JP5573176B2 - リードフレームおよびその製造方法、ならびに半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1の実施の形態について、図1乃至図10を参照して説明する。
まず、図1および図2により、本実施の形態によるリードフレームの概略について説明する。図1(a)は、本実施の形態によるリードフレームを示す平面図、図1(b)は図1(a)中のAA’線に沿った断面図であり、図2は、ダイパッドの載置凹部を示す部分拡大断面図である。図3は、本実施の形態によるリードフレームの変形例を示す断面図である。
次に図4により、本実施の形態による樹脂付リードフレームの概略について説明する。図4は、本実施の形態による樹脂付リードフレームを示す断面図である。
次に、図5により、本実施の形態による半導体装置について説明する。図5は、本実施の形態による半導体装置(SONタイプ)を示す断面図である。以下において、半導体素子21がLED素子からなる場合について説明するが、半導体素子21としてLED素子以外の半導体素子を用いることも可能である。
次に、図1(a)(b)に示すリードフレーム10の製造方法について、図6(a)−(f)を用いて説明する。図6(a)−(f)は、本実施の形態によるリードフレームの製造方法を示す断面図である。なお図6(a)−(f)において、リードフレーム10が複数のダイパッド11および複数のリード部12を有する場合を例にとって説明する。
次に、図5に示す半導体装置20の製造方法について、図7(a)−(f)により説明する。図7(a)−(f)は、本実施の形態による半導体装置の製造方法を示す断面図である。
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用効果について、図8乃至図10を用いて説明する。図8は、本実施の形態による半導体装置の部分拡大断面図であり、図9は、本実施の形態による半導体装置と、比較例としての半導体装置(比較例1)とを比較して示す断面図である。図10(a)(b)は、それぞれ半導体装置の比較例2、3を示す部分拡大断面図である。
次に、本発明の第2の実施の形態による半導体装置について、図11を参照して説明する。図11は、本実施の形態による半導体装置を示す断面図である。図11に示す実施の形態は、外側樹脂部23が設けられていない点が異なるものであり、他の構成は上述した図1乃至図9に示す実施の形態と略同一である。図11において、図1乃至図9に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
次に、本発明の第3の実施の形態によるリードフレームおよび半導体装置について、図12を参照して説明する。図12は、本実施の形態によるリードフレームおよび半導体装置を示す断面図である。図12に示す実施の形態は、ダイパッド11の周囲に、リード部12が2つ設けられている点が異なるものであり、他の構成は上述した図1乃至図9に示す実施の形態と略同一である。図12において、図1乃至図9に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
11 ダイパッド
12 リード部
14 載置凹部
15 第1凹部
16 第2凹部
17 アンカー溝
18 補助接続部材
20、40、50 半導体装置
21 半導体素子
22 ボンディングワイヤ(導電部)
23 外側樹脂部
24 封止樹脂部
26 取付材料
30 樹脂付リードフレーム
Claims (13)
- LED素子を載置するリードフレームにおいて、
LED素子を載置する載置面を有するダイパッドと、
ダイパッド周囲に設けられるとともに導電部が接続されるボンディング面を有するリード部とを備え、
ダイパッドの載置面およびリード部のボンディング面には、LED素子及び導電部を取り囲む凹部を有する外側樹脂部の脱落を防止する平面角丸矩形状のアンカー溝が形成され、
前記平面角丸矩形状のアンカー溝は、ダイパッド及びリード部の前記外側樹脂部と接する面に形成されるとともに、ダイパッドとリード部との間の空間を除き、ダイパッドとリード部の双方にまたがるように形成されていることを特徴とするリードフレーム。 - 樹脂付リードフレームにおいて、
リードフレームと、
リードフレームに設けられた外側樹脂部とを備え、
リードフレームは、
LED素子を載置する載置面を有するダイパッドと、
ダイパッド周囲に設けられるとともに導電部が接続されるボンディング面を有するリード部とを有し、
ダイパッドの載置面およびリード部のボンディング面には、LED素子及び導電部を取り囲む凹部を有する外側樹脂部の脱落を防止する平面角丸矩形状のアンカー溝が形成され、
前記平面角丸矩形状のアンカー溝は、ダイパッド及びリード部の前記外側樹脂部と接する面に形成されるとともに、ダイパッドとリード部との間の空間を除き、ダイパッドとリード部の双方にまたがるように形成されていることを特徴とする樹脂付リードフレーム。 - 半導体装置において、
ダイパッドと、ダイパッド周囲に設けられたリード部とを有するリードフレームと、
リードフレームに設けられた外側樹脂部と、
リードフレームのダイパッドに載置されたLED素子と、
リードフレームのリード部と半導体素子とを電気的に接続する導電部と、
半導体素子と導電部とを封止する封止樹脂部とを備え、
リードフレームのダイパッドは、LED素子を載置する載置面を有し、
リード部は、導電部が接続されるボンディング面を有し、
ダイパッドの載置面およびリード部のボンディング面には、LED素子及び導電部を取り囲む凹部を有する外側樹脂部の脱落を防止する平面角丸矩形状のアンカー溝が形成され、
前記平面角丸矩形状のアンカー溝は、ダイパッド及びリード部の前記外側樹脂部と接する面に形成されるとともに、ダイパッドとリード部との間の空間を除き、ダイパッドとリード部の双方にまたがるように形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 半導体素子を載置するリードフレームにおいて、
半導体素子を載置する載置面を有するダイパッドと、
ダイパッド周囲に設けられたリード部とを備え、
ダイパッドの載置面に、深さが浅い第1凹部と、第1凹部中央に位置するとともに深さが深い第2凹部とからなる載置凹部を形成したことを特徴とするリードフレーム。 - 半導体素子はLED素子からなり、第1凹部の側壁は、ダイパッドの表面側から第2凹部側に向かう湾曲面を形成し、この湾曲面は、LED素子からの光を反射する反射面として機能することを特徴とする請求項4記載のリードフレーム。
- 第1凹部はエッチングにより形成され、第2凹部はプレスにより形成されることを特徴とする請求項4または5記載のリードフレーム。
- 半導体装置において、
ダイパッドと、ダイパッド周囲に設けられたリード部とを有するリードフレームと、
リードフレームのダイパッドに載置された半導体素子と、
リードフレームのリード部と半導体素子とを電気的に接続する導電部と、
半導体素子と導電部とを封止する封止樹脂部とを備え、
リードフレームのダイパッドは、半導体素子を載置する載置面を有し、
ダイパッドの載置面に、深さが浅い第1凹部と、第1凹部中央に位置するとともに深さが深い第2凹部とからなる載置凹部を形成し、この載置凹部内に半導体素子を載置したことを特徴とする半導体装置。 - 半導体素子は、載置凹部の第2凹部内に収容された取付材料を介して載置凹部内に載置されていることを特徴とする請求項7記載の半導体装置。
- 半導体素子はLED素子からなり、このLED素子を取り囲む凹部を有する外側樹脂部が設けられ、封止樹脂部は、外側樹脂部の凹部内に充填されていることを特徴とする請求項7または8記載の半導体装置。
- 半導体素子はLED素子からなり、第1凹部の側壁は、ダイパッドの表面側から第2凹部側に向かう湾曲面を形成し、この湾曲面は、LED素子からの光を反射する反射面として機能することを特徴とする請求項7乃至9のいずれか一項記載の半導体装置。
- 第1凹部はエッチングにより形成され、第2凹部はプレスにより形成されることを特徴とする請求項7乃至10のいずれか一項記載の半導体装置。
- 半導体素子を載置する載置面を有するダイパッドと、ダイパッド周囲に設けられたリード部とを有するリードフレームの製造方法において、
金属基板を準備する工程と、
金属基板の表裏に、それぞれエッチング用レジスト層を形成する工程と、
エッチング用レジスト層を耐腐蝕膜として金属基板の表裏にエッチングを施すことにより、ダイパッドおよびリード部を形成するとともに、ダイパッドの載置面に、深さが浅い第1凹部を形成する工程と、
第1凹部の中央に、プレスにより、第1凹部より深さが深い第2凹部を形成する工程とを備えたことを特徴とするリードフレームの製造方法。 - 半導体装置の製造方法において、
請求項12記載のリードフレームの製造方法によりリードフレームを製造する工程と、 リードフレームのダイパッドの載置凹部内に半導体素子を載置する工程と、
半導体素子とリード部とを導電部により接続する工程と、
半導体素子と導電部とを封止樹脂部により封止する工程とを備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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