JP5668037B2 - 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 - Google Patents
積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5668037B2 JP5668037B2 JP2012214391A JP2012214391A JP5668037B2 JP 5668037 B2 JP5668037 B2 JP 5668037B2 JP 2012214391 A JP2012214391 A JP 2012214391A JP 2012214391 A JP2012214391 A JP 2012214391A JP 5668037 B2 JP5668037 B2 JP 5668037B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particles
- core
- multilayer ceramic
- dielectric layer
- shell
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 title claims description 34
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 8
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 178
- 239000011258 core-shell material Substances 0.000 claims description 44
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 28
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 24
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 claims description 24
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 43
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 8
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 3
- 101100513612 Microdochium nivale MnCO gene Proteins 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 1,1-Diethoxyethane Chemical compound CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018100 Ni-Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018532 Ni—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 239000011354 acetal resin Substances 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 239000000075 oxide glass Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 230000005476 size effect Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/08—Inorganic dielectrics
- H01G4/12—Ceramic dielectrics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/005—Electrodes
- H01G4/012—Form of non-self-supporting electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/08—Inorganic dielectrics
- H01G4/12—Ceramic dielectrics
- H01G4/1209—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
- H01G4/1218—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates
- H01G4/1227—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates based on alkaline earth titanates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/20—Dielectrics using combinations of dielectrics from more than one of groups H01G4/02 - H01G4/06
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/30—Stacked capacitors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
(1)誘電体原料粉末の調製
MLCCの誘電体層を焼成する主成分の出発原料として、BaTiO3粉末を使用した(ここで、チタン酸バリウムを「BT」と略称する。)。BTを粉砕し、それぞれのメジアン径d50が0.33μm、0.30μm及び0.25μmである3種類の各粒径サイズのBT粉末を準備した。表1に示されるように、BT粉末について大小異なる粒径サイズの組(Group I〜VI)を定め、各条件に従ってそれぞれのグループ毎に小径及び大径粒子の配合比を変えて主成分粉末を混合した。
大小異なる粒径のBT主成分粉末に固溶副成分粉末を添加して得た誘電体原料粉末をポリビニルアセタール樹脂及び有機溶剤を含む有機バインダで湿式混合し、ドクターブレード法により1.5μm及び1.0μmの2種類の厚さのグリーンシートを作成した。そして、これらグリーンシート上にNi導電ペーストをスクリーン印刷することで、左右2極の内部電極に対応する電極パターンを形成した。
こうして得たMLCCの成型体をN2雰囲気中で脱バインダし、その後、N2、H2、H2Oの還元性混合ガス(酸素分圧が約1.0×10−11MPa)雰囲気中において1250℃に昇温させた。表1には焼成工程における昇温速度の各条件が示される。1250℃での保持時間を2時間に設定して、MLCCの焼結体10を得た。焼結体10をアニール後、外部電極20、20の表面にはNi−Snめっき処理を施した。
(1)コアシェル粒子の面積比率
コアシェル粒子と均一固溶粒子とが混在するセラミック誘電体層において、焼結体粒子全体に対しコアシェル粒子が残存している割合を観察断面の面積比率により測定した。
MLCCの側面を研磨し内部電極が交差する層断面を露出させた後、TEMによりその断面の誘電体層部分を撮影した画像に基づいて焼結体粒子の粒径を測定した。撮影したTEM画像から100個以上の焼結体粒子が観察できる15μm×15μmの任意の視野を少なくとも20箇所以上選択した。図2に示すように、1つの焼結体粒子で積層方向及びそれに直交する方向における最大の粒界幅D1、D2を測定し、それらを加算して2で割った値をその粒子の粒子径D(=(D1+D2)/2)とした。各焼結体粒子の粒子径を20箇所以上の視野を撮影したTEM画像から測定し、それらの算術平均を焼結体粒子の平均粒径として評価した。
MLCCの静電容量Cmの測定値から、下記の式(1)を用いて比誘電率εを求めた。本発明の実施例では、比誘電率の基準を5000と設定しそれ以上のものを適合と評価した。
ここで、ε0は真空の誘電率であり、n、S、tは、それぞれ、誘電体層の層数、内部電極層の面積、誘電体層の層厚である。
MLCCの静電容量温度変化特性(TCC)がEIA規格X5Rの要求(静電容量の変化率が−55〜+85℃の温度範囲にて±15%以内)を満足するか否かにより温度特性を評価した。表1には、各条件で作製したMLCCについて、25℃の容量C25℃を基準に温度範囲−55〜85℃における最大の容量変化ΔC(=Cmin−C25℃)から算出したTCC(=ΔC/C25℃)が百分率で示される。
表1を参照して、各条件で作製したMLCCについての特性結果を説明する。
10 焼結体
12 誘電体層(セラミック誘電体層)
13 内部電極層(導体層)
15 カバー層
20 外部電極
Claims (3)
- セラミック誘電体層と導体層とを交互に積層してなる積層セラミックコンデンサであって、
前記セラミック誘電体層がコアシェル構造を有するコアシェル粒子と、均一に固溶が進行した均一固溶粒子とを含む焼結体粒子からなり、
前記導体層が交差する位置で切り出した前記誘電体層の層断面をTEM(透過型電子顕微鏡)により観察したときに、前記セラミック誘電体層を構成する焼結体粒子全体に対して占める前記コアシェル粒子の面積比率が5〜15%であり、
前記コアシェル粒子と前記均一固溶粒子とをあわせた焼結体粒子全体の平均粒径が0.3〜0.5μmである積層セラミックコンデンサ。 - 焼成後の前記導体層間における前記セラミック誘電体層の厚さが2.0μm以下である請求項1に記載の積層セラミックコンデンサ。
- 前記セラミック誘電体層の厚さが1.2μm以下である請求項2に記載の積層セラミックコンデンサ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012214391A JP5668037B2 (ja) | 2012-09-27 | 2012-09-27 | 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 |
KR20130087130A KR101414981B1 (ko) | 2012-09-27 | 2013-07-24 | 적층 세라믹 콘덴서 및 그 제조 방법 |
US14/033,324 US9105407B2 (en) | 2012-09-27 | 2013-09-20 | Multi-layer ceramic capacitor and method of manufacturing the same |
CN201310451430.0A CN103700497B (zh) | 2012-09-27 | 2013-09-27 | 层叠陶瓷电容器及其制造方法 |
US14/791,126 US9406441B2 (en) | 2012-09-27 | 2015-07-02 | Multi-layer ceramic capacitor and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012214391A JP5668037B2 (ja) | 2012-09-27 | 2012-09-27 | 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014252934A Division JP5857116B2 (ja) | 2014-12-15 | 2014-12-15 | 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014072203A JP2014072203A (ja) | 2014-04-21 |
JP5668037B2 true JP5668037B2 (ja) | 2015-02-12 |
Family
ID=50361993
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012214391A Active JP5668037B2 (ja) | 2012-09-27 | 2012-09-27 | 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9105407B2 (ja) |
JP (1) | JP5668037B2 (ja) |
KR (1) | KR101414981B1 (ja) |
CN (1) | CN103700497B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110698725A (zh) * | 2019-10-10 | 2020-01-17 | 深圳市峰泳科技有限公司 | 无机填料及其制备方法和在介电材料中的应用 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5668037B2 (ja) * | 2012-09-27 | 2015-02-12 | 太陽誘電株式会社 | 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 |
KR101489815B1 (ko) * | 2013-07-11 | 2015-02-04 | 삼성전기주식회사 | 적층 세라믹 커패시터 |
JP6525669B2 (ja) * | 2015-03-27 | 2019-06-05 | Tdk株式会社 | 積層セラミック電子部品 |
US10497512B2 (en) | 2015-07-17 | 2019-12-03 | Tdk Electronics Ag | Dielectric composition, dielectric element, electronic component and laminated electronic component |
US10475577B2 (en) | 2015-07-17 | 2019-11-12 | Tdk Electronics Ag | Dielectric composition, dielectric element, electronic component and multi-layer electronic component |
US10236123B2 (en) * | 2015-07-19 | 2019-03-19 | Vq Research, Inc. | Methods and systems to minimize delamination of multilayer ceramic capacitors |
US10933679B2 (en) * | 2017-03-27 | 2021-03-02 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Screen printing plate and manufacturing method of electronic component |
KR102292797B1 (ko) | 2019-02-13 | 2021-08-24 | 삼성전기주식회사 | 유전체 자기 조성물 및 이를 포함하는 적층 세라믹 커패시터 |
KR102333096B1 (ko) * | 2019-09-20 | 2021-12-01 | 삼성전기주식회사 | 유전체 조성물 및 이를 포함하는 적층형 전자 부품 |
JP7441110B2 (ja) * | 2020-05-07 | 2024-02-29 | 太陽誘電株式会社 | 誘電体、電子部品、および積層セラミックコンデンサ |
CN114804859B (zh) * | 2022-05-11 | 2022-11-29 | 湖南艾迪奥电子科技有限公司 | 一种高可靠性x7r用陶瓷粉料的制备方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3376963B2 (ja) | 1999-06-30 | 2003-02-17 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 |
JP3793697B2 (ja) | 2000-02-03 | 2006-07-05 | 太陽誘電株式会社 | 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 |
JP2002080276A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-03-19 | Taiyo Yuden Co Ltd | 誘電体磁器組成物及び磁器コンデンサ |
US6829136B2 (en) * | 2002-11-29 | 2004-12-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dielectric ceramic, method for making the same, and monolithic ceramic capacitor |
JP4513278B2 (ja) | 2003-05-26 | 2010-07-28 | 株式会社村田製作所 | 非還元性誘電体セラミックの製造方法、非還元性誘電体セラミックおよび積層セラミックコンデンサ |
JP4502741B2 (ja) * | 2004-07-29 | 2010-07-14 | 京セラ株式会社 | 積層セラミックコンデンサおよびその製法 |
JP4779689B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2011-09-28 | Tdk株式会社 | 粉末の製造方法、その粉末及びその粉末を用いた積層セラミックコンデンサ |
JP4999422B2 (ja) * | 2005-10-26 | 2012-08-15 | 美濃窯業株式会社 | 連続式の熱処理方法及び連続式の熱処理炉 |
JP5121311B2 (ja) * | 2007-06-01 | 2013-01-16 | 京セラ株式会社 | 誘電体磁器および積層セラミックコンデンサ |
JP4992918B2 (ja) * | 2009-01-30 | 2012-08-08 | 株式会社村田製作所 | 誘電体セラミックおよび積層セラミックコンデンサ |
JP5163905B2 (ja) * | 2009-03-16 | 2013-03-13 | 横河電機株式会社 | 測定装置 |
JP5246185B2 (ja) * | 2010-03-11 | 2013-07-24 | 株式会社村田製作所 | 誘電体セラミック、及び積層セラミックコンデンサ |
CN102959655B (zh) * | 2010-06-25 | 2016-04-06 | 京瓷株式会社 | 电容器 |
JP2012166976A (ja) * | 2011-02-14 | 2012-09-06 | Tdk Corp | 誘電体磁器組成物およびセラミック電子部品 |
JP2013197492A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Kyocera Corp | セラミックコンデンサ |
JP5668037B2 (ja) * | 2012-09-27 | 2015-02-12 | 太陽誘電株式会社 | 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 |
-
2012
- 2012-09-27 JP JP2012214391A patent/JP5668037B2/ja active Active
-
2013
- 2013-07-24 KR KR20130087130A patent/KR101414981B1/ko active IP Right Grant
- 2013-09-20 US US14/033,324 patent/US9105407B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2013-09-27 CN CN201310451430.0A patent/CN103700497B/zh active Active
-
2015
- 2015-07-02 US US14/791,126 patent/US9406441B2/en active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110698725A (zh) * | 2019-10-10 | 2020-01-17 | 深圳市峰泳科技有限公司 | 无机填料及其制备方法和在介电材料中的应用 |
CN110698725B (zh) * | 2019-10-10 | 2021-05-18 | 深圳市峰泳科技有限公司 | 无机填料及其制备方法和在介电材料中的应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20140041324A (ko) | 2014-04-04 |
US9105407B2 (en) | 2015-08-11 |
US20150310989A1 (en) | 2015-10-29 |
CN103700497B (zh) | 2017-03-01 |
US20140285950A1 (en) | 2014-09-25 |
CN103700497A (zh) | 2014-04-02 |
US9406441B2 (en) | 2016-08-02 |
KR101414981B1 (ko) | 2014-07-04 |
JP2014072203A (ja) | 2014-04-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5668037B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 | |
KR101752196B1 (ko) | 적층 세라믹 콘덴서 | |
KR101730813B1 (ko) | 적층 세라믹 콘덴서 | |
US10008327B2 (en) | Multilayer ceramic capacitor | |
JP5655036B2 (ja) | 誘電体セラミックス、誘電体セラミックスの製造方法及び積層セラミックコンデンサ | |
WO2013145423A1 (ja) | 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 | |
JP5655039B2 (ja) | 誘電体セラミックス、積層セラミックコンデンサ及びそれらの製造方法 | |
JP5804064B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサの製造方法 | |
JP2009007209A (ja) | 誘電体磁器及びそれを用いた積層セラミックコンデンサ | |
JP2012169620A (ja) | 積層セラミック電子部品及びその製造方法 | |
JP6329236B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ用誘電体材料および積層セラミックコンデンサ | |
JP2014162679A (ja) | 誘電体磁器組成物および電子部品 | |
WO2014010273A1 (ja) | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 | |
JP5857116B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 | |
KR101650746B1 (ko) | 적층 세라믹 콘덴서 및 그 제조방법 | |
JP2006041392A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
JP2010212503A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
JP5159682B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
WO2023234392A1 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
JP5197432B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
JP2005302977A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
KR101771715B1 (ko) | 적층 세라믹 전자부품 및 이의 제조방법 | |
JP2020150035A (ja) | 積層セラミックコンデンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140520 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140718 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141118 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5668037 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |