JP5616822B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図1(a)〜(f)は、本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。図2(a)〜(d)は本発明の実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す平面図、そして、図3は、本発明の実施形態に係る半導体装置の平面図である。図1(a)において、半導体基板の上に、例えば熱酸化膜やTEOSなどの絶縁膜1を形成し、その上にバリアメタル膜4として例えばTiとTiNの積層膜を、スパッタ成膜法を用いて例えばTiを300ÅとTiNを600Å成膜する。なお、バリアメタル膜はTiやTiWであっても良い。
2 抵抗体
3 層間絶縁膜
4 バリアメタル膜
5 アルミ金属膜
6 レジストパターン
7 レジストパターン
8 レジスト開口領域
9 バリアメタル電極
10 アルミ電極(積層電極)
11 抵抗体を形成する領域
100 本発明の実施例に係る抵抗素子
Claims (7)
- 抵抗体を有する半導体装置の製造方法であって、
半導体基板上の絶縁膜の上にバリアメタル膜とアルミ金属膜を形成する工程と、
前記バリアメタル膜とアルミ金属膜をパターニングして並列する2本のアルミ電極を形成する工程と、
前記アルミ電極の一部領域のアルミ金属膜を選択的に除去して、前記アルミ電極の先端領域をバリアメタル電極とする工程と、
離間する2本の前記バリアメタル電極の間に電気的に接続するように抵抗体を形成する工程と、
からなることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 抵抗体を有する半導体装置の製造方法であって、
半導体基板上の絶縁膜の上にバリアメタル膜とアルミ金属膜を形成する工程と、
前記バリアメタル膜とアルミ金属膜をパターニングして並列する2本のアルミ電極を形成する工程と、
前記アルミ電極の一部領域のアルミ金属膜を選択的に除去して、前記アルミ電極の中間の一部領域をバリアメタル電極とする工程と、
離間する2本の前記バリアメタル電極の間に電気的に接続するように抵抗体を形成する工程と、
からなることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記抵抗体を形成する工程は、
離間する2本の前記バリアメタル電極の間にレジストにて開口領域を形成する工程と、
前記バリアメタル電極をスパッタエッチする工程と、
前記抵抗体となる薄膜を堆積する工程と、
前記開口領域以外の領域の前記薄膜をリフトオフする工程と、
からなることを特徴とする請求項1または請求項2記載の半導体装置の製造方法。 - 前記レジストの膜厚が、前記抵抗体となる薄膜の膜厚の5倍から100倍であることを特徴とする請求項3記載の半導体装置の製造方法。
- 前記アルミ金属膜の選択的除去は、リン酸を含む湿式エッチングを用いて行なうことを特徴とする請求項1または請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記バリアメタル膜がTi、或いはTiとTiNの積層膜、或いはTiWであることを特徴とする請求項1または請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記抵抗体が、Poly−Si、或いはa−Si、或いはSiCr、或いはSiCrN、であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の半導体装置の製造方法。
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