JP5517441B2 - 半導体膜の形成方法、薄膜トランジスタの作製方法及び表示装置の作製方法 - Google Patents
半導体膜の形成方法、薄膜トランジスタの作製方法及び表示装置の作製方法 Download PDFInfo
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Description
本実施の形態は、本発明の結晶性半導体膜の形成方法について図面を参照して説明する。
本実施の形態では、実施の形態1にて説明した結晶性半導体膜の形成方法を適用した薄膜トランジスタの作製方法について、図面を参照して説明する。
本実施の形態では、本実施の形態では、実施の形態1にて説明した結晶性半導体層の形成方法を適用した薄膜トランジスタの作製方法であって、実施の形態2とは異なる薄膜トランジスタの作製方法について説明する。具体的には、多階調マスクを用いた薄膜トランジスタの作製方法について説明する。
本発明の薄膜トランジスタは、様々な形態の液晶表示装置に適用することができる。本実施の形態では、上記の実施の形態で説明したように作製した薄膜トランジスタを適用した液晶表示装置について、説明する。
本発明は、液晶表示装置のみならず発光装置にも適用することができる。本実施の形態では、本発明を適用した発光装置の作製工程について、図29及び図30を参照して説明する。発光装置としては、エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子を用いる。エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子は、発光材料が有機化合物であるか、無機化合物であるかによって区別され、一般に、前者は有機EL素子、後者は無機EL素子と呼ばれている。
次に、実施の形態4にて説明した表示装置又は実施の形態5にて説明した発光装置に搭載する表示パネル又は発光パネルの一形態について、図面を参照して説明する。
上記実施の形態にて説明したように、本発明により、アクティブマトリクス型の表示モジュールを作製することができる。なお、FPCまで取り付けられた表示パネルのことを表示モジュールと呼ぶ。本実施の形態では、上記の実施の形態にて説明した方法により作製した表示モジュールを表示部に組み込んだ電子機器について説明する。このような電子機器としては、例えば、ビデオカメラ若しくはデジタルカメラ等のカメラ、ヘッドマウントディスプレイ(ゴーグル型ディスプレイ)、カーナビゲーション、プロジェクタ、カーステレオ、パーソナルコンピュータ、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話または電子書籍等)等が挙げられる。それらの一例を図35に示す。
101 絶縁膜
102 半導体膜
104 結晶核を含む半導体膜
106 成長した半導体膜
110 処理室
111 ステージ
112 ガス供給部
114 排気口
115 アンテナ
116 誘電体板
117 マイクロ波発生部
118 同軸導波管
119 温度制御部
120 処理室
121 ステージ
122 ガス供給部
123 シャワープレート
124 排気口
125 上部電極
126 下部電極
127 交流電源
129 温度制御部
200 基板
202 ゲート電極層
204 ゲート絶縁層
206 結晶性半導体層
208 非晶質半導体層
210 ソース領域及びドレイン領域
212 ソース電極及びドレイン電極層
214 絶縁層
216 開口部
218 画素電極層
221 レジストマスク
222 レジストマスク
250a 反応室
250b 反応室
250c 反応室
250d 反応室
254 高周波電源
256 整合器
258 ガス供給手段
258a ガス供給手段
258b ガス供給手段
258f ガス供給手段
258g ガス供給手段
258i ガス供給手段
258n ガス供給手段
267 バタフライバルブ
268 コンダクタンスバルブ
269 ターボ分子ポンプ
270 ドライポンプ
271 クライオポンプ
272 ロード/アンロード室
273 共通室
275 ゲートバルブ
276 搬送機構
280 排気手段
300 グレートーンマスク
301 基板
302 遮光部
303 回折格子部
305 ハーフトーンマスク
306 基板
307 半透光部
308 遮光部
310 レジストマスク
311 レジストマスク
320 レジストマスク
321 画素電極層
322 レジストマスク
390 基板
391 配線
392 絶縁層
393 絶縁層
395 配向膜
396 配向膜
400 基板
401 基板
402 配線
403 配線
404 配線
405 配線
406 配線
407 絶縁層
408 絶縁層
409 開口部
410 画素電極
411 スリット
412 画素電極
413 薄膜トランジスタ
414 薄膜トランジスタ
415 保持容量部
416 保持容量部
417 遮光層
418A 着色層
418B 着色層
418C 着色層
419 対向電極
420 スペーサ
421 突起
422 配向膜
423 配向膜
424 液晶層
425 液層素子
426 液晶素子
427 基板
428 配線
429 配線
430 配線
431 配線
432 配線
433 開口部
434 画素電極
435 スリット
436 画素電極
437 開口部
438 薄膜トランジスタ
439 薄膜トランジスタ
440 保持容量部
441 保持容量部
442 遮光層
443 着色層
444 平坦化層
445 対向電極
446 スリット
447 配向膜
448 配向膜
449 液晶層
450 液晶素子
451 液晶素子
452 基板
453 基板
454 配線
455 絶縁層
456 共通電極
457 配線
458 配線
459 配線
460 絶縁層
461 開口部
462 画素電極
463 スリット
464 薄膜トランジスタ
465 遮光層
466 着色層
467 平坦化層
468 液晶層
469 基板
470 基板
471 走査線
472 絶縁層
473 配向膜
474 配線
475 配向膜
476 容量電極
477 配線
478 配線
479 絶縁層
480 開口部
481 画素電極
482 薄膜トランジスタ
483 遮光層
484 開口部
485 着色層
486 平坦化層
487 液晶層
488 基板
489 基板
490 配線
491 配線
492 開口部
493 画素電極
494 薄膜トランジスタ
495 遮光層
496 着色層
497 平坦化層
498 対向電極
499 液晶層
500 基板
501 薄膜トランジスタ
502 薄膜トランジスタ
503 絶縁層
504 絶縁層
505 導電層
506 隔壁
507 発光層
508 導電層
509 発光素子
510 保護層
512 配線
513 配向膜
514 配向膜
515 配線
516 配線
517 絶縁層
521 駆動用トランジスタ
522 発光素子
523 陰極
524 発光層
525 陽極
531 駆動用トランジスタ
532 発光素子
533 陰極
534 発光層
535 陽極
536 遮光層
537 導電層
541 駆動用トランジスタ
542 発光素子
543 陰極
544 発光層
545 陽極
547 導電層
600 画素部
601 基板
602 走査線駆動回路
603 信号線駆動回路
604 シフトレジスタ
605 アナログスイッチ
606 シフトレジスタ
607 バッファ
641 基板
642 画素部
643 信号線駆動回路
644 走査線駆動回路
645 シール材
646 基板
647 FPC
648 液晶層
649 トランジスタ
650 トランジスタ
651 スペーサ
652 画素電極
653 液晶素子
654 配線
655 配線
656 接続端子
657 対向電極
658 配線
659 異方性導電層
660 発光素子
661 充填材
662 配線
700 携帯電話
701 筐体
702 筐体
703 表示部
704 スピーカ
705 マイクロフォン
706 操作キー
707 ポインティングデバイス
708 表面カメラ用レンズ
709 外部接続端子ジャック
710 イヤホン端子
711 キーボード
712 外部メモリスロット
713 裏面カメラ
714 ライト
721 筐体
722 表示用パネル
723 主画面
724 モデム
725 受信機
726 リモコン操作機
727 表示部
728 サブ画面
729 スピーカ部
731 本体
732 表示部
750 表示パネル
751 画素部
752 信号線駆動回路
753 走査線駆動回路
754 チューナ
755 映像信号増幅回路
756 映像信号処理回路
757 コントロール回路
758 信号分割回路
759 音声信号増幅回路
760 音声信号処理回路
761 制御回路
762 入力部
763 スピーカ
903 信号線駆動回路
Claims (9)
- 水素を含む半導体膜に対して水素と希ガスとを含むガス中で表面波プラズマ処理を行って、前記表面波プラズマ処理により形成した半導体の結晶核を有する半導体膜を形成し、
前記結晶核を有する半導体膜の深さ方向に前記結晶核を成長させて、結晶性半導体膜を形成することを特徴とする半導体膜の形成方法。 - 請求項1において、
プラズマCVD法を用いることによって、前記結晶核を成長させることを特徴とする半導体膜の形成方法。 - 請求項1又は2において、
前記表面波プラズマ処理により形成した半導体の結晶核を有する半導体膜は、非晶質半導体を有することを特徴とする半導体膜の形成方法。 - ゲート電極を形成し、
前記ゲート電極を覆う絶縁膜を形成し、
前記絶縁膜上に、水素を含む半導体膜を形成し、
前記水素を含む半導体膜に対して水素と希ガスとを含むガス中で表面波プラズマ処理を行うことによって、前記表面波プラズマ処理により形成した半導体の結晶核を有する半導体膜を形成し、
前記結晶核を有する半導体膜の深さ方向に前記結晶核を成長させて、結晶性半導体膜を形成し、
前記結晶性半導体膜上に、一導電型を付与する不純物元素を有する半導体膜を形成し、
前記不純物元素を有する半導体膜上に、ソース電極及びドレイン電極を形成することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。 - 請求項4において、
プラズマCVD法を用いることによって、前記結晶核を成長させることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。 - 請求項4又は5において、
前記表面波プラズマ処理により形成した半導体の結晶核を有する半導体膜は、非晶質半導体を有することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。 - 請求項4乃至6いずれか一において、
前記結晶性半導体膜中の酸素濃度を1×10 20 cm −3 以下とし、前記結晶性半導体膜中の窒素濃度及び炭素濃度を5×10 18 cm −3 以下とすることを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。 - 請求項4乃至7のいずれか一において、
前記不純物元素を有する半導体膜上、前記ソース電極上、及びドレイン電極上に絶縁層を形成し、
前記絶縁層と接する前記不純物元素を有する半導体膜の側面は、階段状の形状を有することを特徴とする表示装置の作製方法。 - 請求項4乃至8のいずれか一に記載の薄膜トランジスタの作製方法により形成した前記ソース電極又は前記ドレイン電極を、画素電極と電気的に接続させることを特徴とする表示装置の作製方法。
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JP2008308623A JP5517441B2 (ja) | 2007-12-03 | 2008-12-03 | 半導体膜の形成方法、薄膜トランジスタの作製方法及び表示装置の作製方法 |
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