JP5448536B2 - レジスト塗布現像装置およびレジスト塗布現像方法、並びにレジスト膜処理装置およびレジスト膜処理方法 - Google Patents
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Description
次に、本発明の実施形態によるレジスト膜処理装置の変形例について、図8を参照しながら説明する。
次に、本発明の実施形態によるレジスト塗布処理方法の効果を確認するために行った実験および実験結果について説明する。この実験は、上述のレジスト膜処理装置100を含むレジスト塗布現像装置1を用い、上述のレジスト膜処理方法に従ってライン・アンド・スペース・パターンを有するレジスト膜を形成し、その断面を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察することにより行った。
実験1として、溶剤気体の供給まで行ったウエハ上のレジスト膜と、剥離液等の供給まで行ったウエハ上のレジスト膜とを比較した。その結果を図9に示す。図9(a)は、溶剤気体を供給した後のレジスト膜(レジストパターンのライン部)の断面を示し、図9(b)は、剥離液等を供給した後のレジスト膜(レジストパターンのライン部)の断面を示している。両図において特に矢印で示した断面形状に着目すると、溶剤気体を供給したことにより、レジスト断面は釣り鐘形状を呈しているが、剥離液等を供給した後には、上部が丸まっているものの、ほぼ矩形となっている。すなわち、溶剤気体により溶解した部分が垂れ下がったため釣り鐘形状となっていたが、垂れ下がった部分が剥離液等により除去され、矩形となっていることが分かる。
実験2として、4枚のウエハを用意し、これらに対して現象処理までの手順を行ってレジストパターンを形成した。ここで、比較のためのサンプルとして1枚のウエハをレジスト塗布現像装置1から取り出した(便宜上、このウエハをウエハaと記す)。次いで、残りの3枚のウエハのうちの1枚をレジスト膜処理装置100へ搬送して溶剤気体に晒した後、剥離液等を供給することなく取り出した(ウエハbと記す)。また、残りの2枚のウエハのうちの1枚をレジスト膜処理装置100へ搬送して溶剤気体に晒し、剥離液等を供給し、水洗し、乾燥してから、取り出した(ウエハc)。残りの1枚については、レジスト膜処理装置100へ搬送した後、溶剤気体に晒すことなく剥離液等を供給した(ウエハd)。
Claims (10)
- 基板上にレジストを塗布してレジスト膜を形成するレジスト膜形成部と、
露光された前記レジスト膜を現像するレジスト現像部と、
前記レジスト現像部で現像されてパターン化された前記レジスト膜の表面を平滑化するために、気相雰囲気下で、当該レジスト膜に対して溶解性を有する第1の溶剤に晒す溶剤気相供給部と、
前記第1の溶剤に晒された前記レジスト膜の膨潤した部分を除去するために、当該レジスト膜に対して溶解性を有する第2の溶剤を供給する溶剤供給部と
を備えるレジスト塗布現像装置。 - 前記第1の溶剤に晒された前記レジスト膜を加熱する加熱部を更に備える、請求項1に記載のレジスト塗布現像装置。
- 基板上にレジストを塗布してレジスト膜を形成するレジスト膜形成部と、
露光された前記レジスト膜を現像するレジスト現像部と、
前記レジスト現像部で現像されてパターン化された前記レジスト膜の表面を平滑化するために、気相雰囲気下で、当該レジスト膜に対して溶解性を有する第1の溶剤を供給し、さらに、前記第1の溶剤に晒された前記レジスト膜の膨潤した部分を除去するために、当該レジスト膜に対して溶解性を有する第2の溶剤を供給するレジスト膜処理部と
を備えるレジスト塗布現像装置。 - 現像されてパターン化されたレジスト膜の表面を処理するレジスト膜処理装置であって、
前記レジスト膜の表面を平滑化するために、気相雰囲気下で、当該レジスト膜に対して溶解性を有する第1の溶剤に晒す溶剤気相供給部と、
前記第1の溶剤に晒された前記レジスト膜の膨潤した部分を除去するために、当該レジスト膜に対して溶解性を有する第2の溶剤を供給する溶剤供給部と
を備えるレジスト膜処理装置。 - 前記第1の溶剤に晒された前記レジスト膜を加熱する加熱部を更に備える、請求項4に記載のレジスト膜処理装置。
- 現像されてパターン化されたレジスト膜を形成した基板を水平に保持して回転する基板保持部と、
前記レジスト膜の表面を平滑化するために、当該レジスト膜に対して溶解性を有する第1の溶剤の気体を前記基板に吐出する溶剤気相供給部と、
前記第1の溶剤に晒された前記レジスト膜の膨潤した部分を除去するために、当該レジスト膜に対して溶解性を有する第2の溶剤を供給する溶剤供給部と、
前記基板保持部に載置された前記基板の上方に配置され、前記レジスト膜を加熱する加熱部と、
を備えるレジスト膜処理装置。 - 基板上にレジストを塗布してレジスト膜を形成するステップと、
前記レジスト膜を露光するステップと、
露光された前記レジスト膜を現像するステップと、
前記現像するステップで現像されてパターン化された前記レジスト膜を、気相雰囲気下で、当該レジスト膜に対して溶解性を有する第1の溶剤に晒し、前記レジスト膜の表面を平滑化するステップと、
前記第1の溶剤に晒された前記レジスト膜に、当該レジスト膜に対して溶解性を有する第2の溶剤を供給し、前記レジスト膜の膨潤した部分を除去するステップと
を含むレジスト塗布現像方法。 - 前記第1の溶剤に晒された前記レジスト膜を加熱するステップを更に含む、請求項7に記載のレジスト塗布現像方法。
- 前記第1の溶剤がアセトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、Nメチル2ピロリジノン(NMP)のいずれかまたはこれらの組み合わせである、請求項7または8に記載のレジスト塗布現像方法。
- 前記レジスト膜のうちの前記第1の溶剤を吸収した部分に対する前記第2の溶剤の溶解性が、前記第1の溶剤を吸収していない部分に対する前記第2の溶剤の溶解性よりも高い、請求項7から9のいずれか一項に記載のレジスト塗布現像方法。
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