JP6395673B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
Description
2 搬入出ステーション
3 処理ステーション
4 制御装置
16 処理ユニット
50 回収カップ
50a 窪み
50b 下面
56 洗浄液供給部
60 回転プレート
70 回転リング
70b 平坦面
100 処理液供給部
W ウェハ
Claims (11)
- 基板を回転させる回転プレートと、
前記基板の裏面に対して処理液を供給する処理液供給部と、
平坦面を有して前記基板の周縁部を取り囲むように前記回転プレートに連結されるリング部材と、
前記リング部材の上方に配置されるカバー部材と、
前記リング部材の平坦面に面する前記カバー部材の下面に前記リング部材の周方向に沿って複数設けられ、前記リング部材の平坦面に向けて洗浄液を供給する洗浄液供給部と
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 一連の基板処理を制御する制御部
を備え、
前記制御部は、
前記回転プレートを第1の回転数で回転させることにより前記リング部材の平坦面に前記洗浄液の液流を生じさせる第1洗浄処理を実行するよう制御し、
前記制御部はさらに、
前記回転プレートを回転させながら前記洗浄液供給部から供給される前記洗浄液の流量、流速および前記回転プレートの回転数のうちの少なくともいずれかを制御することにより、前記リング部材の平坦面と前記カバー部材の下面との間を液密状態にする液密洗浄処理を実行するよう制御すること
を特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、
前記回転プレートを前記第1の回転数よりも大きい第2の回転数で回転させることにより前記洗浄液を飛散させて前記カバー部材の下面へ衝突させる第2洗浄処理を実行するよう制御すること
を特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、
前記回転プレートを前記第2の回転数よりも大きい第3の回転数で回転させることにより前記カバー部材の下面の奥側へ前記洗浄液を到達させる第3洗浄処理を実行するよう制御すること
を特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、
前記第1洗浄処理、前記第2洗浄処理、前記第3洗浄処理の順序で連続的に洗浄処理を実行するよう制御すること
を特徴とする請求項4に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、
前記第1洗浄処理、前記第2洗浄処理、前記第3洗浄処理のうち少なくとも1つの洗浄処理を実行した後、前記液密洗浄処理を実行するよう制御すること
を特徴とする請求項4または5に記載の基板処理装置。 - 基板を回転させる回転プレートと、
前記基板の裏面に対して処理液を供給する処理液供給部と、
平坦面を有して前記基板の周縁部を取り囲むように前記回転プレートに連結されるリング部材と、
前記リング部材の上方に配置されるカバー部材と、
前記リング部材の平坦面に向けて洗浄液を供給する洗浄液供給部と、
一連の基板処理を制御する制御部と
を備え、
前記制御部は、
前記回転プレートを第1の回転数で回転させることにより前記リング部材の平坦面に前記洗浄液の液流を生じさせる第1洗浄処理を実行するよう制御し、
前記制御部はさらに、
前記洗浄液供給部から供給される前記洗浄液の流量、流速および前記回転プレートの回転数のうちの少なくともいずれかを制御することにより、前記リング部材の平坦面と前記カバー部材の下面との間を液密状態にする液密洗浄処理を実行するよう制御すること
を特徴とする基板処理装置。 - 前記洗浄液供給部の前記リング部材に対する角度を変更させる変更機構
をさらに備え、
前記制御部は、
前記変更機構を用いて前記角度を変更させつつ、前記洗浄液供給部から前記リング部材に対して前記洗浄液を供給すること
を特徴とする請求項7に記載の基板処理装置。 - 前記洗浄液供給部は、不活性ガスを供給可能に設けられ、
前記制御部は、
前記洗浄液供給部に前記洗浄液を供給させた後、前記洗浄液供給部に前記不活性ガスを供給させること
を特徴とする請求項7または8に記載の基板処理装置。 - 前記洗浄液供給部は、略等間隔で少なくとも30個設けられること
を特徴とする請求項1〜9のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記回転プレート側に設けられ、該回転プレート側から前記洗浄液を前記洗浄液供給部と並行して供給する第2の洗浄液供給部
を備えることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一つに記載の基板処理装置。
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JP2015140593A JP6395673B2 (ja) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | 基板処理装置 |
PCT/JP2016/066804 WO2017010191A1 (ja) | 2015-07-14 | 2016-06-06 | 基板処理装置及び記憶媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015140593A JP6395673B2 (ja) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | 基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017022317A JP2017022317A (ja) | 2017-01-26 |
JP6395673B2 true JP6395673B2 (ja) | 2018-09-26 |
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Family Applications (1)
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2015
- 2015-07-14 JP JP2015140593A patent/JP6395673B2/ja active Active
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