JP5524649B2 - 振動分離のためのフィードバック制御システムで使用するためのコンビネーション形運動センサ - Google Patents
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Description
・振動を表すセンサ信号を送出するための多数の振動信号発生器と、
・アクチュエータ調整信号の供給により制御可能な、振動補償のための複数のアクチュエータと、
・送出された前記センサ信号を処理して前記アクチュエータ調整信号にするように構成された制御装置とを備え、
・前記振動信号発生器は、
好ましくはジオフォンセンサとして構成されている、第1の周波数領域で振動を検出するための少なくとも1つの第1の加速度センサと、
前記第1の周波数領域を拡張した第2の周波数領域で振動を検出するための、前記第1の加速度センサとは異なる少なくとも1つの第2の加速度センサとを有する。
この方法は以下のステップ、すなわち
・多数の振動信号発生器によって振動を検出するステップと、
・前記検出された振動を表すセンサ信号を形成するステップと、
・前記形成されたセンサ信号を処理して、アクチュエータを制御するためのアクチュエータ調整信号にするステップと、
・前記振動を打ち消すために、前記アクチュエータ調整信号を前記アクチュエータに供給するステップとを含み、
振動信号発生器は、好ましくはジオフォンセンサとして構成されている、第1の周波数領域で振動を検出するための少なくとも1つの第1の加速度センサと、
前記第1の周波数領域を拡張した第2の周波数領域で振動を検出するための、前記第1の加速度センサとは異なる少なくとも1つの第2の加速度センサとによって形成され、
前記第1の加速度センサのセンサ信号と、前記第2の加速度センサのセンサ信号が統合されて、前記アクチュエータを制御するための共通のアクチュエータ調整信号となる。
2 軸受
3 負荷
4 センサまたは振動信号発生器
4a ジオフォンセンサまたは第1の加速度センサ
4b 加速度ピックアップまたは第2の加速度センサ
5 アクチュエータ
6 信号加算手段
10 制御装置
10a 第1の制御装置または第1の制御システム
10b 第2の制御装置または第2の制御システム
Claims (14)
- リソグラフィ装置、ウェハ処理システムおよび/または顕微鏡を振動分離して支承するためのアクティブ形振動分離システム(1)であって、
振動を表すセンサ信号を送出するための複数の振動信号発生器(4a、4b)と、
アクチュエータ調整信号の供給によって制御可能な、振動補償のための複数のアクチュエータ(5)と、
送出された前記センサ信号を処理して前記アクチュエータ調整信号にするように構成された制御装置(10、10a、10b)とを有し、
前記振動信号発生器(4a、4b)が、
第1の周波数領域の振動を検出するための少なくとも1つの第1の加速度センサ(4a)と、
前記第1の周波数領域を拡張した第2の周波数領域の振動を検出するための、前記第1の加速度センサとは異なる少なくとも1つの第2の加速度センサ(4b)とを有する振動分離システム。
- 前記第1の加速度センサ(4a)が、前記第1の周波数領域において300Hzまでの領域で有効であることを特徴とする請求項1に記載の振動分離システム(1)。
- 前記第1の加速度センサ(4a)がジオフォンセンサとして構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の振動分離システム(1)。
- 前記第2の加速度センサ(4b)が、前記第2の周波数領域において1.5kHzまでの領域で有効であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動分離システム(1)。
- 前記第2の加速度センサ(4b)が圧電式加速度センサであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の振動分離システム(1)。
- 前記第1の加速度センサおよび前記第2の加速度センサ(4aおよび4b)が、30cmよりも小さな間隔で配置されていることを特徴とする請求項5に記載の振動分離システム(1)。
- 前記第1の加速度センサ(4a)のセンサ信号と、前記第2の加速度センサ(4b)のセンサ信号を結合して、前記アクチュエータ(5)を制御するための共通のアクチュエータ調整信号にする回路(6)をさらに有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の振動分離システム(1)。
- 前記第1の加速度センサおよび前記第2の加速度センサ(4aおよび4b)が前記制御装置(10)と関連付けられていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動分離システム(1)。
- 前記制御装置(10)が入力側で、統合のための回路(6)と結合されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の振動分離システム(1)。
- 前記制御装置(10)が出力側で、アクチュエータ(5)と結合されていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の振動分離システム(1)。
- 前記制御装置(10)が、前記第1の加速度センサ(4a)に割り当てられた第1の制御装置(10a)と、前記第2の加速度センサ(4b)に割り当てられた第2の制御装置(10b)とを含むことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動分離システム(1)。
- 前記第1の制御装置および前記第2の制御装置(10aおよび10b)が出力側で、それぞれの出力の統合を行う回路(6)と結合されていることを特徴とする請求項11に記載の振動分離システム(1)。
- 前記統合のための回路(6)が出力側で、アクチュエータ(5)と結合されていることを特徴とする請求項11または12に記載の振動分離システム(1)。
- リソグラフィ装置、ウェハ処理システムおよび/または顕微鏡を振動分離して支承するために振動分離システム(1)を制御する方法であって、
複数の振動信号発生器(4、4a、4b)によって振動を検出するステップと、
前記検出された振動を表すセンサ信号を形成するステップと、
前記形成されたセンサ信号を処理して、アクチュエータ(5)を制御するためのアクチュエータ調整信号に、
前記振動を打ち消すために、前記アクチュエータ調整信号を前記アクチュエータ(5)に供給するステップとを含み、
前記振動信号発生器(4、4a、4b)が、
第1の周波数領域の振動を検出するための少なくとも1つの第1の加速度センサ(4a)と、
前記第1の周波数領域を拡張した第2の周波数領域の振動を検出するための、前記第1の加速度センサとは異なる少なくとも1つの第2の加速度センサ(4b)とによって形成され、
前記第1の加速度センサ(4a)のセンサ信号と、前記第2の加速度センサ(4b)のセンサ信号が統合されて、前記アクチュエータ(5)を制御するための共通のアクチュエータ調整信号になる方法。
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