JP2001271870A - 能動除振装置 - Google Patents
能動除振装置Info
- Publication number
- JP2001271870A JP2001271870A JP2000086868A JP2000086868A JP2001271870A JP 2001271870 A JP2001271870 A JP 2001271870A JP 2000086868 A JP2000086868 A JP 2000086868A JP 2000086868 A JP2000086868 A JP 2000086868A JP 2001271870 A JP2001271870 A JP 2001271870A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- signal
- phase
- reference signal
- detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/709—Vibration, e.g. vibration detection, compensation, suppression or isolation
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Atmospheric Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 十分な振動抑制性能を引き出すことが出来る
除振装置を提供する。 【解決手段】 除振対象を搭載する除振台１を防振支持
する支持機構２と、除振台１へ制御力を加える加振手段
３と、除振台１の振動を検出する第１の振動検出手段５
と、該第１の振動検出手段５の出力を補償して加振手段
３にフィードバックする制御ループと、支持機構２が設
置される装置設置基礎４の振動を検出する第２の振動検
出手段６と、該第２の振動検出手段６で検出した装置設
置基礎４の振動信号から必要な周波数帯域の振動成分を
分離抽出するバンドパスフィルタ９と、参照信号を発生
させる信号発生手段１４と、該信号発生手段１４により
発生した参照信号の位相を調整する位相同期手段１５
と、位相が調整された参照信号をフィードフォワード補
償器７により補償するフィードフォワードループとを備
える。
除振装置を提供する。 【解決手段】 除振対象を搭載する除振台１を防振支持
する支持機構２と、除振台１へ制御力を加える加振手段
３と、除振台１の振動を検出する第１の振動検出手段５
と、該第１の振動検出手段５の出力を補償して加振手段
３にフィードバックする制御ループと、支持機構２が設
置される装置設置基礎４の振動を検出する第２の振動検
出手段６と、該第２の振動検出手段６で検出した装置設
置基礎４の振動信号から必要な周波数帯域の振動成分を
分離抽出するバンドパスフィルタ９と、参照信号を発生
させる信号発生手段１４と、該信号発生手段１４により
発生した参照信号の位相を調整する位相同期手段１５
と、位相が調整された参照信号をフィードフォワード補
償器７により補償するフィードフォワードループとを備
える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、装置設置基礎から
の振動伝達特性を、従来に比較して大きく改善する精密
機器等の搭載用能動除振装置に関する。
の振動伝達特性を、従来に比較して大きく改善する精密
機器等の搭載用能動除振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子顕微鏡、半導体露光装置等の除振対
象となる精密機器の高精度化に伴い、除振性能に対する
要求は厳しく、高性能な除振装置が不可欠になってい
る。このような要求に対しては、除振台の振動を振動セ
ンサで検出し、その出力信号を補償して、除振台へ制御
力を加えるフィードバック制御だけでなく、装置設置基
礎の振動を適切に補償し、加振手段にフィードフォワー
ドする振動制御方法により、除振性能は飛躍的に向上し
た。
象となる精密機器の高精度化に伴い、除振性能に対する
要求は厳しく、高性能な除振装置が不可欠になってい
る。このような要求に対しては、除振台の振動を振動セ
ンサで検出し、その出力信号を補償して、除振台へ制御
力を加えるフィードバック制御だけでなく、装置設置基
礎の振動を適切に補償し、加振手段にフィードフォワー
ドする振動制御方法により、除振性能は飛躍的に向上し
た。
【０００３】図３は従来の除振装置を示す構成図であ
る。この従来の除振装置は、不図示の精密機器を搭載す
る除振台１と、該除振台１を防振支持する支持機構２
と、除振台１へ制御力を加える加振手段３と、除振台１
の振動情報を検出する第１の振動検出手段５と、該第１
の振動検出手段５により検出された除振台１の振動情報
が増幅器１２及びバンドパスフィルタ１０を介して入力
されフィードバック制御則に基づいてフィードバック制
御信号を発生させるフィードバック補償器８とを有して
いる。
る。この従来の除振装置は、不図示の精密機器を搭載す
る除振台１と、該除振台１を防振支持する支持機構２
と、除振台１へ制御力を加える加振手段３と、除振台１
の振動情報を検出する第１の振動検出手段５と、該第１
の振動検出手段５により検出された除振台１の振動情報
が増幅器１２及びバンドパスフィルタ１０を介して入力
されフィードバック制御則に基づいてフィードバック制
御信号を発生させるフィードバック補償器８とを有して
いる。
【０００４】また、この除振装置は、除振台１とそれを
防振支持する支持機構２からなる除振系が設置される装
置設置基礎４の振動を検出する第２の振動検出手段６
と、該第２の振動検出手段６により検出された装置設置
基礎４の振動信号を参照信号としてフィードフォワード
制御信号を生成するフィードフォワード補償器７と、バ
ンドパスフィルタ９及び増幅器１１と、フィードバック
制御信号とフィードフォワード制御信号とを合成し加振
手段３を加振する駆動回路１３などを備えて構成されて
いる。
防振支持する支持機構２からなる除振系が設置される装
置設置基礎４の振動を検出する第２の振動検出手段６
と、該第２の振動検出手段６により検出された装置設置
基礎４の振動信号を参照信号としてフィードフォワード
制御信号を生成するフィードフォワード補償器７と、バ
ンドパスフィルタ９及び増幅器１１と、フィードバック
制御信号とフィードフォワード制御信号とを合成し加振
手段３を加振する駆動回路１３などを備えて構成されて
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとしている課題】しかし、装置設置
基礎４の振動を検出する振動検出手段６は測定周波数帯
域に制限があり、検出された信号に検出手段６の測定周
波数帯域分を分離抽出するバンドパスフィルタ９を用い
ており、該バンドパスフィルタ９の周波数帯域外では振
動の周波数成分は実際の振動成分とは異なっている。
基礎４の振動を検出する振動検出手段６は測定周波数帯
域に制限があり、検出された信号に検出手段６の測定周
波数帯域分を分離抽出するバンドパスフィルタ９を用い
ており、該バンドパスフィルタ９の周波数帯域外では振
動の周波数成分は実際の振動成分とは異なっている。
【０００６】そのため装置設置基礎４の振動モードがバ
ンドパスフィルタ９の周波数帯域外に存在した場合、装
置設置基礎４の振動信号を参照信号とするフィードフォ
ワード制御信号により加振手段３を駆動させると、除振
装置の性能を悪化させることがあった。
ンドパスフィルタ９の周波数帯域外に存在した場合、装
置設置基礎４の振動信号を参照信号とするフィードフォ
ワード制御信号により加振手段３を駆動させると、除振
装置の性能を悪化させることがあった。
【０００７】本発明は、装置設置基礎の振動信号を参照
信号とするフィードフォワード制御信号により加振手段
を駆動させても、除振装置の性能を悪化させることがな
く、信号発生手段で発生させた参照信号を用いてフィー
ドフォワードをすることで、十分な振動抑制性能を引き
出すことができる能動除振装置を提供することを目的と
する。
信号とするフィードフォワード制御信号により加振手段
を駆動させても、除振装置の性能を悪化させることがな
く、信号発生手段で発生させた参照信号を用いてフィー
ドフォワードをすることで、十分な振動抑制性能を引き
出すことができる能動除振装置を提供することを目的と
する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明は、除振対象を搭載する除振台と、該除振
台を防振支持する支持機構と、前記除振台へ制御力を加
える加振手段と、前記除振台の振動を検出する第１の振
動検出手段と、該第１の振動検出手段の出力を補償して
前記加振手段にフィードバックする制御ループと、前記
支持機構が設置される装置設置基礎の振動を検出する第
２の振動検出手段と、該第２の振動検出手段で検出した
装置設置基礎の振動信号から必要な周波数帯域の振動成
分を分離抽出するバンドパスフィルタと、参照信号を発
生させる信号発生手段と、該信号発生手段により発生し
た参照信号の位相を調整する位相同期手段と、位相が調
整された参照信号をフィードフォワード補償器により補
償するフィードフォワードループとを備えたことを特徴
とする能動除振装置を提供する。
めに、本発明は、除振対象を搭載する除振台と、該除振
台を防振支持する支持機構と、前記除振台へ制御力を加
える加振手段と、前記除振台の振動を検出する第１の振
動検出手段と、該第１の振動検出手段の出力を補償して
前記加振手段にフィードバックする制御ループと、前記
支持機構が設置される装置設置基礎の振動を検出する第
２の振動検出手段と、該第２の振動検出手段で検出した
装置設置基礎の振動信号から必要な周波数帯域の振動成
分を分離抽出するバンドパスフィルタと、参照信号を発
生させる信号発生手段と、該信号発生手段により発生し
た参照信号の位相を調整する位相同期手段と、位相が調
整された参照信号をフィードフォワード補償器により補
償するフィードフォワードループとを備えたことを特徴
とする能動除振装置を提供する。
【０００９】本発明によれば、参照信号として装置設置
基礎の振動を直接使わないフィードフォワードループを
設けることで除振装置へ悪影響を与えるバンドパスフィ
ルタによる除振性能の悪化を防ぐことができる。
基礎の振動を直接使わないフィードフォワードループを
設けることで除振装置へ悪影響を与えるバンドパスフィ
ルタによる除振性能の悪化を防ぐことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態としては、前
記信号発生手段は装置設置基礎の振動成分中で最も大き
な周波数成分と同一の周波数かつ同一の大きさの信号を
発生させ、前記位相同期手段は前記信号発生手段により
発生した参照信号の位相が装置設置基礎の振動成分中で
一番大きな周波数成分と同じになるように調整すること
が可能である。
記信号発生手段は装置設置基礎の振動成分中で最も大き
な周波数成分と同一の周波数かつ同一の大きさの信号を
発生させ、前記位相同期手段は前記信号発生手段により
発生した参照信号の位相が装置設置基礎の振動成分中で
一番大きな周波数成分と同じになるように調整すること
が可能である。
【００１１】
【実施例】本発明の実施例に係る能動除振装置を図１に
示す。なお、図１では鉛直方向に作用する除振装置を例
にとって示したものであるが、水平方向に作用する除振
装置に対しても適用可能である。
示す。なお、図１では鉛直方向に作用する除振装置を例
にとって示したものであるが、水平方向に作用する除振
装置に対しても適用可能である。
【００１２】本実施例に係る除振装置は、不図示の除振
対象である精密機器を搭載する除振台１と、この除振台
１を防振支持するための支持機構２と、除振台１へ制御
力を加える加振手段３と、除振台１の振動を検出する第
１の振動検出手段５と、この第１の振動検出手段５の出
力を適切に補償して加振手段３にフィードバックするフ
ィードバックループとを備えている。
対象である精密機器を搭載する除振台１と、この除振台
１を防振支持するための支持機構２と、除振台１へ制御
力を加える加振手段３と、除振台１の振動を検出する第
１の振動検出手段５と、この第１の振動検出手段５の出
力を適切に補償して加振手段３にフィードバックするフ
ィードバックループとを備えている。
【００１３】また、この除振装置は、除振台１及び該除
振台１を防振支持する支持機構２からなる除振系が設置
される装置設置基礎４の振動を検出する第２の振動検出
手段６と、この第２の振動検出手段６で検出した装置設
置基礎４の振動信号から必要な周波数帯域の振動成分を
分離抽出するバンドパスフィルタ９と、参照信号を発生
させる信号発生手段１４と、この信号発生手段１４によ
って発生させた参照信号の位相を調整する位相同期手段
１５と、位相が調整された参照信号を適切に補償するフ
ィードフォワードループと、フィードバック制御信号と
フィードフォワード制御信号とを合成し加振手段３を加
振する駆動回路１３などを備えて構成されている。
振台１を防振支持する支持機構２からなる除振系が設置
される装置設置基礎４の振動を検出する第２の振動検出
手段６と、この第２の振動検出手段６で検出した装置設
置基礎４の振動信号から必要な周波数帯域の振動成分を
分離抽出するバンドパスフィルタ９と、参照信号を発生
させる信号発生手段１４と、この信号発生手段１４によ
って発生させた参照信号の位相を調整する位相同期手段
１５と、位相が調整された参照信号を適切に補償するフ
ィードフォワードループと、フィードバック制御信号と
フィードフォワード制御信号とを合成し加振手段３を加
振する駆動回路１３などを備えて構成されている。
【００１４】フィードバックループの構成は以下の通り
である。支持機構２により防振支持された除振台１の振
動を、加速度センサなどの第１の振動検出手段５で検出
し、検出した振動信号を増幅器１２で増幅した後バンド
パスフィルタ１０により必要な周波数帯域のみを通過さ
せ、該振動信号をフィードバック補償器８で演算処理
し、駆動回路１３を介して加振手段３にフィードバック
することによって、フィードバックループが形成され
る。
である。支持機構２により防振支持された除振台１の振
動を、加速度センサなどの第１の振動検出手段５で検出
し、検出した振動信号を増幅器１２で増幅した後バンド
パスフィルタ１０により必要な周波数帯域のみを通過さ
せ、該振動信号をフィードバック補償器８で演算処理
し、駆動回路１３を介して加振手段３にフィードバック
することによって、フィードバックループが形成され
る。
【００１５】次にフィードフォワードループについて説
明する。信号発生手段１４で発生した参照信号は、位相
同期手段１５で位相を調整され、フィードフォワード補
償器７で演算処理し、駆動回路１３を介して加振手段３
に加えられる。
明する。信号発生手段１４で発生した参照信号は、位相
同期手段１５で位相を調整され、フィードフォワード補
償器７で演算処理し、駆動回路１３を介して加振手段３
に加えられる。
【００１６】信号発生手段１４は、装置設置基礎４の振
動を第２の振動検出手段６で検出し、増幅器１１で増幅
した後バンドパスフィルタ９により必要な周波数帯域を
分離抽出した振動信号を参照し、振動信号成分中で最も
大きな周波数成分と同一の周波数かつ同一の大きさの信
号を発生させる。また、位相同期手段１５は、除振装置
が設置される装置設置基礎４の振動を第２の振動検出手
段６で検出し、増幅器１１で増幅した後バンドパスフィ
ルタ９により必要な周波数帯域を分離抽出した振動信号
の位相と等しくなるように参照信号の位相を調整する。
動を第２の振動検出手段６で検出し、増幅器１１で増幅
した後バンドパスフィルタ９により必要な周波数帯域を
分離抽出した振動信号を参照し、振動信号成分中で最も
大きな周波数成分と同一の周波数かつ同一の大きさの信
号を発生させる。また、位相同期手段１５は、除振装置
が設置される装置設置基礎４の振動を第２の振動検出手
段６で検出し、増幅器１１で増幅した後バンドパスフィ
ルタ９により必要な周波数帯域を分離抽出した振動信号
の位相と等しくなるように参照信号の位相を調整する。
【００１７】図２に本発明の実施例に係る除振装置を用
いた場合の効果の例を示す。装置設置基礎４の１次振動
モードの周波数がｆ１、２次振動モードの周波数がｆ
２、バンドパスフィルタの上限周波数がｆｈであり、各
周波数の関係が ｆ１＜ｆｈ＜ｆ２ ………………（式１） であったとすると、フィードフォワード制御を行わない
場合、図２（１）に示すように、装置設置基礎４の共振
モードの振動が除振台１上に乗ってしまう。装置設置基
礎４を直接使う従来の床振動フィードフォワード制御で
は、図２（２）に示すように、１次振動モードの周波数
ｆ１に対する除振台１の振動は抑制するものの、検出手
段の帯域外にある２次振動モードの周波数ｆ２に対する
除振台１の振動は悪化させてしまう。
いた場合の効果の例を示す。装置設置基礎４の１次振動
モードの周波数がｆ１、２次振動モードの周波数がｆ
２、バンドパスフィルタの上限周波数がｆｈであり、各
周波数の関係が ｆ１＜ｆｈ＜ｆ２ ………………（式１） であったとすると、フィードフォワード制御を行わない
場合、図２（１）に示すように、装置設置基礎４の共振
モードの振動が除振台１上に乗ってしまう。装置設置基
礎４を直接使う従来の床振動フィードフォワード制御で
は、図２（２）に示すように、１次振動モードの周波数
ｆ１に対する除振台１の振動は抑制するものの、検出手
段の帯域外にある２次振動モードの周波数ｆ２に対する
除振台１の振動は悪化させてしまう。
【００１８】本実施例によれば、図２（３）に示すよう
に、２次振動モードの周波数ｆ２に対する除振台１の振
動を悪化させることなく、１次振動モードの周波数ｆ１
に対する除振台１の振動を抑制できる。
に、２次振動モードの周波数ｆ２に対する除振台１の振
動を悪化させることなく、１次振動モードの周波数ｆ１
に対する除振台１の振動を抑制できる。
【００１９】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、信号発生
手段で発生させた参照信号を用いてフィードフォワード
をすることで、十分な振動抑制性能を引き出すことがで
きる除振装置を提供することが可能である。
手段で発生させた参照信号を用いてフィードフォワード
をすることで、十分な振動抑制性能を引き出すことがで
きる除振装置を提供することが可能である。
【図１】 本発明の実施例に係る除振装置を示す構成図
である。
である。
【図２】 本発明の実施例に係る除振装置の振動を示す
波形図である。
波形図である。
【図３】 従来の除振装置を示す構成図である。
１：除振台、２：支持機構、３：加振手段、４：装置設
置基礎、５：第１の振動検出手段、６：第２の振動検出
手段、７：フィードフォワード補償器、８：フィードバ
ック補償器、９，１０：バンドパスフィルタ、１１，１
２：増幅器、１３：駆動回路、１４：信号発生手段、１
５：位相同期手段。
置基礎、５：第１の振動検出手段、６：第２の振動検出
手段、７：フィードフォワード補償器、８：フィードバ
ック補償器、９，１０：バンドパスフィルタ、１１，１
２：増幅器、１３：駆動回路、１４：信号発生手段、１
５：位相同期手段。
Claims (2)
- 【請求項１】 除振対象を搭載する除振台と、該除振台
を防振支持する支持機構と、前記除振台へ制御力を加え
る加振手段と、前記除振台の振動を検出する第１の振動
検出手段と、該第１の振動検出手段の出力を補償して前
記加振手段にフィードバックする制御ループと、前記支
持機構が設置される装置設置基礎の振動を検出する第２
の振動検出手段と、該第２の振動検出手段で検出した装
置設置基礎の振動信号から必要な周波数帯域の振動成分
を分離抽出するバンドパスフィルタと、参照信号を発生
させる信号発生手段と、該信号発生手段により発生した
参照信号の位相を調整する位相同期手段と、位相が調整
された参照信号をフィードフォワード補償器により補償
するフィードフォワードループとを備えたことを特徴と
する能動除振装置。 - 【請求項２】 前記信号発生手段は装置設置基礎の振動
成分中で最も大きな周波数成分と同一の周波数かつ同一
の大きさの信号を発生させ、前記位相同期手段は前記信
号発生手段により発生した参照信号の位相が装置設置基
礎の振動成分中で一番大きな周波数成分と同じになるよ
うに調整することを特徴とする請求項１に記載の能動除
振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000086868A JP2001271870A (ja) | 2000-03-27 | 2000-03-27 | 能動除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000086868A JP2001271870A (ja) | 2000-03-27 | 2000-03-27 | 能動除振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001271870A true JP2001271870A (ja) | 2001-10-05 |
Family
ID=18602968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000086868A Pending JP2001271870A (ja) | 2000-03-27 | 2000-03-27 | 能動除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001271870A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010190424A (ja) * | 2009-02-19 | 2010-09-02 | Integrated Dynamics Engineering Gmbh | 振動分離のためのフィードバック制御システムで使用するためのコンビネーション形運動センサ |
| CN103718118A (zh) * | 2011-08-30 | 2014-04-09 | 川崎重工业株式会社 | 自适应控制装置及自适应控制方法及注射成型机的控制装置及控制方法 |
| US8727660B2 (en) | 2010-04-16 | 2014-05-20 | Ammann Schweiz Ag | Arrangement for providing a pulsing compressive force |
| JP2016008619A (ja) * | 2014-06-23 | 2016-01-18 | キヤノン株式会社 | 振動制御装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
| CN111174906A (zh) * | 2020-02-20 | 2020-05-19 | 高新华 | 基于参数检测的主动抗振平台 |
| JP2020531758A (ja) * | 2017-08-15 | 2020-11-05 | テクニカル・マニュファクチャリング・コーポレイションＴｅｃｈｎｉｃａｌ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 床フィードフォワード補助を備えた精密振動絶縁システム |
-
2000
- 2000-03-27 JP JP2000086868A patent/JP2001271870A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010190424A (ja) * | 2009-02-19 | 2010-09-02 | Integrated Dynamics Engineering Gmbh | 振動分離のためのフィードバック制御システムで使用するためのコンビネーション形運動センサ |
| US8727660B2 (en) | 2010-04-16 | 2014-05-20 | Ammann Schweiz Ag | Arrangement for providing a pulsing compressive force |
| CN103718118A (zh) * | 2011-08-30 | 2014-04-09 | 川崎重工业株式会社 | 自适应控制装置及自适应控制方法及注射成型机的控制装置及控制方法 |
| CN103718118B (zh) * | 2011-08-30 | 2016-10-05 | 川崎重工业株式会社 | 自适应控制装置及自适应控制方法及注射成型机的控制装置及控制方法 |
| JP2016008619A (ja) * | 2014-06-23 | 2016-01-18 | キヤノン株式会社 | 振動制御装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
| JP2020531758A (ja) * | 2017-08-15 | 2020-11-05 | テクニカル・マニュファクチャリング・コーポレイションＴｅｃｈｎｉｃａｌ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 床フィードフォワード補助を備えた精密振動絶縁システム |
| US11512757B2 (en) | 2017-08-15 | 2022-11-29 | Technical Manufacturing Coporation | Precision vibration-isolation system with floor feedforward assistance |
| JP7225210B2 (ja) | 2017-08-15 | 2023-02-20 | テクニカル・マニュファクチャリング・コーポレイション | 床フィードフォワード補助を備えた精密振動絶縁システム |
| US11873880B2 (en) | 2017-08-15 | 2024-01-16 | Technical Manufacturing Corporation | Precision vibration-isolation system with floor feedforward assistance |
| JP7477670B2 (ja) | 2017-08-15 | 2024-05-01 | テクニカル・マニュファクチャリング・コーポレイション | 床フィードフォワード補助を備えた精密振動絶縁システム |
| CN111174906A (zh) * | 2020-02-20 | 2020-05-19 | 高新华 | 基于参数检测的主动抗振平台 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3825869B2 (ja) | 能動除振装置 | |
| JP3486673B2 (ja) | 能動振動減衰電磁加振機及び能動振動減衰制御方法 | |
| JP2010190424A (ja) | 振動分離のためのフィードバック制御システムで使用するためのコンビネーション形運動センサ | |
| JP2001271870A (ja) | 能動除振装置 | |
| JP3696928B2 (ja) | 能動除振装置および半導体露光装置 | |
| JP2003130128A (ja) | 能動除振装置 | |
| JPH09190957A (ja) | 能動除振装置および能動除振方法 | |
| JPH09250591A (ja) | 能動除振装置 | |
| JPH10311364A (ja) | 能動的除振制振装置 | |
| JPH10141428A (ja) | 能動除振装置 | |
| JPH09184536A (ja) | 防振装置 | |
| JPH11193847A (ja) | 除振制御方法および装置 | |
| JPH08195179A (ja) | 電子顕微鏡のアクティブ除振装置 | |
| JP2864038B2 (ja) | 微振動試験方法とその装置 | |
| JPH118181A (ja) | 投影型露光装置 | |
| JPH1082448A (ja) | 除振装置 | |
| JP3681072B2 (ja) | アクティブ除振装置 | |
| JPH11101300A (ja) | 機器の防振支持装置 | |
| JPH1187235A (ja) | 能動的除振装置 | |
| JP2002276728A (ja) | 能動除振装置 | |
| JPH0816498B2 (ja) | 除振装置 | |
| JPH0915868A (ja) | 能動的除振装置 | |
| JP2005223385A (ja) | 電気音響再生装置 | |
| JPH06117481A (ja) | 除振装置 | |
| JPH0712175A (ja) | 精密防振装置 |