JPH10132018A - 指向制御装置用振動制御機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 振動を完全に６自由度に分離してその全てを
制御可能とする。 【解決手段】 搭載機器９の指向を制御する指向制御装
置１３を載置し、弾性部材３を介して揺動可能に固定部
１に結合される制振部２と、制振部の固定部に対する位
置または角度を制御する複数の非接触型アクチュエータ
４と、制振部の固定部に対する変位、速度または加速度
を測定する複数の非接触型センサ５と、各センサからの
信号を６軸変位に座標変換する変位変換器６と、座標変
換された６軸変位から６軸制御量を計算する補償器７
と、計算された６軸制御量を各アクチュエータに分配す
る分配器８とを備え、固定部に対する制振部の位置また
は角度を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、地上に設
置または人工衛星、航空機等に搭載される指向制御装置
に用いられる振動制御機構の構成及び制御アルゴリズム
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図２４は例えば特開平７−３１０７７９
号公報に示された従来の振動制御装置の一例であるアク
ティブ除振装置を示す構成図であり、図において、１０
１は床、１０２は架台、１０３はアクティブ除振部材、
１０４は定盤、１０５は例えば電子ビーム露光装置など
の搭載機器、１０６は例えば試料載置台などの可動部
材、１０７は例えば電子銃などの内部構造部材、１０８
ａは上下方向用アクチュエータ、１０９Ｘ、１０９Ｙは
検出器、１１０はローパスフィルタ、１１１はＡ／Ｄ変
換器、１１２はディジタルシグナルプロセッサ（ＤＳ
Ｐ）、１１３は計算機、１１４はＤ／Ａ変換器、１１５
はアンプ、１３０はコントローラ、１３１はモータであ
る。

【０００３】次にこの図２４で示されるアクティブ除振
装置の動作について説明する。機器１０５と定盤１０４
とにそれぞれの振動を検出する複数の検出器１０９Ｘ、
１０９Ｙ、１０９Ｚ（図示せず）を配置し、コントロー
ラ１３０は、それぞれの検出器１０９Ｘ、１０９Ｙ、１
０９Ｚの信号に応じてそれぞれの上下方向用アクチュエ
ータ１０８ａを制御し、機器１０５の部材間、つまり内
部構造部材１０７と可動部材１０６との間、または機器
１０５の部材１０６、１０７と定盤１０４との間のそれ
ぞれの信号の相対値を低減させる。すなわち、検出器１
０９Ｘ、１０９Ｙ、１０９Ｚからの信号はローパスフィ
ルタ１１０と、Ａ／Ｄ変換器１１１を通してＤＳＰ１１
２とに入力される。このＤＳＰ１１２に上下方向アクチ
ュエータ１０８ａを制御する実行プログラムが書き込ま
れており、ＤＳＰ１１２で高速に計算された信号がアン
プ１１５を経て、上下方向アクチュエータ１０８ａを制
御する。

【０００４】図２５は例えば特開平７−３０７７０３号
公報に示された従来の指向制御装置を示す構成図であ
り、図において、２０１は搭載機器である送受信望遠
鏡、２０２は粗捕捉追尾機構、２０２ａは粗捕捉追尾機
構制御回路、２０３は精捕捉追尾機構、２０３ａは精捕
捉追尾機構制御回路、２０４はポインティングセンサ、
２０５はトラッキングセンサ、２０６は通信用受光器、
２０７は光行差補正機構、２０８はレーザ光源、８３、
８６はビームスプリッタ、８５はダイクロイックミラ
ー、１００は相手局からのレーザビームである。

【０００５】次にこの図２５で示される指向制御装置の
動作について説明する。相手局からのレーザビーム１０
０を精捕捉追尾機構２０３、ダイクロイックミラー８
５、ビームスプリッタ８３によりポインティングセンサ
２０４に受光させ、ポインティングセンサ２０４で相対
角度誤差を出力し、粗捕捉追尾機構２０２により送受信
望遠鏡２０１は相手局を捕捉する。さらに相手局からの
レーザビーム１００を精捕捉追尾機構２０３、ダイクロ
イックミラー８５、ビームスプリッタ８３、８６により
トラッキングセンサ２０５に受光させ、トラッキングセ
ンサ２０５で相対角度誤差を出力し、精捕捉追尾機構２
０３により相手局を追尾する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の振動制御機構は
以上のように構成されており、これを上述のような指向
制御装置に用いて高精度、高信頼性が要求される指向制
御を実現する上で以下に記すような多くの問題点があっ
た。

【０００７】まず図２４で示されるアクティブ除振装置
はアクティブ制御用アクチュエータ１０８ａが接触型で
あるため、振動を完全に６自由度に分離することができ
ないという問題がある。さらに、アクティブ制御用アク
チュエータ１０８ａが接触型であるため、高周波振動を
遮断する性能はアクティブ制御を行わない弾性部材のみ
のパッシブ制御よりも低下するという問題点がある。ま
た、弾性部材１１８を使用しているため、定盤１０４に
搭載された機器１０５の動作により定盤１０４が振動す
るという問題点があった。

【０００８】また、アクティブ除振装置は低周波振動を
抑制する目的で構成されているため、アクティブ除振装
置を任意の目標値に追従させることができないという問
題点があった。

【０００９】さらに、指向技術に関する問題点を示す。
初期設定時などの場合、アクティブ除振装置を任意の目
標値に追従させる時に指向制御装置がアクティブ除振装
置の動作の影響を受け、指向精度が劣化するという問題
点があった。

【００１０】また、アクティブ除振装置を取り付けてい
る床１０１の振動外乱が大きい場合、この振動外乱が搭
載機器１０５にそのまま伝わって指向制御誤差を大きく
するため、正確な指向ができない、または、非常に高性
能の指向制御装置が必要になるなどの問題点があった。

【００１１】また、アクティブ除振装置の搭載機器１０
５の動作が大きい場合、この動作の影響によりアクティ
ブ除振装置が振動し、そのため搭載機器１０５の指向精
度が劣化するという問題点があった。

【００１２】また、搭載機器１０５を除振機能を持つ指
向制御装置に載せ、床１０１面からの振動外乱の伝達を
低減させる場合、これらの装置が積み重ねられることに
よって大型化する問題点があった。

【００１３】また、大型の搭載機器１０５の場合、大型
の指向制御装置が必要となり、さらに、多自由度の除振
を行うためには、この数の自由度の除振を行う専用の除
振装置を開発する必要があった。つまり、除振したい搭
載機器１０５の大きさ、質量、除振自由度に応じて、そ
れに１対１に適合させた専用の除振装置を開発しなけれ
ばならないという問題があった。

【００１４】さらに、人工衛星等に搭載する光空間通信
装置等では、打ち上げ時の衝撃荷重に耐えるようにする
ためには、可動ミラーやジンバル駆動装置の運動を規制
する固定治具が必要であり、固定治具が大型化し、か
つ、構造が複雑になるなどの問題があった。例えば、ワ
イヤーで拘束力を抑える固定治具の場合、保持力に比例
した力をワイヤーに与える必要があり、ワイヤーおよび
その支持構造が大型化したり、ワイヤー切断に大きな力
が必要になる。ワイヤー切断には火薬爆発力を利用する
ことが多く、ワイヤー切断に大きな力が必要になると、
切断の際の衝撃力が大きくなり、周辺の機器に影響を与
えることが避けられないなどの問題があった。

【００１５】また図２５で示される指向制御装置は、取
り付けている床の振動外乱が大きい場合、この振動外乱
が指向制御装置にそのまま伝わり、指向制御誤差を大き
くするため、正確な指向ができない、または、非常に高
性能の指向制御装置が必要になるなどの問題点があっ
た。

【００１６】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたものであり、まず、振動を完全に６自由
度に分離してその全てを制御可能とすることを目的とし
ている。

【００１７】また、高周波振動を遮断する性能がアクテ
ィブ制御を行わない弾性部材のみのパッシブ制御よりも
低下しないようにすることを目的としている。

【００１８】また、振動制御機構を任意の目標値に追従
させる場合にも、指向制御誤差が大きく劣化しないよう
な指向制御装置用振動制御機構を得ることを目的として
いる。

【００１９】また、振動制御機構を取り付けている床の
振動外乱が大きい場合や指向制御装置の動作が大きい場
合にも、指向制御誤差が大きく劣化しない指向制御装置
用振動制御機構を得ることを目的としている。

【００２０】また、装置全体の大型化を招かないで、除
振機能を付加した指向制御装置を得ることを目的として
いる。

【００２１】また、振動制御したい搭載機器の大きさ、
質量、振動制御自由度に強く依存しない指向制御装置用
振動制御機構を得ることを目的としている。

【００２２】さらに、小型で多自由度の振動制御に用い
ることができる指向制御装置用振動制御機構を提供する
ことを目的とする。

【００２３】また、小型で信頼性の高い揺動部把持機構
を有する指向制御装置用振動制御機構を提供することを
目的とする。

【００２４】

【課題を解決するための手段】第１の発明に係わる指向
制御装置用振動制御機構は、搭載機器の指向を制御する
指向制御装置を載置し、弾性部材を介して揺動可能に固
定部に結合される制振部と、この制振部の固定部に対す
る位置または角度を制御する複数の非接触型アクチュエ
ータと、上記制振部の固定部に対する変位、速度または
加速度を測定する複数の非接触型センサと、上記各セン
サからの信号を６軸変位に座標変換する変位変換器と、
座標変換された６軸変位から６軸制御量を計算する補償
器と、計算された６軸制御量を上記各アクチュエータに
分配する分配器とを備え、上記固定部に対する制振部の
位置または角度を制御するものである。

【００２５】第２の発明に係わる指向制御装置用振動制
御機構は、搭載機器の指向を制御する指向制御装置を載
置し、弾性部材を介して揺動可能に固定部に結合される
制振部と、この制振部に隣接して配置された補助質量
と、この補助質量と制振部との相対変位、相対速度また
は相対加速度を検出する少なくとも１個の非接触型セン
サと、上記補助質量または制振部に固定され上記補助質
量と制振部との相対位置または角度を制御する少なくと
も１個の非接触型電磁アクチュエータと、上記各センサ
からの信号を６軸変位に座標変換する変位変換器と、座
標変換された６軸変位から６軸制御量を計算する補償器
と、計算された６軸制御量を上記各アクチュエータに分
配する分配器とを備えたものである。

【００２６】第３の発明に係わる指向制御装置用振動制
御機構は、上記制振部の固有振動数よりも高周波側は弾
性部材の遮断特性を用いたパッシブ制御を行い、上記制
振部の固有振動数近傍から低周波側はアクチュエータに
よるアクティブ制御を行うように構成したものである。

【００２７】第４の発明に係わる指向制御装置用振動制
御機構は、上記各センサ信号から得られた情報を指向制
御装置にフィードフォワードするフィードフォワード補
償器を備えたものである。

【００２８】第５の発明に係わる指向制御装置用振動制
御機構は、指向制御装置の動作またはセンサ情報により
上記補償器のモードを切り替えるものである。

【００２９】第６の発明に係わる指向制御装置用振動制
御機構は、指向制御装置の動作またはセンサ情報により
上記補償器のモードを判定するモード判定器およびこの
モード判定器の出力により上記補償器のモードを切り替
えるモード切り替え器を備えたものである。

【００３０】第７の発明に係わる指向制御装置用振動制
御機構は、指向制御装置の駆動機構部の側面に複数の弾
性部材を配置して指向制御装置を固定部に揺動可能に結
合し、指向制御装置の一部が制振部を兼ねるように構成
したものである。

【００３１】第８の発明に係わる指向制御装置用振動制
御機構は、上記第１または２の発明における制振部を複
数個に分割し、それぞれの制振部に弾性部材、非接触型
アクチュエータ、および非接触型センサ、または非接触
型アクチュエータ、非接触型センサ、および補助質量を
配置して複数個の制振ユニットを構成し、これらの制振
ユニット上に指向制御装置を載置したものである。

【００３２】第９の発明に係わる指向制御装置用振動制
御機構は、一端または中央部が軸支され他端で揺動部を
少なくとも対向する２方向から把持する少なくとも２個
の把持アームと、上記把持アームの中央部または一端が
貫通する貫通穴を有し回転して上記把持アームを駆動す
るカムプレートとを備え、上記貫通穴は回転中心からの
距離が一端、他端、中央部の順に大きくまたは小さくな
るように形成されており、上記把持アームが貫通穴の一
端に位置するときは把持アームは揺動部から離れ、他端
に位置するときは揺動部を把持し、中央部に位置しよう
とすると揺動部を把持する力が大きくなるように構成し
た揺動部把持機構を備えたものである。

【００３３】

【発明の実施の形態】

実施の形態１．以下、この発明の実施の形態１を図につ
いて説明する。図１は本発明の実施の形態１による指向
制御装置用振動制御機構の全体的な構成例を示す構成
図、図２は指向制御装置の構成を説明する構成図、図３
は図２のＡ−Ａ線断面図である。図において、１は固定
部、２は制振部、３はパッシブ制御用の弾性部材すなわ
ちコイルバネであり、制振部２はコイルバネ３を介して
揺動可能に固定部１に結合されている。４はアクティブ
制御用の非接触電磁石型アクチュエータ、５は制振部２
の固定部１に対する変位を検出する非接触静電容量型変
位センサである。６は各センサ５からの信号を６軸変位
に座標変換する変位変換器、７は座標変換された６軸変
位から６軸制御量を計算する補償器、８は計算された６
軸制御量を各アクチュエータ４に分配する分配器であ
り、これらの変位変換器６、補償器７、分配器８はデジ
タルシグナルプロセッサ（ＤＳＰ）あるいはアナログ回
路を用いて実現される。９は観測装置や通信アンテナな
どの搭載機器、１３は指向制御装置、１３ａは指向制御
装置の第１の駆動機構、１３ｂは指向制御装置の第２の
駆動機構である。搭載機器９を観測方向や通信相手局の
方向に向けるための駆動機構が、指向制御装置１３の第
１の駆動機構１３ａと第２の駆動機構１３ｂであり、こ
の実施の形態では、Ｚ軸回りの回転駆動を行う指向制御
装置の第２の駆動機構１３ｂの側面に、パッシブ制御用
のコイルバネ３とアクティブ制御用の非接触電磁石型ア
クチュエータ４と変位を検出する非接触静電容量型変位
センサ５が配置されており、指向制御装置の一部が制振
部２を兼ねている。

【００３４】図４、５、６は非接触電磁石型アクチュエ
ータおよび非接触静電容量型変位センサの配置の一例を
示す正面図、側面図、および底面図である。図におい
て、４０１〜４１４はアクティブ制御用の非接触電磁石
型アクチュエータ、４ａは電磁石が吸引するための磁極
板、５０１〜５０６は変位を検出する非接触静電容量型
変位センサである。なお、図４、５において（４０９）
のように括弧を付けて示したアクチュエータは反対側の
面の同じ位置に配置されているものである。

【００３５】次に動作について説明する。指向制御装置
は例えば、従来例と同様のもので、光空間通信装置のよ
うに自局と相手局の間で光通信をするものであり、相手
局のレーザビームを捕捉、追尾するために２軸の回転自
由度を持った捕捉追尾機能を有し、その指向精度は数μ
radのオーダが要求される非常に指向精度の高いもので
ある。指向制御装置１３が相手局を捕捉、追尾時に、制
振部２が外乱によって変動すると、非接触静電容量型変
位センサ５０１〜５０６はそれぞれその点での変位を検
出する。そのずれ量を変位変換器６に入力し、６個のセ
ンサ情報を６軸変位に変換し、６軸変位量を補償器７に
入力してＰＩＤ（Propotional Integral and Different
ial）制御則を用いて６軸制御量を計算し、６軸制御量
を分配器８に入力して１４個のアクチュエータ４０１〜
４１４に制御量を分配する。各アクチュエータ４０１〜
４１４は計算された制御量をもとに、制振部２に取り付
けられた磁極板４ａを吸引し、制振部２を所定の位置に
制御する。６個のセンサ５０１〜５０６に対する変位量
をＳ₁〜Ｓ₆、センサ間距離を２ｌ（図５に示す）、アク
チュエータ間距離を２ｄ（図４に示す）、６軸変位を
ｘ、ｙ、ｚ、θ_x、θ_y、θ_zとする。このとき６個の変
位センサ量と６軸変位量の関係式は

【００３６】

【数１】

【００３７】と表される。また、６軸制御量をｆ_x、
ｆ_y、ｆ_z、ｔ_x、ｔ_y、ｔ_z、各アクチュエータ４０１〜
４１４に対するアクチュエータ出力量をｆ₁〜ｆ₁₄とす
ると、６軸制御量と１４個のアクチュエータ出力量の関
係は

【００３８】

【数２】

【００３９】と表される。

【００４０】以上のように、本実施の形態によれば、振
動を６自由度に完全に分離でき並進成分と回転成分を非
干渉なものとすることができ振動の６自由度成分全てを
制御することができる。また、指向制御装置の駆動機構
部１３ｂの側面に、固定部１と結ぶ複数の弾性部材３を
配置し、指向制御装置１３の一部が制振部２を兼ねる構
造としたので、装置全体の大型化を招かないで、固定部
１から伝わる振動の軽減、または増加などの振動制御が
できる。また、追尾機構の取付け面の法線軸回りの駆動
機構部１３ｂの側面に、多自由度の制御をするためのセ
ンサ５０１〜５０３とアクチュエータ４０１〜４１２を
配置することができる長所もある。

【００４１】なお、上記実施の形態ではセンサ５は変位
センサであるが、速度センサ、加速度センサも含むもの
とする。また、上記実施の形態では非接触電磁石型アク
チュエータ４は１４個用いているが、６軸変位をアクチ
ュエータで制御するためには図７、８、９にれぞれ正面
図、側面図、および底面図で非接触電磁石型アクチュエ
ータの配置の他の例を示すように、最低１０個のアクチ
ュエータ４０１〜４１０を用いればよいものとする。ま
た、上記実施の形態では電磁石型アクチュエータ４と対
向して磁極板４ａを配置しているが、磁極板４ａの代わ
りに電磁石型アクチュエータを配置することも含むもの
とする。なお、上記実施の形態では６自由度成分全てを
制御する場合について示したが、制御する自由度は必要
に応じて選ぶことができる。これは以下の各実施の形態
においても同様である。

【００４２】実施の形態２．次に、本発明の実施の形態
２による指向制御装置用振動制御機構について説明す
る。全体的な構成は実施の形態１と同様である。制振部
２とコイルバネ３はバネ−マス系とみなせ、制振部２の
固有振動数よりも高周波の部分はバネ−マス系の遮断特
性により、周波数領域で-40[dB/dec]の遮断性能を示
す。制振部２の固有振動数近傍から低周波側は、非接触
電磁石型アクチュエータ４、非接触静電容量型変位セン
サ５、変位変換器６、補償器７、分配器８から構成され
るアクティブ制御により制振部２の共振を抑制するよう
に制振部２にダンピングを付加する。

【００４３】このように、非接触型のアクチュエータ４
を用いたことにより弾性部材３だけで支持できるため、
高周波側は高周波振動の遮断性能を低下させることなく
制御することができ、かつ低周波側はアクティブ制御に
よりダンピングを付加することができ制振部２の共振を
抑えることができ、さらにアクティブ制御により制振部
２の変位を一定内に抑えることができ、しかも、次の実
施の形態３で詳述するように、外部からの目標値に追従
させることもできる。

【００４４】実施の形態３．図１０は本発明の実施の形
態３による指向制御装置用振動制御機構の全体的な構成
例を示す構成図である。図において、１９は指令信号発
生器であり、外部からの目標値を指令信号発生器１９で
発生させ、この指令信号を補償器７に入力して、アクテ
ィブ制御により、制振部２を外部からの目標値に追従さ
せる。

【００４５】上記実施の形態１、２では、補償器７の制
御則を、制振部２の除振がなされるようにしたが、指令
信号発生器１９で振動的な指令値を発生させれば、指向
制御装置１３の振動環境試験などを実施するため等のよ
うに、制振部２を加振することもできる。

【００４６】実施の形態４．図１１は本発明の実施の形
態４による指向制御装置用振動制御機構の全体的な構成
例を示す構成図である。図において、１０はフィードフ
ォワード補償器であり、例えばデジタルシグナルプロセ
ッサ（ＤＳＰ）あるいはアナログ回路を用いて実現され
る。次に動作について説明する。６軸変位量をフィード
フォワード補償器１０に入力し、例えば６軸変位量にゲ
インをかけるといったような指向制御装置１３へのフィ
ードフォワード制御量を計算し、計算されたフィードフ
ォワード制御量を指向制御装置１３へ入力する。

【００４７】このようなフィードフォワード制御により
制振部２の姿勢を制振部２に搭載された指向制御装置１
３に伝えることができ、指向制御装置１３が制振部２の
影響を受けるのを防止でき、指向制御装置１３の絶対指
向精度を上げることができる。

【００４８】実施の形態５．図１２は本発明の実施の形
態５による指向制御装置用振動制御機構の全体的な構成
例を示す構成図である。図において、１１は補償器７の
モードを切り替えるモード切り替え器、１１ａはパソコ
ンである。モード切り替え器１１はデジタルシグナルプ
ロセッサ（ＤＳＰ）あるいはアナログ回路を用いて実現
される。

【００４９】次に動作について説明する。指向制御装置
１３の動作が比較的小さく定常状態の場合、アクティブ
制御により制振部２の共振を抑制するように制振部２に
ダンピングを付加するためあるいは制振部２を外部から
の目標値に追従させるためにモード切り替え器１１によ
り、ローゲインモードと呼ばれるモードにする。また、
指向制御装置１３の捕捉追尾動作時などのように制振部
２の振動が励起する場合あるいは大外乱印加時の場合、
制振部２の振動により、指向制御装置１３の指向精度が
劣化するため、モード切り替え器１１により制振部２の
振動が励起しないようハイゲインモードと呼ばれるモー
ドに切り替え、制振部２の剛性を高め指向制御装置１３
の変動を抑える。補償器７におけるハイゲインモードと
ローゲインモードの設定方法は、例えば両者の制御則は
同じものを用いてゲインだけを変える方法や、モードに
より制御則を変更するということがあげられる。また、
モード切り替え信号はパソコン１１ａを通じて手動で入
力する。

【００５０】このように、本実施の形態によれば、指向
制御装置１３の動作またはセンサ５情報により補償器７
のモードを切り替えるので、制振部２に搭載される機器
の動作が大きい場合にはハイゲインモードにより制振部
２の剛性を高めることで制振部２の変動を抑えることが
でき、また大外乱印加時にも対応が可能であり、また制
振部２に搭載される機器１３の動作が比較的小さい定常
状態の場合はローゲインモードにより制振部２のダンピ
ングを付加することができる。

【００５１】実施の形態６．図１３は本発明の実施の形
態６による指向制御装置用振動制御機構の全体的な構成
例を示す構成図である。図において、１２はモード判定
器であり、デジタルシグナルプロセッサ（ＤＳＰ）ある
いはアナログ回路を用いて実現される。

【００５２】次に動作について説明する。指向制御装置
１３の動作が比較的小さく定常状態の場合、アクティブ
制御により制振部２の共振を抑制するように制振部２に
ダンピングを付加するためあるいは制振部２を外部から
の目標値に追従させるために、指向制御装置１３の動作
をモード判定器１２で判定し、ローゲインモード切り替
え信号を発生させ、その信号をモード切り替え器１１に
入力してローゲインモードと呼ばれるモードに切り替え
る。指向制御装置１３の捕捉追尾動作時などのように制
振部２の振動が励起する場合あるいは大外乱印加時の場
合、制振部２の振動により、指向制御装置１３の指向精
度が劣化するため、モード判定器１２により指向制御装
置１３の動作を判定したり、６軸変位情報とモード切り
替え設定値の関係を判定したりしてハイゲインモード切
り替え信号を発生させ、その信号をモード切り替え器１
１に入力して、制振部の振動が励起しないようハイゲイ
ンモードと呼ばれるモードに切り替え、制振部の剛性を
高め指向制御装置１３の変動を抑える。

【００５３】このように、本実施の形態によれば、モー
ド判定器１２の出力によりモード切り替え器１１を動作
させるので、システム全体の構成が容易となり、またシ
ステム全体を自律的に構成することができる

【００５４】実施の形態７．図１４は本発明の実施の形
態７による指向制御装置用振動制御機構の全体的な構成
例を示す構成図である。図において、２ａは第１の制振
ユニットの制振部、２ｂは第２の制振ユニットの制振
部、２ｃは第３の制振ユニットの制振部、３ａは第１の
制振ユニットのパッシブ制御用のコイルバネ、３ｂは第
２の制振ユニットのパッシブ制御用のコイルバネ、３ｃ
は第３の制振ユニットのパッシブ制御用のコイルバネ、
４ａは第１の制振ユニットのアクティブ制御用の非接触
電磁石型アクチュエータ、４ｂは第２の制振ユニットの
アクティブ制御用の非接触電磁石型アクチュエータ、４
ｃは第３の制振ユニットのアクティブ制御用の非接触電
磁石型アクチュエータ、５ａは第１の制振ユニットの変
位を検出する非接触静電容量型変位センサ、５ｂは第２
の制振ユニットの変位を検出する非接触静電容量型変位
センサ、５ｃは第３の制振ユニットの変位を検出する非
接触静電容量型変位センサ、１５は指向制御装置１３を
載せた台である。図１５に固定部１の上方から見た制振
ユニットの配置例を示し、矢印はアクチュエータの駆動
方向を表している。

【００５５】次に動作について説明する。指向制御装置
１３は台１５に載せられており、この台１５は３個の制
振ユニットによって支持されている。それぞれの制振ユ
ニットは２自由度の能動制御軸を持ち、３個の制振ユニ
ットで台１５の６自由度の能動制御が可能なようにそれ
ぞれ正三角形の頂点の位置に配置されている。図１５の
紙面垂直方向に能動制御が可能であり、それぞれの紙面
平行能動制御方向ベクトルが１２０度であるため、６自
由度の能動制御が可能である。３個の制振ユニット内の
非接触静電容量型変位センサ５ａ、５ｂ、５ｃで検出さ
れた信号は、変位変換器６に入力され、並進３自由度と
回転３自由度の運動に分離され、補償器７に入力され
る。補償器７で各軸ごとの制御量が算出され、分配器８
に入力される。この信号によって、３個の制振ユニット
内の非接触電磁石型アクチュエータ４ａ、４ｂ、４ｃが
駆動され、台１５に載せられた指向制御装置１３の制振
がなされる。

【００５６】このような構成にすることにより、搭載す
る指向制御装置１３が大型の場合でも、これを搭載する
台１５を複数の制振ユニットで支持することにより、所
望の自由度で振動制御が可能である。

【００５７】なお、上記実施の形態では３個の制振ユニ
ットを用いた場合を示したが、３個に限らず複数個の制
振ユニット全体で台１５の６自由度を制御できればよ
い。つまり、各制振ユニットの能動制御の自由度が制振
したい自由度以上でもよい。また、台１５の制振したい
自由度が６自由度より少ない場合は、その自由度を構成
できる数の制振ユニットとすればよい。また、上記実施
の形態では台１５に、１つの指向制御装置１３を載せた
例を示したが、複数の指向制御装置１３を載せてもよ
い。

【００５８】さらに、実施の形態２の場合と同様に制振
部２と指向制御装置１３の固有振動数によりパッシブ制
御とアクティブ制御を切り替えたり、実施の形態４の場
合と同様にフィードフォワード補償器１０を用いたり、
実施の形態５や６の場合と同様に補償器７のゲインモー
ドを切り替えたりしてもよく、上記各実施の形態の場合
と同様の効果が得られるのは言うまでもない。

【００５９】実施の形態８．図１６は本発明の実施の形
態８による指向制御装置用振動制御機構の全体的な構成
例を示す構成図である。図において、１６は固定部１に
立てられた４本の支柱、３は支持柱１６の上端から吊り
下げられた４個の弾性部材すなわちコイルバネ、１５は
４個のコイルバネ３の下端で吊り下げられた台、１３は
台１５に載せられた指向制御装置、１７は台１５の下側
に取り付けられた箱、１８は箱１７に隣接して配置さ
れ、非接触電磁石型アクチュエータ４で吸引される補助
質量である。なお、この実施の形態では台１５と箱１７
とで制振部を構成している。補助質量１８を外し、箱１
７を下から見た様子を図１７に示す。

【００６０】次に動作について説明する。固定部１に立
てられた４本の支柱１６は台１５に開けられた穴を貫通
している。さらに、指向制御装置１３を載せた台１５
は、これら４本の支柱１６の上部からそれぞれ４個のコ
イルバネ３で吊り下げられ、並進３個、回転３個の自由
度を持っている。この台１５の下側の箱１７の側面およ
び下面には１０個のアクティブ制御用の非接触電磁石型
アクチュエータ４と６個の非接触静電容量型変位センサ
５が取り付けられている。補助質量１８は、これらの箱
１７とアクチュエータ４とセンサ５を包み込むような形
状をしており、センサ５の信号を変位変換器６で変換
し、指令信号発生器１９で発生される指令値と比較し、
補償器７で６軸制御量を計算した後、分配器８でアクチ
ュエータ４の駆動信号に分配する制御によって補助質量
１８は非接触支持される。これにより、箱１７に対する
補助質量１８の位置は、指令信号発生器１９で発生され
る指令値となるように制御され、補助質量１８を台１５
に対して相対的に振ることによって、６自由度を持つ台
１５に操作力を加えることができる。補償器７の制御則
は、この操作力が、固定部１から台１５に伝わる振動を
弱めるように設定されており、台１５に載せられた指向
制御装置１３の除振がなされる。

【００６１】本実施の形態の場合も実施の形態１と同様
に、振動を６自由度に完全に分離でき並進成分と回転成
分を非干渉なものとすることができ振動の６自由度成分
全てを制御することができる。さらに、アクチュエータ
４を１０個用いて、１個の補助質量１８で６自由度成分
全てを制御できるため、小型で多自由度の制振に用いる
ことができる。

【００６２】なお、上記実施の形態では、補償器７の制
御則を、指向制御装置１３の除振がなされるようにした
が、指令信号発生器１９で振動的な指令値を発生させれ
ば、指向制御装置１３の振動環境試験などを実施するた
め等のように、指向制御装置１３を加振することもでき
る。

【００６３】また、実施の形態７の場合と同様に、上記
箱１７にアクチュエータ４、センサ５、および補助質量
１８を配置したものを１つの制振ユニットとし、それぞ
れのユニットに２自由度の能動制御軸を持たせて３個の
制振ユニットを台１５に配置することで、搭載する指向
制御装置１３が大型の場合でも対応可能である。また、
実施の形態１の場合と同様に、箱１７の内側に第２の駆
動機構１３ｂを組み込むことで指向制御装置１３の一部
を振動制御機構に兼用できるため、装置全体の大型化を
避けることができる。さらに上記実施の形態２の場合と
同様に制振部２の固有振動数によりパッシブ制御とアク
ティブ制御を切り替えたり、実施の形態４の場合と同様
にフィードフォワード補償器１０を用いたり、実施の形
態５や６の場合と同様に補償器７のゲインモードを切り
替えたりしてもよく、上記各実施の形態の場合と同様の
効果が得られるのは言うまでもない。

【００６４】実施の形態９．図１８は本発明の実施の形
態９に係わる揺動部把持機構の全体的な構成例を示す構
成図である。（ａ）はロック状態を示し、（ｂ）は解放
状態を示す。図１９は本実施の形態で用いられるカムプ
レートの形状例を示す。これらの図において、２０は揺
動部であり、例えば上記各実施の形態で示したような振
動制御機構の制振部２や指向制御装置１３の観測機器等
のミラー等である。２１は揺動部を把持する第１の把持
アーム、２２は揺動部を把持する第２の把持アーム、２
３は把持アーム２１、２２を駆動するカムプレート、２
３ａ、２３ｂは貫通穴、２４は把持アームの一端を軸着
するエンドプレート、２５はモータなどのカムプレート
駆動用のアクチュエータである。カムプレート２３には
図１９のような形状の貫通穴２３ａ、２３ｂが開けられ
ており、把持アーム２１、２２は中央部がそれぞれ貫通
穴２３ａ、２３ｂを貫通して一端がエンドプレート２４
に軸着されている。カムプレート２３の回転角と曲率半
径の関係を図２０に示す。

【００６５】次に動作について説明する。図１９、２０
に示すように、カムプレート駆動用アクチュエータ２５
で回転駆動されるカムプレート２３の回転角がθ₀の位
置（すなわち貫通穴の一端の位置）では、カムプレート
２３の回転中心から穴２３ａ、２３ｂまでの距離、つま
り曲率半径ｒ₀は最大となり、図１８（ｂ）のように把
持アーム２１、２２は揺動部２０のから離れ、解放状態
となっている。揺動部２０をロック状態にするには、カ
ム駆動用アクチュエータ２５でカムプレート２３を回転
させ、θ₂の位置（すなわち貫通穴の他端の位置）にす
る。カムプレート２３の回転角がθ₂の位置では曲率半
径ｒ₂は小さくなり、図１８（ａ）のように把持アーム
２１、２２は揺動部２０を両側から挟み込み、ロック状
態となる。曲率半径と揺動部２０の把持力には、およそ
逆比例の関係があり、カムプレート２３の曲率半径が小
さいほど、把持力は大きくなる。よって、カムプレート
２３がθ₀とθ₂の間の位置である回転角θ₁の位置（す
なわち貫通穴の中央部）では曲率半径ｒ₁はこれらの区
間で最小となり把持力は最大となる。このため、カムプ
レート２３が回転角θ₂のロック状態になされた後に、
解放状態の方向へ緩むのを防止することができる。すな
わち、一度ロック状態にされたこの把持機構は自己保持
機能を持つ。ロック状態から解放状態にするには、カム
プレート駆動用アクチュエータ２５を逆転させ、カムプ
レート２３の回転角をθ₂からθ₀に回転させればよい。

【００６６】このように、本実施の形態ではワイヤー等
を用いず、しかもロック状態になされた後に、解放状態
の方向へ緩むのを防止することができるため、小型なが
ら高い信頼性で揺動部を固定できると共に、把持解放時
に周辺の機器に与える影響を大幅に低減できる。また、
解放状態から把持状態への移行、把持状態から解放状態
への移行、さらにこれらの繰返しが可能である。

【００６７】上記実施の形態では、把持アーム２１、２
２を一端でエンドプレート２４に軸着する場合を示した
が、把持アームの中間を軸着してもよい。この場合の実
施の形態を図２１に示す。（ａ）はロック状態、（ｂ）
は解放状態を示す。この場合、カムプレート２３の形状
は例えば、図２２のようにすればよい。つまり、カムプ
レート２３の回転角θ₀で曲率半径ｒ₀を最小にして把持
アーム２１、２２が解放状態にあるようにし、カムプレ
ート２３がθ₂に回転した状態では曲率半径ｒ₂がこれよ
り大きくなり、かつ、揺動部２０を把持アーム２１、２
２が把持するようにする。さらに、カムプレート回転角
がθ₀とθ₂の間のθ₁の状態では、曲率半径ｒ₁をこれら
の区間で最大になるようにすればよい。カムプレート２
３の回転角と曲率半径の関係図を図２３に示す。この場
合、 曲率半径と揺動部２０の把持力には、およそ比例
の関係があり、カムプレート２３の曲率半径が大きいほ
ど、把持力は大きくなる。

【００６８】なお、上記実施の形態では、把持アーム２
１、２２が２本の場合を示したが、３本以上でもよい。
例えば３本の場合は、把持アームを１２０度間隔で配置
すればよい。また、揺動部２０における把持アーム２
１、２２に把持される部分にはフランジ等の把持に適し
た構成を適用すると良いのは言うまでもない。また、カ
ムプレート駆動用アクチュエータ２５はモータ等回転力
を発生できるものであれば何でもよい。さらに、解放状
態からロック状態、または、ロック状態から解放状態へ
の一方向のみの駆動をさせる場合は、カムプレート駆動
用アクチュエータ２５はモータなどの他、パラフィンア
クチュエータ、回転バネ等でもよい。

【００６９】

【発明の効果】以上のように、第１の発明によれば、搭
載機器の指向を制御する指向制御装置を載置し、弾性部
材を介して揺動可能に固定部に結合される制振部と、こ
の制振部の固定部に対する位置または角度を制御する複
数の非接触型アクチュエータと、上記制振部の固定部に
対する変位、速度または加速度を測定する複数の非接触
型センサと、上記各センサからの信号を６軸変位に座標
変換する変位変換器と、座標変換された６軸変位から６
軸制御量を計算する補償器と、計算された６軸制御量を
上記各アクチュエータに分配する分配器とを備え、上記
固定部に対する制振部の位置または角度を制御するの
で、振動を６自由度に完全に分離でき並進成分と回転成
分を非干渉なものとすることができ必要に応じて振動の
６自由度成分全てを制御することが可能であるという効
果がある。

【００７０】また、第２の発明によれば、搭載機器の指
向を制御する指向制御装置を載置し、弾性部材を介して
揺動可能に固定部に結合される制振部と、この制振部に
隣接して配置された補助質量と、この補助質量と制振部
との相対変位、相対速度または相対加速度を検出する少
なくとも１個の非接触型センサと、上記補助質量または
制振部に固定され上記補助質量と制振部との相対位置ま
たは角度を制御する少なくとも１個の非接触型電磁アク
チュエータと、上記各センサからの信号を６軸変位に座
標変換する変位変換器と、座標変換された６軸変位から
６軸制御量を計算する補償器と、計算された６軸制御量
を上記各アクチュエータに分配する分配器とを備えたの
で、小型で多自由度の除振に用いることができる指向制
御装置を提供することができる。また、加振装置として
の使用も可能である。

【００７１】また、第３の発明によれば、上記制振部の
固有振動数よりも高周波側は弾性部材の遮断特性を用い
たパッシブ制御を行い、上記制振部の固有振動数近傍か
ら低周波側はアクチュエータによるアクティブ制御を行
うように構成したので、高周波側は非接触型のアクチュ
エータを用いたことにより弾性部材だけで支持できるた
め高周波振動の遮断性能を低下させることなく制御する
ことができ、かつ低周波側はアクティブ制御によりダン
ピングを付加することができ制振部の共振を抑えること
ができ、さらにアクティブ制御により制振部の変位を一
定内に抑えることができしかも外部からの目標値に追従
させることも可能であるという効果がある。

【００７２】また、第４の発明によれば、上記各センサ
信号から得られた情報を指向制御装置にフィードフォワ
ードするフィードフォワード補償器を備えたので、制振
部の姿勢を制振部に搭載された指向制御装置に伝えるこ
とができ、指向制御装置が制振部の影響を受けるのを防
止でき、指向制御装置の絶対指向精度を上げることがで
きるという効果がある。

【００７３】また、第５の発明によれば、指向制御装置
の動作またはセンサ情報により上記補償器のモードを切
り替えるので、制振部に搭載される指向制御装置の動作
が大きい場合にはハイゲインモードにより制振部の剛性
を高めることで制振部の変動を抑えることができ、また
大外乱印加時にも対応が可能であり、また制振部に搭載
される指向制御装置の動作が比較的小さい定常状態の場
合はローゲインモードにより制振部のダンピングを付加
することができるという効果がある。

【００７４】また、第６の発明によれば、指向制御装置
の動作またはセンサ情報により上記補償器のモードを判
定するモード判定器およびこのモード判定器の出力によ
り上記補償器のモードを切り替えるモード切り替え器を
備えたので、上記第５の発明の効果に加えて、システム
全体の構成が容易となり、またシステム全体を自律的に
構成することができるという効果がある。

【００７５】また、第７の発明によれば、指向制御装置
の駆動機構部の側面に複数の弾性部材を配置して指向制
御装置を固定部に揺動可能に結合し、指向制御装置の一
部が制振部を兼ねるように構成したので、装置全体の大
型化を招かないで、固定部から伝わる振動の軽減、また
は増加などができる。また、追尾機構の取付け面の法線
軸回りの駆動機構部の側面に、多自由度の制御をするた
めのセンサとアクチュエータを配置することができる長
所もある。

【００７６】また、第８の発明によれば、上記第１また
は２の発明における制振部を複数個に分割し、それぞれ
の制振部に弾性部材、非接触型アクチュエータ、および
非接触型センサ、または弾性部材、非接触型アクチュエ
ータ、非接触型センサ、および補助質量を配置して複数
個の制振ユニットを構成し、これらの制振ユニット上に
指向制御装置を載置したので、搭載機器が大型の場合で
も、これを搭載する台を複数のユニットで支持すること
により、所望の自由度で振動制御が可能である。

【００７７】さらに、第９の発明によれば、一端または
中央部が軸支され他端で揺動部を少なくとも対向する２
方向から把持する少なくとも２個の把持アームと、上記
把持アームの中央部または一端が貫通する貫通穴を有し
回転して上記把持アームを駆動するカムプレートとを備
え、上記貫通穴は回転中心からの距離が一端、他端、中
央部の順に大きくまたは小さくなるように形成されてお
り、上記把持アームが貫通穴の一端に位置するときは把
持アームは揺動部から離れ、他端に位置するときは揺動
部を把持し、中央部に位置しようとすると揺動部を把持
する力が大きくなるように構成した揺動部把持機構を備
えたので、小型ながら高い信頼性で揺動部を固定できる
と共に、把持解放時に周辺の機器に与える影響を大幅に
低減できる。また、解放状態から把持状態への移行、把
持状態から解放状態への移行、さらにこれらの繰返しも
可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１による指向制御装置用
振動制御機構の全体的な構成を示す構成図である。

【図２】 図１の指向制御装置の構成を説明する構成図
である。

【図３】 図２のＡ−Ａ線断面図である。

【図４】 実施の形態１に係わり非接触電磁石型アクチ
ュエータおよび非接触静電容量型変位センサの配置の一
例を示す正面図である。

【図５】 実施の形態１に係わり非接触電磁石型アクチ
ュエータおよび非接触静電容量型変位センサの配置の一
例を示す側面図である。

【図６】 実施の形態１に係わり非接触電磁石型アクチ
ュエータおよび非接触静電容量型変位センサの配置の一
例を示す底面図である。

【図７】 実施の形態１に係わり非接触電磁石型アクチ
ュエータおよび非接触静電容量型変位センサの配置の他
の例を示す正面図である。

【図８】 実施の形態１に係わり非接触電磁石型アクチ
ュエータおよび非接触静電容量型変位センサの配置の他
の例を示す側面図である。

【図９】 実施の形態１に係わり非接触電磁石型アクチ
ュエータおよび非接触静電容量型変位センサの配置の他
の例を示す底面図である。

【図１０】 本発明の実施の形態３による指向制御装置
用振動制御機構を示す構成図である。

【図１１】 本発明の実施の形態４による指向制御装置
用振動制御機構を示す構成図である。

【図１２】 本発明の実施の形態５による指向制御装置
用振動制御機構を示す構成図である。

【図１３】 本発明の実施の形態６による指向制御装置
用振動制御機構を示す構成図である。

【図１４】 本発明の実施の形態７による指向制御装置
用振動制御機構を示す構成図である。

【図１５】 実施の形態７に係わり固定部の上方から見
た制振ユニットの配置例を示す上面図である。

【図１６】 本発明の実施の形態８による指向制御装置
用振動制御機構を示す構成図である。

【図１７】 実施の形態８に係わり箱に取り付けられた
センサとアクチュエータの配置を示す下面図である。

【図１８】 本発明の実施の形態９に係わる揺動部把持
機構の一例を示す構成図であり、（ａ）はロック状態を
示し、（ｂ）は解放状態を示す。

【図１９】 図１８で用いられるカムプレートの形状の
一例を示す説明図である。

【図２０】 図１９で示したカムプレートの回転角と曲
率半径の関係を示す特性図である。

【図２１】 本発明の実施の形態９に係わる揺動部把持
機構の他の例を示す構成図であり、（ａ）はロック状態
を示し、（ｂ）は解放状態を示す。

【図２２】 図２１で用いられるカムプレートの形状の
一例を示す説明図である。

【図２３】 図２２で示したカムプレートの回転角と曲
率半径の関係を示す特性図である。

【図２４】 従来の振動制御装置を示す構成図である。

【図２５】 従来の指向制御装置を示す構成図である。

【符号の説明】

１ 固定部、 ２ 制振部、 ３ コイルバネ、
４，４０１〜４１４非接触電磁石型アクチュエータ、
４ａ 磁極板、 ５，５０１〜５０６非接触静電
容量型変位センサ、 ６ 変位変換器、 ７ 補償
器、 ８分配器、 ９ 搭載機器、 １０ フィ
ードフォワード補償器、 １１モード切り替え器、
１１ａ パソコン、 １２ モード判定器、 １
３ 指向制御装置、 １３ａ，１３ｂ 第１，第２の
駆動機構、 １５ 台、 １６ 支柱、 １７
箱、 １８ 補助質量、 １９ 指令信号発生器、
２０ 揺動部、 ２１，２２ 第１，第２の把持
アーム、 ２３カムプレート、 ２４ エンドプレ
ート、 ２５ カムプレート駆動用のアクチュエー
タ、 １０１ 床、 １０２ 架台、 １０３
アクティブ除振部材、 １０４ 定盤、 １０５
構造体、 １０６ 可動部材、１０７ 内部構造部
材、 １０８ａ 上下方向用アクチュエータ、 １
０９ｘ，１０９ｙ 検出器、 １１０ ローパスフィ
ルタ、 １１１ Ａ／Ｄ変換器、 １１２ ディジ
タルシグナルプロセッサ、 １１３ 計算機、１１４
Ｄ／Ａ変換器、 １１５ アンプ、 １１８ パ
ッシブ除振部材、 １３０ コントローラ、 １３
１ モータ、 ２０１ 送受信望遠鏡、 ２０２
粗捕捉追尾機構、 ２０３ 精捕捉追尾機構、 ２
０４ ポインティングセンサ、 ２０５ トラッキン
グセンサ、 ２０６ 通信用受光器、 ２０７ 光
行差補正機構、 ２０８ レーザ光源、 ８３，８
６ビームスプリッタ、 ８５ ダイクロイックミラ
ー、 １００ 相手局からのレーザビーム。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｇ１２Ｂ 9/08 Ｇ１２Ｂ 9/08

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搭載機器の指向を制御する指向制御装置
   を載置し、弾性部材を介して揺動可能に固定部に結合さ
   れる制振部と、この制振部の固定部に対する位置または
   角度を制御する複数の非接触型アクチュエータと、上記
   制振部の固定部に対する変位、速度または加速度を測定
   する複数の非接触型センサと、上記各センサからの信号
   を６軸変位に座標変換する変位変換器と、座標変換され
   た６軸変位から６軸制御量を計算する補償器と、計算さ
   れた６軸制御量を上記各アクチュエータに分配する分配
   器とを備え、上記固定部に対する制振部の位置または角
   度を制御することを特徴とする指向制御装置用振動制御
   機構。
2. 【請求項２】 搭載機器の指向を制御する指向制御装置
   を載置し、弾性部材を介して揺動可能に固定部に結合さ
   れる制振部と、この制振部に隣接して配置された補助質
   量と、この補助質量と制振部との相対変位、相対速度ま
   たは相対加速度を検出する少なくとも１個の非接触型セ
   ンサと、上記補助質量または制振部に固定され上記補助
   質量と制振部との相対位置または角度を制御する少なく
   とも１個の非接触型電磁アクチュエータと、上記各セン
   サからの信号を６軸変位に座標変換する変位変換器と、
   座標変換された６軸変位から６軸制御量を計算する補償
   器と、計算された６軸制御量を上記各アクチュエータに
   分配する分配器とを備えたことを特徴とする指向制御装
   置用振動制御機構。
3. 【請求項３】 上記制振部の固有振動数よりも高周波側
   は弾性部材の遮断特性を用いたパッシブ制御を行い、上
   記制振部の固有振動数近傍から低周波側はアクチュエー
   タによるアクティブ制御を行うように構成したことを特
   徴とする請求項１または２記載の指向制御装置用振動制
   御機構。
4. 【請求項４】 上記各センサ信号から得られた情報を指
   向制御装置にフィードフォワードするフィードフォワー
   ド補償器を備えたことを特徴とする請求項１または２記
   載の指向制御装置用振動制御機構。
5. 【請求項５】 指向制御装置の動作またはセンサ情報に
   より補償器のモードを切り替えることを特徴とする請求
   項１または２記載の指向制御装置用振動制御機構。
6. 【請求項６】 指向制御装置の動作またはセンサ情報に
   より補償器のモードを判定するモード判定器およびこの
   モード判定器の出力により上記補償器のモードを切り替
   えるモード切り替え器を備えたことを特徴とする請求項
   ５記載の指向制御装置用振動制御機構。
7. 【請求項７】 指向制御装置の駆動機構部の側面に複数
   の弾性部材を配置して指向制御装置を固定部に揺動可能
   に結合し、指向制御装置の一部が制振部を兼ねるように
   構成したことを特徴とする請求項１ないし６の何れかに
   記載の指向制御装置用振動制御機構。
8. 【請求項８】 請求項１または２記載の制振部を複数個
   に分割し、それぞれの制振部に弾性部材、非接触型アク
   チュエータ、および非接触型センサ、または非接触型ア
   クチュエータ、非接触型センサ、および補助質量を配置
   して複数個の制振ユニットを構成し、これらの制振ユニ
   ット上に指向制御装置を載置したことを特徴とする請求
   項１ないし６の何れかに記載の指向制御装置用振動制御
   機構。
9. 【請求項９】 一端または中央部が軸支され他端で揺動
   部を少なくとも対向する２方向から把持する少なくとも
   ２個の把持アームと、上記把持アームの中央部または一
   端が貫通する貫通穴を有し回転して上記把持アームを駆
   動するカムプレートとを備え、上記貫通穴は回転中心か
   らの距離が一端、他端、中央部の順に大きくまたは小さ
   くなるように形成されており、上記把持アームが貫通穴
   の一端に位置するときは把持アームは揺動部から離れ、
   他端に位置するときは揺動部を把持し、中央部に位置し
   ようとすると揺動部を把持する力が大きくなるように構
   成した揺動部把持機構を備えたことを特徴とする請求項
   １ないし８の何れかに記載の指向制御装置用振動制御機
   構。