JP5503144B2 - セラミック成型体の製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、電解質液を重ねて塗装することによって、電解質層成型体にシートアタック現象が生じるという問題があった。とりわけ、円筒形状であるような場合、スラリーコート工程でディピングという塗工方法をとることが多く、シートアタックの発生が課題となっていた。
背面ガラス基板にはプラズマから電極を保護する目的で電極上に誘電体層が形成され、更にその表面に蛍光体層を塗工するリブ(隔壁)が形成されている。また、蛍光体層の表面積を稼ぐために、隔壁は、ドライフィルムレジストでマスキングし、サンドブラスト処理によって凹型ストライプ状に成形されている。
しかしながら、PDPのドライフィルムレジストをアルカリ液などで洗浄する際に、隔壁の表層が洗浄液によって汚染されるという課題があった。
しかしながら、一括焼成において、誘電体層の材料としてポリビニルアセタール樹脂を使用した場合、脱脂、焼成を行っていない誘電体前駆体の表面に従来の隔壁形成用ペーストを塗工することから、ペーストに含有される溶剤が誘電体層を膨潤させたり、亀裂を発生させたりしてシートアタック現象が生じるという問題があった。また、サンドブラスト処理工程において、誘電体層まで切削が進み、得られるPDPの信頼性が低下するという問題があった。
特許文献1には、ポリビニルアセタール樹脂とイソシアネート樹脂とを混合して硬化させる方法が開示されている。特許文献2及び特許文献3には、熱硬化によって硬化膜を作製する方法が開示されている。また、特許文献4には、水酸基の水素をN−メチレンアクリルアミドに置換したポリビニルブチラールを電子線や紫外線等の光照射によって架橋、硬化させる方法が開示されている。
また、特許文献2及び特許文献3の方法では、熱硬化によって架橋反応を行っているが、被コーティング材が熱に弱い場合や、工程上加熱できない場合には使用できないという問題点や、架橋が不充分となってシートが破れてしまう等の問題点があった。また、特許文献3の実施例に記載のように、加熱を行わない場合には架橋までにかなりの時間を要する等の課題もあった。更に、電子線やX線を照射する場合にはポリビニルアセタール樹脂の分解を招く等の問題点があった。
なお、セラミック成型体には、上記セラミックグリーンシートのほか、セラミック積層体等も含まれる。
なお、本明細書において、アセタール化度の計算方法としては、ポリビニルアセタール樹脂のアセタール基が2個の水酸基をアセタール化して得られたものであることから、アセタール化された2個の水酸基を数える方法を採用してアセタール化度のモル%を計算する。
上記β−ジカルボニル基の付加方法としては特に限定されず、従来公知の方法を用いることができ、例えば、ジメチルスルホキシド(DMSO)溶液中に4−メチレン−2−オキセタノン等を添加する方法等が挙げられる。
また、上記中和工程の前後に、水等を用いて得られた変性ポリビニルアセタール樹脂を洗浄することが好ましい。なお、洗浄水中に含まれる不純物の混入を防ぐため、洗浄は純水で行うことがより好ましい。
本発明では、熱処理ではなく光照射によって上記ポリビニルアセタール樹脂を架橋させることによって、充分な機械的強度を有し、かつ、耐溶剤性にも優れる架橋ポリビニルアセタール樹脂を簡便な方法で得ることができる。
また、上記ポリビニルアセタール樹脂を使用することで、電子線やX線を用いることなく、架橋度の高い架橋ポリビニルアセタール樹脂を得ることができる。なお、光照射だけでなく、場合によって、加熱、冷却、電子線照射、X線照射等を組み合わせてもよい。
上記波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を照射する工程は、図1に示す各工程の間(c〜j)、又は、各工程と同時(C〜H)に1回のみ行ってもよく、2回以上行ってもよい。上記紫外線照射工程をc〜e、C、D、Eで行う場合、電極ペーストを印刷する際に、シートアタックが発生することを防止する効果が得られる。
また、上記紫外線照射工程をc〜j、C〜Hで行う場合、ポリビニルアセタール樹脂の強度を向上させることが可能となり、セラミックグリーンシートをPETフィルム等から剥離する工程、セラミックグリーンシートを積層する工程、圧着する工程等において、破れ等の不具合を防止する効果が得られる。
また、上記紫外線照射工程では、上記紫外線を被照射物の上面、下面、側面の何れから照射してもよく、複数方向から照射してもよい。また、下面から照射する場合はPETフィルム等を介して照射してもよい。
また、本発明の積層セラミックコンデンサの製造方法における加熱圧着工程、積層体を脱脂、焼成する工程についても特に限定されず、従来公知の方法を用いることができる。
また、少なくとも下記一般式(1)、(2)、(3)及び(4)で表される構造単位を有するポリビニルアセタール樹脂、及び、波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を照射する工程については、本発明のセラミック成型体の製造方法の場合と同様であるため、その詳しい説明を省略する。
また、少なくとも下記一般式(1)、(2)、(3)及び(4)で表される構造単位を有するポリビニルアセタール樹脂、及び、波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を照射する工程については、本発明のセラミック成型体の製造方法の場合と同様であるため、その詳しい説明を省略する。
また、少なくとも下記一般式(1)、(2)、(3)及び(4)で表される構造単位を有するポリビニルアセタール樹脂、及び、波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を照射する工程については、本発明のセラミック成型体の製造方法の場合と同様であるため、その詳しい説明を省略する。
このような誘電体ペーストもまた本発明の1つである。
(変性ポリビニルアセタール樹脂の作製)
ケン化度98.8%、上記一般式(8)で表されるR2を有する構造単位含有量が2モル%の変性ポリビニルアルコール100重量部を1200重量部の蒸留水に加温溶解した後、20℃に保ち、これに70%硝酸10重量部を加え、更にブチルアルデヒド16重量部を添加した。次に、10℃まで冷却し、ブチルアルデヒド45重量部を加えた。樹脂が析出した後、30分間保持し、その後、硝酸60重量部を加え35℃に昇温して3時間保った。反応終了後、蒸留水にて10時間流水洗浄し、水酸化ナトリウムを添加して溶液のpHを8に調整した。溶液を50℃で6時間保持した後、冷却した。
得られた変性ポリビニルアセタール樹脂8重量部を、トルエン15重量部とエタノール15重量部との混合溶剤に加え、攪拌溶解し、更に、可塑剤としてジブチルフタレート10重量部を加え、攪拌溶解した。得られた樹脂溶液に、セラミック粉末としてチタン酸バリウム(BT−03、平均粒径0.3μm、堺化学工業社製)100重量部を加え、ボールミルで48時間混合してセラミックスラリー組成物を得た。
得られたセラミックスラリー組成物を、コーターを用いて乾燥後の厚みが2μmとなるように離形処理したPETフィルム上に塗工し、常温で1時間風乾した後、メタルハライドランプ(セン特殊光源株式会社製)を用いて波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を3000mJ/cm2(照射時間30秒)照射することで、セラミックグリーンシートを得た。
(変性ポリビニルアセタール樹脂の作製)
ケン化度99%、上記一般式(9)で表されるR2を有する構造単位含有量が4モル%の変性ポリビニルアルコール100重量部を1200重量部の蒸留水に加温溶解した後、20℃に保ち、これに70%硝酸10重量部を加え、更にブチルアルデヒド16重量部を添加した。次に、10℃まで冷却し、ブチルアルデヒド45重量部を加えた。樹脂が析出した後、30分間保持し、その後、硝酸60重量部を加え35℃に昇温して3時間保った。反応終了後、蒸留水にて10時間流水洗浄し、水酸化ナトリウムを添加して溶液のpHを8に調整した。溶液を50℃で6時間保持した後、冷却した。
得られた変性ポリビニルアセタール樹脂を用いた以外は参考例1と同様にしてセラミックグリーンシートを作製した。
(変性ポリビニルアセタール樹脂の作製)
ケン化度98.8%、上記一般式(8)で表されるR2を有する構造単位含有量が2モル%の変性ポリビニルアルコール100重量部を1200重量部の蒸留水に加温溶解した後、冷却し、これに70%硝酸76重量部を加え、更にブチルアルデヒド40重量部、アセトアルデヒド15重量部を添加した。樹脂が析出した後、30分間保持し、その後、35℃に昇温して3時間保った。反応終了後、蒸留水にて10時間流水洗浄し、水酸化ナトリウムを添加して溶液のpHを8に調整した。溶液を50℃で6時間保持した後、冷却した。
得られた変性ポリビニルアセタール樹脂を用いた以外は参考例1と同様にしてセラミックグリーンシートを作製した。
参考例3と同様の方法で、変性ポリビニルアセタール樹脂を作製した後、コーターを用いて乾燥後の厚みが2μmとなるように離形処理したPETフィルム上に塗工し、常温で1時間風乾した後、メタルハライドランプ(セン特殊光源株式会社製)を用いて波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を1000mJ/cm2(照射時間10秒)照射することで、セラミックグリーンシートを得た。
(変性ポリビニルアセタール樹脂の作製)
ケン化度98.8%、上記一般式(8)で表されるR2を有する構造単位含有量が4モル%の変性ポリビニルアルコール100重量部を1200重量部の蒸留水に加温溶解した後、冷却し、これに70%硝酸75重量部を加え、更にブチルアルデヒド20重量部、アセトアルデヒド36重量部を添加した。樹脂が析出した後、30分間保持し、その後、35℃に昇温して3時間保った。反応終了後、蒸留水にて10時間流水洗浄し、水酸化ナトリウムを添加して溶液のpHを8に調整した。溶液を50℃で6時間保持した後、冷却した。
次に、蒸留水により溶液を2時間流水洗浄した後、脱水、乾燥して変性ポリビニルアセタール樹脂を得た。得られた変性ポリビニルアセタール樹脂の残存水酸基量は27モル%、ブチラール単位含有量は10モル%、アセタール単位(R1:メチル基)含有量は58モル%、アセチル単位含有量は1モル%、上記一般式(8)で表されるR2を有する構造単位含有量(上記一般式(4)で表される構造単位含有量)は4モル%であった。
得られた変性ポリビニルアセタール樹脂を用いた以外は参考例1と同様にしてセラミックグリーンシートを作製した。
参考例5と同様の方法で、変性ポリビニルアセタール樹脂を作製した後、コーターを用いて乾燥後の厚みが2μmとなるように離形処理したPETフィルム上に塗工し、常温で1時間風乾した後、メタルハライドランプ(セン特殊光源株式会社製)を用いて波長230〜400nmの紫外線を3000mJ/cm2(照射時間10秒)照射することで、セラミックグリーンシートを得た。
(変性ポリビニルアセタール樹脂及びセラミックスラリー組成物の作製)
参考例3と同様の方法で、変性ポリビニルアセタール樹脂を作製した。
得られた変性ポリビニルアセタール樹脂8重量部を、トルエン15重量部とエタノール15重量部との混合溶剤に加え、攪拌溶解し、更に、可塑剤としてアジピン酸ジオクチル7重量部を加え、攪拌溶解した。得られた樹脂溶液に、セラミック粉末としてアルミナ100重量部を加え、ボールミルで48時間混合してセラミックスラリー組成物を得た。
得られたセラミックスラリー組成物を用いた以外は参考例1と同様にしてセラミックグリーンシートを作製した。
(変性ポリビニルアセタール樹脂及びセラミックスラリー組成物の作製)
参考例3と同様の方法で、変性ポリビニルアセタール樹脂を作製した。
得られた変性ポリビニルアセタール樹脂8重量部を、トルエン15重量部とエタノール15重量部との混合溶剤に加え、攪拌溶解し、更に、可塑剤としてセバシン酸ジオクチル7重量部を加え、攪拌溶解した。得られた樹脂溶液に、セラミック粉末としてアルミナ100重量部を加え、ボールミルで48時間混合してセラミックスラリー組成物を得た。
得られたセラミックスラリー組成物を用いた以外は参考例1と同様にしてセラミックグリーンシートを作製した。
(変性ポリビニルアセタール樹脂及びセラミックスラリー組成物の作製)
参考例3と同様の方法で、変性ポリビニルアセタール樹脂を作製した。
得られた変性ポリビニルアセタール樹脂8重量部を、トルエン15重量部とエタノール15重量部との混合溶剤に加え、攪拌溶解し、更に、可塑剤としてジブチルフタレート10重量部を加え、攪拌溶解した。得られた樹脂溶液に、セラミック粉末としてアルミナ100重量部を加え、ボールミルで48時間混合してセラミックスラリー組成物を得た。
得られたセラミックスラリー組成物を、コーターを用いて乾燥後の厚みが2μmとなるように離形処理したPETフィルム上に塗工し、常温で1時間風乾した後、メタルハライドランプ(セン特殊光源株式会社製)を用いて波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を3000mJ/cm2(照射時間30秒)照射することで、セラミックグリーンシートを得た。
(ポリビニルアセタール樹脂の作製)
ケン化度99.5%のポリビニルアルコール100重量部を1200重量部の蒸留水に加温溶解した後、20℃に保ち、これに70%硝酸10重量部を加え、更にブチルアルデヒド16重量部を添加した。次に、10℃まで冷却し、ブチルアルデヒド45重量部を加えた。樹脂が析出した後、30分間保持し、その後、硝酸60重量部を加え35℃に昇温して3時間保った。反応終了後、蒸留水にて10時間流水洗浄し、水酸化ナトリウムを添加して溶液のpHを8に調整した。溶液を50℃で6時間保持した後、冷却した。蒸留水により溶液を2時間流水洗浄した後、脱水、乾燥してポリビニルアセタール樹脂を得た。
得られたポリビニルアセタール樹脂は、残存水酸基量が32モル%、ブチラール単位含有量が67モル%、アセチル単位含有量が1モル%であった。
得られたポリビニルアセタール樹脂を用いた以外は参考例1と同様にしてセラミックスラリー組成物及びセラミックグリーンシートを作製した。
ケン化度99.5%のポリビニルアルコール100重量部を1200重量部の蒸留水に加温溶解した後、20℃に保ち、これに70%硝酸70重量部を加え、更にブチルアルデヒド35重量部を添加し、アセトアルデヒド20重量部を加えた。樹脂が析出した後、30分間保持し、その後、35℃に昇温して3時間保った。反応終了後、蒸留水にて10時間流水洗浄し、水酸化ナトリウムを添加して溶液のpHを8に調整した。溶液を50℃で6時間保持した後、冷却した。蒸留水により溶液を2時間流水洗浄した後、脱水、乾燥してポリビニルアセタール樹脂を得た。
得られたポリビニルアセタール樹脂の残存水酸基量が28モル%、ブチラール単位含有量は31モル%、アセタール単位(R1:メチル基)含有量は40モル%、アセチル単位含有量が1モル%であり、得られたポリビニルアセタール樹脂を用いた以外は参考例1と同様にしてセラミックグリーンシートを作製した。
参考例1と同様の方法で、ポリビニルアセタール樹脂及びセラミックスラリー組成物を作製した後、得られたセラミックスラリー組成物を、コーターを用いて乾燥後の厚みが2μmとなるように離形処理したPETフィルム上に塗工し、常温で1時間風乾した後、オーブンにて80℃で30分間乾燥することで、セラミックグリーンシートを作製した。
参考例1と同様の方法で、変性ポリビニルアセタール樹脂及びセラミックスラリー組成物を作製した後、得られたセラミックスラリー組成物を、コーターを用いて乾燥後の厚みが2μmとなるように離形処理したPETフィルム上に塗工し、常温で1時間風乾した後、オーブンにて100℃で6時間乾燥することで、セラミックグリーンシートを作製した。
参考例1と同様の方法で、変性ポリビニルアセタール樹脂及びセラミックスラリー組成物を作製した後、得られたセラミックスラリー組成物を、コーターを用いて乾燥後の厚みが2μmとなるように離形処理したPETフィルム上に塗工し、常温で1時間風乾した後、波長が380〜600nmの範囲内にある光を3000mJ/cm2(照射時間10秒)照射することで、セラミックグリーンシートを得た。
(ポリビニルアセタール樹脂及びセラミックスラリー組成物の作製)
比較例2と同様の方法で、ポリビニルアセタール樹脂を作製した。
得られたポリビニルアセタール樹脂8重量部を、トルエン15重量部とエタノール15重量部との混合溶剤に加え、攪拌溶解し、更に、可塑剤としてセバシン酸ジオクチル7重量部を加え、攪拌溶解した。得られた樹脂溶液に、セラミック粉末としてアルミナ100重量部を加え、ボールミルで48時間混合してセラミックスラリー組成物を得た。
得られたセラミックスラリー組成物を用いた以外は参考例1と同様にしてセラミックグリーンシートを作製した。
比較例1と同様の方法で、ポリビニルアセタール樹脂を作製した後、得られた変性ポリビニルアセタール樹脂8重量部を、トルエン15重量部とエタノール15重量部との混合溶剤に加え、攪拌溶解し、更に、可塑剤としてジブチルフタレート10重量部を加え、攪拌溶解した。得られた樹脂溶液に、セラミック粉末としてアルミナ100重量部を加え、ボールミルで48時間混合してセラミックスラリー組成物を得た。
得られたセラミックスラリー組成物を、コーターを用いて乾燥後の厚みが2μmとなるように離形処理したPETフィルム上に塗工し、常温で1時間風乾した後、メタルハライドランプ(セン特殊光源株式会社製)を用いて波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を3000mJ/cm2(照射時間10秒)照射することで、セラミックグリーンシートを得た。
(1)シートアタックの発生の有無
PETフィルムからセラミックグリーンシートを剥離せずに、セラミックグリーンシート上にテルピネオール又はジヒドロテルピネオールをスポイトにて一滴(約0.02g)滴下し、10秒後のセラミックグリーンシートの状態を目視にて観察し、以下の基準でシートアタックの発生の有無を評価した。
○:セラミックグリーンシートに、皺や穴は観察されなかった。
×:セラミックグリーンシートに、皺又は穴が観察された。
実施例、参考例、及び比較例で得られたセラミックグリーンシートをPETフィルムから剥離し、剥離したシートについてテンシロン引張試験機を用いて破断点応力、弾性率の測定を行った。試験片は長さ20mm×幅50mmのものを使用し、試験速度は25mm/分で行った。
セラミックグリーンシートの上にテルピネオールをスポイトにて一滴(約0.02g)滴下し、10秒後にPETフィルムから剥離し、セラミックグリーンシートの剥離性を目視にて評価した。
○:セラミックグリーンシートをきれいに剥離できた。
×:セラミックグリーンシートの一部又は全部に、破れが観察された。
(ポリビニルアセタール樹脂組成物の作製)
参考例1で得られた変性ポリビニルアセタール樹脂5重量部とα−テルピネオール95重量部とをT.K.ホモディスパー(fmodel、特殊機化工業社製)を用いて、80℃のオイルバス内で加熱しながら3時間撹拌し、溶解した。80℃で1時間撹拌して、変性ポリビニルアセタール樹脂組成物を得た。
得られた変性ポリビニルアセタール樹脂組成物100重量部に対して、導電粉末としてのニッケル粉末(2020SS、三井金属社製)130重量部を添加し、3本ロールで混練した。次いで、混練後の電極ペースト組成物にメタルハライドランプ(セン特殊光源株式会社製)を用いて波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を3000mJ/cm2(照射時間30秒)照射することで、電極ペーストを得た。
実施例2で得られた変性ポリビニルアセタール樹脂を用いた以外は参考例10と同様にして電極ペーストを作製した。
参考例3で得られた変性ポリビニルアセタール樹脂を用いた以外は参考例10と同様にして電極ペーストを作製した。
参考例4で得られた変性ポリビニルアセタール樹脂を用いた以外は参考例10と同様にして電極ペーストを作製した。
参考例4で得られた変性ポリビニルアセタール樹脂を用い、混練後の電極ペースト組成物にメタルハライドランプ(セン特殊光源株式会社製)を用いて波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を照射エネルギー1000mJ/cm2(照射時間10秒)で照射したこと以外は、参考例10と同様にして電極ペーストを作製した。
比較例1で得られたポリビニルアセタール樹脂を用いた以外は参考例10と同様にして電極ペーストを作製した。
比較例2で得られたポリビニルアセタール樹脂を用いた以外は参考例10と同様にして電極ペーストを作製した。
参考例10の(電極ペーストの作製)において、波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を3000mJ/cm2(照射時間30秒)照射しなかった以外は参考例10と同様にして電極ペーストを得た。
(粘度測定)
得られた電極ペーストについて、回転式レオメータ(Gemini150、Bohlin社製)とコーンプレート(直径40mm、コーン角度1°)とを用い、測定温度:20℃、剪断速度:10sの条件で粘度を測定した。
(隔壁の作製)
参考例1で得られた変性ポリビニルアセタール樹脂8重量部、有機溶剤としてテルピネオール30重量部、ガラスフリット(旭硝子社製、IWF−DT430)50重量部を攪拌混合した。得られた隔壁用ペーストをPETフィルム上に塗工し、常温で1時間風乾することにより、隔壁前駆体を作製した後、メタルハライドランプ(セン特殊光源株式会社製)を用いて波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を3000mJ/cm2(照射時間30秒)照射した。
隔壁前駆体上にサンドブラスト用ドライフィルムレジスト(東京応化工業社製、BF603)を50℃でラミネート後、露光マスクをセットし、照射を行った後、パターニング、サンドブラストを行った。その後.2%炭酸ナトリウム水溶液で洗浄を行い、隔壁を作製した。
実施例2で得られた変性ポリビニルアセタール樹脂を用いた以外は参考例15と同様にして隔壁を形成した。
参考例3で得られた変性ポリビニルアセタール樹脂を用いた以外は参考例15と同様にして隔壁を形成した。
参考例3で得られた変性ポリビニルアセタール樹脂を用いた以外は参考例15と同様にして隔壁を形成した。
参考例3で得られた変性ポリビニルアセタール樹脂を用い、波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を1000mJ/cm2(照射時間10秒)照射したこと以外は参考例15と同様にして隔壁を形成した。
比較例1で得られたポリビニルアセタール樹脂を用いた以外は参考例15と同様にして隔壁を形成した。
比較例2で得られたポリビニルアセタール樹脂を用いた以外は参考例15と同様にして隔壁を形成した。
参考例15と同様の方法で、隔壁用ペーストを作製した後、得られたドライフィルムレジスト用樹脂組成物をPETフィルム上に塗工し、常温で1時間風乾した後、更にオーブンにて80℃で30分間乾燥することで、隔壁を形成した。
参考例15と同様の方法で、隔壁用ペーストを作製した後、得られた隔壁用ペーストをPETフィルム上に塗工し、常温で1時間風乾した後、更にオーブンにて100℃で6時間乾燥することで、隔壁を形成した。
(1)アルカリ洗浄性の評価
0.2%炭酸ナトリウム水溶液で洗浄した後の隔壁の状態を光学顕微鏡にて観察し、以下の基準により評価した。
○:欠けやクラックは発見されない。
×:欠けやクラックが発見される。
Claims (11)
- セラミックグリーンシートと電極ペーストとを交互に積層し加熱圧着して得られた積層体を脱脂、焼成する積層セラミック成型体の製造方法であって、
セラミック粉末、少なくとも下記一般式(1)、(2)、(3)及び(4)で表される構造単位を有するポリビニルアセタール樹脂及び有機溶剤を含有するセラミックスラリー組成物を塗工する工程、前記セラミックスラリー組成物を乾燥する工程、及び、波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を照射することにより架橋させる工程を有する
ことを特徴とする積層セラミック成型体の製造方法。
- セラミックグリーンシートと電極ペーストとを交互に積層し加熱圧着して得られた積層体を脱脂、焼成する積層セラミックコンデンサの製造方法であって、
セラミック粉末、少なくとも下記一般式(1)、(2)、(3)及び(4)で表される構造単位を有するポリビニルアセタール樹脂及び有機溶剤を含有するセラミックスラリー組成物を塗工する工程、前記セラミックスラリー組成物を乾燥する工程、及び、波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を照射することにより架橋させる工程を有する
ことを特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法。
- セラミックグリーンシートと電極ペーストとを交互に積層し加熱圧着して得られた積層体を脱脂、焼成するピエゾアクチュエーターの製造方法であって、
セラミック粉末、少なくとも下記一般式(1)、(2)、(3)及び(4)で表される構造単位を有するポリビニルアセタール樹脂及び有機溶剤を含有するセラミックスラリー組成物を塗工する工程、前記セラミックスラリー組成物を乾燥する工程、及び、波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を照射することにより架橋させる工程を有する
ことを特徴とするピエゾアクチュエーターの製造方法。
- 電解質層成型体に電解質を含有する電解質液を塗工することにより電解質層を作製した後、前記電解質層に電極を積層する固体酸化物型燃料電池の製造方法であって、
前記電解質層成型体は、少なくとも下記一般式(1)、(2)、(3)及び(4)で表される構造単位を有するポリビニルアセタール樹脂及び有機溶剤を含有する成型体用樹脂組成物を成型することにより成型体を得た後、前記成型体に波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を照射することにより架橋させたものである
ことを特徴とする固体酸化物型燃料電池の製造方法。
- 背面ガラス基板表面に誘電体前駆体と隔壁前駆体とを形成した後、一括して前記誘電体前駆体と前記隔壁前駆体とを脱脂、焼成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
誘電体、少なくとも下記一般式(1)、(2)、(3)及び(4)で表される構造単位を有するポリビニルアセタール樹脂及び有機溶剤を含有する誘電体ペーストを塗工する工程、前記誘電体ペーストを乾燥する工程、及び、波長が200〜365nmの範囲内にある紫外線を照射することにより架橋させる工程を有する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
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