JP5831825B2 - 露光装置及び液体供給方法 - Google Patents
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Description
本発明の第3の態様によれば、投影光学系と液体を介して基板を露光する露光装置であって、前記基板を保持可能なステージと、比抵抗が変化する所定物質を液体に混入させる混入装置と、前記所定物質が混入した前記液体を前記投影光学系と前記ステージとの間に供給して液浸領域を形成する液浸部材と、前記所定物質が溶解した液体の温調を行なう温調装置と、を備え、前記温調が行なわれた後に前記所定物質が溶解した前記液体により前記液浸領域が形成されるとともに、前記液浸部材により形成された前記液浸領域の界面に除電機能を有する気体が吹き付けられる第3の露光装置が、提供される。
Claims (18)
- 投影光学系と液体を介して基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持可能な保持部と、前記保持部を囲む撥液性の上面とを有するステージと、
比抵抗が変化する所定物質を液体に混入させる混入装置と、
前記所定物質が混入した前記液体を前記投影光学系と前記ステージとの間に供給して液浸領域を形成する液浸部材と、を備え、
前記液浸部材により形成された前記液浸領域の界面に除電機能を有する気体が吹き付けられる露光装置。 - 前記ステージの上面と前記保持された基板の上面が同じ高さとなるように、前記基板が前記ステージに保持される請求項1に記載の露光装置。
- 投影光学系と液体を介して基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持可能な保持部と、前記保持部を囲んで前記保持された基板と同じ高さの上面を有するステージと、
比抵抗が変化する所定物質を液体に混入させる混入装置と、
前記所定物質が混入した前記液体を前記投影光学系と前記ステージとの間に供給して液浸領域を形成する液浸部材と、を備え、
前記液浸部材により形成された前記液浸領域の界面に除電機能を有する気体が吹き付けられる露光装置。 - 前記基板と前記ステージの上面との間には所定の間隙が形成される請求項2又は3に記載の露光装置。
- 前記所定物質が溶解した液体の温調を行なう温調装置をさらに有し、
前記温調が行なわれた前記液体が前記液浸部材により供給される請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光装置。 - 投影光学系と液体を介して基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持可能なステージと、
比抵抗が変化する所定物質を液体に混入させる混入装置と、
前記所定物質が混入した前記液体を前記投影光学系と前記ステージとの間に供給して液浸領域を形成する液浸部材と、
前記所定物質が溶解した液体の温調を行なう温調装置と、を備え、
前記温調が行なわれた後に前記所定物質が溶解した前記液体により前記液浸領域が形成されるとともに、前記液浸部材により形成された前記液浸領域の界面に除電機能を有する気体が吹き付けられる露光装置。 - 前記所定物質は前記液体に溶解可能な気体を含む請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記気体は二酸化炭素を含む請求項7に記載の露光装置。
- 前記ステージの上面は、フッ素系樹脂材料又はアクリル系樹脂材料によりコーティングされている請求項1〜8のいずれか一項に記載の露光装置。
- 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置に用いられる液体供給方法であって、
前記基板を保持可能な保持部と、前記保持部を囲む撥液性の上面とを有するステージを、前記投影光学系下へ位置づけることと、
比抵抗が変化する所定物質を液体に溶解させることと、
前記所定物質が溶解された前記液体を前記投影光学系と前記ステージとの間に供給して液浸領域を形成することと、
前記形成された液浸領域の界面に除電機能を有する気体を吹き付けることと、を含む液体供給方法。 - 前記ステージの上面と前記保持された基板の上面が同じ高さとなるように、前記基板が前記ステージに保持される請求項10に記載の液体供給方法。
- 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置に用いられる液体供給方法であって、
前記基板を保持可能な保持部と、前記保持部を囲んで前記保持された基板と同じ高さの上面とを有するステージを、前記投影光学系下へ位置づけることと、
比抵抗が変化する所定物質を液体に溶解させることと、
前記所定物質が溶解された前記液体を前記投影光学系と前記ステージとの間に供給して液浸領域を形成することと、
前記形成された液浸領域の界面に除電機能を有する気体を吹き付けることと、を含む液体供給方法。 - 前記基板と前記ステージの上面との間には所定の間隙が形成される請求項11又は12に記載の液体供給方法。
- 前記所定物質が溶解した前記液体の温調を行なうことをさらに含み、
前記温調が行なわれた前記液体により前記液浸領域が形成される請求項10〜13のいずれか一項に記載の液体供給方法。 - 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置に用いられる液体供給方法であって、
前記基板を保持可能なステージを前記投影光学系下へ位置づけることと、
比抵抗が変化する所定物質を液体に溶解させることと、
前記所定物質が溶解した前記液体の温調を行なうことと、
前記所定物質が溶解された前記液体を前記投影光学系と前記ステージとの間に供給して液浸領域を形成することを含み、
前記温調が行なわれた後に前記所定物質が溶解した前記液体により前記液浸領域が形成されるとともに、前記形成された液浸領域の界面に除電機能を有する気体が吹き付けられる液体供給方法。 - 前記所定物質は前記液体に溶解可能な気体を含む請求項10〜15のいずれか一項に記載の液体供給方法。
- 前記気体は二酸化炭素を含む請求項16に記載の液体供給方法。
- 前記ステージの上面は、フッ素系樹脂材料又はアクリル系樹脂材料によりコーティングされている請求項10〜17のいずれか一項に記載の液体供給方法。
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