEDで構成され得る。例示目的で、2つのパターンの組み合わせのみを示している。しかしながら、LEDの各組は3つ以上のパターンを有する組み合わせを含んでもよいことに留意されたい。
図3A及び図3Bをさらに参照すると、伝導性パッド30は導電性及び/又は熱伝導性とすることができ、任意の好適な導電性及び/又は熱伝導性材料を含むことができる。一態様において、伝導性パッド30は伝導性金属を含むことができる。図3Aに示す一態様において、発光領域16は、伝導面、つまりパッド30の上方に単一のパターンに配列された1つ以上のLED25を備えることができる。別例では、図3Bが示すように、LEDは、伝導性パッド30上方に配列されたLED、例えばLED25、からなる2つ以上のパターンの組み合わせとして設けられてもよい。上述したように、発光領域16は、発光及びデバイスの輝度を最適化するために、異なる配列又はパターンの組み合わせ、例えば第1パターンP1、第2パターンP2、及び/又は第3パターンP3の組み合わせを備えることができる。伝導性パッド30上方に配置されたLED25の各組又は各ストリングは、1つ以上のLED25が間に配置される最外端LED25Aを含むことができる。LED25の各ストリングは、同一のパターンもしくは異なるパターン、例えばパターンP1、P2、及び/又はP3を備えることができる。LED25のストリングは同一及び/又は異なる色、つまり同一及び/又は異なる波長範囲のダイオードを備えることができ、また、所望の波長の放出光を実現するために、同色及び/又は異色のLED25の上方に配置された充填材料40(図7)内に、異なる色の蛍光物質を用いることができる。LED25からなる1つ以上のパターンは、発光領域16内のLEDアレイを含むことができる。
図3A,図3B,及び図4は、例えば、LED25を10列、つまり10ストリング備えた発光領域16を示している。LED25の各ストリングは、それぞれの電気素子に接続可能な最外端LED25Aの間で電気的に接続された任意の好適な数のLEDを備えることができる。一態様において、LED25の各ストリングは少なくとも14個のLEDを備えることができる。一態様において、LEDデバイスはアレイ内に配列された少なくとも140個のLEDを備えることができる。本明細書における配列、パターン、及び/又は複数のパターンの組み合わせは、LEDデバイス10から放出される光の色均一性と輝度を最適化するアレイを含むことができる。LEDは、隣接するLED25のボンドパッド同士を接続する1つ以上のワイヤボンド26を用いて、直列に電気的に接続することができる。一態様において、図3Aに示されているように、第1パターンP1は、それぞれが14個のLED25からなる1番目と10番目のストリングを含むことができる。第1パターンP1は、列の最初と最後、つまり最外端LED25Aの間に配置された、対向する2列のLED25を含むことができる。一態様において、第1パターンP1は、本明細書では格子配列、格子パターン、又は格子設計と呼ばれているものを含み、少なくとも2個のLEDが、少なくとも2方向に少なくともほぼ整列しており、LEDの組又はストリングの対向する端部において、整列していない単一のLEDを有することができる。第1パターンP1を構成するLED25の各々は、直列に電気的に接続することができる。一態様において、第2配列又は第2パターンP2は第1パターンP1に近接して配置されてもよく、例えば、LED25からなる2番目と9番目のストリングに位置していてもよい。一態様において、第2パターンP2は全部で14個のLED25を含むことができ、14個のLED25の各々は、直線設計又は配列で水平方向の線に沿って互いに隣接して配列可能であり、14個のLED25の各々は直列に電気的に接続可能である。任意の好適な数のLED25を直列等の任意の好適な構成又は配列に接続して、好適なパターンを有するストリングを構成することができる。直列接続の場合、LED25を直列に接続する際には、LED25のストリングを通じて正常に電流が流れるように、先行するLEDの正極又は負極が後続のLEDの逆の電気極性の電極に電気的に接続されるように注意を払わなくてはならない。
図3Aに示した第3パターンP3は、直列に電気的に接続されているLED25の市松模様設計又は配列を有する市松模様パターンを備えることができる。一態様において、少なくとも14個のLED25が市松模様パターンを構成し、第3パターンP3は第2パターンP2を有するLEDのストリングの間に、かつ/又は、該ストリングと交互に配置することができる。市松模様パターン又は第3パターンP3は、水平方向の線の上下に交互に配置されたLED25の組を含むことができる。パターンP1、P2、及びP3は、パターンの形状や少なくとも14個のLEDを含むものに限定されるものではなく、パターンは任意の好適な配列及び任意の好適な数のLED25を備えることができる。例示目的で、3つのパターンのみを図示しているが、任意の好適な数のパターンを使用することができる。第3パターンP3の交互に配置されたLED25により、発光が均一になり改善されるように伝導性パッド30をわたる均一な被覆と空間的な整列を確実に行うことで、光出力を最適化することができる。第3パターンP3は、LED25の3番目から8番目のストリングまで繰り返され得る。パターンP1、P2、及び/又はP3の各々について、LED25の所与のストリングにおける最初と最後のLED25Aは、電流や電気信号を送受したりLED25の所与のストリングを点灯させたりするために、第1伝導性配線33及び第2伝導性配線34(図7及び図8参照)に電気的に接続することができる。
発光領域16において、単一の組又はストリング内のLEDが、2つ以上のパターン又は構成にあるLEDを含んでいてもよい。例えば、図3Bは、発光領域16において実施可能なLEDの配列の一態様を示したものであり、限定するものではないが、ストリングとしてここでは示されているLED25の少なくとも2つの組が存在し、いくつかの組又はストリングのLED25は、別のLEDの組又はストリングに対して異なるパターン又は構成で配列されており、さらにはLEDのある単一の組又はストリング内でさえも、異なるパターン又は構成で配列されている。LED25からなる任意の2つの別個の組又はストリングは、LEDの該2つの組又はストリングの各々の中のLEDのうちのいくつか又は全てが、異なるパターン、同一のパターン、又はパターンの任意の組み合わせで配列可能であるように、パターンをなすように電気的に接続することができる。換言すれば、任意の組又はストリング内のLEDは、その組又はストリング内のLEDに対して異なるパターンにも同一のパターンにも配置可能であるのみではなく、LEDの別の組やストリングに対して任意のパターンで配置可能であり、この2つの組又はストリングは、一態様において、互いに平行とすることができる。例えば、図3BのLED25は、一態様において、発光及びデバイスの輝度を最適化するために、発光領域16が異なる配列又はパターン(例えば第1パターンP1A、第2パターンP2A、及び/又は第3パターンP3A)の組み合わせを備えるように配置可能である。
先に記したように、パターンP1A及びP3Aは2つの異なるパターンの組み合わせ、例えば市松模様配列、直線配列、及び/又は格子配列のうちの少なくとも2つの組み合わせを示しているが、3つ以上のパターンの組み合わせも想定される。3つのパターン(つまり市松模様、格子、直線)の配列のみを開示してきたが、任意の好適な配列又はパターン設計を使用することができる。伝導性パッド30の上方に配置されたLED25の各ストリングは、1つ以上のLED25が間に配置された最外端LED25Aを含むことができる。LED25の各組又はストリングは、同一の又は異なるパターン、例えばパターンP1A、P2A、及び/又はP3Aを備えることができる。LED25の組又はストリングは、同一のかつ/又は異なる色あるいは波長範囲のダイオードを含むことができ、また、所望の波長の放出光を実現するために、同一の又は異なる色のLED25の上方に配置される充填材料40(図7)内に、異なる色の蛍光物質を用いることができる。LED25のこの1つ以上のパターンは、発光領域16内のLEDアレイを含むことができる。例えば図3Bに示すように、パターンP3Aにおいて、LED25の組は、1番目のLEDの主軸(すなわち長軸)を少なくとも2番目のLEDの主軸とは異なる向きに配置するように配列された矩形のLEDを含むことができる。つまり、LED25の所与の組は、異なる向きのLED25を含むことができる。他の態様では、例えば図3Aに示されるように、パターンP2とパターンP3は、主軸がその組では同一であるが他の組の向きとは異なる、矩形のLED25の組を含むことができる。
本明細書で述べられているような種々のLED配列及びデバイス設計は、品質性能と光出力を維持しながら小型のデバイスを提供する課題がある場合に、小型の発光デバイスでありながら優れた性能と出力を有する発光デバイスを提供することについて効果的である。
図5は、形態と機能がLEDデバイス10に類似する、全体が符号50にて示されるLEDデバイスの第2の実施形態を示す。LEDデバイス50は、サブマウント12と、サブマウント12の上方に配置された発光領域16とを備えることができる。発光領域16は任意の好適な寸法、形状、数を有することができ、かつ/又は、サブマウント12上方の任意の好適な位置に配置することができる。保持材料14は、サブマウント12上方に、かつ発光領域16の周囲に少なくとも部分的に配置することができる。LEDデバイス50は、LEDデバイス10を外部基板又は外部面に取り付けやすくするために、サブマウント12に配置された1つ以上の開口又は穴20を備えることができる。LEDデバイス50は、LEDデバイス50の電気的極性を示す第1記号22及び第2記号23を備えることができる。LEDデバイス50は、LEDデバイス50の電気的特性及び/又は熱的特性を試験するために、デバイスの正極側に近接して配置されたテストポイント15を示す。LEDデバイス50はさらに、電流がLEDデバイス50の発光領域16へ流れやすくするために、1つ以上の外部導線(図示せず)に電気的に接続可能な少なくとも1つの電気的装着面18を備えることができる。一態様において、装着面18は湾曲した角部を備えた形状を有することができる。装着面18の角部又は端縁部が丸みを帯びていることにより、1つ以上の外部導線(図示せず)をLEDデバイス50に取り付ける際に、とがった角部よりもデバイス上方のはんだの流れをより良好に収めることができる。
図6は、図3A及び図3Bの伝導性パッド30の端縁部に沿った断面の一部分を示し、発光領域16には封止材料及び/又は蛍光物質等の充填材料40が充填されていない。図6は、発光領域16内のLEDの所与のストリングにおける最外端LED25Aと隣接するLEDを含むLED25を示す。図7は図1の断面の一部分を示したものであり、発光領域16上方に充填材料40が配置されている。例示目的で、図7では4個のLED25が示されており、直列に電気的に接続されている。しかしながら、先に述べたように、LED25の各ストリング又はパターンは任意の好適な数のLED25を備えることができる。一態様において、LEDの各ストリングは14個のLED25を備えることができる。図6及び図7は、1つ以上のワイヤボンド26によって直列に接続された1つ以上のLED25を示す。LED25は、伝導性パッド30の上方に配列可能であり、伝導性パッド30に対して直接、又は1つ以上の介在層を介して間接的に、熱を伝えることができる。LED25は当技術分野で既知の任意の取付手段を用いて伝導性パッド30又は介在層に取り付け可能である。一態様において、LED25は、はんだペースト、エポキシ、又はフラックスを用いて取り付け可能である。伝導性パッド30は単一構造のサブマウント12として一体的に形成してもよく、あるいは、サブマウント12の上方に配置された別個の層を備えていてもよい。伝導性パッド30は、1つ以上のLED25から生じた熱を放散することができる。
図6及び7がさらに示すように、LED25の列、ストリング、又はパターンにおける最外端LED25Aは、1つ以上の電気素子と電気的に接続又は連結することができる。電気素子は、LED25の各ストリングに電気信号又は電流を流す、すなわち供給するように構成された第1伝導性配線33及び第2伝導性配線34を備えることができる。第1伝導性配線33及び第2伝導性配線34の一方がアノードを構成し、他方がカソードを構成することができる。電気的極性は、先に説明したように、第1記号22と第2記号23(図1)で表示することができる。伝導性パッド30及び伝導性配線33,34は任意の好適な電気的かつ熱的に伝導性の材料を含むことができ、同一材料を含んでいてもよく、異なる材料を含んでいてもよい。一態様において、伝導性パッド30及び各伝導性配線は、任意の好適な技術を用いてサブマウントの一部分(例えば図7の誘電体層36)の上方に堆積させた銅(Cu)からなる層を含むことができる。電気絶縁性のソルダーレジスト32は、伝導性パッド30とそれぞれの伝導性配線33,34との間に少なくとも部分的に配置することができ、これにより、はんだを用いて1つ以上のLED25を伝導性パッド30の上方に取り付ける際に、はんだが伝導性配線33,34に対して電気的に接続されることができず、よって、LED25の1つ以上のストリングが電気的に短絡される。
図6は、発光領域16の周囲の保持材料14の様々な配置領域、位置、又は場所を示す。一態様において、保持材料14は、発光領域16の周囲において、少なくとも一部の周囲に、又は全体の周囲に分注することができる。従来のデバイスは、図6において破線で示されている従来の場所PAのような場所に配置される、分注により形成されるダムとは対照的である成形によって形成されたダムを備えることができ、ソルダーレジスト32が第1伝導性配線34に接触する部分の端縁部に沿って配置することができる。本発明主題は、領域、位置、又は場所R1、R2、及び/又はこれらの間の任意の場所に配置された保持材料14を想定している。保持材料14は、場所R1又はR2に配置された場合、最外端LED25Aを伝導性配線34等の電気素子に接続する1つ以上のワイヤボンド26の少なくとも一部の上方に配置されて、該少なくとも一部を被覆することができる。場所R1にある場合、保持材料14は、LED25のそれぞれのストリングにおける最外端LED25Aに接続されたソルダーレジスト32及びワイヤボンド26の各々の上方に少なくとも部分的に配置することができる。一態様において、保持材料14は、場所R1にある場合、ソルダーレジスト32のうちの伝導性パッド30と伝導性配線34との間に配置された部分の上方に全体を、かつ/又は、ワイヤボンド26の上方に全体を配置してもよい。別の態様では、保持材料14は、発光領域16内に配置されたLED25の各ストリングにおける各最外端LED25Aのワイヤボンド26の各々の上方に配置され、かつ該ワイヤボンド26を少なくとも部分的に、又は全体的に被覆してもよい。保持材料は、保持材料14と1つ以上のLED25との間で好適な距離を設けるために、サブマウント12上の所定の場所に分注することができる。特に、場所R1にある場合、保持材料が伝導性パッド30と第1伝導性配線33及び/又は第2伝導性配線34との間に配置されているため、保持材料14によってソルダーレジスト32の必要性をなくすことができる。場所R2は、ソルダーレジスト32の上方に少なくとも部分的に、かつ最外端LED25Aのワイヤボンド26の上方に少なくとも部分的に配置された保持材料14を示す。図示されるように、本明細書の発明主題による保持材料14は、略円形又は半球形の断面を有し得る。保持材料14に丸みをつけることによって、光を放出可能かつ/又は反射可能な表面積を増大させることができる。
図7は1つ以上のLED25からなるストリングを示し、例示目的で4個のLED25を示しているが、LED25のストリングは、任意の好適な数のLED(例えば、直列に配列された14個のLED25)を備えることができる。図7は、上方にLED25を実装可能、もしくは配列可能なサブマウント12の断面を示している。サブマウント12は、例えば、伝導性パッド30と、第1伝導性配線33及び第2伝導性配線34と、伝導性パッド30と伝導性配線33及び/又は伝導性配線34の各々との間に少なくとも部分的に配置されたソルダーレジスト32とを備えることができる。先に述べたように、保持材料が最外端LED25Aに近接して、例えば場所R1に配置されている場合、伝導性パッド30と第1伝導性配線33及び第2伝導性配線34との間にあるソルダーレジスト32は、もはや必要ではないため、省くことができる。ソルダーレジスト32は、伝導性配線33,34と装着面18(図8)との間に配置可能であり、装着面18の近位端は、図7では保持材料14に近接して、保持材料14の外壁24に近接していることが確認できる。サブマウント12はさらに、誘電体層36及びコア層38を備えることができる。例示目的で、サブマウント12は、MCPCB(例えば米国ミネソタ州チャンハッサン(Chanhassan)のバーグクィスト社(The Bergquist Company)が製造販売しているMCPCB)を備えることができる。しかしながら、任意の好適なサブマウント12を使用できる。コア層38は伝導性金属層、例えばCu又はアルミニウム(Al)、を含むことができる。誘電体層36は、サブマウント12を通じての熱放散がしやすくなるように、電気的に絶縁性であるが熱的に伝導性の材料を含むことができる。図7は、例えば位置R2に、ソルダーレジスト32と伝導性配線33,34を接続するワイヤボンド26との各々の上方に少なくとも部分的に配置された保持材料14を示す。図7は、1つ以上のLED25の上方に配置された充填材料40を示す。充填材料40は、保持材料14の高さよりも高い、低い、あるいは同一の高さといった、任意の好適な高さまで選択的に充填することができる。図示されるように、最外端LED25Aのワイヤボンド26は保持材料14内に少なくとも部分的に配置することができる。
図7はさらに、LEDデバイス10内に選択的に充填可能な充填材料40の第1の高さH1及び第2の高さH2の例を示している。第1の高さH1は、充填材料40がLED25の上方に配置される高さを含み得る。この高さはプロセス変動に起因してばらつく可能性があるため、最適な輝度のためには、LED25のストリング上方の平均の高さが使用され、制御され得る。第2の高さH2は、充填材料40が伝導性パッド30の上面の上方に選択的に配置された高さを含み得る。第2の高さH2は、例えば、保持材料14の場所を制御することによって、及びそれが場所R1、R2、もしくはその間の任意の位置と想定されるか否かによって制御可能である。第2の高さH2はまた、保持材料14により区画された空隙内に分注される充填材料40の量を制御することによっても制御可能である。
保持材料14で区画された空隙、つまりダム内の充填材料40の体積を制御することにより、第1の高さH1及び/又は第2の高さH2が影響を受ける可能性があり、かつ、LEDデバイス10から放出される光の色、すなわち波長の微調整又は極微調整を顕著に可能なものとすることができる。したがって、LEDデバイス10の色を極微調整すると、製品の歩留まりを理想的には100%まで高くすることが可能である。例えば、充填材料40に含有される色に影響を与える成分(蛍光物質を含むがこれに限定されない)の量を選択的に加えることが可能であり、デバイス10内で使用されるLED25の波長に応じて、第1の高さH1及び/又は第2の高さH2は、発光領域16内の充填材料40の量を少なく又は多く充填することによって、選択的に制御することができる。保持材料14の場所、例えば、保持材料をR1、R2、又はこれらの間の任意の位置又は距離に配置することも、第1の高さH1及び/又は第2の高さH2に影響を及ぼし得る。色の極微調整は、例えば充填材料40の総分注可能体積に対する蛍光物質の体積比を変更することにより、複数のデバイスにわたって、あるいははデバイス、つまりパッケージ単位で実現可能である。LEDデバイス10の所望の全体の波長出力を得るために、充填材料40の総分注可能体積に対する蛍光物質の体積比を、所与のデバイスで使用するために選択されたLED25の波長範囲に基づいて調整することができる。例えば、保持材料14によって形成されたダムの直径及び/又は保持材料14の高さは、それぞれ、高さH1及び/又は高さH2、よって充填材料の体積に影響し得るが、これらを調整することによって、個々のデバイス10の色を極微調整してより高い歩留まりを達成することができる。特に、充填材料の色に影響する成分を微調整するように充填材料の体積を選択的に制御することによって、1つ以上のLEDから発生した光を所定のかつ精密な色範囲に収めることができる。
図8は、少なくとも発光領域16の一部の周囲に保持材料14を配列、分注、もしくは配置する前の、サブマウント12を備えたLEDデバイス10を示す。例示目的で、LED25からなる1番目のストリングのみを図示しているが、先に述べたように、発光領域は、直列に電気的に接続されたLED25の2つ以上のストリングを備えることができる。一態様において、LEDデバイス10は、直列に接続されるLED25のストリングを10個備える。図示されるように、伝導性パッド30の上方に配列されているLEDが、ワイヤボンディング及びワイヤボンド26によって、又は他の任意の好適な接続方法によって、各配線と電気的に接続できるように、サブマウント12は、保持材料14の配置前に、伝導性パッド30の周囲に略円形の配列で配置された第1伝導性配線33及び第2伝導性配線34を備えることができる。例示されるように、LED25の各ストリングにおける最外端LED25Aは、伝導性配線に対して電気的に接続することができる。
伝導性配線33と伝導性配線34との間には少なくとも1つの間隙42が存在し得る。LEDデバイス10及び本明細書で開示されているデバイスはさらに、間隙42内に位置決め又は配置される、ESDによる損傷から保護するための素子を備えることができる。一態様において、様々な縦型シリコン(Si)ツェナーダイオード、LED25に対して逆バイアスに配列された複数のLED、表面実装型バリスタ、横型Siダイオード等の様々な素子を使用することができる。一態様において、少なくとも1つのツェナーダイオード44を第1伝導性配線33及び第2伝導性配線34の端部間に配置することが可能であり、ツェナーダイオード44は、LED25のストリングに対して逆バイアスされてもよい。一態様において、電流がダイオード44を通ってワイヤボンド46内に、そしてそれぞれの伝導性配線33,34へと流れることができるように、ツェナーダイオード44は、電気的に、かつ/又は熱的に伝導性の面又は領域54の上方に配置することができる。さらなる態様では、より高電圧での用途のために、ツェナーダイオード44を2個、1つ以上のワイヤボンド46を用いて第1伝導性配線33及び第2伝導性配線34の間で直列に電気的に接続することができる。ツェナーダイオード44は通常黒色で光を吸収するため、少なくとも1つのツェナーダイオード44を伝導性配線33と伝導性配線34との間の間隙42に、かつ、保持材料14の下に配置すると、光出力の強度をさらに高めることができる。
図8はまた、伝導性パッド30の1つの配置可能な場所を示している。すなわち、伝導性パッド30は、伝導性配線33及び34の間に配置された、ほぼ中央に位置する円形のパッドで構成され得る。しかしながら、伝導性パッド30は、サブマウント上方の任意の好適な場所に位置することができ、デバイスのほぼ中央以外の任意の場所に位置することができる。ソルダーレジスト32は、ソルダーレジスト32が伝導性パッド30の周囲に略円形の配置を有するように、各伝導性配線と伝導性パッド30との間に少なくとも部分的に配置することができる。ソルダーレジスト32はまた、伝導性配線の外側の領域、例えばそれぞれの伝導性配線と1つ以上の装着面18との間に配置することもできる。破線52は、伝導性配線33,34を構成する電気的に、かつ/又は、熱的に伝導性の材料の寸法及び/又は形状の実施可能な一態様を示している。破線により、この材料をソルダーレジスト32の下方にどのように配置可能であるかを示している。このため、装着面18は、それぞれの伝導性配線と電気的に、かつ/又は、熱的に接続され、同一の材料層を含むことができる。外部の導線(図示せず)が装着面18に電気的に接続可能であり、電流又は電気信号が装着面18からそれぞれの伝導性配線へと流れることができる。電流は、ソルダーレジスト32の層の下方に配置される、点線52で示された伝導性材料に沿って流れることができる。電流は伝導性配線に流入可能、かつ/又は、伝導性配線から流出可能であり、したがって、伝導性パッド30の上方に実装されたLED25の各ストリングに流出入可能である。テストポイント15も、伝導性材料を含むことができ、破線52で示されているような伝導性領域内に配置することができる。テストポイント15は、図示のように配線34の左に、又は図10に示されているように配線34と装着面18との間に配置することができる。
上述のように、ツェナーダイオード44は通常黒色であり、光を吸収する。図9は保持材料に配置後のツェナーダイオード44を示す。一態様において、保持材料14は、少なくとも1つのツェナーダイオード44の上方に少なくとも部分的に配置することができる。別の態様では、保持材料14は、光出力の強度をさらに高めるためにダイオードが完全に覆われるように、少なくとも1つのツェナーダイオード44の上方全体に配置することができる。ツェナーダイオード44は、電流がダイオード44を通ってワイヤボンド46に、そしてそれぞれの伝導性配線33,34に流れることができるように、電気的に、かつ/又は、熱的に伝導性の面又は領域54の上方に配置することができる。
本明細書で開示されるLEDデバイスは、有利にエネルギー消費が低減されていながら、同等又はそれ以上の照度を得ることができる。一態様において、通常のダウンライト用途で用いた場合、LEDデバイス10及び/又は50に基づく照明器具では、26ワットのCFLや100ワットの白熱電球と比べて、得られる照度が38%上昇し得るが、14ワットしか消費しない。一態様において、LEDデバイス10によって、60ワットのA型電球と同等品でありながら11ワットしか消費しない製品が実現できる。LEDデバイス10は、3000Kの温白色の色温度を有し、11ワットでは1050ルーメン、27ワットでは2000ルーメンの光出力を有することができる。
図10は、全体が符号55にて示されるLEDデバイスの別の実施形態を示す。LEDデバイス55は、発光領域16の少なくとも一部の周囲に保持材料14(図11)を配列、分注、もしくは配置する前のサブマウント12を示している。例示目的で、LED25からなる1番目のストリングのみを図示しているが、発光領域は、直列に電気的に接続されたLED25の2つ以上のストリングを備えることができる。LED25の各ストリングは同一のパターン、又は異なるパターンを含むことができる。伝導性パッド30の上方に配列されるLEDが、ワイヤボンド26によるワイヤボンディングによって、又は他の任意の好適な接続方法によって、各配線に電気的に接続できるように、サブマウント12は、保持材料14の配置前に、伝導性パッド30の周囲に略円形の配列で配置された第1伝導性配線33及び第2伝導性配線34を備えることができる。例示されるように、LED25のそれぞれのストリングにおける最外端LED25Aは、伝導性配線に対して電気的に接続可能である。実際、本明細書で説明されるLEDデバイスの場合、発光領域16は、最外端LED25Aがワイヤボンド26を介して伝導性配線33,34等の接点領域にワイヤボンディングされている状態で、最外端LED25Aにより少なくとも部分的に区画された、単一の、かつ分割されていない実装領域を備えることができる。最外端LED25AではないLED25は、ワイヤボンド26によって、1つ以上のパターン又はアレイを有するストリングにおいてワイヤボンディングされる。
伝導性配線33と伝導性配線34との間には少なくとも1つの間隙42が存在し得る。この実施形態では、間隙42内に1つ以上のESD保護デバイス又はツェナーダイオード44を配置することができ、該ESD保護デバイス又はツェナーダイオード44は、伝導性領域54に対して電気的に接続可能、又は実装可能である。この実施形態では、ツェナーダイオード44は、上面に電気接点が2つあるLED25(例えば水平構造)とは異なり、上面及び底面に1つずつの電気接点(例えば垂直構造)を備えることができる。この実施形態では、伝導性領域54はツェナーダイオード44の設置面積よりも大きな領域を含むことができる。ツェナーダイオード44は、伝導性領域54の上方において、第1伝導性配線33の端部と第2伝導性配線34の端部との間に配置することができる。ツェナーダイオード44は、LED25の1つ以上のストリングに対して逆バイアスされることが可能である。例えば、ツェナーダイオード44を1個用いた場合、1つ以上のワイヤボンド46によって、伝導性領域54を第1伝導性配線33及び第2伝導性配線34の一方に接続して、ツェナーダイオード44がLED25のストリングに対して逆バイアスされるようにすることができる。ツェナーダイオード44は通常は黒色であり、光を吸収するため、少なくとも1つのツェナーダイオード44を伝導性配線33と伝導性配線34との間において間隙42内に、かつ、保持材料14(図9)の下に配置すると、光出力の強度をさらに高めることができる。
図10はまた、テストポイント15の1つの実施可能な場所を示している。テストポイント15は、ソルダーレジストの下方に配置される導電性材料に対応する、破線52で示される領域内に配置することができる。破線52は、伝導性配線33,34と装着面18とを電気的に結合するためにサブマウント12上又はサブマウント12内に堆積可能な導電性材料の寸法及び/又は形状の実施可能な一態様を示す。この電気的結合によって、装着面18から、配線33,34に電気的に接続されたLED25の1つ以上のストリングへと電流を流すことができる。破線により、この材料をソルダーレジスト32の下方にどのように配置可能であるかを示している。したがって、テストポイント15及び装着面18は、それぞれの伝導性配線と電気的に、かつ/又は、熱的に接続され、同一の材料層を含むことができる。ソルダーレジスト32は、ソルダーレジスト32が伝導性パッド30の周囲で略円形の配列を有するように、それぞれの伝導性配線と伝導性パッド30との間に少なくとも部分的に堆積又は配置することが可能である。伝導性パッド30は、向きを定めるために、また保持材料14の位置を適切に合わせるために、1つ以上の印又はノッチ62を備えることができる。
ソルダーレジスト32はまた、伝導性配線の外側の領域、例えばそれぞれの伝導性配線と1つ以上の装着面18及び/又はテストポイント15との間に、堆積することも可能である。外部の導線(図示せず)を装着面18に電気的に接続することができ、電流又は電気信号が装着面18からそれぞれの伝導性配線へと流れることができる。電流は、ソルダーレジスト32の層の下方に配置される、点線52で示された伝導性材料に沿って流れることができる。電流は、伝導性配線に流入可能、かつ/又は、伝導性配線から流出可能であり、したがって、伝導性パッド30の上方に搭載されたLED25の各ストリングに流出入可能である。一態様において、テストポイント15は、好適な温度検知器(図示せず)で調べる際に、デバイスの熱的特性の試験を可能にする。図10に例示された配列、つまり、保持材料14を配置する前における伝導性配線33,34、伝導性領域54、ツェナーダイオード44、及びテストポイント15の各位置は、上述のLEDデバイス、例えばデバイス10やデバイス50、又は図11〜14に説明されているいずれかのデバイスのうちの任意の1つに対応していてもよい。例えば、図11〜14に示されたLEDデバイスは、全体が符号20にて示される少なくとも1つの開口又は穴を備えることができ、該開口又は穴は、LEDデバイスを外部基板又は外部面に取り付けやすくするために、サブマウント12を貫通して、又はサブマウント12の少なくとも一部を貫くように配置することができる。さらに、正極端子及び負極端子を備えるLEDデバイスの部分を示すために、第1記号22及び第2記号を用いることができる。LEDデバイスの電気的特性及び/又は熱的特性を試験するために、1つ以上のテストポイント15を、デバイスの正極側又は負極側のいずれかに近接して配置することができる。
図11〜14は、LEDデバイスの様々な実施形態の平面図を示す。このようなデバイスは、多くの態様が上述のLEDデバイス10,50に類似していてもよいが、パターンの変更によって異なる光出力を実現することに加えて、低電圧用途及び/又は高電圧用途の範囲に関して有用であり得る。例えば、図11は、より低い電圧用途で使用できる、全体が符号60にて示されるLEDデバイスの一実施形態を示す。例示目的で示すものであり、本発明を限定するものではない一態様において、LEDデバイス60は約16Vで動作可能とすることができる。一態様において、LEDデバイス60は約16Vよりも低い電圧、例えば14Vから16Vで動作可能とすることができる。一態様において、LEDデバイス60は約16Vよりも高い電圧、例えば16Vから18Vで動作可能とすることができる。一態様において、LED25を140個を超える数、例えばLEDデバイス10よりも多い数で使用し、かつ、LED25のパターンを変更することによって、LEDデバイス60をより低い電圧用途において動作可能とすることができる。一態様において、パターンは、14個より少ない数のLED25をまとめて列又はストリング状に電気的に接続することによって変更してもよい。
図11は、発光領域16内にLED25の網目状アレイを構成する2種類のパターンをなすように配列されたLEDからなる少なくとも2つの組を示す。例えば、LEDの第1の組は上述の第2パターンP2を含むことができる。LEDの第2の組は第4パターンP4を備えることができる。各パターンは、例えば、直列に電気的に接続された5個のLED25からなるストリングを30個備えることができる。つまり、所与のストリングにおいて、14個(図3A,3B)よりも少ない数のLED25が直列に電気的に接続されてもよい。LED25の最初と最後のストリングは、上述の第2パターンP2にしたがって直列に電気的に接続された5個のLED25を備えることができる。2番目から29番目のストリングは、1番目と30番目のストリングとは異なる別のパターンを含むことができる。例えば、図11は、パターンP2にしたがって直列に電気的に接続された5個のLED25を示しており、該ストリングは、発光領域16の丸みを帯びた1つ以上の外縁に近接した伝導性パッド30上に配置することができる。1番目と30番目のストリングに配列されたLED25は、限定しない例として、互いに対して等距離に離間され、パターンP2にしたがって発光領域16をわたって均一に配置されてもよい。パターンP2をなすように配列されるLED25は、LED25の長軸同士がほぼ平行である直線配列を構成可能である。パターンP2内のLED25の短軸同士も少なくともほぼ平行であり得る。パターンP2で配列されたLED25の長軸は、ワイヤボンド26に対して直交するように配列可能である。さらに、パターンP2をなすように配列されたLED25の長軸は、隣接するパターン、例えばパターンP4をなすように配列されたLED25の長軸と直交するように配置することができる。
一態様において、パターンP4は、直列に電気的に接続される、伝導性パッド30をわたる5個のLED25を備えることができる。パターンP4はLEDからなる直線を含み、5個のLED25の各々は、LED25の長軸が直線に沿ってほぼ整列しているように位置決めすることができる。一態様において、各LED25の長軸は、LED25を保持材料14の下方に配置された伝導性配線33,34に接続するワイヤボンド26の方向と同一の方向に整列させてもよい。隣接するストリング同士、例えば、パターンP4で接続されるLED25の2番目から29番目のストリングにおける隣接するストリング同士は、LED25がほぼ市松模様状の配列を構成するように、直線の上下に交互に配置することができる。つまり、パターンP4で配列されるLED25の1番目のストリング(つまり、パターンP2を含む1番目のストリングの下に配置されたLED25の全体としては2番目のストリング)は、等距離で離間して配置された5個のLED25を備えることができ、隣接するLED25同士の間に空間が残される。別例では、パターンP4内のLED25は市松模様配列をなすようにワイヤボンディング可能であるが、これはデバイス60が動作可能である電圧を高くする可能性がある。パターンP4をなすように配列されたLED25の1番目のストリングの下には、パターンP4をなすように配列されたLED25の後続のストリングが、各LED25が先行するストリングの隣接するLED25同士の間の空間のほぼ内部に、かつ/又は、該空間のわずかに下方にあるように、位置決め又は配置することができる。すなわち、パターンP4をなすように配列されたLED25は、ストリング内の各LED25の下端縁が同じ第1の直線に沿って整列するように配列された第1のストリングを備えることができる。パターンP4の隣接した次のストリング内のLED25は、各LED25の上端縁も、その前のストリング内のLED25の下縁端と同じ第1の直線に沿って整列するように配列することができる。よって、所与のストリングにおいて、隣接するLED25同士の間にある空間の上及び/又は下に、先行ストリングのLED25と後続ストリングのLED25とが交互に配置され、隣接するストリング同士のLED25の上端縁と下端縁とを同一の線に沿って配列可能である。この配列は、LED25が、隣接する1つ以上のLEDが光を遮ることなくLEDデバイス60から均一に発光することを効果的に可能にすることができる、略市松模様形状の方向付けを含む。
パターンP4をなすように配列されたLED25の追加のストリングも、直前で説明した最初の2つのストリングにしたがって交互に配置することができる。パターンP4を含むLED25のストリングは、発光領域16の上方で同一又は同様の幅を有することができる。つまり、所与のストリングの隣接するLED25同士は、各々を等距離で離間させて配置可能であるが、ストリングの全長は発光領域16全体にわたって均一でなくてもよい。むしろ、LED25は、2番目の列から29番目の列までが発光領域16の上方に略網目状アレイを形成するように、離間して配置することができる。一態様において、LED25は発光領域16の上方に矩形アレイを形成し、該矩形アレイは、水平方向部分、つまり伝導性パッド30の弦の略同様の部分を利用する。一態様において、LEDデバイス60は、LEDの2つ以上のストリングに配列されたLED25の少なくとも1つのグループを含むことができ、全体の構成は所定の幾何学形状、例えば限定しない例として矩形とすることができる。任意の好適な数のLED25が直列に接続されてもよい。より少ない数のLED25(例えば図11に例示されるような直列に接続された5個のLED25)は、LEDデバイス60をより低い電圧、例えば16Vでの用途に適したものにすることができる。例示目的で、より低い電圧で動作させるために、1つ以上のパターンをなすように配列された5個のLED25のストリングが30個示されているが、直列に電気的に接続される任意の好適な数のストリング及び/又はLED25が想定される。
LEDデバイス60は、ワイヤボンド26等の電気コネクタを介して伝導性配線33,34に電気的に接続される最外端LED25Aを含むことができる(図10)。保持材料14は伝導性パッド30の周囲に少なくとも部分的に、かつワイヤボンド26の上方に少なくとも部分的に分注することができる。保持材料14は、例えば図7に示されているように充填材料40の内部及び/又は下方に配置される複数のLEDチップ、すなわちLED25を備え得る発光領域16の周囲に分注することができる。充填材料40は、保持材料14によって少なくとも部分的に収容可能であり、保持材料は、充填材料の様々な高さを所望に応じて制御又は調整するために使用することができる。特にLEDデバイス60は、均一な光源を、まとまりのある非分割の単一の発光領域の形態で含むことができ、該発光領域は、単一の構成要素が要求される光学製品の製造者にとって製造工程を簡素化することを可能にする。LED25は、隣接する1つ以上のLED25によって光を遮られることなく、デバイス60が効果的に均一な光を放出できるように、好適な距離だけ離間して配置することができる。例えばLEDデバイス10,60に開示されるパターン及びパターン間隔(つまり、隣接するLED25同士の間隔やLED25の隣接するストリング同士の間隔)は、隣接するLED25やLED25の隣接するストリングによって遮られる光の量を削減することで、光抽出の最適化を可能にする。例えば、所与のストリング内及び1つ以上のストリング間の間隔を最大化するように隣接するLED25同士の間隔を(例えば図12〜14Bに示されているパターン間隔まで)広げて、所与のLEDデバイスの効率や光抽出をさらに高めることにより、例えばLEDデバイス10,60に開示されるパターン間隔をさらに構築し、拡張することができる。
図12〜図14Bは、より高い電圧、例えば例示でありこれには限定されないが、約42Vで動作可能であり得るLEDデバイスの平面図を示す。一態様において、図12〜図14Bに示されるLEDデバイスは、デバイスが約16Vより高い電圧で動作するように構成されるように、1ストリングあたり6個以上のLED25を備えることができる。図12は、例えば14個のLED25からなるストリングを5個有している、全体が符号70にて示されるLEDデバイスを示す。LEDデバイス70は、1つのパターン又は2つ以上の異なるパターンで配列されたLED25のストリングを備えることができる。例えば、伝導性パッド30の丸みを帯びた端縁に近接する最初と最後のストリングは、上述のパターンP2をなすように配列された14個のLED25を備えることができる。パターンP2の中の隣接するLED25の長手方向軸は、互いに少なくともほぼ平行であるように整列させることができる。パターンP2内の隣接するLED25の長手方向軸は、隣接するLED25同士を接続するワイヤボンド26の方向に少なくともほぼ直交する向きとすることができる。説明されている各LEDデバイスについて、LEDの任意の形状、向き、又は構造が想定される。一態様において、LEDデバイス70は全部で70個のLED25を備えることができる。
さらに図12を参照すると、第2パターンP2の最外端のストリング同士の間に配列されるLED25のストリングは、異なるパターン、例えば図3A及び図3Bで先に説明した第3パターンP3を含むことができる。第3パターンP3は、直列に電気的に接続されるLED25からなる略市松模様パターン又は配列を含むことができる。一態様において、パターンP3は、第2パターンP2を有するLEDのストリングの間に、かつ/又は、第2パターンP2を有するLEDのストリングと交互に配置可能である。市松模様パターン又は第3パターンP3は、水平方向の線の上下に交互に配置されたLED25の組を含むことができる。LEDデバイス70は、例えば、発光領域16及び/又は伝導性パッド30をわたって均一に配置されてもよい。一般に、伝導性パッド30の水平方向部分のかなりの部分を利用するために、LEDデバイス70の各ストリングにおいて隣接するLED25同士を等間隔で離間させることができる。つまり、デバイス70内のLED25が、上述のLEDデバイス60と比べて、表面積においてより広い範囲を、また、伝導性パッド30の水平方向部分においてより長い範囲を占めることができる。例示目的で、2つの異なるパターンをなすように配列された14個のLED25のストリングを5個図示しているが、直列に電気的に接続される任意の好適な数のストリング及び/又はLED25が想定される。
図13A及び図13BはLEDデバイスのさらなる実施形態を示す。一態様において、図13A及び図13BのLEDデバイスは、14個のLED25のストリングを6個、よって全部で84個のLED25を備える。図13Aを参照すると、全体が符号80にて示されるLEDデバイスは、例えば伝導性パッド30をわたって単一のパターンで配列されたLED25の1つ以上のストリングを備えることができる。デバイス80の1つ以上のストリングは、同一のパターン及び/又は異なるパターンを有することができる。例示目的で、上述のパターンP3が図示されている。LED25は、水平方向の線の上下に交互に配置される市松模様パターンにて配列されてもよい。隣接するLED25同士は、伝導性パッド30の表面積の大部分にわたって互いに略均一な距離だけ離間されるように配置することができる。市松模様配列、例えばパターンP3は、1つ以上の隣接するLED25が光を遮ることなくLED25がLEDデバイス80から均一に光を放出することを効果的に可能にする。
図13Bは、全体が符号85にて示される、6個のストリングを有するLEDデバイスの別の実施形態を示す。LEDデバイス80と同様に、LEDデバイス85は、14個のLED25のストリングを6個備えることができる。同一のストリング内の隣接するLED25同士の間隔及び異なるストリングの隣接するLED25同士の間隔は最大にされ、隣接するLEDによって吸収される光の量を最小に抑えている。一態様において、LEDデバイス85は、最初と最後のストリングとして上述の第1パターンP1(図3A)を備える。特に、パターンP1及びパターンP3のLED25は、伝導性パッド30の少なくともほぼ全長及び全幅にわたって広がっている。LEDデバイス85内のLED25の2番目から5番目のストリングは、パターンP3を含む。図13Aの6個のストリング配列を図13Bの6個のストリング配列と比較すると、図13Bのストリングの方がより広がっている、つまり、伝導性パッド30上で垂直方向にも水平方向にもより離間して配置されており、より広い実装領域を利用していることは明らかである。LED25のストリング同士の間の間隔を最大にすることで、隣り合うLED25により吸収又は遮断される光の量を最少に抑えることができる。
一態様において、LEDデバイス80からLEDデバイス85では、パターンP3について、垂直方向においてストリング内の間隔、つまり、同一のストリングの隣接するLED25同士の間隔は、少なくとも約31%、つまり125μm以上増加した。同様に、パターンP1におけるLED25のストリング内の間隔は、水平方向方向と垂直方向の両方で増加及び/又は向上した。例えば、LEDデバイス10のP1からLEDデバイス85のP1では、間隔は、水平方向では約41%以上、つまり225μm以上、垂直方向では少なくとも約27%以上、つまり210μm以上増加した。ストリング間の間隔、つまり、隣接するストリングのLED25同士の間隔は、LEDデバイス85では少なくとも約68%、つまり750μm以上増加し得る。特に、LEDデバイス85はLEDデバイス80と同数のLED25、例えば84個のLEDを備えることができるが、LEDデバイス85はLEDデバイス80と比較して、効率と輝度が少なくとも約1%〜3%、もしくはそれ以上増加し得る。一態様において、ある6個のストリング配列から別の6個のストリング配列にすると、説明したように、隣接するLED25同士の間隔が増加すると、効率が少なくとも約2.5%以上増加可能であり、例えばLEDデバイス85はLEDデバイス80よりも効率が2.5%以上増加し得る。例えば、LEDデバイス85は、上述のLEDデバイス80の光出力よりも少なくとも約2.5%以上高い光出力を有することができるが、これは11ワットでは約1050ルーメン以上、27ワットでは約2000ルーメン以上になり得る。
図14A及び図14Bは、LEDデバイスのさらなる実施形態を示す。一態様において、図14A及び図14BのLEDデバイスは、14個のLED25のストリングを8個備える。図14Aを参照すると、全体が符号90にて示されるLEDデバイスが示されており、該LEDデバイスは、より高い電圧、約42V以上(これに限定されない)の電圧で動作可能とすることができる。LEDデバイス90は、発光領域16及び/又は伝導性パッド30をわたって1つ以上のパターンで配列されたLED25の1つ以上のストリングを備えることができる。一態様において、LEDデバイス90は、2つ以上のパターンで配列されたLED25のストリングを8個備えることができる。LED25の各ストリングは14個のLED25を備え、つまり全部で112個のLEDを備えることができる。一態様において、最初と最後のストリングは、上述のパターンP2を含むことができる。LED25の2番目から7番目のストリングは、上述のパターンP3を含むことができる。特に、図11〜図14Bで示されるLEDデバイスは、均一な光源を、まとまりのある、分割されない単一の発光領域の形態で含むことができ、該発光領域は、単一の構成要素が要求される光学製品の製造者にとって製造工程を簡素化することを可能にする。
図14Bは、全体が符号95にて示される、8個のストリングを有するLEDデバイスの別の実施形態を示す。LEDデバイス90と同様に、LEDデバイス95は14個のLED25のストリングを8個備えることができる。同一のストリング内の隣接するLED25同士の間隔及び異なるストリングの隣接するLED25同士の間隔は最大にされて、隣接LEDにより吸収される光の量を最少に抑えている。一態様において、LEDデバイス95は、最初と最後のストリングとして上述の第1パターンP1(図3A)を含むことができる。2番目と7番目のストリングはパターンP2を含むことができ、3番目から6番目のストリングはパターンP3を含むことができる。特に、パターンP1、P2、及びP3のLED25は、伝導性パッド30の少なくともほぼ全長及び全幅にわたって広がっている。パターンP1、P2、及びP3のLED25は、隣接するLED25によって遮られる光の量を低減できるように、水平方向及び/又は垂直方向においてより広い距離で離間させることができる。一態様において、LEDデバイス10のP1からLEDデバイス95のP1では、パターンP1内の間隔は水平方向では少なくとも約41%、つまり225μm以上、垂直方向では少なくとも約27%、つまり210μm以上増加した。同様に、パターンP2におけるLED25同士の間の水平方向及び/又は垂直方向の間隔は、LEDデバイス90のP2よりも少なくとも約4%以上増加し得る。ストリング間の間隔、つまり、隣接するストリングのLED25同士の間隔は、LEDデバイス95では少なくとも約68%、つまり750μm以上増加し得る。特に、LEDデバイス95はLEDデバイス90と同数のLED25、例えば112個のLEDを備えることができるが、LEDデバイス95は、LEDデバイス90と比較すると、効率と輝度が少なくとも約1%〜2%、もしくはそれ以上増加し得る。
一態様において、図3A、図3B、及び図11〜図14Bで開示されたLEDデバイス10,50,60,70,80,85,90,95は、伝導性パッド30の上方に1つ以上のパターンで配列された多数のLED25を備えることができる。一態様において、本明細書で開示されるLEDデバイスは、64個より多い数のLED25を備える。例えば、本発明を限定しない一態様において、LEDデバイス10は全部で140個のLED、つまり直列に電気的に接続されたLED25のストリングを10個備えることができる。LEDデバイス60は全部で150個のLED、つまり直列に電気的に接続された5個のLED25のストリングを30個備えることができる。LEDデバイス70は全部で70個のLED、つまり14個のLED25のストリングを5個備えることができる。LEDデバイス80は全部で84個のLED、つまり14個のLED25のストリングを6個備えることができる。LEDデバイス90は全部で112個のLED、つまり14個のLED25のストリングを8個備えることができる。本明細書で説明されるLEDデバイスに用いられるLED25は、伝導性パッド30と比較すると、小さな設置面積、すなわち小さな表面積を有することができる。本発明を限定しない例として、LED25は以下の表1に示される寸法のチップを含むことができる。
Figure 0005937696

本発明を限定しない一態様において、伝導性パッド30は、約6.568mmの半径及び約135.5mmの面積を有することができる。よって、1つのLEDチップ25の面積と伝導性パッド30との面積の比率は約0.0027以下とすることができる。一態様において、1つのLEDチップ25の面積と伝導性パッド30の面積との比率は約0.0018以下とすることができる。他の態様では、比率は約0.0012以下とすることができる。以下の表2では、種々のLED25のチップサイズと伝導性パッド30の面積を列挙している。LED25は、伝導性パッドの面積と比べると小さい、つまり伝導性パッドの面積の約0.0027倍以下のチップを備えることができる。しかしながら、任意のチップサイズを使用することができる。
Figure 0005937696

単一の発光領域の上方に設置面積がより小さいLED25を多数用いることにより、発光領域16の一部の上方にLED25を1つ以上の均一なパターンで配列可能であるため、高輝度等の所望の光学的特性に加えてより均一な光出力を効果的に可能にする。LED25のこの集中したパターンによって、発光を集中させることが可能になる。一態様において、本明細書で説明した1つ以上のパターンにおけるLED25の密集度又は間隔は、隣接するLED25によって光が吸収又は遮断されないように調整することができる。すなわち、本明細書で開示されるLED25のパターン及び配列は、近接する又は隣接するLED25により吸収される光の量を最少に抑えることにより、光抽出を向上させてもよい。1ストリングあたりのLED25の数は、LEDデバイスが低電圧から高電圧まで動作可能となることを可能にする。例示目的で、4つのパターンが図示されてきた。しかしながら、LED25の任意の好適なパターンが想定される。LED25の各ストリングは、単一のパターンを含んでいてもよく、2つ以上のパターンの組み合わせを含んでいてもよい。
図15A及び図15Bは、本明細書の開示に係るLEDデバイスに限定しない例として使用可能なダイアタッチ方法を示す。LED25は、伝導性パッド30の上方に実装するための裏面金属パッド又は接合層100を備えることができる。接合層100は、LED25の底面全体又はその一部の長さを有することができる。例示目的で、接合層100はLED25の底面全体と同一の長さを有するものとして図示しているが、任意の構成が想定される。LED25は、LED25の上面と底面との間に延び得る側面104を有することができる。図15A及び図15Bは傾斜した側面104を示しているが、直線カット型のLEDを選択した場合には、側面104はほぼ垂直又は直立であり得る。図15A及び図15Bは、接合層100を構成する底面の面積よりも大きな表面積の上面を有するLED25を示す。しかしながら、上面の表面積は接合面の表面積よりも小さくてもよい。LED25は任意の好適な側面構成を有することに加えて、正方形、矩形、又は任意の好適な形状を有することができる。
上記で説明したLEDデバイスのいずれかにおいて、LED25を伝導性パッド30の上方に実装するために、任意の好適なダイアタッチ方法を用いることができる。一態様において、任意の好適な改良されたダイアタッチ方法及び/又は材料を用いることができる。例えば、改良されたダイアタッチ方法は、1つ以上の金属をLED25と伝導性パッド30の上及び/又は間に取り付けやすくする金属間ダイアタッチ方法を含むことができる。図15Aは、共晶であっても非共晶であっても可能である金属間ダイアタッチ方法の例を示す。この金属間ダイアタッチ方法は、補助材料106を用いて金属間ダイアタッチを容易に行うことを含み得る。一態様ではフラックス補助共晶金属間ダイアタッチ方法を使用可能であり、他の態様では金属補助非共晶金属間ダイアタッチ方法を使用可能である。フラックス補助による共晶の、つまりフラックス共晶ダイアタッチ方法において、接合層100は共晶温度を有する合金(限定しない例として金(Au)とスズ(Sn)の合金)を含むことができる。例えば、接合層100は約280℃の共晶温度を有する80/20金−スズ合金を含むことができる。フラックス共晶技術において、補助材料106はフラックス材料を含むことができる。非共晶技術では、補助材料106は、金属材料と、シリコーンやエポキシ樹脂等の接着剤とを含むことができる。補助材料106は、接合層100を共晶温度よりも高温に加熱したときに、接合層100と伝導性パッド30との間の金属間ダイアタッチを行いやすくするパイプ役となり得る。接合層100の金属は伝導性パッド30の金属へと流れ込み、該金属と接合することができる。接合層100の金属は原子レベルで拡散し、下にある実装伝導性パッド30の原子と結合することができる。一態様において、フラックス補助共晶方法で用いられるフラックスは、例えば55〜65%のロジンと25〜35%のポリグリコールエーテル、さらに少量の他の成分という組成を有することができる。しかしながら、任意の好適なフラックス材料を用いることができる。
フラックス補助共晶ダイアタッチ方法は手数がかかる可能性があり、所定の配列及び/又はアレイにおける多数のLED25を取り付ける際には、このような方法を用いることが期待されていない。本発明主題に係るフラックス共晶ダイアタッチは、フラックスの使用量が多すぎたり少なすぎたりした場合に起こるLED25の浮きやダイアタッチ不良を防ぐために、室温で液体であり得るフラックス補助材料106を正確に正しい体積になる量で分注することを含むことができる。本発明主題に係るフラックス補助共晶ダイアタッチは、フラックス補助材料106と発光チップの接合金属100のそれぞれの適切な組成も必要となり得る。本発明主題に係るフラックス補助共晶ダイアタッチは、非常に清浄で平坦な面と、加熱中や冷却中に動いたり曲がったりしてはんだ接合部に応力を生じさせない基板又はサブマウントとを最適に利用することができる。本発明主題に係るフラックス補助共晶接合は、発光チップのAu−Sn接合面の働きを妨げない程度に小さく、一方で加熱時にはフラックスが蒸発できる程度に粗い、微細な表面粗さを用いることができる。接合金属100とその下の伝導性パッド30との間において良好な溶着を確実に行うために、加熱プロファイルはAuやAuSn等の接合金属100に完全に合わせたものとすることができる。フラックス補助共晶接合を本発明主題に係るダイアタッチに用いると、窒素雰囲気等の不活性雰囲気を利用して、酸素ガス(O)レベルを低下させることができ、重力によってLED25に下向きの力を加えることもできる。これにより、接合層100とその下の伝導性パッド30との間の金属−金属接合部において酸化量を低減できる。
さらに図15Aを参照すると、これも補助材料106を含むことができる、非共晶金属間ダイアタッチ方法を使用可能であり、補助材料106は金属材料を含み得る。この態様において、接合層100は単体金属又は合金を含むことができる。例えば、接合層100はAu,Sn,又はAuSnを含むことができる。非共晶方法では、接合層はある温度、例えば共晶温度に到達する、又は共晶温度を超える必要がない。この態様においては、補助材料106は、金属間接合を行いやすくするために、金属材料、シリコーン材料、又はエポキシ材料を含むことができる。例えば、補助材料106は、AuSnペースト、Agエポキシ、又はシリコーン接着剤を含むことができる。任意の好適な補助もしくは接着材料106を使用することができる。接合層100の金属は、補助材料106の金属と接合可能である。補助材料106の金属はまた、伝導性パッド30の金属とも接合可能である。一態様において、金属補助材料106を使用する非共晶金属間接合技術では、金属による「サンドイッチ構造」が接合層100、補助材料106、及び伝導性パッド30の間で形成される。金属補助非共晶ダイアタッチは、ちょうどフラックス補助方法のように手数がかかる可能性があり、本明細書で説明したLEDデバイスの1つ以上のパターン内のLED25を取り付ける際にこのような方法を用いることは期待されていない。デバイス内に設置面積の小さい複数のLEDを取り付ける際に、補助材料106を用いた金属間接合は、制御が難しく手数がかかる可能性がある。
図15Bは、補助材料106を必要としない金属間ダイアタッチ技術を示す。このような方法の1つは、熱圧着によるダイアタッチ方法を含むことができ、このダイアタッチ方法では、接合層100の金属は伝導性パッド30の金属と直接接合する。熱圧着方法は、共晶を用いるものであってもよく、共晶を用いないものであってもよい。一態様において、熱圧着は、接合層100が共晶温度を有する合金を含む場合に使用することができる。他の態様では、接合層100は、共晶温度を持たない金属を含むことができる。伝導性パッド30は、メタルコアプリント回路基板(MCPCB)内にCu,Al,Ag,又はPt層に限定されない任意の好適な金属を含むことができる。接合層100は任意の好適な金属を含む。一態様において、接合層100は、任意の好適な膜厚を有するSnからなる層を含むことができる。一態様において、接合層100は約0μmより大きい膜厚を有し得る。一態様において、接合層100は少なくとも約0.5μm以上の接合層を含むことができる。一態様において、接合層100は少なくとも約2.0μm以上の膜厚を有するSnからなる層を含むことができる。先に説明したフラックス補助共晶方法や金属補助非共晶方法とは異なり、熱圧着による金属間ダイアタッチ技術は、図15Bに示されているような外部からの下向きの力Fを利用することができる。
力Fは、加熱された環境で加えられた圧縮を含むことができ、したがって熱圧着と見なされ、フラックスや金属の補助材料106の分注とは対照的なものである。熱圧着技術は、伝導性パッド30に沿った金属のスクイーズアウトを低減させるために開発された代替のダイアタッチ方法である。スクイーズアウトは、ショットキー欠陥又はシャント欠陥を発生させて、その結果、電流漏れや他の様々な関連する問題を生じさせる可能性がある。一態様において、熱圧着技術における接合温度は、任意選択的に伝導性パッド30に予熱処理又はプロセスを施した後で、約255〜265℃とすることができる。伝導性パッド30は、接合層100の溶融温度よりも少なくとも20℃高い実装温度で加熱することができる。接合時間を約300ミリ秒とすることができ、接合力を約50±10グラム(g)とすることができる。この方法では、適切な予熱、接合温度、接合時間、及び接合力などの所定の設定が重要となり得る。熱圧着方法とともに使用する機器及び所定の設定は、使用及び/又は維持が難しい可能性があり、アレイ及び/又は1つ以上のパターン内の多数のLED25を取り付ける際にこのような方法を用いることは期待されていない。LEDデバイスのLEDアレイを金属間で取り付ける方法は知られておらず、フラックス補助共晶ダイアタッチ技術、金属補助非共晶ダイアタッチ技術、又は熱圧着によるダイアタッチ技術をアレイ又はパターン配列内のLED25からなる1つ以上のストリングを取り付けるために用いることは期待されていない。
図16は、全体が符号110にて示されるLEDデバイスの別の実施形態又は態様の平面図である。デバイス110は、形態及び/又は機能が本明細書で上述したデバイス(例えば10,50,55,60,70,80,85,90,及び/又は95)のいずれかと類似していてもよい。一態様において、図16は図10に図示及び説明されたデバイスと類似し得るが、図16は、LEDデバイス110内の接着性を向上させるために1つ以上の「固定点」又は穴Hを備えたデバイス110を図示している。一態様において、1つ以上の固定点又は穴Hは、ソルダーレジスト32の適用前に部分的に又は完全にエッチングした材料領域を備えることができる。ソルダーレジスト32が、介在反射層(例えば図17A及び図17Bの112や114)よりも誘電体層36(図17A及び図17B)又はCu構成要素(例えば伝導性パッド30や配線33,34)に対してより良好に直接接着するため、穴Hによってより良好な接着性が得られやすくなる。例えば、輝度を高めるために、介在材料からなる1つ以上の層、例えば材料からなる第1層112及び第2層114(図17A及び図17B)を、ソルダーレジスト32のうちの1つ以上の部分と伝導性パッド30との間、及びソルダーレジスト32と伝導性配線33,34との間にめっき、堆積、もしくはその他の方法で配置することができる。
第1介在層112及び第2介在層114は、銀(Ag)、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)、又は他の好適な金属からなる1つ以上の層を含むことができる。例えば、第1層112はNiバリア層を含むことができ、第2層114はAg反射層を含むことができる。一態様において、Cu構成要素(例えば配線33,34及びパッド30)の膜厚は、例えば約0.5〜6オンス(oz.)、つまり約17.5〜210μmの範囲であり得る。Cu構成要素の膜厚について、任意の部分範囲、例えば17.5〜35μm、35〜70μm、70〜105μm、105〜140μm、140〜175μm、及び175〜210μmも想定される。第1層112は、膜厚が約1〜10μmのNi層を含むことができ、第2層114は、膜厚が約0.2〜5μmのAg層を含むことができる。一態様において、第1層112は、約1〜1.3μm、1.3〜1.8μm、1.8〜2.5μm、2.5〜5μm、及び5〜10μmの電解Ni層を有することができる。一態様において、第2層114は、例えば約0.2〜3μm、3〜3.5μm、及び3.5〜5μmであり得る電解Ag層を有することができる。しかしながら、本明細書では、第1層112及び第2層114のそれぞれに関して、任意の範囲又は部分範囲の膜厚を有することが想定される。
一態様において、ソルダーレジスト32と介在する第2層114との間で十分な接着性を得ることがより難しい場合もある(例えば第2層114がAgからなる反射層である場合)。このため、ソルダーレジスト32と層114との間には接着性の低い領域が生じる可能性があり、その結果、はがれ、欠け、又は他の同様の劣化により、ソルダーレジスト32が早期に失われ得る。特に、本明細書で説明されるデバイス及び方法は、ソルダーレジスト32の堆積前に反射材料(例えば層114)内に1つ以上の穴Hを形成することによって、接着性を効果的に向上させ、これによりデバイス110の電気的特性及び光学的特性を保護することができる。一態様において、ソルダーレジスト32は電気配線(例えば配線33,34)を環境から電気的に絶縁する。一態様において、下にある層に対するソルダーレジスト32の接着性がよくないと、ソルダーレジスト32のはがれや欠けが生じる可能性があり、これにより、もはや電気配線を絶縁できず、反射して戻ってきた光を当該部分において異なるように再反射してしまうこととなり、この部分の光学的特性を変化させてしまう可能性がある。よって、デバイス110内の接着性がより良好になると、電気的絶縁性及び光学的特性を効果的に改善及び/又は提供することができる。一態様において、1つ以上の穴Hは、選択的かつ化学的にエッチングされることができる。一態様において、第1層112及び第2層114の一部、及び任意選択に伝導性配線33,34の一部を、エッチングによって選択的に除去してもよい。Cuからなる伝導性配線33,34がエッチングされる場合には、穴Hによって、ソルダーレジスト32を下にある誘電体層36に直接接着することができる。別例では、穴HがCuを貫通するまでエッチングされていない場合には、穴Hによって、ソルダーレジスト32を下にあるCu構成要素(例えばCu配線33,34及び/又はパッド30)に直接接着することができる。穴Hによってデバイス110内の接着性を向上させることができる。(例えば第2層114等の反射性Ag材料からなる層によって)発光領域16からの光の反射率が高められるため、デバイス110の光学的特性を効果的に向上させることができる。白色度と反射性が非常に高くなり得るソルダーレジスト32によって発光領域16からの光の反射率が高められるため、デバイス110の光学的特性をさらに向上させることができる。
図16の破線52は、伝導性配線33,34及び装着面18の両方を形成する、サブマウント12内に配置された導電性材料の寸法及び/又は形状の実施可能な一態様を示す。例えば、一態様において、破線52は、導電性のCuからなる層の寸法及び/又は形状を、材料からなる第1層112及び/又は第2層114のうちの1つ以上とともに示しており、第1層112及び/又は第2層114の材料は、サブマウント12内で除去されてもされなくてもよく、伝導性配線33,34及び装着面18を形成して、これらを電気的に結合する。この導電性Cu材料のうち、ソルダーレジスト32の下方に配置される部分を破線で示している。例えば、導電性Cu層のいくつかの部分又は領域は、サブマウント12の上面に沿って露出させてもよく(例えば伝導性パッド30、伝導性配線33,34、テストポイント15、及び装着面18)、その一方で、導電性Cu層の他の領域はソルダーレジスト32の下方に配置されてもよく(例えば破線52内の領域)、したがってサブマウント12の上面の下方に配置することができる。同様に、第1層112及び第2層114がCu構成要素(例えばパッド30及び配線33,34)上方に堆積されている場合、これらの層の一部が、伝導性パッド30及び配線33,34の上方でサブマウント12の上面に沿って露出していてもよく、その一方で、第1層112及び第2層114の他の部分はソルダーレジスト32の下方(例えば破線52内の領域)に配置することができる。つまり、ソルダーレジスト32によって被覆されていない露出領域は、34/112/114、33/112/114、及び30/112/114と表示された特徴部で示されるようなCu構成要素層、バリア層、及びAg層といった1つ以上の層の「積層体(stack)」を含むことができる。よって、テストポイント15及び装着面18は、それぞれの伝導性配線33及び34と電気的に、かつ/又は、熱的に接続され、同一の材料層(例えばCu)を含むことができる。外部の駆動回路又は電源に接続されると、破線52で示された材料層に沿って電流が流れることによって、装着面18から導電性配線33,34へ電流が流れることができ、次いで、電流はLED25のストリングへと流れ込んでこれを発光させることができる。
上述のように、デバイス110の反射率を向上させるために、1つ以上の介在材料層、例えば第1材料層112及び/又は第2材料層114(図17A及び図17B)は、Cu材料の上方に堆積することができ、例えばCu材料と同一の形状としてもよい(例えば、層112,114は破線52の範囲内に限定可能である)。ソルダーレジスト32はさらに、光がデバイス110上へ反射される領域において、デバイス110の反射率を向上させることができる。ソルダーレジスト32の接着性を高めるために、ソルダーレジスト32を破線52で示される領域の上方に堆積する前に、層112,114、及び任意選択にCu層(例えば配線33,34及びパッド30)のそれぞれに対して、1つ以上の穴Hを最後まで、かつ/又は、途中までエッチングすることができる。デバイス110内におけるソルダーレジスト32層の接着性は、Cu層(例えば配線33,34及びパッド30)のいずれかに直接、又は、好ましくは誘電体層36に直接接着した場合に、効果的に向上させることができる。
一態様において、穴Hは略円形であるが、穴Hは、限定しない例として、円形、正方形、星形、対称形の多角形、非対称形の多角形、又はこれらの組み合わせ等、任意の形状とすることが可能である。穴Hは任意の寸法又は形状とすることができ、任意のパターンをなすように、かつ/又は、ソルダーレジスト32の下にある指定された領域に収まる任意の数で配置することができる。例えば、穴Hは、指定された領域(例えば破線52内の領域)の端縁部に沿って配置されたマトリクス、格子パターン、ランダムパターン、又はこれらの任意の組み合わせを含むことができる。穴Hは、ランダムに分散させる、密集して詰め込む、まばらに配置する、かつ/又は、これらを組み合わせて配置することが可能である。例えば、穴Hは、Cu構成要素(例えば配線33,34及びパッド30)の膜厚の約1.5〜10倍の直径と、穴Hの深さのほぼ2倍の周期(例えば穴H同士の間の間隔)を有することができる。例えば、一態様において、Cu配線34は約3オンス(約0.105mm)の膜厚を有することができ、穴Hは約0.3ミリメートル(mm)の直径と、約0.6mmの周期、つまり穴と穴の間隔を有することができる。穴Hの周期と深さの異なる範囲及び部分範囲についても想定されるが、一般に、穴Hは、穴Hの深さの約2倍の周期を有することができ、Cu構成要素の膜厚(上述のように、約0.5〜6オンス、つまり約17.5〜210μmの範囲であり得る)の約1.5〜10倍の直径を有することができる。
一態様において、穴Hは、例えば約0.1〜0.2mm、0.2〜0.4mm、0.4〜0.6mm、0.6〜0.8mm、0.8〜1mmの部分範囲を含む、0.1〜1mmの範囲の任意の好適な直径を有することができる。穴Hは任意の好適な深さを有することができ、例えば一態様において、穴Hはそれぞれ、約0〜50μm又は約50〜500μm、及び/又は、これらの任意の部分範囲の深さを有することができる。例えば、穴Hは、0〜50μm、50〜100μm、100〜200μm、200〜300μm、300〜400μm、又は400〜500μm等の任意の部分範囲を有する深さを有することができる。本明細書では、50〜500μmの範囲よりも深い、かつ/又は浅い任意の寸法も想定される。例えば、穴Hは、およそ0〜50μm、50〜100μm、100〜200μm、500〜700μm、700〜800μm、又は約800μmよりも深い深さを有することができる。一態様において、穴Hの深さはCu構成要素(例えば配線34)、第1層112、及び第2層114の膜厚に相当していてもよく、例えばいくつかの態様では約110μm、あるいはより厚みのある構成要素ではそれ以上であり得る。第2層114のみをエッチングする場合、穴Hの深さは約0.2μm程度と小さくすることができ、したがって、穴Hは約0.2〜500μmの範囲の深さを有することができる。異なる寸法の穴Hを一緒に使用してもよい。さらに、穴Hは、ソルダーレジスト32とその下にある他のサブマウント12の層との間にのみ配置するものに限定されるものではなく、ポリマーコーティング又は層と、シリコーン、エポキシ等のデバイスの上方/上に配置される他の層との接着性を向上させるためにも有用であり得る。本明細書ではこのような使用についても想定される。
図17A及び図17Bは、図16の細部の断面図である。図17Aは、ソルダーレジスト32の堆積前の断面を示し、図17Bは、ソルダーレジスト32の堆積後の断面を示す。図17A及び図17Bに示されるように、第1介在材料層112及び第2介在材料層114はそれぞれ、電気配線34を含む材料の上方に堆積させることができる。つまり、第1材料層112及び第2材料層114はそれぞれ、配線34と装着面18を形成し、これらの間に延びる、破線52にて示されるCuからなる領域全体の上方に、めっきもしくはその他の方法で堆積させることができる。一態様において、第1層112は、電気めっきされたNi等のバリア層を含むことができ、第2層114は、Niバリア層の上方に電気めっきされたAg等の反射層を含むことができる。Ag層(例えば層114)がデバイス110の輝度を効果的に高めることができる一方で、Niバリア層(例えば層112)は、CuがAg層へのマイグレーションを起こしてAg層を腐食させる(例えば輝度を劣化させ得る「赤色析出(red plague)」腐食として知られている)ことを防止することができる。一態様において、第1層112には、Niに代えて他の任意の好適なバリアメタル又は層が用いられてもよく、いくつかの態様では、第1層112(例えばバリア層)を完全に省いていてもよい。さらに別の態様において、第1層112は、金属又は合金からなる層を2つ以上含むことができる。一態様において、ソルダーレジスト32は誘電材料に良好に接着し、Cu(例えば配線34)には比較的良好に接着するが、Agへの接着はあまりよくない場合がある。そのため、ソルダーレジストがはがれ落ちたり他の劣化を生じさせたりすることを防ぐために、穴Hを、第1層112及び第2層114(例えばNi及びAg)を貫通するようにエッチングすることができ、任意選択的に図17A及び図17Bに図示されたようにCuも貫通するようにエッチングすることができる。
穴Hは、ソルダーレジスト32のための固定点として機能する。図17Bは、ソルダーレジスト32の堆積後に、穴Hが、ソルダーレジスト32が誘電材料36に直接接着可能な領域を提供することを示している。つまり、ソルダーレジスト32は、穴Hの内部に流れ込んでそこに配置されることができ、誘電材料36の上面に直接接着することができる。これにより、ソルダーレジスト32のLEDデバイス110に対する接着性が向上する。誘電材料36への接着に加えて、ソルダーレジスト32は、共に各穴Hの側壁を形成する配線34、第1層112、及び第2層114の各側部にも直接接着し得る。穴HがCu構成要素を貫通してエッチングされない(例えば穴Hが、誘電体層36ではなく、伝導性パッド30及び/又は配線33,34にて終端する)代替の実施形態では、ソルダーレジスト32は、穴Hの内部に流れ込んでそこに配置されることができ、伝導性パッド30及び/又は配線33,34等の1つ以上のCu構成要素の上面に直接接着することができる。よって、ソルダーレジスト32は、共に各穴Hの側壁を形成する第1層112及び第2層114の各側部に直接接着することができる。一態様において、誘電体層36はPCB誘電材料、例えば熱伝導性誘電体層を含む。しかしながら、任意の好適な誘電材料を用いることができる。
代替の実施形態において、途中までのエッチングを用いて、第1層112及び第2層114を、ソルダーレジスト32が露出しているCu(例えば配線34)に直接接着して、接着性を向上させることができるようにエッチングすることができる。金属層を最後まで貫通するようにエッチングすると、誘電材料36の小さな領域を露出させることができ、これにより、たとえ他の領域ではソルダーレジスト32と1つ以上の金属層(例えば層114)との間の接着性が弱くても、ソルダーレジスト32をサブマウント12に確実に固定する強力な固定点が得られる。固定点又は穴Hは、ある程度はソルダーレジスト32下方の領域の形状に依存する、任意の寸法、形状、及び配列を有するように設計することができる。上述のように、MCPCBを用いた製品では(例えばサブマウント12がMCPCBで構成されている場合)、穴Hは金属の上方に適用される任意のポリマー層に設けることができる。特に、穴Hをサブマウント12の1つ以上の層に導入すると、ソルダーレジスト32とサブマウント12の層との間の接着性を効果的に向上させることができる。これにより、Ag層114から反射された光のおかげで輝度を高めながら、デバイス110の電気的特性及び光学的特性を向上させることができる。
図18は、全体が符号120にて示されるLEDデバイスの別の実施形態を示し、該デバイスは、形態及び機能が上述したデバイスのいずれかに類似する。図18は、光を発生させる発光領域16と、全体が符号122にて示される駆動回路の両方を有するLEDデバイス120を示す。駆動回路122は、電源からデバイス120へ電力を供給するために、サブマウント12と一体化することができる。つまり、駆動回路がサブマウント12内に組み込まれ得るため、デバイス120は外部の駆動回路に電気的に接続される必要がない。例示されるように、デバイス120は、例えばソルダーレジスト32と下にあるサブマウント12の層との間の固定点を提供するために、1つ以上の穴Hを有することができる。一態様において、穴Hは、伝導性材料の境界(例えば破線52で示されているような)の端縁部に沿って配置可能である。他の態様において、穴Hは、ソルダーレジスト32の下方に配置された導電性材料の中間部分、例えば領域52に配置される星形の固定点を含むことができる。穴Hは、サブマウント12の1つ以上の層を貫通するように、又は層の途中までエッチング可能であるため、ソルダーレジスト32が下にある誘電体層36(図17B)に直接接着して、デバイス112内の接着性を向上させるように、デバイスの1つ以上の金属層(例えば112,114,34)を貫通して延びる。この高められた接着性によって、何もしなければ接着性が弱いソルダーレジスト32の領域に起因してソルダーレジスト32が欠けたりデバイス120からはがれたりすることを防止することができる。
図19は、全体が符号130にて示されるLEDデバイスの基板12の断面図である。LEDデバイス130は、形態及び/又は機能が上述したデバイスのいずれかに類似したものとすることができる。図19に開示された断面図は図7(及び図17A,17B)に図示及び説明された断面図と類似しているが、図19の断面図は、各々が図7に示された、ソルダーレジスト32の堆積前、保持材料14の分注前、充填材料40の付加前のデバイス130を示す。さらに図19は、伝導性パッド30とソルダーレジスト32との間に、また、ソルダーレジスト32と伝導性配線33,34との間に、1つ以上の介在層を描いている。図19は、基板12を含む様々な層、又は金属/誘電体の「積層体」を例示する実施形態であり、層112,114ならびにCu構成要素(例えば伝導性パッド30及び配線33,34)は、エッチング(つまり、後で説明するように、層114からCu層まで、誘電体層36が露出するまで行う下方向へのエッチング)によって完全に分離されている。続いて、図20〜図24に図示及び説明されるデバイス140,150,160も、デバイス130の各層で構成されるが、以下に述べるようにソルダーレジスト32の接着性を向上させるために、このようなデバイスにさらなる処理工程(例えば、最終的なエッチングの前の別のエッチングや、エッチングの前又は後の研磨工程)を施してもよい。
図19が示しているように、LEDデバイス130のサブマウント12は、任意の好適な実装サブマウント又は基板、例えばPCB、MCPCB、外部回路や、上方にLED25(図20)等の照明デバイスを実装及び/又は取り付け可能な他の任意の好適なサブマウント又は基板を含むことができる。一態様において、サブマウント12は、コア層38、例えばCuやAl等の伝導性金属層を備えることができる。サブマウント12はさらに、誘電体層36、例えば、サブマウント12を介した熱放散を促進するためにコア層38上方に配置され、電気的に絶縁性であるが熱伝導性である誘電材料からなる層を備えることができる。サブマウント12はさらに、伝導性パッド30と、1つ以上のLED25を点灯させるために電流を供給する第1伝導性配線33及び第2伝導性配線34を備えることができる。伝導性パッド30、第1伝導性配線33、及び第2伝導性配線34は、伝導性材料からなる、電気的に、かつ/又は熱的に伝導性の構成要素又は層を備えることができる。限定しない例としての一態様において、伝導性パッド30、第1伝導性配線33、及び第2伝導性配線34は、誘電体層36の上方にめっき、積層、あるいはその他の方法で堆積可能なCu構成要素を含むことができる。Cu構成要素は、単一の層でめっき、積層、あるいは堆積してもよく、その後にエッチングして、伝導性パッド30を図示のように配線33,34から分離することができる。
図19がさらに示すように、一態様において、1つ以上の材料層、例えば、第1材料層112と第2材料層114は、伝導性パッド30及び配線33,34等のCu構成要素の上方に堆積することができる。一態様において、第1材料層112及び第2材料層114は、反射性、バリア性、及び/又は接着性を促進する材料からなる層、例えば限定しない例としてAg、Ti、及びNiからなる1つ以上の層を含むことができる。例えば一態様において、第1層112はNiバリア層とすることができ、第2層114は反射性のAg又はAg合金層とすることができる。Agは、デバイスから反射される光の量を増大させることによって、光出力の増大、ひいてはデバイス130の光学性能の向上が可能な反射材料である。ソルダーレジスト32(図20〜図24)もまた、本明細書で説明されているデバイスの光出力及び光学性能を高めるために反射材料を含むことができる。第1層112は、AgへのCuのマイグレーションを防ぐバリア層として機能することができる。層114が反射性Agからなる層を含む場合には、第1層112は層114の酸化及び/又は変色も防止し得る。ソルダーレジスト32(図20〜図24)とAg(例えば第2層114)との間の直接接着性が、ソルダーレジスト32と他の構成要素(例えばCu構成要素30,33,34及び/又は誘電材料36)との接着性よりも質が良くない可能性があるため、さらなる処理工程、例えばエッチング及び/又は研磨工程を以降に述べるように行ってもよい。一態様において、ソルダーレジスト32(図20〜図24)は、Ag(例えば層114)に直接適用されると、はがれ、欠け、又は劣化を生じ得る。よって、追加のエッチング及び/又は研磨工程によって、第2反射層114によって光出力を増大させながら、本明細書で説明されるデバイスの接着性を向上させてもよい。
図20とその詳細を示す図21は、全体が符号140にて示される発光デバイス又はLEDデバイスを示し、第2層114は、表面を粗面化するように部分的にエッチングされている。図20及び図21はまた、誘電体層36の1つ以上の部分に直接接着可能であるように、層112、114、及び伝導性要素30,33,34の上方及び/又は間に適用されたソルダーレジスト32をさらに備えたサブマウント12を示す。LEDデバイス140は、1つ以上のLED25がサブマウント12の少なくとも一部と電気的かつ/又は熱的に接続可能であり、充填材料(図示していないが、例えば図7の充填材料40参照)の下方に少なくとも部分的に配置可能である発光領域16を備えることができる。図7の充填材料40は、サブマウント12の1つ以上の層がエッチングされて、ソルダーレジスト32が適用された後に、発光領域16内に分注することができる。つまり、充填材料40は、ダイアタッチ、ワイヤボンディング、及び保持材料14の付加後に付加することができる。この実施形態では、第1層112及び第2層114は、Cu層の全体にわたって、該Cu層とほぼ整列して該Cu層を覆うようにパターンを作成可能である。これにより、デバイス140の伝導面から適切な反射率が確実に得られる。1つ以上の間隙122は、層112,114、及びCu構成要素の一部をそれぞれエッチングする(つまり、下方向のエッチングで、まず層114を、続いて層112をエッチングし、次にCu層をパッド30と各配線33,34に分離する)ことによって形成可能であり、これにより、ソルダーレジスト32の堆積中にソルダーレジスト32材料が入り込むための空間を形成することができる。特に、間隙122が層112,114の1つ以上の部分の間に存在する個所であっても、ソルダーレジスト32は第2層114の一部分の上方にわずかに、かつ直接重なるか広がって、レジストの位置合わせにおいて幾分のばらつきを許容する。
ソルダーレジスト32は、Cu構成要素(例えば30,33,及び34)ならびに第1層112及び第2層114の間に形成された1つ以上の間隙122内に、かつ、伝導性パッド30、第1伝導性配線33、第2伝導性配線34上方には間接的に、堆積することができる。ソルダーレジスト32は、市販されている多数のソルダーレジスト材料のうち任意のもの(例えば日本国に本社がある太陽インキ製造株式会社によって製造販売されるPSR−4000 WT02)を含むことができる。例示されるように、反射材料及び/又はバリア材料からなる第1層112及び第2層114は、LED25と伝導性パッド30との間に配置される。層112,114は、ソルダーレジスト32の一部と伝導性パッド30、伝導性配線33,34の各々との間にも配置される。例示目的で、2つの介在層(例えば112及び114)が図示されているが、任意の数の介在層、例えば、単一層及び/又は3つ以上の層を、ソルダーレジスト32と伝導性パッド30との間に堆積してもよい。さらに、第1層112及び第2層114は2つ以上の薄膜材料層を含むことができる。
図21は、図20において丸で囲んだ詳細部の分解図であり、ソルダーレジスト32と下にある第2層114との間の接着性を向上させるデバイス及び方法を示す。例えば一態様において、第2層114の上面144を化学的に、かつ/又は、機械的に研磨して表面を粗面化することによって、接着性を向上させてもよい。例示されているように、ソルダーレジスト32は、誘電体層36の一部及び/又は第2層114の一部と直接接着可能である。上述のように一態様において、ソルダーレジスト32とCu構成要素との間の直接接着性(例えばソルダーレジスト32、パッド30、配線33,34の各部分間の直接接着性(図7参照))や、ソルダーレジスト32と誘電体層36との間の直接接着性とは対照的に、ソルダーレジスト32と介在する第2層114との間で十分な接着性を得ることがより困難な場合がある(例えば第2層114がAgからなる場合)。つまり、ソルダーレジスト32と誘電体層36との間の接着性は、ソルダーレジスト32と他の金属層との間の接着性と比較して優れている場合がある。金属層のうち、ソルダーレジスト32とCu構成要素(例えば配線33,34及びパッド30)との間の接着性は、ソルダーレジスト32とAg(例えば層114)との間の接着性と比較して優れている場合がある。このため、ソルダーレジスト32と層114との間には接着性の低い領域が生じる可能性があり、このことが、デバイスの電気的性能及び/又は光学的性能に悪影響を及ぼす可能性がある。そこで、第2層114の上面144を粗面化すると、デバイス140内の接着性を効果的に向上させることができる一方で、(例えば第2層114等の反射性Ag材料層によって)発光領域16からの光の反射率が高くなるために、デバイス140の光学的特性も向上させることができる。
一態様において、第2層114は、電解Ag等の反射材料からなる層を含むことができる。この態様では、層114の上面144が粗面化されることによって、ソルダーレジスト32の一部への接着性を向上させることができる。「粗面化される」という語は、実質的に平滑ではない、かつ/あるいは、1つ以上のくぼみ、リップ、粗い表面テクスチャ、及び/又は表面のばらつきを有するものとして特徴づけられ得る。粗面化は、ソルダーレジスト32の適用直前に実施可能であり、周囲及び/又は内部にソルダーレジスト32の下面が形成可能なくぼみやリップを設けることができ、これにより静止摩擦が生じてはがれを防止する。例えば、第2層114の上面144を粗面化して、リップ又はくぼみ(波状のテクスチャで表している)を形成することができ、ソルダーレジストの下面の一部は、図21に示したようにテクスチャ加工された上面144の周囲で接着可能である。一態様において、層114の上面144を機械的かつ/又は化学的に研磨して、ソルダーレジスト32に対する接着性を高めてもよい。
一態様において、上面144は、任意の好適な技術、例えば限定しない例として、サンドブラスト技術、ビードブラスト技術、ブラッシング技術、スクラビング技術、チッピング技術、腐食技術、マイクロ研磨技術、及び/又はスコーリング技術のうちの少なくとも1つを用いて機械的に研磨して、表面を粗面化することができる。他の態様では、上面144は、任意の好適な技術、例えば限定しない例として、局所エッチング技術、気化技術、及び/又は化学的腐食技術のうちの少なくとも1つ、を用いて化学的に研磨して、表面を粗面化することができる。表面の粗面化処理は、例えば、めっき層114の後で、かつ、金属特徴部のエッチング(例えば、上述の図面に破線52にて示されたエッチング形状)の前又は後に実施可能であり、粗面化処理の後にソルダーレジスト32が適用される。Ag層(例えば層114)の上面144の粗面化により、ソルダーレジスト32の下面132が表面処理された形状(texture)に適応して表面でより良好な「グリップ」がもたらされるように、表面処理された形状を増加させることができる。これにより、ソルダーレジストが欠ける、はがれる、又は全体的にずれた状態になることを防止することができる。
図22は、全体が符号150にて示されるLEDデバイスの別の実施形態を示す断面図であり、第1層112、第2層114、及びCu層(例えばパッド30及び配線33,34)のディファレンシャルエッチングが例示されている。つまり、結果として、層114(例えば反射層)の上面を単に接着させるのとは対照的に、ソルダーレジスト32の一部がCu構成要素(例えば配線33,34及びパッド30)に直接接着するように、複数のエッチング工程を用いることができる。また、本明細書で説明されているデバイス及び方法においては、ソルダーレジスト32は、Cu構成要素(例えばパッド30や配線33,34)間にある間隙122を介して誘電体層36に直接接着している。このことは、ソルダーレジスト32はAgよりも誘電体層36及びCu構成要素の各々とより良好に接着するため、サブマウント12内での接着性をさらに向上させることができ、この結果、デバイス150の接着特性を向上させることができる。特に、少量のソルダーレジスト32が第1層114上方に重なって、レジストの位置合わせにおいてわずかなばらつきを許容してもよい。さらには、間隙122の側壁によって、少量のソルダーレジスト32が第1層112、第2層114、ならびに/又は、パッド30及び配線33,34を含むCu構成要素の1つ以上の側部に直接接着することができる。
ある工程において、第1フォトマスクを形成して、完成品では露出することになる領域と同一の、又はそれよりもわずかに大きな形状にパターン形成することができる。第1エッチング工程は、第1層112及び第2層114(例えば、Niバリア層を使用している場合はAg及び/又はNi)の一部のみを除去することができ、露出したCu層が残され得る。上述のように、バリア層として他の金属を使用してもよく、あるいは、バリア層を完全に省いてもよい。第1エッチングの後に、通常の電気配線(例えば33,34とパッド30)の形状にパターン形成された第2フォトマスクを形成して、Cu(例えばパッド30及び配線33,34)のみをエッチングして誘電体層36の一部を露出させることができる。ディファレンシャルエッチングの結果、電気配線33,34及びパッド30は、長さが延び、かつ/又は、反射層(例えば第1層114)及び/又はバリア層が存在する場合はバリア層(例えば層112)よりも面積が大きい。バリア材料からなる第1層112と反射材料からなる第2層114とは、例えばほぼ同一の寸法を有することができる。これにより、Cu層(例えばパッド30及び配線33,34)と誘電体層36のそれぞれの一部にソルダーレジスト32を直接接着することを可能にし、接着性がよくない第2層114(例えばAg)との接着とは対照的に、Cu層及び誘電体層36に対して良好な接着性を有する。結果得られたものは、Ni及びAgからなる第1層及び第2層(例えば層112,114)のみが完成品において露出される領域(例えばサブマウント12の露出面として)にあり、ソルダーレジストは、Ag(例えば第2層114)というよりもむしろ、Cu構成要素(例えばパッド30及び配線33,34)ならびに誘電体層36のそれぞれの一部上に直接配置される。
図23は、図22において丸で囲んだ詳細部の分解図であり、図22にて説明したディファレンシャルエッチングを行う実施形態と併せて使用可能な任意選択的な工程及び/又は構造を示す。Cu構成要素(例えばパッド30及び配線33,34)の表面を研磨する任意選択的な工程は、ソルダーレジスト32と伝導性パッド30等、下にあるCu構成要素との間の接着性をさらに向上させることができる。例えば一態様において、伝導性パッド30の上面154は、本明細書で説明されている任意の好適な技術を用いて機械的又は化学的に研磨して、ソルダーレジスト32と伝導性パッド30のそれぞれの一部の間の接着性を向上させることができる。例示目的で、伝導性パッド30のみを詳細に示しているが、配線33,34を含む他のCu構成要素の上面もまた研磨して、当該Cu構成要素とソルダーレジスト32との間の接着性を向上させてもよい。
一態様において、上面154は、サンドブラスト技術、ビードブラスト技術、ブラッシング技術、スクラビング技術、チッピング技術、腐食技術、マイクロ研磨技術、及び/又はスコーリング技術のうちの少なくとも1つを用いて機械的に研磨して、表面を粗面化することができる。他の態様では、上面154は、任意の好適な技術、例えば限定しない例として、局所エッチング技術、気化技術、及び/又は化学的腐食技術のうちの少なくとも1つを用いて化学的に研磨して、表面を粗面化することができる。表面の粗面化処理は、例えば、層30のめっき及び金属特徴部(例えば、上述の図面に破線52にて示されるエッチング形状)のエッチングの後、かつ、ソルダーレジスト32の適用直前に実施することができる。伝導性パッド30の上面154の粗面化により、ソルダーレジスト32の下面が増加された表面形状と適合して、表面でより良好な「グリップ」がもたらされるように、表面形状を増加させることができる。これにより、ソルダーレジストが欠け、はがれ、又は全体的にずれた状態になることを防止することができる。
図24は、デバイス内の接着性を向上させるために、全体が符号160にて示されるLEDデバイス内でディファレンシャルエッチングを行う別の実施形態を示す。つまり、複数のエッチング工程を用いて、その結果、金属領域上方に適用されている場合に、ソルダーレジスト32の一部が、層114(例えば反射層)にのみ接着されているのとは対照的に、下にあるNi層(例えば層112)の一部に直接接着するようにすることができる。いずれの場合も、ソルダーレジスト32は、Cu構成要素(例えばパッド30及び配線33,34)間にある間隙122を介して、誘電体層36に直接接着する。これは、ソルダーレジスト32がAgよりも誘電体層36及びNi構成要素の各々とより良好に接着するため、サブマウント12内の接着性ををさらに向上させることができ、その結果、デバイス160の接着特性を向上させることができる。特に、少量のソルダーレジスト32が第1層114上方に重なることによって、レジストの位置合わせにおいてわずかなばらつきを許容するようにしてもよい。
LEDデバイス160は、サブマウント12上方に配置された領域16を備えることができ、発光領域16は、サブマウント12の少なくとも一部と電気的、かつ/又は、熱的に接続される1つ以上のLED25を備え、本明細書で説明されるエッチング工程を実施した後に、充填材料(例えば図7の充填材料40)の下方に少なくとも部分的に配置することができる。上述したように一態様において、第1層112は、反射性の第2層114と伝導性パッド30との間、及び反射性の第2層114と第1伝導性配線33及び第2伝導性配線34との間に堆積された電解Niからなるバリア層を含むことができる。この態様において、第2層114は、図19に図示されているように、ソルダーレジスト32の適用前に第1層112上方に電気めっき又は堆積可能な反射性の電解Ag又はAg合金の層を含むことができる。層114がAg又はAg合金からなる層である場合、第1層112は、層114の変色、劣化、及び/又は酸化を防止することができる。第1層112はまた、伝導性パッド30や配線33,34の下にあるCuの第1層114へのマイグレーションを防止することができる。特に、第2層114が反射層、例えばAgからなる反射層で構成される場合、デバイス160の光学性能は、ある程度は第2層114の追加によって向上し得る。
ある工程において、第1フォトマスクを施して、完成品では露出することになる領域と同一の、又はそれよりもわずかに大きな形状にパターン形成を行うことができる。第1エッチング工程は、第2層114(例えばAg)の一部を完全に除去することができ、第1層112及び下にあるCu層がほぼ同一の寸法で幅が第2層114よりもさらに延びるように、露出した第1層112と下にあるCu層(例えばパッド30及び配線33,34)を残すことができる。第1エッチングの後に、通常の電気配線(例えば33,34及びパッド30)の形状にパターン形成された第2フォトマスクを施し、Ni及びCu(例えば第1層112、パッド30、及び配線33,34)を完全にエッチングして誘電体層36の一部を露出させることができる。ディファレンシャルエッチングの結果、第1層112及び下にあるCu層は、反射層(例えば第1層114)よりも長さが延びて、かつ/又は、面積が大きい。これにより、Ni第1層112の一部と誘電体層36の一部とにソルダーレジスト32を直接接着させることができるため、接着性がよくない電気めっきされた第1層114(例えばAg)との接着とは対照的に、Ni第1層112の一部と誘電体層36の一部に対して良好な接着性を有する。最終的に得られたものは、Agからなる第2層(例えば114)のみが完成品において露出される領域(例えばサブマウント12の露出面として)にあり、ソルダーレジストは、Ag(例えば第2層114)というよりもむしろ、Niバリア層(例えば第1層112)及び誘電体層36のそれぞれの一部の上に直接配置される。異なる実施形態では、ディファレンシャルエッチングで得られた別の結果として、Cu層が反射層(例えば,第1層114)よりも短い長さを有し、かつ/又は、反射層よりも面積が小さくなるように、第1層112及び第2層114にアンダーカットを行ってもよい。
特に、本明細書では、図1〜図24に図示及び説明されたデバイス及び方法の任意の組み合わせについても想定される。例えば、一態様において、図16〜図18に図示及び説明された固定穴Hを単独で用いてもよく、かつ/又は、上記の図19〜図24に図示及び説明されたディファレンシャルエッチング工程と組み合わせて用いてもよい。このようなデバイスは本開示の範疇内である。
各図面に示されるとともに上記で説明された本開示の各実施形態は、添付の特許請求の範囲の範疇に包含され得る多数の実施形態の例示である。LEDデバイス内で1つ以上の層間の接着性を向上させることにより、良好な電気的絶縁性や光学的特性を維持することができる。LEDデバイス及びその製造方法の構成は、特に開示されたもの以外にも多数の構成を含み得ることが想定される。

Claims (31)

  1. 1つ以上の発光ダイオード(LED)を支持するサブマウントを備えた発光デバイスであって、前記サブマウントが、
    誘電体層と、
    前記誘電体層の上に配置され、かつ、前記1つ以上のLEDから離間した導電性配線を含む、伝導層と、
    前記伝導層の上に配置された反射層と、
    前記反射層および前記伝導層を貫通する少なくとも1つの穴と、
    前記穴内前記誘電体層上、及び前記導電性配線の側壁にソルダーレジストの少なくとも一部が配置されるように前記反射層の上に配置され、かつ、反射材料を含む、ソルダーレジスト層と
    を備える発光デバイス。
  2. 前記穴の一部は前記伝導層の表面上で終端する、請求項1に記載の発光デバイス。
  3. 前記反射層及び前記伝導層が前記穴の側壁を構成する、請求項1又は2に記載の発光デバイス。
  4. 前記サブマウントはさらに、前記反射層と前記伝導層との間に配置されたバリア層を備える、請求項1に記載の発光デバイス。
  5. 前記伝導層が銅(Cu)を含み、前記反射層が銀(Ag)を含み、前記バリア層がニッケル(Ni)を含む、請求項4に記載の発光デバイス。
  6. 前記伝導層は粗面テクスチャを備える、請求項1に記載の発光デバイス。
  7. 前記反射層に複数の穴が配置されている、請求項1に記載の発光デバイス。
  8. 前記少なくとも1つの穴は、約0.2〜500マイクロメートル(μm)の範囲にある深さを備える、請求項1〜7のいずれか一項に記載の発光デバイス。
  9. 1つ以上の発光ダイオードを備える、請求項1〜8のいずれか一項に記載の発光デバイス。
  10. 1つ以上の発光ダイオード(LED)を支持するサブマウントを提供する工程を含む、発光デバイスを提供する方法であって、前記サブマウントを提供する工程が、
    誘電体層を提供する工程と、
    前記誘電体層の上に、前記1つ以上のLEDから離間した導電性配線を有する伝導層を堆積する工程と、
    前記伝導層の上に反射層を堆積する工程と、
    前記反射層及び前記伝導層を貫通する少なくとも1つの穴を形成する工程と、
    前記少なくとも1つの穴内前記誘電体層上、及び前記導電性配線の側壁にソルダーレジストの少なくとも一部が配置されるように、前記反射層の上に、反射材料を含むソルダーレジスト層を堆積する工程と
    を含む方法。
  11. 前記伝導層を堆積する工程は、銅(Cu)層を堆積する工程を含む、請求項10に記載の方法。
  12. 前記反射層を堆積する工程は、銀(Ag)層を堆積する工程を含む、請求項10又は11に記載の方法。
  13. 前記伝導層と前記反射層との間にバリア層を堆積する工程をさらに含む、請求項10〜12のいずれか一項に記載の方法。
  14. 前記少なくとも1つの穴を形成する工程は、前記穴を化学的にエッチングする工程を含む、請求項10〜13のいずれか一項に記載の方法。
  15. 前記少なくとも1つの穴を形成する工程は、前記穴の一部が前記伝導層の上面で終端するように前記反射層をエッチングする工程を含む、請求項10〜14のいずれか一項に記載の方法。
  16. 前記反射層及び前記伝導層に複数の穴を形成する工程をさらに含む、請求項10〜15のいずれか一項に記載の方法。
  17. 前記少なくとも1つの穴を形成する工程は、約0.2〜500マイクロメートル(μm)の範囲にある深さを有する少なくとも1つの穴を化学的にエッチングする工程を含む、請求項10〜16のいずれか一項に記載の方法。
  18. サブマウントと、
    前記サブマウントの上方に配置された複数の発光ダイオード(LED)であって、1つ以上の電気コネクタによって電気的に接続されている、複数の発光ダイオード(LED)と、
    前記複数のLEDの周囲に配置された保持材料であって、前記1つ以上の電気コネクタの少なくとも一部を被覆する保持材料と
    を備え、
    前記サブマウントが、
    誘電体層と、
    前記誘電体層の上に配置され、かつ、前記複数のLEDから離間した導電性配線を備える伝導層と、
    前記伝導層の上に配置された反射層と、
    前記反射層及び前記伝導層の一部を貫通する少なくとも1つの穴と、
    前記穴内前記誘電体層上、及び前記導電性配線の側壁にソルダーレジストの少なくとも一部が配置されるように、前記反射層の上に配置された、反射材料を含むソルダーレジスト層と
    を含む、発光デバイス。
  19. 前記穴の一部は前記伝導層の表面上で終端する、請求項18に記載の発光デバイス。
  20. 前記反射層及び前記伝導層が前記穴の側壁を形成する、請求項18又は19に記載の発光デバイス。
  21. 前記少なくとも1つの穴は、約0.2〜500マイクロメートル(μm)の範囲にある深さを備える、請求項18〜20のいずれか一項に記載の発光デバイス。
  22. 1つ以上の発光ダイオード(LED)を支持するサブマウントを備えた発光デバイスであって、前記サブマウントが、
    粗面テクスチャを備え、かつ、前記1つ以上のLEDから離間した導電性配線を備える伝導層と、
    前記伝導層の上に配置された反射層であって、平滑面テクスチャを有し、反射層を貫通する穴を備える反射層と、
    前記反射層の上、前記穴内、及び前記伝導層の粗面化された表面の上方に配置された、反射材料を含むソルダーレジスト層と
    を備える、発光デバイス。
  23. 前記反射層は電解Agからなる層を含む、請求項22に記載の発光デバイス。
  24. 前記粗面テクスチャは、波状の表面テクスチャ、複数のリップ、又は複数のくぼみを備える、請求項22又は23に記載の発光デバイス。
  25. 前記発光デバイスが誘電体層をさらに備え、前記伝導層が前記誘電体層の上方に配置されている、請求項22〜24のいずれか一項に記載の発光デバイス。
  26. 1つ以上の発光ダイオード(LED)を支持するサブマウントを提供する工程を含む、発光デバイスを提供する方法であって、前記サブマウントを提供する工程が、
    前記1つ以上のLEDから離間した導電性配線を備える伝導層を堆積する工程と、
    前記伝導層の上に反射層を堆積する工程と、
    前記反射層を貫通する穴を形成する工程と、
    前記伝導層の表面を粗面化する工程と、
    前記反射層の上方、前記穴内、及び前記伝導層の粗面化された表面の上方に反射材料を含むソルダーレジスト層を堆積する工程と
    を含む方法。
  27. 前記伝導層の表面を粗面化する工程は、前記表面を機械的又は化学的に研磨する工程を含む、請求項26に記載の方法。
  28. 前記方法は、誘電体層を提供する工程をさらに含み、前記伝導層は前記誘電体層の上方に配置されている、請求項26又は27に記載の方法。
  29. 発光デバイスを提供する方法であって、
    1つ以上の発光ダイオード(LED)を支持するサブマウントを提供する工程であって、前記サブマウントが、誘電体層と、前記誘電体層の上に配置され、かつ、前記1つ以上のLEDから離間した導電性配線を有する伝導層と、前記伝導層の上に配置される反射層とを備える、工程と、
    第1フォトマスクを施した後に前記反射層の一部をエッチングする工程と、
    前記伝導層が前記反射層よりも面積が大きく、又は小さくなるように、第2フォトマスクを施した後に前記伝導層の一部をエッチングする工程と、
    前記誘電体層の一部の上、前記反射層の一部の上、及び前記導電性配線の側壁に、反射材料を含むソルダーレジスト層を堆積する工程と
    を含む方法。
  30. 前記ソルダーレジスト層が前記誘電体層の一部及び前記伝導層の一部に直接接着している、請求項29に記載の方法。
  31. 前記伝導層と前記反射層との間にバリア層を堆積する工程をさらに含む、請求項29又は30に記載の方法。
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