JP4229347B2 - 能動制振装置、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
能動制振装置、露光装置及びデバイス製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4229347B2 JP4229347B2 JP15114599A JP15114599A JP4229347B2 JP 4229347 B2 JP4229347 B2 JP 4229347B2 JP 15114599 A JP15114599 A JP 15114599A JP 15114599 A JP15114599 A JP 15114599A JP 4229347 B2 JP4229347 B2 JP 4229347B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- active vibration
- vibration
- acceleration sensor
- exposure apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、能動制振装置及びこれを設けた露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、微振動検出用加速度計として、「サーボ型加速度計」が用いられていた。図7にサーボ型加速度計の代表的な原理図を示す。振動によって生じる可動質量701の位置変化を位置検出器702で検出する。この可動質量701を定位置に保つように、位置検出器702、サーボ増幅器703および可動質量701と一体化された駆動コイル704によって構成されるサーボ系の、駆動コイル704に流れる電流を読取抵抗705の両端の電圧として出力するものである。可動質量701はヒンジ部707を有し、駆動コイル704は磁気回路706と組み合わされている。サーボ型加速度計は高分解能ではあるが、高価である、大きい、広帯域検出が困難、壊れやすいなどの問題があった。
【0003】
一方、抵抗変化型加速度センサ(以下、加速度センサ)は、小型で広帯域検出が可能であるが、検出感度が低く、微振動検出用の加速度計に用いられることは少なかった。
【0004】
また、制振装置としては、機械的なものとして、バネと可動質量を用いた構成、ダンパと可動質量を用いた構成、バネとダンパと可動質量を用いた構成などが知られていた。いずれも構造体の振動を制振するためのものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
前述のように、サーボ型加速度計は、大きい、検出帯域が狭い、発熱が大きい、壊れやすい、高価である、などの課題を有する。また、バネおよびダンパを用いた従来の制振装置は、除振したい振動に適するようにバネおよびダンパの特性を調整する必要があり、しかもメカニカルなダンパは経時特性変化が大きく、定期的なメンテナンスを必要とした。
【0006】
本発明は、このような状況に対応するために考案されたものである。小型、低発熱、広帯域、高分解能、安価な加速度計を実現し、またこの加速度計を用いて広帯域に微振動の制振を可能とする調整容易な能動制振装置を実現し、精密機械の各種振動問題を解決するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の能動制振装置は、可動部と固定部を有するアクチュエータの前記可動部を駆動したときの駆動反力を利用して前記固定部が取り付けられた構造部材の振動を抑制する能動制振装置であって、前記可動部及び固定部の少なくとも一方に設けられた抵抗変化型加速度センサと、該抵抗変化型加速度センサの出力にもとづく加速度信号を出力する処理回路とを備え、該処理回路は、前記抵抗変化型加速度センサに接続される差動増幅回路と、ローパスフィルタの負帰還回路に積分回路を用いて構成され前記差動増幅回路の出力を増幅するバンドパスフィルタと、を備え、前記加速度信号にもとづいて前記アクチュエータが制御されることを特徴とする。
ここで、前記処理回路は、オフセット補正回路およびゲイン調整回路を有し、該両回路は、前記抵抗変化型加速度センサ、前記差動増幅回路および前記バンドパスフィルタと同一の回路基板上に搭載され、前記抵抗変化型加速度センサは構造補強部材により補強して支持されることができる。
【0008】
このように、小型軽量な加速度センサ、差動増幅回路、ローパスフィルタと積分回路を組合せたバンドパスフィルタ、オフセット補正回路およびゲイン調整回路を同一回路基板上に搭載することで、小信号伝送路を短縮化することができる。また必要最小限に簡素化された前記回路構成を可動部および固定部の振動検出用に用い、適切なアクチュエータと組み合わせることで、小型で広帯域に微振動の制振が可能な能動制振装置を低価格で実現することが出来る。
【0012】
【実施例(加速度計)】
図1に本発明の加速度計の概略回路図を示す。
加速度センサ101は、いわゆる4素子ブリッジである。検出正方向加速度に対し、R1とR3の抵抗値が上がると同時にR2とR4の抵抗値が下がり、逆方向加速度に対してはR1とR3の抵抗値が下がると同時にR2とR4の抵抗値が上がる加速度センサを使用している。差動増幅回路102は、オペアンプを3個用いている。オペアンプ3個と概同等の差動増幅用IC(図示せず)を用いてもよい。オフセット補正回路103は、オペアンプと可変抵抗104などからなる。ゲイン調整には可変抵抗105を用いているが、固定抵抗と切換スイッチ(共に図示せず)などを用いてもよい。ローパスフィルタ106はオペアンプを用いた二次フィルタで、積分回路107による負帰還を組み合わせ、バンドパスフィルタ108を構成する。図1において、「Vref+」、「Vref−」および「OUTPUT」は、それぞれ、正の基準電圧、負の基準電圧および加速度信号である。
【0013】
本実施例の回路構成では、5V印加時に約5mV/G感度の加速度センサを用い、検出帯域0.2〜300Hz、加速度信号出力スケール500V/G、分解能約4μG程度の加速度計を実現できた。ちなみに、電源電圧は±15Vで、定常消費電流約10mAであった。
【0014】
ここで、機械強度の確保しにくい回路基板の場合は、図2に示すように加速度センサ101を構造補強部材201,202,203でケース204に補強支持することで、機械強度の確保しにくい回路基板205の振動の影響を受けにくくなり、さらに良好な加速度計とすることが出来る。
【0015】
加速度計出力信号をデジタル制御用のマイクロコンピュータ(CPU)やデジタルシグナルプロセッサ(DSP)を用いて処理する場合は、図3に示すような本発明の加速度計の応用例が考えられる。加速度計の構成要素として、アナログ/デジタル変換回路(A/D)301を付加し加速度信号をデジタル変換する。またオフセット補正用のデジタル/アナログ変換回路(D/A)302を付加し、CPUまたはDSPからの指令でオフセット調整可能となる。ゲイン調整回路303も、アナログスイッチと抵抗アレイ(詳細図示せず)などを使用すればデジタル制御インタフェースが容易に実現できる。
【0016】
【実施例(能動制振装置)】
図4は、本発明の能動制振装置の構成ブロック図を示す。図中、固定部加速度計401は、固定部の加速度を検出する。可動部加速度計402は、可動部の加速度を検出する。位置検出器403は、固定部と可動部の相対位置を検出する。アクチュエータとしては、後述するように永久磁石磁気回路501とコイル502を組み合わせたリニアモータ411を使用する場合を例とする。固定部加速度計401からの信号は可変ゲインアンプ404、積分回路407を通り加算回路407へ、可動部加速度計402からの信号は可変ゲインアンプ405、積分回路408を通り加算回路409へ、位置検出器403からの信号は可変ゲインアンプ406を通り加算回路409へ入力される。加算回路409出力はドライバアンプ410を通りリニアモータ411を駆動する。
【0017】
図5(a)および(b)は、本発明の能動制振装置の概略形態(平面図、正面図)を示す。可動部加速計402は正面図にのみ図示してある。可動部は永久磁石磁気回路501とその上に固定された可動部加速度計402などから構成され、固定部にはコイル502が固定されている。適当なストロークで直動できるようにリニアガイド503(2個)で支持する。504(2個)は支持部材、505は固定部ベース、矢印506は、可動方向および加速度検出方向である。
【0018】
図6(a)〜(c)は本発明の能動制振装置の適用例を示す。
まず、制振を必要とする振動の周波数が比較的安定している場合を考える。図6(a)に示すように、比較的単純な構造体602のa1位置の矢印方向の振動を制振する場合、能動制振装置601を、その可動方向を矢印にあわせて固定する。可動部加速度計402からの信号と位置検出器403からの信号を加算して、ドライバ410を介しリニアモータ411にフィードバックし、可動部の位置制御系を構成し、この位置制御系の共振周波数をa1の振動にあわせ、ダンピングを適切に調整することで効果的な制振が可能となる。図4において、主にゲインK3の調整により共振周波数を調整し、主にゲインK2によってダンピングを調整する。なお、アクチュエータとしてリニアモータを用いているため、加速度信号を積分回路408で処理して可動部の速度信号として、速度比例のダンピングとしている。本例では、固定部加速度計401を使用していない。
【0019】
つぎに、固定部加速度計401を使用する例を説明する。固定部加速度計401と位置検出器403をアクチュエータの駆動信号源とすると効果的な制振が実現できるのは、制振を要する振動周波数が変化する場合、たとえば図6(b)のように可動ステージ603を有する機械において、ステージ位置によってベース604の振動状況が変化するような場合である。図6(b)に示すベース604のb1位置の制振が必要な場合、可動ステージ603の位置が変化(破線図示)すると、ベース604上の質量分布が変化し、b1の振動状態が変化する。このような場合は、b1に能動制振装置を配し、固定部加速度計401の出力信号をゲインK1で適切に調整し可動部を駆動することで、固定部に作用する駆動反力がb1にダンピングを与え、制振が可能となる。ゲインK3は、位置サーボ系が安定して適度なサーボ剛性を有する設定にする。通常この位置サーボ系の帯域は比較的狭いものとなる。本例の適用例としては、大型の可動ステージを有し、除振台によって支持される顕微鏡システムなどが想定され、制振を必要とする振動の近傍周波数に外乱振動が少ない場合が有効である。
【0020】
さらに、固定部および可動部両方に加速度計を備える能動制振装置に関して説明する。
【0021】
図6(c)は本発明の能動制振装置を半導体露光装置(ステッパ又はスキャナ)に適用した場合の概略図である。
【0022】
露光光源605と投影レンズ606の間に照明系構造体607が配置されている。照明系構造体607は装置本体608に設置されている。装置本体608には、投影レンズや装置本体608に対して移動可能なウエハステージ609が配置されている。ウエハステージが移動することで、装置本体608や照明系構造体607に振動が発生する。そこで、本実施形態の半導体露光装置は、照明系構造体607に生ずる約50〜100Hz付近の振動c1を制振するため、能動制振装置を図示の位置および図示の制振方向に配置する。
【0023】
また、本体608に搭載されているウエハステージ609の、図中左右方向のステップ・アンド・リピート(またはステップ・アンド・スキャン)の移動により、ステッパ本体608、投影レンズ606、照明系構造体607などの装置全体が、投影レンズ606付近を中心として回転する約1〜20Hz付近の剛体モード振動d1が断続的に発生することもある。このような低周波数の剛体モード振動を可動部の移動反力で制振しようとすると、本来ならば可動部の移動ストロークを大きくする必要がある。これは、可動部と固定部のストロークオーバーによるメカニカル衝突を防ぐためである。しかし、本実施形態では、このような剛体モード振動d1による可動部の駆動を回避するため、位置決めサーボ系を比較的広帯域(例えば30Hz程度)に設定し、図4における可動部可速度計402からの信号によりダンピングを適切に与えることで、剛体モード振動d1に対しての可動部の反応を抑えることができる。そのため、装置本体の構成の小型化を図ることができる。
【0024】
上記のように、固定部可速度計401からの信号により適切なダンピングを与えることで、照明構造体607の約50〜100Hz付近の振動c1が制振できる。
【0025】
以上述べたように、照明系構造体607の約50〜100Hz付近の振動c1の近傍周波数に、剛体モード振動d1が存在する場合でも、可動部および固定部に加速度計を備えた本発明の能動制振装置を用いると、可動部の位置サーボ系の特性を最適に調整することが可能なため、照明系構造体の効果的な制振が実現できる。
【0026】
なお、上記の露光装置の実施形態では、制振装置の数については言及していないが、露光装置に設ける制振装置は1つでも複数でも良い。
【0027】
また、制振装置を設ける場所は照明系構造体に限られるものではなく、装置本体、投影レンズ、ステージ、光源、露光装置を載置した近傍の床および床を形成する構造体等に設けても良い。
【0028】
また、露光装置に設置する制振装置の制振方向としては、図に示すような鉛直方向に限るものではなく、制振装置を設置する場所における適切な任意の方向で良い。
【0029】
また、上記の露光装置は、ウエハステージを搭載する装置本体と照明系構造体が一体となっているが、これに限るものではなく、装置本体と照明系構造体が別体となっていてもよい。また、制振装置が制振する振動は、ウエハステージの移動によって発生した振動に限るものではなく、レチクルステージその他の外乱要因によって発生した振動を制振するものでも良い。
【0030】
なお、上記本発明の能動制振装置の適用3例は、発明の内容を説明する目的で具体的な装置名などに言及しているが、もちろん用途を限定しているものではない。産業的な実用を考慮すると、図6(c)で説明した構成、すなわち可動部および固定部に加速度計を備えた設計の能動制振装置を基本として用意し、必要に応じて各加速度計の信号を内部回路で取捨選択する装置構成も有効である。本発明の加速度計が、小型、軽量、高分解能など高分解能面での優位性と共に、低価格であるという産業的な利点をも有するゆえに、多用途に適用可能な能動制振装置が実現できる。
【0031】
本発明の能動制振装置の実施例においては、位置検出器については詳しく言及していないが、静電容量センサ、渦電流センサ、差動トランス、レーザ変位計、光学または磁気エンコーダなどが使用可能であり、特定の形式に限定されるものではない。また、可動部を支持するリニアガイドとしてエアスライダなどの非接触ガイドを用いると、高性能な能動制振装置となる。なお、制振を要する振動が重力方向の場合は、可動部の自重を支えるための機械バネを併用するなどの構成も有効である。アクチュエータにはリニアモータ以外にも、回転モータとボールネジなどの使用もありうる。
【0032】
(デバイス生産方法の実施例)
次に上記説明した能動制振装置を備えた露光装置を利用したデバイスの生産方法の実施例を説明する。
図8は微小デバイス(ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等)の製造のフローを示す。ステップ1(回路設計)ではデバイスのパターン設計を行なう。ステップ2(マスク製作)では設計したパターンを形成したマスクを製作する。一方、ステップ3(ウエハ製造)ではシリコンやガラス等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の工程を含む。ステップ6(検査)ではステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷(ステップ7)される。
【0033】
図9は上記ウエハプロセスの詳細なフローを示す。ステップ11(酸化)ではウエハの表面を酸化させる。ステップ12(CVD)ではウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップ13(電極形成)ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップ14(イオン打込み)ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ15(レジスト処理)ではウエハに感光剤を塗布する。ステップ16(露光)では上記説明した能動制振装置を備えた露光装置によってマスクの回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップ17(現像)では露光したウエハを現像する。ステップ18(エッチング)では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ19(レジスト剥離)ではエッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行なうことによって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
【0034】
本実施例の生産方法を用いれば、従来は製造が難しかった高集積度のデバイスを低コストに製造することができる。
【0035】
【発明の効果】
本発明の効果は以下の通りである。
(1)小型、軽量、広帯域、高分解能、低消費電力、高耐振かつ低価格の加速度計を実現できる。
(2)半導体露光装置など精密機械の制振用に適した能動制振装置が実現でき、機械全体の設計に大変更を必要としない振動対策が可能となる。
(3)広範囲の振動(周波数、振幅)制振が、複雑な機構調整なしで、容易に実現可能となる。
(4)メカニカルダンパを使用せず、長期間にわたってメンテナンスの不要な制振装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の加速度計の概略回路図を示す図である。
【図2】 加速度センサの補強支持構造を示す図である。
【図3】 本発明の加速度計の応用実施例概略回路図を示す図である。
【図4】 本発明の能動制振装置のブロック図を示す図である。
【図5】 本発明の能動制振装置の形態図を示す図である。
【図6】 本発明の能動制振装置の適用例図その1〜3を示す図である。
【図7】 従来のサーボ型加速度計の原理図を示す図である。
【図8】 微小デバイスの製造のフローを示す図である。
【図9】 ウエハプロセスの詳細なフローを示す図である。
【符号の説明】
101:加速度センサ、102:差動増幅回路、103:オフセット補正回路、104:可変抵抗、105:可変抵抗、106:ローパスフィルタ、107:積分回路、108:バンドパスフィルタ、Vref+:正の基準電圧、Vref−:負の基準電圧、OUTPUT:加速度信号、201,202,203:構造補強部材、204:ケース、205:回路基板、301:A/D、302:D/A、303:ゲイン調整回路、401:固定部加速度計、402:可動部加速度計、403:位置検出器、404,405,406:可変ゲインアンプ、407,408:積分回路、409:加算回路、410:ドライバアンプ、411:リニアモータ、501:永久磁石磁気回路、502:コイル、503:リニアガイド、504:支持部材、505:固定部ベース、506:(方向を示す)矢印、601:能動制振装置、602:構造体、603:可動ステージ、604:ベース、605:露光光源、606:投影レンズ、607:照明系構造体、608:ステッパ本体、609:ウエハステージ、a1,b1,c1:位置またはその位置の振動、d1:剛体モード振動、K1,K2,K3:可変ゲインアンプのゲイン、701:可動質量、702:位置検出器、703:サーボ増幅器、704:駆動コイル、705:読取抵抗、706:磁気回路、707:ヒンジ部、801:バネ、802:可動質量、803:ダンパ、804:構造体、805:振動。
Claims (6)
- 可動部と固定部を有するアクチュエータの前記可動部を駆動したときの駆動反力を利用して前記固定部が取り付けられた構造部材の振動を抑制する能動制振装置であって、
前記可動部及び固定部の少なくとも一方に設けられた抵抗変化型加速度センサと、該抵抗変化型加速度センサの出力にもとづく加速度信号を出力する処理回路とを備え、
該処理回路は、前記抵抗変化型加速度センサに接続される差動増幅回路と、ローパスフィルタの負帰還回路に積分回路を用いて構成され前記差動増幅回路の出力を増幅するバンドパスフィルタと、を備え、
前記加速度信号にもとづいて前記アクチュエータが制御されることを特徴とする能動制振装置。 - 前記処理回路は、オフセット補正回路およびゲイン調整回路を有し、該両回路は、前記抵抗変化型加速度センサ、前記差動増幅回路および前記バンドパスフィルタと同一の回路基板上に搭載され、前記抵抗変化型加速度センサは構造補強部材により補強して支持されることを特徴とする請求項1に記載の能動制振装置。
- 前記可動部と前記固定部の相対位置を検出する検出手段を有し、該検出手段の出力に基づいて前記アクチュエータが制御されることを特徴とする請求項1または2に記載の能動制振装置。
- 前記固定部はコイルを有し、前記可動部は磁石を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の能動制振装置。
- 請求項1〜4のいずれか1つに記載の能動制振装置を、露光装置内のステージ近傍、露光装置を載置した床の近傍、該床を構成する構造部材、照明系の構造体のうち少なくともいずれかに設けたことを特徴とする露光装置。
- 請求項4に記載の露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15114599A JP4229347B2 (ja) | 1999-05-31 | 1999-05-31 | 能動制振装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
US09/578,905 US6473159B1 (en) | 1999-05-31 | 2000-05-26 | Anti-vibration system in exposure apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15114599A JP4229347B2 (ja) | 1999-05-31 | 1999-05-31 | 能動制振装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000338127A JP2000338127A (ja) | 2000-12-08 |
JP4229347B2 true JP4229347B2 (ja) | 2009-02-25 |
Family
ID=15512364
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15114599A Expired - Fee Related JP4229347B2 (ja) | 1999-05-31 | 1999-05-31 | 能動制振装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4229347B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4712474B2 (ja) * | 2005-07-29 | 2011-06-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体装置、半導体装置の製造方法、半導体装置の製造方法プログラムおよび半導体製造装置 |
JP4834439B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2011-12-14 | キヤノン株式会社 | ステージ装置及びその制御方法、露光装置及びデバイス製造方法 |
DE102009009562A1 (de) * | 2009-02-19 | 2010-09-09 | Integrated Dynamics Engineering Gmbh | Kombinierter Bewegungssensor zum Einsatz in Feedback-Regelsystemen zur Schwingungsisolation |
RU2447451C1 (ru) * | 2010-11-30 | 2012-04-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Тульский государственный университет" (ТулГУ) | Компенсационный акселерометр |
CN106403920B (zh) | 2015-07-28 | 2019-02-22 | 无锡华润上华科技有限公司 | 加速度器 |
-
1999
- 1999-05-31 JP JP15114599A patent/JP4229347B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000338127A (ja) | 2000-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3889395B2 (ja) | 力が補償されるマシンフレームを有する光リソグラフ装置 | |
US5864389A (en) | Stage apparatus and exposure apparatus and device producing method using the same | |
US6473159B1 (en) | Anti-vibration system in exposure apparatus | |
US20070097340A1 (en) | Active damper with counter mass to compensate for structural vibrations of a lithographic system | |
JP2007103657A (ja) | 光学素子保持装置、露光装置およびデバイス製造方法 | |
TW497147B (en) | Stage device and exposure apparatus | |
JPH11294520A (ja) | 除振装置、これを用いた露光装置およびデバイス製造方法、ならびに除振方法 | |
WO2001027978A1 (fr) | Substrat, dispositif a etage, procede d'attaque d'etage, systeme d'exposition et procede d'exposition | |
US6879375B1 (en) | Exposure apparatus and method that exposes a pattern onto a substrate | |
US7989756B2 (en) | Active-isolation mounts for optical elements | |
KR20100072015A (ko) | 구동 제어 방법, 구동 제어 장치, 스테이지 제어 방법, 스테이지 제어 장치, 노광 방법, 노광 장치 및 계측 장치 | |
US6213443B1 (en) | Anti-vibration apparatus and exposure apparatus using the same | |
US20030173833A1 (en) | Wafer stage with magnetic bearings | |
JP4229347B2 (ja) | 能動制振装置、露光装置及びデバイス製造方法 | |
JP2007120646A (ja) | 制振装置およびそれを備えた露光装置 | |
TW201835690A (zh) | 移動體裝置及曝光裝置、以及元件製造方法 | |
US20040004703A1 (en) | Method and apparatus for reducing rotary stiffness in a support mechanism | |
JP2002198285A (ja) | ステージ装置およびその制振方法並びに露光装置 | |
JP2001023894A (ja) | ステージ装置及び露光装置 | |
JP2001140972A (ja) | 除振装置 | |
JP2001102279A (ja) | ステージ装置および露光装置 | |
US7583361B2 (en) | System for controlling a dual mover assembly for an exposure apparatus | |
KR20080063102A (ko) | 노광장치 및 디바이스 제조방법 | |
JP2000216082A (ja) | ステ―ジ装置および露光装置 | |
JP3629772B2 (ja) | 除振装置、ステージ装置、露光装置及び走査型露光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060517 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080513 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080716 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080916 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080916 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081126 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081128 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131212 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |