JP5462885B2 - 半導体装置の製造方法および基板処理装置 - Google Patents
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Description
まず、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の構成例について、図1から図3を用いて説明する。図1は、本実施形態に係る基板処理装置101の斜視透視図である。図2は、本実施形態に係る処理炉202の側面断面図である。図3は、本実施形態に係る処理炉202の上面断面図であり、処理炉202部分を図2のA−A線断面図で示している。
図1に示すように、本実施形態にかかる基板処理装置101は筐体111を備えている。シリコン等からなるウエハ(基板)200を筐体111内外へ搬送するには、複数のウエハ200を収納するウエハキャリア(基板収納容器)としてのカセット110が使用される。筐体111内側の前方(図中の右側)には、カセットステージ(基板収納容器受渡し台)114が設けられている。カセット110は、図示しない工程内搬送装置によってカセットステージ114上に載置され、また、カセットステージ114上から筐体111外へ搬出されるように構成されている。
続いて、本実施形態に係る縦型の処理炉202の構成について説明する。
次に、上述の基板処理装置の処理炉を用いて半導体装置(半導体デバイス)の製造工程の一工程として、互いに異なる元素成分を有する2種以上の膜としての金属膜(金属窒化膜)と絶縁膜(金属酸化膜)との積層膜を基板上に形成した後、それぞれの膜に対して異なる改質処理を同時に行うシーケンス例について説明する。
まず、複数枚のウエハ200をボート217に装填(ウエハチャージ)する。ボート217に装填するウエハ200の枚数は、例えば3枚以上200枚以下である。そして、図2に示すように、複数枚のウエハ200を支持したボート217を、ボートエレベータ115によって持ち上げて処理室201内に搬入(ボートロード)する。この状態で、シールキャップ219は、Oリング220を介して反応管203の下端をシールした状態となる。
処理室201内が所望の圧力(真空度)となるように、真空ポンプ246によって真空排気する。この際、処理室201内の圧力を圧力センサ245で測定し、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ244の開度をフィードバック制御する(圧力調整)。また、処理室201内が所望の温度となるようにヒータ207によって加熱する。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電具合をフィードバック制御する(温度調整)。続いて、回転機構267を作動させ、ボート217及びウエハ200の回転を開始する。
次に、後述する工程S41〜S44を1サイクルとしてこのサイクルを少なくとも1回行うことで、ウエハ200上に金属膜であるTiN膜を形成する。
気化器271aによりTiCl4ガスを安定して生成させた状態で、ガス供給管232aのバルブ243aを開き、ベント管232kのバルブ243kを閉じる。気化器271aにて生成されたTiCl4ガスは、ガス供給管232a内を流れ、ノズル249aのガス供給孔250aから処理室201内に供給されつつ排気管231から排気される。処理室201内へのTiCl4ガスの供給流量は、気化器271aへのTiCl4の供給流量をマスフローコントローラ241aで調整することで制御できる。このとき、同時に不活性ガス供給管232fのバルブ243fを開き、N2ガス等の不活性ガスを流す。不活性ガス供給管232f内を流れるN2ガスは、マスフローコントローラ241fにより流量調整され、TiCl4ガスと一緒に処理室201内に供給されつつ排気管231から排気される。
チタン含有層が形成された後、ガス供給管232aのバルブ243aを閉じ、ベント管232kのバルブ243kを開いて、処理室201内へのTiCl4ガスの供給を停止し、TiCl4ガスをベント管232kへ流す。このとき、排気管231のAPCバルブ244は開いたままとして、真空ポンプ246による処理室201内の真空排気を継続し、処理室201内に残留する未反応もしくはチタン含有層形成に寄与した後のTiCl4ガスを処理室201内から排除する。なお、このとき、バルブ243fは開いたままとして、N2ガスの処理室201内への供給を維持する。これにより、処理室201内に残留する未反応もしくはチタン含有層形成に寄与した後のTiCl4ガスを処理室201内から排除する効果を高める。不活性ガスとしては、N2ガスの他、Arガス、Heガス、Neガス、Xeガス等の希ガスを用いてもよい。
処理室201内の残留ガスを除去した後、ガス供給管232bのバルブ243bを開き、ガス供給管232b内にNH3ガスを流す。ガス供給管232b内を流れたNH3ガスは、マスフローコントローラ241bにより流量調整される。流量調整されたNH3ガスはノズル249bのガス供給孔250bから処理室201内に供給されつつ排気管231から排気される。このとき、同時にバルブ243gを開き、不活性ガス供給管232g内にN2ガスを流す。不活性ガス供給管232g内を流れたN2ガスは、マスフローコントローラ241gにより流量調整され、NH3ガスと一緒に処理室201内に供給されつつ排気管231から排気される。
チタン含有層がチタン窒化層(TiN層)へと改質された後、ガス供給管232bのバルブ243bを閉じて、処理室201内へのNH3ガスの供給を停止する。このとき、排気管231のAPCバルブ244は開いたままとして、真空ポンプ246による処理室201内の真空排気を継続し、処理室201内に残留する未反応もしくは窒化に寄与した後のNH3ガスを処理室201内から排除する。なお、このとき、バルブ243gは開いたままとして、N2ガスの処理室201内への供給を維持する。これにより、処理室201内に残留する未反応もしくは窒化に寄与した後のNH3ガスを処理室201内から排除する効果を高める。窒素含有ガスとしては、NH3ガス以外に、N2ガス、NF3ガス、N3H8ガス等を用いてもよい。
次に、後述する工程S51〜S54を1サイクルとしてこのサイクルを少なくとも1回行うことで、金属膜形成工程S40で形成したTiN膜上に絶縁膜としてのZrO膜を形成する。
気化器271dによりTEMAZガスを安定して生成させた状態で、ガス供給管232dのバルブ243dを開き、ベント管232mのバルブ243mを閉じる。気化器271dにて生成されたTEMAZガスは、ガス供給管232d内を流れ、ノズル249dのガス供給孔250dから処理室201内に供給されつつ排気管231から排気される。処理室201内へのTEMAZガスの供給流量は、気化器271dへのTEMAZの供給流量をマスフローコントローラ241dで調整することで制御できる。このとき、同時に不活性ガス供給管232iのバルブ243iを開き、N2ガス等の不活性ガスを流す。不活性ガス供給管232i内を流れるN2ガスは、マスフローコントローラ241iにより流量調整され、TEMAZガスと一緒に処理室201内に供給されつつ排気管231から排気される。
ジルコニウム含有層が形成された後、ガス供給管232dのバルブ243dを閉じ、ベント管232mのバルブ243mを開いて、処理室201内へのTEMAZガスの供給を停止し、TEMAZガスをベント管232mへ流す。このとき、排気管231のAPCバルブ244は開いたままとして、真空ポンプ246による処理室201内の真空排気を継続し、処理室201内に残留する未反応もしくはジルコニウム含有層形成に寄与した後のTEMAZガスを処理室201内から排除する。なお、このとき、バルブ243iは開いたままとして、N2ガスの処理室201内への供給を維持する。これにより、処理室201内に残留する未反応もしくはジルコニウム含有層形成に寄与した後のTEMAZガスを処理室201内から排除する効果を高める。不活性ガスとしては、N2ガスの他、Arガス、Heガス、Neガス、Xeガス等の希ガスを用いてもよい。
処理室201内の残留ガスを除去した後、オゾナイザ500によりO3ガスを安定して生成させた状態で、ガス供給管232eのバルブ243e,244eを開き、ベント管232nのバルブ243nを閉じる。オゾナイザ500にて生成されたO3ガスは、ガス供給管232e内を流れ、マスフローコントローラ241eにより流量調整され、ノズル249eのガス供給孔250eから処理室201内に供給されつつ排気管231から排気される。このとき、同時に不活性ガス供給管232jのバルブ243jを開き、N2ガス等の不活性ガスを流す。不活性ガス供給管232j内を流れるN2ガスは、マスフローコントローラ241jにより流量調整され、TEMAZガスと一緒に処理室201内に供給されつつ排気管231から排気される。
ジルコニウム含有層がジルコニウム酸化層(ZrO層)へと改質された後、ガス供給管232eのバルブ243e,244eを閉じ、ベント管232nのバルブ243nを開いて、処理室201内へのO3ガスの供給を停止し、O3ガスをベント管232nへ流す。このとき、排気管231のAPCバルブ244は開いたままとして、真空ポンプ246による処理室201内の真空排気を継続し、処理室201内に残留する未反応もしくは酸化に寄与した後のO3ガスを処理室201内から排除する。なお、このとき、バルブ243jは開いたままとして、N2ガスの処理室201内への供給を維持する。これにより、処理室201内に残留する未反応もしくは酸化に寄与した後のO3ガスを処理室201内から排除する効果を高める。
図6は、金属膜形成工程S40及び絶縁膜形成工程S50を実施した後のウエハ200表面を例示する部分拡大図である。図6の(a)に示すように、ウエハ200上には、金属膜(金属窒化膜)であるTiN膜600と、絶縁膜(金属酸化膜)としてのZrO膜601とが積層されている。なお、図6は、DRAMのキャパシタの下部電極としてTiN膜600を、容量絶縁膜としてZrO膜601を形成した場合を例示している。
バルブ243a,243b,243c,243d,243eを閉じた状態で、真空ポンプ246による真空排気を継続しつつ、APCバルブ244及びバルブ243f,243g,243h,243i,243jを開き、処理室201内にN2ガスを供給して排気し、処理室201内をN2ガスでパージする。なお、パージ工程S61は省略することも出来る。
処理室201内のパージが完了したら、処理室201内が所望の圧力(真空度)となるようにAPCバルブ244の開度を調整する。そして、処理室201内が所望の温度となるようにヒータ207への通電具合をフィードバック制御する。そして、回転機構267によるボート217及びウエハ200の回転も継続する。
ガス供給管232eのバルブ243e,244eを開くことで、ガス供給管232e内に酸化性ガス(酸化剤)として酸素含有ガスであるO2ガスを流す。このとき、オゾナイザ500によるO3ガスの生成は行わない。O2ガスは、マスフローコントローラ241eにより流量調整され、ノズル249eのガス供給孔250eから処理室201内に供給されつつ、排気管231から排気される。このとき、同時にバルブ243jを開き、不活性ガス供給管232j内にN2ガスを流す。N2ガスは、マスフローコントローラ241jにより流量調整され、O2ガスと一緒に処理室201内に供給されつつ、排気管231から排気される。
改質処理が終了したら、バルブ243e及びバルブ243cを閉じ、O2ガス及びH2ガスの処理室201内への供給を停止する。このとき、バルブ243j及びバルブ243hは開いたままとして、N2ガスの処理室201内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより処理室201内が不活性ガスでパージされ、処理室201内に残留するガスが処理室201内から除去される。なお、改質中およびパージ中のN2ガスの供給は、不活性ガス供給管232g,232f,232iを用いて行っても良い。
その後、APCバルブ244の開度を適正に調整し、処理室201内の圧力を常圧に復帰させる(S70)。そして、ボートエレベータ115によりシールキャップ219を下降させ、マニホールド209の下端を開口させるとともに、処理済のウエハ200を保持したボート217をマニホールド209の下端から反応管203の外部に搬出(ボートアンロード)する(S80)。その後、処理済みのウエハ200をボート217から脱装(ウエハディスチャージ)する(S90)。
本実施形態によれば、互いに異なる元素成分を有する2種以上の膜であるTiN膜とZrO膜とが露出あるいは積層されたウエハ200に対し、還元性ガス(還元剤)としての水素含有ガスであるH2ガスと、酸化性ガス(酸化剤)としての酸素含有ガスであるO2ガスとを同時に供給する。そして、加熱された減圧雰囲気下においてO2ガスとH2ガスとを反応させ、原子状酸素等のOを含む酸化種、及び原子状水素等のHを含む還元種を生成し、この酸化種及び還元種をZrO膜とTiN膜との積層膜に供給する。これにより、ZrO膜及びTiN膜のそれぞれに対して、異なる改質処理(酸化反応、還元反応)を同時に行うことができる。ZrO膜の改質処理(酸化処理)では、酸化種の持つエネルギーがZrO膜中に含まれるZr−Cの結合エネルギーよりも高いため、この酸化種のエネルギーを酸化処理対象のZrO膜に与えることで、ZrO膜中に含まれるZr−C結合は切り離される。ジルコニウム(Zr)原子との結合を切り離された炭素(C)原子は、膜中から除去され、CO2等として排出される。また、C原子との結合が切られることで余ったZr原子の結合手は、酸化種に含まれる酸素(O)原子と結びつき、Zr−O結合が形成される。また、このとき、ZrO膜は緻密化されることとなる。このようにZrO膜の改質が行われる。さらに、酸化層の改質処理(還元処理)では、還元種が、ZrO膜を介して拡散してTiN膜とZrO膜との界面まで達し、界面に形成された酸化層を還元することが出来る。
本実施例では、上述の実施形態と同様の手法により、ウエハ上にTiN膜とZrO膜とを積層した後、O2ガスとH2ガスとを用いてZrO膜とTiN膜とに対して異なる改質処理を同時に行った。そして、改質処理後(還元処理後)のTiN膜の組成をX線光電子分光(X−ray Photoelectron Spectroscopy、略称:XPS)により測定した。また、改質処理後(酸化処理後)のZrO膜のEOT(等価酸化膜厚)及びリーク電流密度をそれぞれ測定した。なお、改質処理時のウエハ温度は450〜500℃とし、改質処理時のガス供給時間(照射時間)は5〜60分とした。EOT及びリーク電流密度の測定の際にZrO膜に印加した電圧は−1.0Vとした。
なお、本実施形態では、O2ガスとH2ガスとを用いて改質処理を行ったが、本発明は係る形態に限定されず、H2にNH3ガスを加えたガスを還元性ガス(還元剤)して用いてもよい。あるいは、H2ガスに代えてNH3ガスを還元性ガス(還元剤)として用いてもよい。還元性ガス(還元剤)として、窒化性ガス(窒化剤)でもあるNH3ガスを添加したり用いたりすることで、金属膜形成工程S40にて形成されたTiN膜を還元する際に、TiN膜中に存在する遊離したチタニウム(Ti)原子を窒化させることが可能となる。係る変形例は他の実施形態(第6及び第7の実施形態)として後述する。
本実施形態は、上述の第1の実施形態の変形例である。本実施形態においては、TiN膜とZrO膜とが露出あるいは積層されたウエハ200に対し、酸素含有ガスと水素含有ガスとを交互に供給し、第1の実施形態にて示した改質処理プロセスとしてのZrO膜の酸化処理、TiN膜の還元処理といった個々の改質処理を順次実施する。その後、改質処理の最終ステップとして、ウエハ200に対し、酸素含有ガスと水素含有ガスとを同時に供給して異なる改質処理(ZrO膜の酸化、TiN膜の還元)を同時に実施する。
第1の実施形態では、O2ガスとH2ガスとは、異なるガス供給管及び異なるノズルからそれぞれ別々に供給されるように構成されていた。すなわち、O2ガスとH2ガスとは、ノズル249e,249c内で個別に加熱されてから、処理室201内にて初めて混合されるように構成されていた。しかしながら、O2ガスとH2ガスとは混合させてから加熱すると、より効果的に活性化させることが出来る。本実施形態は係る知見に基づく第1の実施形態の変形例である。
本実施形態では、ガス供給管232b,232c,232eを合流させているが、還元性ガス(還元剤)としてH2を単体で用いる場合(NH3ガスを添加しない場合)には、少なくともガス供給管232b,232cを合流させ、ガス供給管232eは合流させなくてもよい。また、還元性ガス(還元剤)としてNH3ガスを単体で用いる場合には、少なくともガス供給管232b,232eを合流させ、ガス供給管232cは合流させなくてもよい。また、ガス供給管232a,232dをさらに合流させ、ノズル249g,249h,249i,249j,249kから原料ガスも供給するようにしてもよい。
第3の実施形態では、ガス供給管232b,232c,232eを一旦合流させてガス供給管232とし、このガス供給管232を混合室として用いていたが、本発明は係る形態に限定されない。例えば、酸素含有ガスと水素含有ガスとを処理室201内に供給する前に予め混合する混合室としてのバッファ室を、反応管203の内部に設けても良い。
本実施形態にかかる基板処理装置は、第1の実施形態とは異なり、改質処理にあたりウエハ200を1枚毎或いは数枚毎に処理する枚葉式基板処理装置として形成されている。
第1の実施形態ではO2ガスとH2ガスとを用いて改質処理を行ったが、本実施形態ではH2にNH3ガスをさらに加えたガスを還元性ガス(還元剤)として用いる点が第1の実施形態と異なる。その他は第1の実施形態と同様である。図15は、本実施形態に係る改質処理を含む基板処理工程のフロー図であり、図16は、本実施形態に係る改質処理を含む基板処理工程のガス供給のタイミング図である。
第2の実施形態ではO2ガスとH2ガスとを用いて改質処理を行ったが、本実施形態ではH2ガスに代えてNH3ガスを還元性ガス(還元剤)として用いる点が第2の実施形態と異なる。その他は第2の実施形態と同様である。図15は、本実施形態に係る改質処理を含む基板処理工程のフロー図であり、図17は、本実施形態に係る改質処理を含む基板処理工程のガス供給のタイミング図である。
上述したように、酸素含有ガスと水素含有ガスとを同時に供給するとは、必ずしもガス供給の開始および停止のタイミングが同じである必要はなく、酸素含有ガスと水素含有ガスとが処理室201内に供給されるそれぞれの時間の少なくとも一部が重なっていれば良い。つまり、他方のガスのみを先に単独で供給しても良く、また、一方のガスの供給を止めた後、他方のガスのみを単独で流しても良い。
以上、本発明の実施形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
以下に、本発明の好ましい形態について付記する。
互いに異なる元素成分を有する2種以上の薄膜が積層あるいは露出された基板を、酸素含有ガスと水素含有ガスとに同時或いは交互に曝して、それぞれの前記薄膜に対して異なる改質処理を同時に行う半導体装置の製造方法が提供される。
互いに異なる元素成分を有する2種以上の薄膜が積層された基板を、酸素含有ガスと水素含有ガスとに同時或いは交互に曝して、積層された前記薄膜の間の界面及び前記界面を構成するそれぞれの前記薄膜に対して異なる改質処理を同時に行う半導体装置の製造方法が提供される。
前記基板を、酸素含有ガスと水素含有ガスとに交互に曝した後、酸素含有ガスと水素含有ガスとに同時に曝す。
2種類以上の前記薄膜は、金属膜及び前記金属膜の上に直接形成された絶縁膜である。
前記基板を酸素含有ガスと水素含有ガスとに同時に曝す際、前記基板が収容された処理室外に設けられた混合室内で酸素含有ガスと水素含有ガスとを予め混合させてから前記処理室内に供給する。
互いに異なる元素成分を有する2種類以上の薄膜が露出あるいは積層された基板が収容された処理室内に、酸素含有ガスと水素含有ガスとを同時或いは交互に供給するガス供給工程と、
前記基板を前記処理室内から搬出する搬出工程と、を有し、
前記ガス供給工程では、それぞれの前記薄膜に対して異なる改質処理を同時に行う半導体装置の製造方法が提供される。
互いに異なる元素成分を有する2種類以上の薄膜が積層された基板が収容された処理室内に、酸素含有ガスと水素含有ガスとを同時或いは交互に供給するガス供給工程と、
前記基板を前記処理室内から搬出する搬出工程と、を有し、
前記ガス供給工程では、積層された前記薄膜間の界面及び前記界面を構成するそれぞれの前記薄膜に対して異なる改質処理を同時に行う半導体装置の製造方法が提供される。
前記ガス供給工程で酸素含有ガスと水素含有ガスとを同時に供給する際、酸素含有ガスと水素含有ガスとを前記処理室外に設けられた混合室内で予め混合させてから前記処理室内に供給する。
互いに異なる元素成分を有する2種類以上の薄膜が露出あるいは積層された基板を収容する処理室と、
前記処理室内に酸素含有ガス及び水素含有ガスを供給するガス供給系と、
前記処理室内を排気する排気系と、
少なくとも前記ガス供給系及び前記排気系を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記基板を収容した前記処理室内に酸素含有ガスと水素含有ガスとを同時或いは交互に供給させ、それぞれの前記薄膜に対して異なる改質処理を同時に行うよう前記ガス供給系を制御するよう構成されている基板処理装置が提供される。
前記ガス供給系は、酸素含有ガス及び水素含有ガスを前記処理室内に供給する前に予め混合する混合室を備え、
前記処理室内に酸素含有ガスと水素含有ガスとを同時に供給する際は、酸素含有ガスと水素含有ガスとを前記混合室内で予め混合させてから前記処理室内に供給する。
前記混合室内は昇温可能に構成されている。
前記ガス供給系は、予め混合された酸素含有ガス及び水素含有ガスを前記処理室内に供給する長さの異なる複数のノズルを備え、
複数の前記ノズルのうち、長さの短いノズル内空間の断面積が、長さの長いノズル内空間の断面積よりも大きく構成されている。
前記ガス供給系は、予め混合された酸素含有ガス及び水素含有ガスを前記処理室内に供給する長さの異なる複数のノズルを備え、
前記複数のガスノズルは、酸素含有ガスと水素含有ガスとの混合ガスが前記処理室内に供給されるまでのノズル内走行時間がそれぞれ実質的に等しくなるように構成されている。
前記排気系は、前記処理室内に酸素および水素を導入するにあたり、混合後の前記処理室内の圧力を10000Pa以下に設定できる。
前記処理室内では、
互いに異なる元素成分を有する2種類以上の薄膜の前記基板上への形成と、
酸素含有ガスと水素含有ガスとを同時或いは交互に供給させ、それぞれの前記薄膜に対して異なる改質処理と、
を連続して実施可能なように構成されている。
互いに異なる元素成分を有する2種類以上の薄膜が露出あるいは積層された基板に対し、酸素含有ガスと水素含有ガスとを同時或いは交互に供給するガス供給工程を有し、
前記ガス供給工程では、それぞれの前記薄膜に対して異なる改質処理を同時に行う半導体装置の製造方法が提供される。
互いに異なる元素成分を有する2種類以上の薄膜が積層された基板に対し、酸素含有ガスと水素含有ガスとを同時或いは交互に供給するガス供給工程を有し、
前記ガス供給工程では、積層された前記薄膜間の界面及び前記界面を構成するそれぞれの前記薄膜に対して異なる改質処理を同時に行う半導体装置の製造方法が提供される。
前記ガス供給工程は、前記基板に対して酸素含有ガスと水素含有ガスとを交互に供給した後、更に酸素含有ガスと水素含有ガスとを同時に供給することで終わらせる。
互いに異なる元素成分を有する2種類以上の前記薄膜が絶縁膜を含み、改質処理後の前記絶縁膜の比誘電率が10以上であり、前記絶縁膜の膜厚が200nm以下である。
互いに異なる元素成分を有する2種類以上の前記薄膜が金属膜を含み、前記金属膜がTiN、TiAlN、TiLaN、Ta、TaN、Ru、Pt、Niのいずれかの材料からなる膜、又は前記膜中に含有原子濃度が10%以下になるように不純物を添加した材料からなる膜である。
互いに異なる元素成分を有する2種類以上の薄膜が露出あるいは積層された基板を収容する処理室と、
前記処理室内に酸素含有ガス及び水素含有ガスを供給するガス供給系と、
前記処理室内を排気する排気系と、
少なくとも前記ガス供給系及び前記排気系を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記基板を収容した前記処理室内に酸素含有ガスと水素含有ガスとを同時或いは交互に供給させ、それぞれの前記薄膜に対して異なる改質処理を同時に行うよう前記ガス供給系を制御すると共に、
前記処理室内に酸素含有ガス又は水素含有ガスのいずれかを供給する際に、前記処理室内の圧力が10000Pa以下になるよう前記排気系を制御するよう構成されている基板処理装置が提供される。
前記制御部は、前記ガス供給系による酸素含有ガス及び水素含有ガスの供給タイミングをそれぞれ独立して制御するよう構成されている。
前記処理室内に収容された前記基板又は前記処理室内に供給された酸素含有ガス及び水素含有ガスを加熱する加熱機構、前記処理室内に供給された酸素含有ガス及び水素含有ガスをプラズマにより活性化するプラズマ生成機構、前記処理室内に収容された前記基板又は前記処理室内に供給された酸素含有ガス及び水素含有ガスに紫外光又は真空紫外光を照射する紫外光照射機構のうち、少なくともいずれかを備える。
前記ガス供給系は、
酸素含有ガス及び水素含有ガスを前記処理室内に供給する前に減圧下で予め混合する混合室を備え、
前記混合室内を加熱する予備加熱機構、前記混合室内に供給された酸素含有ガス及び水素含有ガスをプラズマにより活性化する予備プラズマ生成機構、前記混合室内に供給された酸素含有ガス及び水素含有ガスに紫外光又は真空紫外光を照射する予備紫外光照射機構のうち、少なくともいずれかを備える。
前記処理室は複数の基板を収容可能に構成されており、
酸素含有ガス及び水素含有ガスが混合されてから各基板に至る迄の経路長の差、或いは、酸素含有ガス及び水素含有ガスに対して加熱、プラズマによる活性化、紫外光又は真空紫外光の照射の少なくともいずれかが実施されてから各基板に至る迄の経路長の差が、基板の直径以下である。
前記処理室は、3枚以上200枚以下の基板を、それぞれ水平姿勢で鉛直方向に所定の間隔で配列させた状態で収容可能に構成されている。
前記ガス供給系は、予め混合された酸素含有ガス及び水素含有ガスを前記処理室内に供給する長さの異なる複数のノズルを備え、
複数の前記ノズルのうち、長さの短いノズル内空間の断面積が、長さの長いノズル内空間の断面積よりも大きく構成されている。
基板上に積層あるいは露出された互いに異なる元素成分を有する2種以上の薄膜を備え、
2種類以上の前記薄膜が酸素含有ガスと水素含有ガスとに同時或いは交互に曝されることで、それぞれの前記薄膜に対して異なる改質処理が同時に行われている半導体装置が提供される。
互いに異なる元素成分を有する2種類以上の前記薄膜が絶縁膜を含み、
改質処理後の前記絶縁膜の比誘電率が10以上であり、改質処理後の前記絶縁膜の膜厚が200nm以下である。
互いに異なる元素成分を有する2種類以上の前記薄膜が絶縁膜を含み、
改質処理後の前記絶縁膜の比誘電率が8以上であり、改質処理後の前記絶縁膜の膜厚がシリコン酸化膜換算で0.05nm以下である。
互いに異なる元素成分を有する2種類以上の前記薄膜が絶縁膜を含み、
改質処理後の前記絶縁膜の比誘電率が15以上であり、改質処理後の前記絶縁膜の膜厚がシリコン酸化膜換算で0.05nm以下である。
互いに異なる元素成分を有する2種類以上の前記薄膜が金属膜を含み、前記金属膜がTiN、TiAlN、TiLaN、Ta、TaN、Ru、Pt、Niのいずれかの材料からなる膜、又は前記膜中に含有原子濃度が10%以下になるように不純物を添加した材料からなる膜である。
121 コントローラ(制御部)
200 ウエハ(基板)
201 処理室
600 TiN膜(絶縁膜)
601 ZrO膜(金属膜)
Claims (7)
- 金属膜および絶縁膜が積層あるいは露出された基板を、酸化性を有する酸素含有ガスと還元性を有する水素含有ガスとに交互に曝した後、前記酸素含有ガスから生成される酸化種と前記水素含有ガスから生成される還元種とがそれぞれ所定量発生する流量比で前記酸素含有ガスと前記水素含有ガスとに同時に曝して、前記酸化種によって前記金属膜を酸化する酸化処理と、前記還元種によって前記絶縁膜を還元する還元処理と、を同時に行う半導体装置の製造方法。
- 前記基板を前記酸素含有ガスと前記水素含有ガスとに同時に曝すとき、前記水素含有ガスの流量に対する前記酸素含有ガスの流量の前記流量比を0.5以上2以下とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板を酸素含有ガスと水素含有ガスとに同時に曝す際、前記基板が収容された処理室外に設けられた混合室内で前記酸素含有ガスと前記水素含有ガスとを予め混合させてから前記処理室内に供給する請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 金属膜および絶縁膜が露出あるいは積層された基板を収容する処理室と、
前記処理室内に酸化性を有する酸素含有ガス及び還元性を有する水素含有ガスを供給するガス供給系と、
前記処理室内を排気する排気系と、
少なくとも前記ガス供給系及び前記排気系を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
基板を収容した前記処理室内に酸素含有ガスと水素含有ガスとを交互に供給させた後、前記処理室内に前記酸素含有ガスから生成される酸化種と前記水素含有ガスから生成される還元種とがそれぞれ所定量発生する流量比で前記酸素含有ガスと前記水素含有ガスとを同時に供給させ、前記酸化種によって前記金属膜を酸化する酸化処理と、前記還元種によって前記絶縁膜を還元する還元処理と、を同時に行うよう前記ガス供給系を制御するよう構成されている基板処理装置。 - 前記ガス供給系は、酸素含有ガスと水素含有ガスとを前記処理室内に供給する前に予め混合する混合室を備え、
前記処理室内に酸素含有ガスと水素含有ガスとを同時に供給する際は、酸素含有ガスと水素含有ガスとを前記混合室内で予め混合させてから前記処理室内に供給する請求項4に記載の基板処理装置。 - 前記ガス供給系は、予め混合された酸素含有ガス及び水素含有ガスを前記処理室内に供給する長さの異なる複数のノズルを備え、
複数の前記ノズルのうち、長さの短いノズル内空間の断面積が、長さの長いノズル内空間の断面積よりも大きく構成されている請求項4又は5に記載の基板処理装置。 - 前記ガス供給系は、予め混合された酸素含有ガス及び水素含有ガスを前記処理室内に供給する長さの異なる複数のノズルを備え、
前記複数のノズルは、酸素含有ガスと水素含有ガスとの混合ガスが前記処理室内に供給されるまでのノズル内走行時間がそれぞれ実質的に等しくなるように構成されている請求項4〜6のいずれかに記載の基板処理装置。
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