JPH09250592A - アクティブ除振装置 - Google Patents
アクティブ除振装置Info
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- JPH09250592A JPH09250592A JP8087060A JP8706096A JPH09250592A JP H09250592 A JPH09250592 A JP H09250592A JP 8087060 A JP8087060 A JP 8087060A JP 8706096 A JP8706096 A JP 8706096A JP H09250592 A JPH09250592 A JP H09250592A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 支持物の重心位置がずれたり、各支持点の動
特性が異なった場合でも制御性能の悪化を低減する。 【解決手段】 除振台１と、前記除振台を支持するバネ
係数と粘性減衰係数を有する複数の支持手段２と、前記
除振台に所望の推力を印加する複数のアクチュエータ３
と、所望の基準点からの位置を計測する位置検出手段６
と、前記位置検出手段の出力から前記アクチュエータに
指令する推力を演算する制御手段５とを有するアクティ
ブ除振装置において、前記除振台と床の相対位置を検出
する相対位置検出手段８と、前記相対位置検出手段の出
力から前記支持手段が発生する力を演算し、前記アクチ
ュエータの指令値に加算する推力を演算する補償手段１
０とを設ける。
特性が異なった場合でも制御性能の悪化を低減する。 【解決手段】 除振台１と、前記除振台を支持するバネ
係数と粘性減衰係数を有する複数の支持手段２と、前記
除振台に所望の推力を印加する複数のアクチュエータ３
と、所望の基準点からの位置を計測する位置検出手段６
と、前記位置検出手段の出力から前記アクチュエータに
指令する推力を演算する制御手段５とを有するアクティ
ブ除振装置において、前記除振台と床の相対位置を検出
する相対位置検出手段８と、前記相対位置検出手段の出
力から前記支持手段が発生する力を演算し、前記アクチ
ュエータの指令値に加算する推力を演算する補償手段１
０とを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、床などの装置設置
基礎からの振動の伝達特性を従来に比較して大幅に改善
した、半導体露光装置等のアクティブ除振装置に関す
る。
基礎からの振動の伝達特性を従来に比較して大幅に改善
した、半導体露光装置等のアクティブ除振装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】電子顕微鏡、半導体露光装置などの精密
機器の高精度化に伴い、それらを搭載する精密除振装置
の高性能化が求められている。このような要求に対し
て、除振台に取り付けられた振動センサの出力信号をア
クチュエータにフィードバックし、能動的に振動制御を
行うアクティブ除振装置が実用化されている。アクティ
ブ除振装置は、バネやダンパだけで構成された受動的な
除振装置では困難であった除振と制振の同時実現を可能
にする。
機器の高精度化に伴い、それらを搭載する精密除振装置
の高性能化が求められている。このような要求に対し
て、除振台に取り付けられた振動センサの出力信号をア
クチュエータにフィードバックし、能動的に振動制御を
行うアクティブ除振装置が実用化されている。アクティ
ブ除振装置は、バネやダンパだけで構成された受動的な
除振装置では困難であった除振と制振の同時実現を可能
にする。
【０００３】従来の技術として例えば特開平７−９３０
３６の「アクティブ除振装置およびその制御方法」を説
明する。ここでは除振方向は水平方向であり、また支持
点は４点である。この特開平７−９３０３６では、水平
方向のＸ，Ｙ，θｚ方向の運動をそのモード別に制御す
るモード別制御（非干渉制御）の有効性を主張してい
る。モード別制御では、除振台の重心まわりの並進、回
転運動を変数として制御系を構成する。モード別制御で
は、ある運動方向の動作が他の運動方向の動作に影響を
与えないように制御することが目的である。そのために
どのように機械系、制御系を構成するかが問題である。
この例では、各制御方向の支持点の動特性による各運動
モード間の干渉を、機械的な配置により解決している。
すなわち、除振台の重心位置に対して４点の支持点を対
称位置に配置し、かつ、４点の支持点の動特性は同一に
することにより干渉を生じないようにしている。機械系
の特性をこのように非干渉化した上で、除振台のＸ，
Ｙ，θｚ方向の運動を振動センサから演算し、アクチュ
エータの推力を運動モードに応じて分配することによ
り、非干渉制御を実現している。
３６の「アクティブ除振装置およびその制御方法」を説
明する。ここでは除振方向は水平方向であり、また支持
点は４点である。この特開平７−９３０３６では、水平
方向のＸ，Ｙ，θｚ方向の運動をそのモード別に制御す
るモード別制御（非干渉制御）の有効性を主張してい
る。モード別制御では、除振台の重心まわりの並進、回
転運動を変数として制御系を構成する。モード別制御で
は、ある運動方向の動作が他の運動方向の動作に影響を
与えないように制御することが目的である。そのために
どのように機械系、制御系を構成するかが問題である。
この例では、各制御方向の支持点の動特性による各運動
モード間の干渉を、機械的な配置により解決している。
すなわち、除振台の重心位置に対して４点の支持点を対
称位置に配置し、かつ、４点の支持点の動特性は同一に
することにより干渉を生じないようにしている。機械系
の特性をこのように非干渉化した上で、除振台のＸ，
Ｙ，θｚ方向の運動を振動センサから演算し、アクチュ
エータの推力を運動モードに応じて分配することによ
り、非干渉制御を実現している。
【０００４】この特開平７−９３０３６から、除振方向
を鉛直方向とし、また支持点を３点とする構成を考える
ことができる。さらに、この特開平７−９３０３６では
振動センサとして加速度センサを用いているが、ここで
は位置検出器を用いることにする。ここではこのような
機械構造のアクティブ除振装置を従来方式１として説明
する。この従来方式のアクティブ除振装置の構成を図８
に示す。また、この構成に対応するブロック図は図２に
おいて、８（８ａ，８ｂ，８ｃ），９（９ａ，９ｂ，９
ｃ），１０（１０ａ，１０ｂ，１０ｃ）の補償ループを
外した場合に相当する。ここでは、支持手段２の３点
（２ａ，２ｂ，２ｃ）の動特性は同じであり、また、除
振台の重心位置と、支持手段の３点の作る３角形の幾何
的な重心位置を一致させ、かつ、この３角形は２等辺三
角形とすることにより、干渉を生じないようにする。こ
こでは、このような機械配置も含め従来方式としてお
く。従来方式１では非干渉制御は行わず、３つのアクチ
ュエータの推力は各駆動点で独立に制御するものとす
る。
を鉛直方向とし、また支持点を３点とする構成を考える
ことができる。さらに、この特開平７−９３０３６では
振動センサとして加速度センサを用いているが、ここで
は位置検出器を用いることにする。ここではこのような
機械構造のアクティブ除振装置を従来方式１として説明
する。この従来方式のアクティブ除振装置の構成を図８
に示す。また、この構成に対応するブロック図は図２に
おいて、８（８ａ，８ｂ，８ｃ），９（９ａ，９ｂ，９
ｃ），１０（１０ａ，１０ｂ，１０ｃ）の補償ループを
外した場合に相当する。ここでは、支持手段２の３点
（２ａ，２ｂ，２ｃ）の動特性は同じであり、また、除
振台の重心位置と、支持手段の３点の作る３角形の幾何
的な重心位置を一致させ、かつ、この３角形は２等辺三
角形とすることにより、干渉を生じないようにする。こ
こでは、このような機械配置も含め従来方式としてお
く。従来方式１では非干渉制御は行わず、３つのアクチ
ュエータの推力は各駆動点で独立に制御するものとす
る。
【０００５】図９はこの系のＺ方向の床振動（振幅２．
５［μｍ］、周波数１０［Ｈｚ］）に対する除振台のＺ
方向、θｘ，θｙ方向の位置応答を示す。Ｚ方向には
０．０５［μｍ］、θｘ，θｙ方向にはほとんど振動し
ていない。
５［μｍ］、周波数１０［Ｈｚ］）に対する除振台のＺ
方向、θｘ，θｙ方向の位置応答を示す。Ｚ方向には
０．０５［μｍ］、θｘ，θｙ方向にはほとんど振動し
ていない。
【０００６】また、他の従来方式として同じ機械系で制
御系を運動モード別に制御したものを従来方式２とす
る。この従来方式のアクティブ除振装置のブロック図は
図４において８（８ａ，８ｂ，８ｃ），９（９ａ，９
ｂ，９ｃ），１０（１０ａ，１０ｂ，１０ｃ）の補償ル
ープをはずした場合に相当する。ここで５１は運動モー
ド抽出演算要素であり、除振台１の位置から、Ｚ，θ
ｘ，θｙ方向の位置を演算する。５２は推力分配演算要
素であり、各運動モードごとの制御入力を、３つのアク
チュエータの推力に分配する。また、５０（５０ａ，５
０ｂ，５０ｃ）は各運動モードごとの制御要素（モード
別制御手段）である。５３（５３ａ，５３ｂ，５３ｃ）
は各運動モードへの指令位置信号である。
御系を運動モード別に制御したものを従来方式２とす
る。この従来方式のアクティブ除振装置のブロック図は
図４において８（８ａ，８ｂ，８ｃ），９（９ａ，９
ｂ，９ｃ），１０（１０ａ，１０ｂ，１０ｃ）の補償ル
ープをはずした場合に相当する。ここで５１は運動モー
ド抽出演算要素であり、除振台１の位置から、Ｚ，θ
ｘ，θｙ方向の位置を演算する。５２は推力分配演算要
素であり、各運動モードごとの制御入力を、３つのアク
チュエータの推力に分配する。また、５０（５０ａ，５
０ｂ，５０ｃ）は各運動モードごとの制御要素（モード
別制御手段）である。５３（５３ａ，５３ｂ，５３ｃ）
は各運動モードへの指令位置信号である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来方式では、非干渉
制御を良好に実現するために、機械的な配置、特性を調
整することにより、各運動方向間の干渉を生じないよう
にしている。すなわち、除振台の重心位置と支持点の幾
何的な重心位置を一致させ、また、支持点の動特性を同
じにする。従って、機械的な調整が十分でない場合に
は、干渉を生じてしまうことになる。図１０および図１
１は、各々前記の従来方式１および従来方式２で示した
系で重心位置と幾何的重心位置をＸおよびＹ方向に各々
１０［ｍｍ］程度ずらした場合の、Ｚ方向の床振動（振
幅２．５［μｍ］、周波数１０［Ｈｚ］）に対する応答
である。重心位置が一致している場合は図９に示した。
重心位置をずらした図１０では、Ｚ方向には０．０５
［μｍ］で、図９とほとんど同じであり、θｘ，θｙ方
向には０．０５［ｐｐｍ］程度である。また図１１で
は、Ｚ方向には０．０７［μｍ］で、多少大きく、θ
ｘ、θｙ方向には０．５［ｐｐｍ］程度で１０倍程度で
ある。このように、重心位置を僅かにずらしただけで、
回転方向θｘ，θｙの除振性能は格段に悪化する。とく
にモード別制御を実現した従来方式２は、独立制御を行
った従来方式１に比べても格段に性能が悪化している。
もし重心位置と幾何的重心位置が一致していても、支持
点の動特性が異なる場合にも同じ傾向が現われる。この
ように、従来方式では、機械的な調整が十分でないと、
満足な制御性能を得ることはできない。通常、重心位置
と幾何的重心位置を完全に一致させたり、支持点の動特
性をすべて同一特性にする、などの機械的な調整は困難
である場合が多い。
制御を良好に実現するために、機械的な配置、特性を調
整することにより、各運動方向間の干渉を生じないよう
にしている。すなわち、除振台の重心位置と支持点の幾
何的な重心位置を一致させ、また、支持点の動特性を同
じにする。従って、機械的な調整が十分でない場合に
は、干渉を生じてしまうことになる。図１０および図１
１は、各々前記の従来方式１および従来方式２で示した
系で重心位置と幾何的重心位置をＸおよびＹ方向に各々
１０［ｍｍ］程度ずらした場合の、Ｚ方向の床振動（振
幅２．５［μｍ］、周波数１０［Ｈｚ］）に対する応答
である。重心位置が一致している場合は図９に示した。
重心位置をずらした図１０では、Ｚ方向には０．０５
［μｍ］で、図９とほとんど同じであり、θｘ，θｙ方
向には０．０５［ｐｐｍ］程度である。また図１１で
は、Ｚ方向には０．０７［μｍ］で、多少大きく、θ
ｘ、θｙ方向には０．５［ｐｐｍ］程度で１０倍程度で
ある。このように、重心位置を僅かにずらしただけで、
回転方向θｘ，θｙの除振性能は格段に悪化する。とく
にモード別制御を実現した従来方式２は、独立制御を行
った従来方式１に比べても格段に性能が悪化している。
もし重心位置と幾何的重心位置が一致していても、支持
点の動特性が異なる場合にも同じ傾向が現われる。この
ように、従来方式では、機械的な調整が十分でないと、
満足な制御性能を得ることはできない。通常、重心位置
と幾何的重心位置を完全に一致させたり、支持点の動特
性をすべて同一特性にする、などの機械的な調整は困難
である場合が多い。
【０００８】本発明は、上述の従来方式における問題点
に鑑みてなされたもので、重心位置がずれたり、各支持
点の動特性が異なった場合でも制御性能の悪化の少ない
除振装置を提供することを目的とする。
に鑑みてなされたもので、重心位置がずれたり、各支持
点の動特性が異なった場合でも制御性能の悪化の少ない
除振装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【問題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め本発明のアクティブ除振装置は、除振台と、前記除振
台を支持するバネ係数と粘性減衰係数を有する複数の支
持手段と、前記除振台に所望の推力を印加する複数のア
クチュエータと、前記除振台と床の相対位置を検出する
相対位置検出手段と、所望の基準点からの位置を計測す
る位置検出手段と、前記位置検出手段の出力から前記ア
クチュエータに指令する推力を演算する制御手段と、前
記相対位置検出手段の出力から前記支持手段が発生する
力を演算し、前記アクチュエータの指令値に加算する推
力を演算する補償手段を有することを特徴とする。
め本発明のアクティブ除振装置は、除振台と、前記除振
台を支持するバネ係数と粘性減衰係数を有する複数の支
持手段と、前記除振台に所望の推力を印加する複数のア
クチュエータと、前記除振台と床の相対位置を検出する
相対位置検出手段と、所望の基準点からの位置を計測す
る位置検出手段と、前記位置検出手段の出力から前記ア
クチュエータに指令する推力を演算する制御手段と、前
記相対位置検出手段の出力から前記支持手段が発生する
力を演算し、前記アクチュエータの指令値に加算する推
力を演算する補償手段を有することを特徴とする。
【００１０】前記位置検出手段の代わりに、または前記
位置検出手段とともに加速度検出手段を設けてもよい。
前記アクチュエータは例えば電磁アクチュエータであ
る。前記補償手段は、例えば前記支持手段の動特性を補
償する補償器であるが、この補償器の他に低周波遮断特
性をもつフィルタを設けることができる。本発明のアク
ティブ除振装置は、例えば前記除振台を３つの支持手段
で垂直方向に３点で支持し、前記除振台の重量重心と、
３つの支持手段がつくる３角形の幾何的な重心位置がほ
ぼ一致し、かつ、この３角形はほぼ２等辺３角形である
ように配置されている。
位置検出手段とともに加速度検出手段を設けてもよい。
前記アクチュエータは例えば電磁アクチュエータであ
る。前記補償手段は、例えば前記支持手段の動特性を補
償する補償器であるが、この補償器の他に低周波遮断特
性をもつフィルタを設けることができる。本発明のアク
ティブ除振装置は、例えば前記除振台を３つの支持手段
で垂直方向に３点で支持し、前記除振台の重量重心と、
３つの支持手段がつくる３角形の幾何的な重心位置がほ
ぼ一致し、かつ、この３角形はほぼ２等辺３角形である
ように配置されている。
【００１１】
【作用】従来方式では、機械的な配置、特性を調整する
ことにより干渉を生じないようにしている。しかし、こ
の方法では機械系の特性による制約以上の制御性能を得
ることは困難である。本発明では、除振台と床の相対位
置を検出し、支持手段のバネ係数と粘性減衰係数から支
持手段に発生する外力を演算し、その影響を補償器で打
ち消すことにより、機械系の制約を緩和し、従来方式よ
り制御性能の良い能動除振装置を提供する。例えば、従
来方式では、機械的な重心位置と幾何的重心位置がずれ
ている場合には、カウンターバランス等を置いて機械的
な重心位置を移動するなどの機械的な調整が必要であ
る。重心の位置のずれがあまり大きい場合には調整は不
可能である。十分な調整ができない場合には制御性能は
悪化する。本発明はこのような場合にも制御性能を向上
させることができる。
ことにより干渉を生じないようにしている。しかし、こ
の方法では機械系の特性による制約以上の制御性能を得
ることは困難である。本発明では、除振台と床の相対位
置を検出し、支持手段のバネ係数と粘性減衰係数から支
持手段に発生する外力を演算し、その影響を補償器で打
ち消すことにより、機械系の制約を緩和し、従来方式よ
り制御性能の良い能動除振装置を提供する。例えば、従
来方式では、機械的な重心位置と幾何的重心位置がずれ
ている場合には、カウンターバランス等を置いて機械的
な重心位置を移動するなどの機械的な調整が必要であ
る。重心の位置のずれがあまり大きい場合には調整は不
可能である。十分な調整ができない場合には制御性能は
悪化する。本発明はこのような場合にも制御性能を向上
させることができる。
【００１２】
【実施例１】図１は本発明の一実施例に係る除振装置の
構成を示す。また、図２は図１に対応するブロック図で
ある。ここでは、各軸は独立に制御系を構成するものと
する。同図において、１は除振台、２（２ａ，２ｂ，２
ｃ）はバネやダンパ等からなる支持手段、３（３ａ，３
ｂ，３ｃ）はアクチュエータ、４（４ａ，４ｂ，４ｃ）
は駆動信号、５（５ａ，５ｂ，５ｃ）は制御手段、６
（６ａ，６ｂ，６ｃ）は位置検出手段、７（７ａ，７
ｂ，７ｃ）は位置信号、８（８ａ，８ｂ，８ｃ）は相対
位置検出手段、９（９ａ，９ｂ，９ｃ）は相対位置信
号、１０（１０ａ，１０ｂ，１０ｃ）は補償手段であ
る。
構成を示す。また、図２は図１に対応するブロック図で
ある。ここでは、各軸は独立に制御系を構成するものと
する。同図において、１は除振台、２（２ａ，２ｂ，２
ｃ）はバネやダンパ等からなる支持手段、３（３ａ，３
ｂ，３ｃ）はアクチュエータ、４（４ａ，４ｂ，４ｃ）
は駆動信号、５（５ａ，５ｂ，５ｃ）は制御手段、６
（６ａ，６ｂ，６ｃ）は位置検出手段、７（７ａ，７
ｂ，７ｃ）は位置信号、８（８ａ，８ｂ，８ｃ）は相対
位置検出手段、９（９ａ，９ｂ，９ｃ）は相対位置信
号、１０（１０ａ，１０ｂ，１０ｃ）は補償手段であ
る。
【００１３】位置検出器６は除振台１の位置を検出し、
位置フィードバックによりアクチュエータ３を駆動す
る。ここで、補償器１０は図６の構成になっている。こ
こでＫｉ，Ｄｉ（ｉ＝１，２，３）は支持手段２のバネ
係数と粘性減衰係数を測定した値とする。また、Ｔｃｉ
は一次遅れフィルタの時定数である。またｓはラプラス
演算子である。図３はこの系のＺ方向の床振動（振幅
２．５［μｍ］、周波数１０［Ｈｚ］）に対する応答波
形である。図１０の補償がない場合の波形に比べ、Ｚ方
向の振動は１／２程度、回転方向（θｘ，θｙ）の振動
は１／６程度に減少していることが分かる。
位置フィードバックによりアクチュエータ３を駆動す
る。ここで、補償器１０は図６の構成になっている。こ
こでＫｉ，Ｄｉ（ｉ＝１，２，３）は支持手段２のバネ
係数と粘性減衰係数を測定した値とする。また、Ｔｃｉ
は一次遅れフィルタの時定数である。またｓはラプラス
演算子である。図３はこの系のＺ方向の床振動（振幅
２．５［μｍ］、周波数１０［Ｈｚ］）に対する応答波
形である。図１０の補償がない場合の波形に比べ、Ｚ方
向の振動は１／２程度、回転方向（θｘ，θｙ）の振動
は１／６程度に減少していることが分かる。
【００１４】
【実施例２】実施例１では各軸を独立に制御する場合の
構成を示した。ここでは、３軸を非干渉制御する場合に
も本発明の補正が有効である例を示す。図４は実施例２
の構成を示すブロック図である。従来方式２はこの図で
補償手段１０がない場合に相当する。このときの応答を
図５に示す。図５はＺ方向の床振動（振幅２．５［μ
ｍ］、周波数１０［Ｈｚ］）に対する系の応答である。
本発明の補償を行わない非干渉制御の特性（図１１）に
比べ、Ｚ方向は１／３、回転方向の振動は１／２０程度
に減少していることが分かる。このように、支持手段の
動特性を補償することにより制御性能は向上する。
構成を示した。ここでは、３軸を非干渉制御する場合に
も本発明の補正が有効である例を示す。図４は実施例２
の構成を示すブロック図である。従来方式２はこの図で
補償手段１０がない場合に相当する。このときの応答を
図５に示す。図５はＺ方向の床振動（振幅２．５［μ
ｍ］、周波数１０［Ｈｚ］）に対する系の応答である。
本発明の補償を行わない非干渉制御の特性（図１１）に
比べ、Ｚ方向は１／３、回転方向の振動は１／２０程度
に減少していることが分かる。このように、支持手段の
動特性を補償することにより制御性能は向上する。
【００１５】
【実施例３】実施例３では実施例１、実施例２の補償器
１０（図６参照）に直列にローカット・フィルタを接続
した図７の補償器を用いる。水平方向の支持手段の役目
のひとつは除振台の低周波の力を支持手段に負担させる
ためである。その結果アクチュエータは過渡的な高周波
の力成分のみ負担すればよいので、容量をあまり大きく
しないで制御系を構成できる。このとき図６の補償器を
用いると低周波成分の力もすべてアクチュエータが負担
することになるため経済的でない。図７の補償器を用い
ることにより低周波成分の力は支持手段に負担させるこ
とができる。実施例１、実施例２のような、垂直方向の
支持手段の場合は、この補償器を用いてもよいが、重力
と平衡した点を相対位置検出器の原点とすれば、低周波
成分の力はほとんど支持手段に負担させることができ
る。ここでａはローカット・フィルターの遮断周波数で
ある。他の記号は図６と同じである。
１０（図６参照）に直列にローカット・フィルタを接続
した図７の補償器を用いる。水平方向の支持手段の役目
のひとつは除振台の低周波の力を支持手段に負担させる
ためである。その結果アクチュエータは過渡的な高周波
の力成分のみ負担すればよいので、容量をあまり大きく
しないで制御系を構成できる。このとき図６の補償器を
用いると低周波成分の力もすべてアクチュエータが負担
することになるため経済的でない。図７の補償器を用い
ることにより低周波成分の力は支持手段に負担させるこ
とができる。実施例１、実施例２のような、垂直方向の
支持手段の場合は、この補償器を用いてもよいが、重力
と平衡した点を相対位置検出器の原点とすれば、低周波
成分の力はほとんど支持手段に負担させることができ
る。ここでａはローカット・フィルターの遮断周波数で
ある。他の記号は図６と同じである。
【００１６】
【実施例４】実施例１、実施例２では位置検出手段６に
より除振台の位置を検出してフィードバックすることに
より所定の位置に除振台を制御する場合を示した。この
系ではさらに、位置検出手段６の代わりに除振台の加速
度を検出しフィードバックすることにより振動を制御す
ることができる。加速度フィードバックは位置検出器と
併用することもできるが、加速度フィードバックだけで
制御系を構成することもできる。このときは、位置制御
はできないが振動を低減することは可能である。
より除振台の位置を検出してフィードバックすることに
より所定の位置に除振台を制御する場合を示した。この
系ではさらに、位置検出手段６の代わりに除振台の加速
度を検出しフィードバックすることにより振動を制御す
ることができる。加速度フィードバックは位置検出器と
併用することもできるが、加速度フィードバックだけで
制御系を構成することもできる。このときは、位置制御
はできないが振動を低減することは可能である。
【図１】 本発明の一実施例に係る除振装置の構成を示
す図である。
す図である。
【図２】 図１の装置の制御系の構成を示すブロック図
である。
である。
【図３】 図１の装置の特性を示す図である。
【図４】 本発明の他の実施例に係る除振装置の制御系
の構成を示すブロック図である。
の構成を示すブロック図である。
【図５】 図４の装置の特性を示す図（補正あり）であ
る。
る。
【図６】 図１の装置における補償器の構成を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図７】 図４の装置における補償器の構成を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図８】 従来方式１の構成を示す図である。
【図９】 従来方式１の特性を示す図（重心位置一致）
である。
である。
【図１０】 従来方式１の特性を示す図（重心位置不一
致）である。
致）である。
【図１１】 従来方式２の特性を示す図（補正なし）で
ある。
ある。
１：除振台、２，２ａ，２ｂ，２ｃ：支持手段、３，３
ａ，３ｂ，３ｃ：アクチュエータ、４，４ａ，４ｂ，４
ｃ：駆動信号、５，５ａ，５ｂ，５ｃ：制御手段、６，
６ａ，６ｂ，６ｃ：位置検出手段、７，７ａ，７ｂ，７
ｃ：位置信号、８，８ａ，８ｂ，８ｃ：相対位置検出手
段、９，９ａ，９ｂ，９ｃ：相対位置信号、１０，１０
ａ，１０ｂ，１０ｃ：補償手段、５０，５０ａ，５０
ｂ，５０ｃ：モード別制御手段、５１：運動モード抽出
演算要素、５２：推力分配演算要素、５３，５３ａ，５
３ｂ，５３ｃ：指令位置信号。
ａ，３ｂ，３ｃ：アクチュエータ、４，４ａ，４ｂ，４
ｃ：駆動信号、５，５ａ，５ｂ，５ｃ：制御手段、６，
６ａ，６ｂ，６ｃ：位置検出手段、７，７ａ，７ｂ，７
ｃ：位置信号、８，８ａ，８ｂ，８ｃ：相対位置検出手
段、９，９ａ，９ｂ，９ｃ：相対位置信号、１０，１０
ａ，１０ｂ，１０ｃ：補償手段、５０，５０ａ，５０
ｂ，５０ｃ：モード別制御手段、５１：運動モード抽出
演算要素、５２：推力分配演算要素、５３，５３ａ，５
３ｂ，５３ｃ：指令位置信号。
Claims (5)
- 【請求項１】 除振台と、前記除振台を支持するバネ係
数と粘性減衰係数を有する複数の支持手段と、前記除振
台に所望の推力を印加する複数のアクチュエータと、前
記除振台と床の相対位置を検出する相対位置検出手段
と、所望の基準点からの位置を計測する位置検出手段
と、前記位置検出手段の出力から前記アクチュエータに
指令する推力を演算する制御手段と、前記相対位置検出
手段の出力から前記支持手段が発生する力を演算し、前
記アクチュエータの指令値に加算する推力を演算する補
償手段を有することを特徴とするアクティブ除振装置。 - 【請求項２】 前記位置検出手段の代わりに、または前
記位置検出手段と同時に加速度検出手段を有する請求項
１記載のアクティブ除振装置。 - 【請求項３】 前記アクチュエータは電磁アクチュエー
タであることを特徴とする請求項１または２記載のアク
ティブ除振装置。 - 【請求項４】 前記補償手段は支持手段の動特性を補償
する補償器の他に、低周波遮断特性をもつフィルタをも
つことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のア
クティブ除振装置。 - 【請求項５】 前記除振台を３つの支持手段で垂直方向
に３点で支持し、前記除振台の重量重心と、３つの支持
手段がつくる３角形の幾何的な重心位置がほぼ一致し、
かつ、この３角形はほぼ２等辺３角形であるように配置
されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに
記載のアクティブ除振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8087060A JPH09250592A (ja) | 1996-03-18 | 1996-03-18 | アクティブ除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8087060A JPH09250592A (ja) | 1996-03-18 | 1996-03-18 | アクティブ除振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09250592A true JPH09250592A (ja) | 1997-09-22 |
Family
ID=13904403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8087060A Pending JPH09250592A (ja) | 1996-03-18 | 1996-03-18 | アクティブ除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09250592A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002006700A1 (fr) * | 2000-07-13 | 2002-01-24 | Ebara Corporation | Dispositif d'isolation contre les vibrations faisant intervenir des dispositifs de levitation magnetique |
| KR100698693B1 (ko) * | 2005-09-16 | 2007-03-23 | 현대모비스 주식회사 | 에어백 컨트롤 유닛 마운팅 구조 |
| JP2007247822A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | アクティブ除振装置 |
| JP2020514814A (ja) * | 2017-03-21 | 2020-05-21 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 組立誤差を特定する方法 |
-
1996
- 1996-03-18 JP JP8087060A patent/JPH09250592A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002006700A1 (fr) * | 2000-07-13 | 2002-01-24 | Ebara Corporation | Dispositif d'isolation contre les vibrations faisant intervenir des dispositifs de levitation magnetique |
| KR100698693B1 (ko) * | 2005-09-16 | 2007-03-23 | 현대모비스 주식회사 | 에어백 컨트롤 유닛 마운팅 구조 |
| JP2007247822A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | アクティブ除振装置 |
| JP4714611B2 (ja) * | 2006-03-17 | 2011-06-29 | 日本航空電子工業株式会社 | アクティブ除振装置 |
| JP2020514814A (ja) * | 2017-03-21 | 2020-05-21 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 組立誤差を特定する方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040225 |