JP5802407B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Description
たとえば、特許文献1には、ベベルエッチングを行う枚葉式の基板処理装置が記載されている。この基板処理装置は、基板を水平に保持して鉛直軸線まわりに回転させるスピンチャックと、スピンチャックに保持された基板の下面中央部に対向する下面ノズルとを備えている。下面ノズルから吐出された薬液は、回転状態の基板の下面中央部に供給される。そして、基板の下面中央部に供給された薬液は、基板の回転によって基板の下面に沿って外方に広がり、基板の周端面を伝って基板の上面周縁部に回り込む。これにより、基板の上面周縁部の全域に薬液が供給される。
請求項4記載の発明は、第1処理室および第2処理室と、前記第1処理室で基板を保持する第1基板保持手段と、基板の主面に付着している異物の位置を測定する異物測定手段(42)と、エッチング成分と増粘剤とを含む薬液を、前記第1基板保持手段に保持された基板の主面に対して部分的に供給することにより、前記主面において異物が含まれる範囲に前記薬液を供給する薬液供給手段と、前記薬液が前記基板に保持された状態で当該基板を前記第1処理室から前記第2処理室に搬送する基板搬送手段と、前記薬液が保持された複数枚の基板を前記第2処理室で保持する第2基板保持手段と、を含む、基板処理装置である。この構成によれば、異物が含まれる範囲に薬液が確実に供給されるから、基板に付着している異物を確実に除去することができる。さらに、異物が含まれる範囲にだけ薬液を供給することができるから、薬液の供給が必要でない範囲に薬液が供給されることを抑制または防止することができる。これにより、薬液の供給が必要でない範囲に薬液による影響が及ぶことを抑制または防止することができる。
図1は、この発明の第1実施形態に係る基板処理装置1のレイアウトを示す図解的な平面図である。
基板処理装置1は、薬液やリンス液などの処理液によって半導体ウエハ等の円形の基板Wを一枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置である。基板処理装置1は、インデクサブロック2と、インデクサブロック2に結合された処理ブロック3と、基板処理装置1に備えられた装置の動作やバルブの開閉を制御する制御装置4とを備えている。
薬液供給ユニット7aは、基板Wを水平に保持して回転させる第1スピンチャック8(第1基板保持手段)と、第1スピンチャック8に保持された基板Wの上面に薬液を供給する薬液ノズル9(薬液供給手段)と、第1スピンチャック8に保持された基板Wの上面近傍に配置された近接部材10と、基板Wと近接部材10との間に窒素ガスを供給する窒素ガスノズル11と、第1スピンチャック8、薬液ノズル9、近接部材10、および窒素ガスノズル11を収容する第1チャンバ12(第1処理室)とを備えている。
反応ユニット7bは、基板Wを水平に保持する複数の基板保持部材24(第2基板保持手段)と、基板保持部材24を収容する第2チャンバ25(第2処理室)と、第2チャンバ25内を加熱するヒータ26とを備えている。
リンスユニット7cは、基板Wを水平に保持して回転させる第3スピンチャック31(第3基板保持手段)と、第3スピンチャック31に保持された基板Wの上面にリンス液を供給するリンス液ノズル32(リンス液供給手段)と、第3スピンチャック31およびリンス液ノズル32を収容する第3チャンバ33(第3処理室)とを備えている。
制御装置4は、キャリアCに収容された未処理の基板WをインデクサロボットIRによって搬出させる。そして、制御装置4は、キャリアCから搬出された基板WをインデクサロボットIRからセンターロボットCRに移動させる。その後、制御装置4は、センターロボットCRに渡された基板WをセンターロボットCRによって薬液供給ユニット7aに搬入させる。これにより、図7(a)に示すように、第1スピンチャック8上に基板Wが載置される。基板Wが第1スピンチャック8上に載置されるとき、制御装置4は、薬液ノズル9および近接部材10をそれぞれの待機位置に位置させている。
第2実施形態に係る基板処理装置201は、第1実施形態に係る基板処理装置1に備えられた構成に加えて、基板Wに付着している異物の位置を測定する異物測定ユニット40を備えている。図8に示すように、第2実施形態では、異物測定ユニット40は、インデクサロボットIRがアクセス可能な位置に配置されている。インデクサロボットIRは、異物測定ユニット40に基板Wを搬入する搬入動作、および基板Wを異物測定ユニット40から搬出する搬出動作を行う。さらに、インデクサロボットIRは、キャリア保持部5に保持されたキャリアCと異物測定ユニット40との間で基板Wを搬送すると共に、異物測定ユニット40とセンターロボットCRとの間で基板Wを搬送する。
第4スピンチャック41は、基板Wを水平に保持して当該基板Wの中心を通る鉛直軸線まわりに回転可能な円盤状のスピンベース13と、このスピンベース13を鉛直軸線まわりに回転させるスピンモータ14とを含む。第4スピンチャック41は、挟持式のチャックであってもよいし、バキューム式のチャックであってもよい。第2実施形態では、第4スピンチャック41は、挟持式のチャックである。
制御装置4は、キャリアCに収容された未処理の基板WをインデクサロボットIRによって搬出させる。そして、制御装置4は、キャリアCから搬出された基板WをインデクサロボットIRによって異物測定ユニット40に搬入させる。これにより、第4スピンチャック41上に基板Wが載置される。基板Wが第4スピンチャック41上に載置されるとき、制御装置4は、照射ヘッド44を第4スピンチャック41の上方から退避させている。
この発明の実施の形態の説明は以上であるが、この発明は、前述の第1および第2実施形態の内容に限定されるものではなく、請求項記載の範囲内において種々の変更が可能である。
また、前述の第1および第2実施形態では、薬液供給ユニット7aが、近接部材10を備えている場合について説明したが、薬液供給ユニット7aは、近接部材10を備えていなくてもよい。
また、前述の第1および第2実施形態では、基板Wに薬液を供給することによって、パーティクルなどの基板Wに付着している異物を基板Wから除去しているが、異物除去以外の処理であってもよく、基板Wの表面に形成されている薄膜を薬液により除去するエッチング処理であってもよい。
であってもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
8 第1スピンチャック(第1基板保持手段)
9 薬液ノズル(薬液供給手段)
12 第1チャンバ(第1処理室)
24 基板保持部材(第2基板保持手段)
25 第2チャンバ(第2処理室)
31 第3スピンチャック(第3基板保持手段)
32 リンス液ノズル(リンス液供給手段)
33 第3チャンバ(第3処理室)
42 異物測定装置(異物測定手段)
43 第4チャンバ(測定室)
201 基板処理装置
CR センターロボット(基板搬送手段)
IR インデクサロボット(基板搬送手段)
W 基板
Claims (8)
- 第1処理室、第2処理室、および第3処理室と、
前記第1処理室で基板を保持する第1基板保持手段と、
エッチング成分と増粘剤とを含む薬液を、前記第1基板保持手段に保持された基板の上面に供給する薬液供給手段と、
前記薬液が保持された複数枚の基板が水平な姿勢で上下に並ぶように、前記複数枚の基板を前記第2処理室で同時に保持可能な複数の基板保持部材を含む第2基板保持手段と、
前記薬液が保持された基板を前記第3処理室で保持する第3基板保持手段と、
前記薬液が前記基板の上面に保持された状態で当該基板を前記第1処理室から前記第2処理室に搬送し、前記薬液が前記基板の上面に保持された状態で当該基板を前記第2処理室から前記第3処理室に搬送する基板搬送手段と、を含む、基板処理装置。 - さらに、前記第3基板保持手段に保持された基板にリンス液を供給するリンス液供給手段を含む、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記薬液供給手段は、前記第1基板保持手段に保持された基板の上面に対して前記薬液を部分的に供給するように構成されている、請求項1または2記載の基板処理装置。
- 第1処理室および第2処理室と、
前記第1処理室で基板を保持する第1基板保持手段と、
基板の主面に付着している異物の位置を測定する異物測定手段と、
エッチング成分と増粘剤とを含む薬液を、前記第1基板保持手段に保持された基板の主面に対して部分的に供給することにより、前記主面において異物が含まれる範囲に前記薬液を供給する薬液供給手段と、
前記薬液が前記基板に保持された状態で当該基板を前記第1処理室から前記第2処理室に搬送する基板搬送手段と、
前記薬液が保持された複数枚の基板を前記第2処理室で保持する第2基板保持手段と、を含む、基板処理装置。 - さらに前記異物測定手段によって基板に付着している異物の位置が測定される測定室を含み、
前記基板搬送手段は、前記測定室から前記第1処理室に基板を搬送するように構成されている、請求項4記載の基板処理装置。 - 前記薬液供給手段は、前記上面の予め定められた範囲に前記薬液を供給するように構成されている、請求項3記載の基板処理装置。
- エッチング成分と増粘剤とを含む薬液を第1処理室で基板の上面に供給して、当該薬液を前記基板に保持させる薬液供給工程と、
前記薬液供給工程が行われた後に、前記薬液が前記基板の上面に保持された状態で当該基板を基板搬送手段によって前記第1処理室から第2処理室に搬送することにより、薬液が保持された複数枚の基板が水平な姿勢で上下に並ぶように、前記複数枚の基板を前記第2処理室で第2基板保持手段の複数の基板保持部材に同時に保持させる搬送工程と、
前記搬送工程が行われた後に、前記薬液が保持された基板と前記薬液との反応を進行させる反応処理工程と、
前記搬送工程が行われた後に、前記第2処理室内の複数枚の基板を前記第2処理室での滞在時間が所定時間に達した基板から順番に前記基板搬送手段によって前記第2処理室から順次搬出する搬出工程とを含む、基板処理方法。 - 前記エッチング成分はフッ化水素酸と過酸化水素の混合物、または水酸化アンモニウムと過酸化水素の混合物であり、前記増粘剤はメチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ポリエチレングリコール、ポリアクリル酸ナトリウムおよびポリビニルアルコールから選択される1種以上である請求項7記載の基板処理方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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